DE4335735C2 - Ansaugbaugruppe für Platten und Folien - Google Patents
Ansaugbaugruppe für Platten und FolienInfo
- Publication number
- DE4335735C2 DE4335735C2 DE19934335735 DE4335735A DE4335735C2 DE 4335735 C2 DE4335735 C2 DE 4335735C2 DE 19934335735 DE19934335735 DE 19934335735 DE 4335735 A DE4335735 A DE 4335735A DE 4335735 C2 DE4335735 C2 DE 4335735C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- suction
- grooves
- plate
- vacuum chamber
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/14—Details
- G03B27/18—Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material
- G03B27/20—Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material by using a vacuum or fluid pressure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Ansaug
baugruppe zum Aufnehmen von platten- und/oder folienarti
gen Werkstücken mit Hilfe einer Unterdruckansaugung für
den Transport innerhalb einer Bearbeitungsmaschine
und/oder eines Handhabungsgeräts, wobei die Ansaugbau
gruppe mindestens eine Unterdruckkammer mit mindestens
einer Absaugöffnung umfaßt.
Derartige Ansaugbaugruppen sind bekannt; sie dienen dazu,
platten- und folienartige Werkstücke, wie z. B. Leiter
platten, bei ihrer Bearbeitung bzw. Herstellung innerhalb
von Automaten und deren Zu- und Abführeinrichtungen zu
handhaben. Zum Beispiel in Anlagen zur Belichtung von
Leiterplatten werden Platinenschichten mit einer Materi
alstärke von 0,1 bis 5 mm behandelt. Diese Schichten be
stehen teilweise auch aus flexiblen Folien. Die Platinen,
Schichten und Folien sind meist vor dem Belichtungsvor
gang schon mit Durchgangsbohrungen und Ausbrüchen verse
hen. Zum Teil haben die Leiterplatten und dergleichen
auch Oberflächenstrukturen.
Solche Werkstücke werden bei ihrer automatischen Ferti
gung bekannterweise mit Hilfe von Gestellen bewegt, die
über mehrere Reihen von Unterdrucksaugnäpfen die Werk
stücke aufnehmen und halten. Diese Gestelle mit den
Saugnäpfen haben mehrere Nachteile.
Zum einen benötigen die Saugnäpfe aufgrund ihrer elasti
schen Teller eine große und möglichst ebene Ansaugfläche.
Da dadurch nur wenige Saugnäpfe pro Werkstück unterzu
bringen sind, müssen diese zum sicheren Halten der Werk
stücke sowohl ansauggerecht verteilt sein, als auch pro
Saugnapf mit relativ hohem Unterdruck betrieben werden.
Zur Erzeugung des hohen Unterdrucks sind spezielle Vaku
umpumpen erforderlich, die bekanntermaßen starke Schwin
ger und Geräuschquellen sind.
Des weiteren müssen für jede Werkstückcharge die
Saugnäpfe in den Gestellen von Hand neu so eingerichtet
werden, daß die Saugnäpfe weder auf Bohrungen oder Aus
brüchen noch auf Unebenheiten zur Anlage kommen.
Zum anderen bewirkt der relativ hohe Unterdruck zusammen
mit der Elastizität der Saugnapfteller teilweise eine
Verformung der dünnen Platinenschichten oder -folien, wo
durch das Werkstück beschädigt werden kann.
Ferner haben die bekannten Saugnapfgestelle durch ihre
Verschlauchung ein großes Bauvolumen und aufgrund der
vielen einstellbaren Elemente einen hohen Wartungsbedarf.
Eine andere Variante zum Aufnehmen von Platinen ist aus
der US 4,842,412 bekannt. Dort wird ein Gerät zum Belich
ten von Leiterplatten beschrieben. Innerhalb des Geräts
werden die Leiterplatten mit Hilfe eines Platinenhalters
(10; 11) zwischen einem die Platinen anliefernden Trans
portband und einer Belichtungsposition hin- und herbe
wegt. Der Platinenhalter besteht u. a. aus einer aus
transparentem Kunststoff hergestellten Unterdruckkammer.
Die Unterdruckkammer hat in dem Bereich, in dem die zu
transportierende Platine anliegt viele Bohrungen über die
die jeweilige Platine angesaugt wird. Alle Ansaugboh
rungen haben im Verhältnis zu ihrem Durchmesser eine
große Länge und sind an der Kammeraußenseite relativ
stark angefast. Die langen Bohrungen bewirken zusammen
mit der Anfasung ein sehr großes Druckgefälle, so daß
selbst bei großem Saugdruck nur eine geringe Haltekraft
entsteht.
Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Aufgabe
besteht darin, eine Ansaugbaugruppe der gattungsgemäßen
Art anzugeben, die geeignet ist, platten- und folienar
tige Werkstücke deformationsfrei bei geringer Sauglei
stung aufzunehmen und zu halten. Die Ansaugbaugruppe soll
bei großer Formsteifigkeit flach bauen und wartungs
freundlich gestaltet sein. Ferner sollen die aus dem
Stand der Technik bekannten Nachteile vermieden werden.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Unterdruckkammer
mit einer Vielzahl von Blenden über mindestens eine
Außenseite mit dem Werkstück und/oder der Umgebung in
Verbindung steht.
Die Ansaugbaugruppe besteht beispielsweise aus einem
starren, an ein Sauggebläse angeschlossenen, die Unter
druckkammer beinhaltenden Behälter, der auf der die Werk
stücke ansaugenden Seite viele kleine als Blenden wir
kende Bohrungen hat. Die Blenden, die Absaugöffnungen so
wie die Absauganlage sind so dimensioniert, daß in der
Unterdruckkammer bei unverdeckten Blenden ein solcher Un
terdruck anliegt, daß die Ansauggruppe die vorgesehenen
Werkstücke sicher durch Ansaugen aufnehmen und auch wäh
rend der Handhabung halten kann.
Nach dem Auflegen der Ansauggruppe auf das Werkstück wird
eine große Anzahl von Blenden verdeckt und damit am Hal
ten des Werkstücks oder der Werkstücke beteiligt. Da im
Gegensatz zu den aus dem Stand der Technik bekannten
Saugnapfgