DE4435670A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Leiterplatten - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von LeiterplattenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bohren von Leiter
platten oder dgl., bei dem eine ein Bohrwerkzeug tragende
Bohrspindel auf die auf einem Maschinentisch angeordnete
Leiterplatte abgesenkt, bis zu der gewünschten Bohrtiefe in
die Leiterplatte eingeführt und anschließend wieder bis zu
einer Halteposition über der Leiterplatte angehoben wird, bei
dem die Bohrspindel horizontal zu der nächsten Bohrposition
verschoben wird, bei dem die jeweilige Höheneinstellung des
Bohrwerkzeugs relativ zu der Leiterplattenoberfläche mittels
einer Höhenmeßeinrichtung gemessen wird, und bei dem durch
Erzeugung eines elektrischen Signals beim Berühren der Spitze
des Bohrwerkzeugs mit der Oberfläche der Leiterplatte der
Nullpegel des Eintritts des Bohrwerkzeugs in die Leiterplatte
ermittelt wird, sowie eine Vorrichtung zum Durchführen eines
solchen Verfahrens.
Leiterplatten werden, insbesondere im Fall von mehrschichti
gen Leiterplatten, mit Durchgangsbohrungen sowie zur Erhöhung
der Ausnutzbarkeit mit gebohrten Sacklöchern versehen, die
von der Oberfläche bis zu einer bestimmten Leiterschicht im
Inneren der Leiterplatte reichen. Da auf Leiterplatten auf
kleinstem Raum immer kompliziertere Schaltungen vorgesehen
werden, ist eine Vielzahl von Bohrungen erforderlich, die bei
größeren Leiterplatten leicht eine Größenordnung von mehreren
Tausend Bohrungen pro Leiterplatte annehmen kann. Üblicher
weise wird zur Herstellung einer solchen Bohrung die Bohr
spindel aus der Halteposition mit dem Bohrvorschub in Rich
tung der Leiterplatte abgesenkt. Beim Absenken der Bohrspin
del trifft dabei vor dem Bohrer ein Niederhalter auf die
Leiterplatte auf, der diese zur Verbesserung der Lagegenauig
keit auf dem Maschinentisch festpreßt. Das rotierende Bohr
werkzeug wird nun weiter abgesenkt, bis die Spitze des Bohr
werkzeugs die gewünschte Bohrtiefe erreicht. Anschließend
wird die Bohrspindel mit maximalem Vorschub wieder angehoben
bis der Niederhalter um einen bestimmten Sicherheitsabstand
von der Leiterplatte abhebt und die Bohrerspitze wird in den
Niederhalter hinein zurückgezogen. Nach Erreichen der Halte
position wird die Bohrspindel entlang der X- und Y-Achse
horizontal zu der nächsten Bohrposition verfahren und dort
erneut abgesenkt. Nachteilig hierbei ist, daß der Leerhub
zwischen der Halteposition und dem Eintritt der Bohrerspitze
in die Leiterplatte sowie das daran anschließende horizontale
Verfahren der Bohrspindel zur nächsten Bohrposition relativ
viel Zeit beansprucht. Bei der erwähnten hohen Anzahl von
Bohrungen pro Leiterplatte werden dadurch die Fertigungs
kosten stark erhöht.
Aus der US-PS 4,765,784 ist eine Vorrichtung zum Bohren von
Leiterplatten bekannt, bei der die Tiefengenauigkeit der
Bohrungen dadurch erhöht werden soll, daß der Nullpegel des
Eintritts der Spitze des Bohrwerkzeugs in die Leiterplatte
durch Erzeugen eines elektrischen Signals beim Auftreffen des
Bohrwerkzeugs auf die Leiterplattenoberfläche festgestellt
wird und daß ab diesem festgestellten Nullpegel bis zu einer
programmierten Tiefe gebohrt wird. Durch die Verwendung des
beim Eintritt des Bohrwerkzeugs in die Leiterplatte erzeugten
Signals als Referenz für die Bohrtiefe kann der Einfluß von
Fertigungsungenauigkeiten, die ansonsten die Einhaltung der
geforderten Toleranzen von wenigen -im für die Bohrtiefe er
schweren, weitgehend eliminiert werden. Auch bei dieser Vor
richtung ist jedoch das Absenken der Bohrspindel mit Bohrvor
schubgeschwindigkeit, das anschließende Anheben der Bohr
spindel und die danach erfolgende horizontale Verschiebung
der Bohrspindel zur nächsten Bohrposition sehr zeitaufwendig.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein gat
tungsgemäßes Verfahren derart weiterzubilden, daß das Bohren
von Leiterplatten schneller erfolgen kann.
Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im wesentlichen dadurch
gelöst, daß beim Anheben und/oder Absenken der Bohrspindel
die horizontale Verschiebung der Bohrspindel bzw. des Maschi
nentischs wenigstens teilweise gleichzeitig mit der vertika
len Verschiebung der Bohrspindel erfolgt. Durch die Ermitt
lung des Nullpegels der Tiefenbohrung beim Eintritt des Bohr
werkzeugs in die Leiterplatte wird gleichzeitig die Position
des Austritts des Bohrwerkzeugs aus der Leiterplatte fest
gestellt, so daß nach dem Austritt des Bohrwerkzeugs aus der
Leiterplatte die Horizontalverschiebung der Bohrspindel ein
geleitet werden kann. Durch die gleichzeitige horizontale und
vertikale Verschiebung der Bohrspindel zur nächsten Bohr
position kann der zwischen zwei Bohrungen liegende Zeitraum
wesentlich verkürzt werden, so daß sich die Herstellungs
kosten verringern.
Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung beginnt die
Horizontalverschiebung der Bohrspindel, sobald die Spitze des
Bohrwerkzeugs aus der Leiterplatte heraustritt. Dadurch kann
eine maximale Zeitersparnis erreicht werden.
Es ist jedoch ebenso Bestandteil der Erfindung, daß die Hori
zontalverschiebung der Bohrspindel erst dann beginnt, wenn
die Spitze des Bohrwerkzeugs einen Sicherheitsabstand von der
Leiterplatte aufweist, so daß gewährleistet ist, daß die
Leiterplatte bei der horizontalen Verschiebung des Bohrwerk
zeugs nicht durch dieses beschädigt wird.
Die Zeitersparnis läßt sich erfindungsgemäß dadurch weiter
erhöhen, daß das Absenken der Bohrspindel beginnt, bevor die
nächste Bohrposition erreicht ist.
Wird zur Verbesserung der Lagegenauigkeit die Leiterplatte
über einen Niederhalter mit Druck gegen den Maschinentisch
gepreßt, ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung vorgesehen, daß nach Abheben der Spitze des Bohr
werkzeugs über die Oberfläche der Leiterplatte, die Bohr
spindel bei auf der Leiterplatte gelagertem Niederhalter
horizontal verfahren wird. Damit entfällt das bisher übliche
vollständige Abheben des Niederhalters von der Leiterplatte
um 2 bis 3 µm, und der Arbeitsvorgang läßt sich wesentlich
beschleunigen.
Um eine Beschädigung der Leiterplatte durch den daran anlie
genden Niederhalter zu vermeiden, wird dieser erfindungsgemäß
soweit angehoben, daß er bei einem horizontalen Verfahren der
Bohrspindel im wesentlichen keine Seitenkräfte auf die Lei
terplatte ausübt.
Dieses "Schweben" des Niederhalters über die Leiterplatte
wird in Weiterbildung des Erfindungsgedankens dadurch er
reicht, daß der Niederhalter bei der horizontalen Verschie
bung der Bohrspindel über Rollen, Bürsten, Luftlager oder
dgl. auf der Leiterplatte anliegt.
Die für eine Bohrung erforderliche Zeit kann bei einer Wei
terbildung der Erfindung dadurch wesentlich verringert wer
den, daß der ermittelte Nullpegel der Berührung der Spitze
des Bohrwerkzeugs mit der Oberfläche der Leiterplatte als
Referenz für die nächste Bohrung verwendet wird, daß beim
nächsten Bohrvorgang die Bohrspindel aus der Halteposition
bis zum Nullpegel oder kurz vor diesem mit normaler oder
maximaler Vorschubgeschwindigkeit abgesenkt wird, und daß
beim Eintritt in die Leiterplatte oder kurz vor diesem auf
eine geringere Bohrvorschubgeschwindigkeit umgeschaltet wird.
Durch die Berücksichtigung des vorhergehenden Bohrvorgangs
können Fertigungstoleranzen, durch die sich die Höhe der
Leiterplatte geringfügig verändern kann, ausgeglichen werden.
Hierbei macht man sich die Erfahrung zunutze, daß sich die
Dicke der Leiterplatte nicht sprunghaft, sondern nur all
mählich ändert.
Durch eine hochgenaue Erfassung des elektrischen Signals beim
Auftreffen der Bohrerspitze auf die Leiterplattenoberfläche
kann neben der Verwendung als Signal für die Bohreraustritts
position erfindungsgemäß auch eine Überwachung auf Bohrer
bruch durchgeführt werden.
Eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Ver
fahrens mit einer ein Bohrwerkzeug tragenden Bohrspindel, die
in Richtung der leitenden Oberflächenschicht einer auf einem
Maschinentisch angeordneten Leiterplatte verstellbar ist, mit
einer Höhenmeßeinrichtung zur Erfassung der jeweiligen Höhen
stellung des Bohrwerkzeugs relativ zu der Leiterplattenober
fläche und mit einem bis auf die leitende Oberflächenschicht
absenkbaren Niederhalter, sind an dem Niederhalter erfin
dungsgemäß Rollen, Bürsten, Luftlager oder dgl. vorgesehen,
über die der Niederhalter an der Leiterplattenoberfläche
anliegt. Der Niederhalter liegt mit Druck gegen die Ober
fläche der Leiterplatte an, so daß er sich erst kurz nach dem
Austritt des Bohrwerkzeugs aus der Leiterplatte von dieser
löst. Um bei der horizontalen Verschiebung der Bohrspindel
eine Beschädigung der Leiterplatte durch den an dieser anlie
genden Niederhalter zu vermeiden, ist dieser über die Rollen,
Bürsten oder Luftlager auf der Leiterplatte gelagert und
kann, ohne Seitenkräfte auf die Leiterplatte auszuüben, auf
dieser gleiten.
Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der
Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung
eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung. Dabei bilden
alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale
für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der
Erfindung, unabhängig in ihrer Zusammenfassung in den An
sprüchen oder deren Rückbeziehung.
Die einzige Figur zeigt einen schematischen Längsschnitt
durch eine Bohrvorrichtung zur Durchführung des erfindungs
gemäßen Verfahrens.
Eine Leiterplatte LP ist auf einem mit möglichst ebener und
möglichst horizontaler Oberfläche versehenen Maschinentisch
ggf. isoliert angeordnet. Die Leiterplatte LP weist eine
leitende Oberflächenschicht So sowie ggf. weitere Leiter
schichten Sn auf. Zwischen den Leiterschichten So und Sn be
finden sich Isolierschichten Si. Selbstverständlich können
auch mehrere Leiterschichten Sn vorgesehen sein, die jeweils
durch isolierschichten Si getrennt sind.
Oberhalb der Leiterplatte LP ist höhenverstellbar und rotier
bar eine Bohrspindel 2 angeordnet, in der ein Bohrwerkzeug 3
über einen Werkzeugrotor 4 gehalten ist. Der Bohrspindel 2
ist ein Niederhalter 5 zugeordnet, der vor Beginn des Bohrens
auf die leitende Oberflächenschicht So der Leiterplatte LP
abgesenkt wird. Der Niederhalter 5 stützt sich dabei über
Rollen 6 auf der Leiterplatte LP ab. Anstelle der Rollen 6
können auch Bürsten oder Druck übertragende Luftpolster vor
gesehen sein. Die Höhenstellung der Bohrspindel 2 bzw. des
Werkzeugrotors 4 und damit des Bohrwerkzeugs 3 wird mittels
einer Höhenmeßeinrichtung 7 gemessen.
Zum Bohren einer in der Zeichnung bspw. bis zur n-ten
Leiterschicht Sn reichenden Sacklochbohrung Bs oder auch einer
Durchgangsbohrung (nicht dargestellt) wird die Bohrspindel 2
aus einer Halteposition A über der Leiterplatte LP in Rich
tung der Leiterplatte LP abgesenkt, bis die Spitze des Bohr
werkzeugs 3 die Oberflächenschicht So berührt. Diese Kontakt
position, die dem Nullpegel der Bohrtiefe entspricht, ist mit
dem Bezugszeichen C bezeichnet. Durch Erzeugung eines elek
trischen Signals beim Berühren der Spitze des Bohrwerkzeugs
3 mit der leitenden Oberflächenschicht So, bspw. über eine
Potentialdifferenz ΔP zwischen dem Potential PB des Bohrwerk
zeugs 3, dem Potential Po der Oberflächenschicht So und/oder
dem Potential Pn der ersten Leiterschicht Sn, kann der Null
pegel C festgestellt, in der Höhenmeßeinrichtung 7 gespei
chert und als Referenz für die Bohrtiefe verwendet werden.
Das erhaltene Signal kann außerdem zur Überprüfung des Zu
standes des Bohrwerkzeugs verwendet werden. So können auch
nur wenige µm betragende Bohrerbrüche festgestellt werden.
Anschließend wird das rotierende Bohrwerkzeug 3 bis zu der
gewünschten Bohrtiefe D, die im dargestellten Ausführungsbei
spiel der Leiterschicht Sn entspricht, abgesenkt. Dann wird
das Bohrwerkzeug 3 angehoben und die Bohrspindel 2 während
des Anhebens entlang der X- und Y-Achse zur nächsten Bohr
position verfahren, sobald die Spitze des Bohrwerkzeugs 3
wieder aus der Leiterplatte LP heraustritt. Anstelle der
Horizontalverschiebung der Bohrspindel 2 kann auch eine hori
zontale Verschiebung des Maschinentisches 1 oder eine in
X- und Y-Richtung aufgeteilte Horizontalverschiebung der Bohr
spindel 2 und des Maschinentisches 1 vorgesehen sein. Der
Zeitpunkt des Austritts der Bohrwerkzeugspitze läßt sich über
die Höhenmeßeinrichtung 7 genau erfassen, da die Kontaktposi
tion C beim Berühren des Bohrwerkzeugs 3 mit der gleitenden
Oberflächenschicht So ermittelt wurde. Auch das Absenken des
Bohrwerkzeugs 3 kann schon vor Beendigung der Verschiebung
entlang der X- und Y-Achse erfolgen, um weitere Zeit ein
zusparen.
Der Niederhalter 5 liegt über Rollen 6, Bürsten oder durch
Luftpolster gebildete Luftlager an der Oberflächenschicht So
der Leiterplatte an, so daß bei der horizontalen Verschiebung
der Bohrspindel 2 sichergestellt wird, daß die Oberflächen
schicht So nicht durch den Niederhalter 5 beschädigt wird,
selbst wenn der Niederhalter 5 noch an der Leiterplatte LP
anliegt. Es reicht daher aus, das Bohrwerkzeug 3 nur um die
Entfernung A′-A in den Niederhalter 5 hinein zu verschieben
und den Druck auf dem Niederhalter so weit zu verringern, daß
bei der horizontalen Verschiebung der Bohrspindel 2 durch den
Niederhalter 5 keine Seitenkräfte auf die Leiterplatte LP
ausgeübt werden.
Bei einer zweiten Ausführungsform der Erfindung beginnt die
horizontale Verschiebung der Bohrspindel 2 zur nächsten Bohr
position erst, wenn das Bohrwerkzeug 3 um einen durch die
Position B bezeichneten Sicherheitsabstand von der Leiter
platte LP abgehoben ist.
Durch die gleichzeitige Vertikal- und Horizontalbewegung der
Bohrspindel beim Verfahren zur nächsten Bohrposition und
zusätzlich durch den Verzicht auf ein vollständiges Abheben
des Niederhalters 5 von der Leiterplatte LP kann die zwischen
zwei Bohrvorgängen vergehende Zeit erheblich verkürzt werden,
so daß bei der Vielzahl von herzustellenden Bohrungen die
Fertigungszeit der Leiterplatte LP und damit die Herstel
lungskosten wesentlich verringert werden.
Die bei einem Bohrvorgang ermittelte Kontaktposition C wird
als Referenz für den nächsten Bohrvorgang verwendet, so daß
das Absenken des Bohrwerkzeugs 3 bis kurz vor die Kontaktpo
sition C mit normalem oder maximalem Vorschub Fmax erfolgen
kann, und erst dann auf die geringere Bohrvorschubgeschwin
digkeit FB umgeschaltet wird. Nach Erreichen der Bohrtiefe D
wird das Bohrwerkzeug mit maximaler Vorschubgeschwindigkeit
Fmax angehoben und zur nächsten Bohrposition verfahren. Da der
Leerhub üblicherweise 2 bis 4 mm beträgt während die Bohr
tiefe D meist nur 50 bis 300 µm beträgt, wird hierdurch eine
wesentliche Leistungssteigerung möglich. Aber auch bei größe
ren Bohrtiefen D von 3 bis 5 mm, wie sie beim Herstellen von
Durchgangsbohrungen auftreten, ergibt sich ein wesentlicher
Geschwindigkeitsvorteil.
Bezugszeichenliste
1 Maschinentisch
2 Bohrspindel
3 Bohrwerkzeug
4 Werkzeugrotor
5 Niederhalter
6 Rollen
7 Höhenmeßeinrichtung
Bs Bohrung
LP Leiterplatte
So Oberflächenschicht
Sn Leiterschicht
Si Isolierschicht
A, A′ Halteposition
B Sicherheitsabstand
C Kontaktposition
D Bohrtiefe
Fmax maximale Vorschubgeschwindigkeit
FB Bohrvorschubgeschwindigkeit
PB Potential (Bohrer)
Po Potential (Oberflächenschicht)
Pn Potential (Leiterschicht)
2 Bohrspindel
3 Bohrwerkzeug
4 Werkzeugrotor
5 Niederhalter
6 Rollen
7 Höhenmeßeinrichtung
Bs Bohrung
LP Leiterplatte
So Oberflächenschicht
Sn Leiterschicht
Si Isolierschicht
A, A′ Halteposition
B Sicherheitsabstand
C Kontaktposition
D Bohrtiefe
Fmax maximale Vorschubgeschwindigkeit
FB Bohrvorschubgeschwindigkeit
PB Potential (Bohrer)
Po Potential (Oberflächenschicht)
Pn Potential (Leiterschicht)
Claims (10)
1. Verfahren zum Bohren von Leiterplatten (LP) oder dgl.,
bei dem eine ein Bohrwerkzeug (3) tragende Bohrspindel (2)
auf die auf einem Maschinentisch (1) angeordnete Leiterplatte
(LP) abgesenkt, bis zu der gewünschten Bohrtiefe (D) in die
Leiterplatte (LP) eingeführt und anschließend wieder bis zu
einer Halteposition (A) über der Leiterplatte (LP) angehoben
wird, bei dem die Bohrspindel (2) horizontal zu der nächsten
Bohrposition verschoben wird, bei dem die jeweilige Höhenein
stellung des Bohrwerkzeugs (3) relativ zu der Leiterplatten
oberfläche mittels einer Höhenmeßeinrichtung (7) gemessen
wird, und bei dem durch Erzeugung eines elektrischen Signals
beim Berühren der Spitze des Bohrwerkzeugs (3) mit der Ober
fläche (So) der Leiterplatte (LP) der Nullpegel (C) des Ein
tritts des Bohrwerkzeuges (3) in die Leiterplatte (LP) er
mittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß beim Anheben
und/oder Absenken der Bohrspindel (2) die horizontale Ver
schiebung der Bohrspindel (2) bzw. des Maschinentisches (1)
wenigstens teilweise gleichzeitig mit der vertikalen Ver
schiebung der Bohrspindel (2) erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Horizontalverschiebung der Bohrspindel (2) beginnt, so
bald die Spitze des Bohrwerkzeugs (3) aus der Leiterplatte
(LP) heraustritt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Horizontalverschiebung der Bohrspindel (2) beginnt, so
bald die Spitze des Bohrwerkzeugs (3) einen Sicherheitsab
stand (B) von der Oberfläche der Leiterplatte (LP) aufweist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Absenken der Bohrspindel (2) beginnt,
bevor die nächste Bohrposition erreicht ist.
5. Verfahren, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis
4, wobei sich die Bohrspindel (2) über einen Niederhalter (5)
auf der Leiterplatte (LP) abstützt, und wobei nach Beendigung
des Bohrvorgangs die Spitze des Bohrwerkzeugs (3) angehoben
wird, bis sie oberhalb der Oberflächenschicht (So) der Lei
terplatte (LP) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bohrspindel (2) bei auf der Leiterplatte (LP) gelagertem
Niederhalter (5) horizontal verfahren wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der Niederhalter (5) soweit angehoben wird, daß er bei einem
horizontalen Verfahren der Bohrspindel (2) im wesentlichen
keine Seitenkräfte auf die Leiterplatte (LP) ausübt.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeich
net, daß der Niederhalter (5) bei der horizontalen Verschie
bung der Bohrspindel (2) über Rollen (6), Bürsten, Luftlager
oder dgl. auf der Leiterplatte (LP) aufliegt.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß der ermittelte Nullpegel (C) der Berüh
rung der Spitze des Bohrwerkzeugs (3) mit der Oberfläche (So)
der Leiterplatte (LP) als Referenz für die nächste Bohrung
verwendet wird, daß beim nächsten Bohrvorgang die Bohrspindel
(2) aus der Halteposition (A) bis zum Nullpegel (C) oder kurz
vor diesem mit normalem oder maximalem Vorschub (Fmax) abge
senkt wird, und daß beim Eintritt in die Leiterplatte (LP)
oder kurz vorher auf eine geringere Bohrvorschubgeschwindig
keit (FB) umgeschaltet wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche i bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß durch hochgenaue Kontaktgabe beim Berüh
ren der Spitze des Bohrwerkzeugs (3) mit der Oberfläche (So)
der Leiterplatte (LP) eine Überprüfung des Bohrwerkzeugs (3)
auf Bohrerbruch erfolgt.
10. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem
der Ansprüche 1 bis 9, mit einer ein Bohrwerkzeug (3) tragen
den Bohrspindel (2), die in Richtung der leitenden Oberflä
chenschicht (So) einer auf einem Maschinentisch (1) angeord
neten Leiterplatte (LP) verstellbar ist, mit einer Höhenmeß
einrichtung (7) zur Erfassung der jeweiligen Höhenstellung
des Bohrwerkzeugs (3) relativ zu der Leiterplattenoberfläche
(So) und mit einem bis auf die leitende Oberflächenschicht
(So) absenkbaren Niederhalter (5), dadurch gekennzeichnet,
daß an dem Niederhalter (5) Rollen (6), Bürsten, Luftlager
oder dgl. vorgesehen sind, über die der Niederhalter (5) an
der Leiterplattenoberfläche (So) anliegt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944435670 DE4435670A1 (de) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944435670 DE4435670A1 (de) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Leiterplatten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4435670A1 true DE4435670A1 (de) | 1996-04-11 |
Family
ID=6530065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944435670 Withdrawn DE4435670A1 (de) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Leiterplatten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4435670A1 (de) |
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US10926298B2 (en) | 2015-07-02 | 2021-02-23 | Serenity Data Security, Llc | Hard drive dismantling system |
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1994
- 1994-10-06 DE DE19944435670 patent/DE4435670A1/de not_active Withdrawn
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Title |
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Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |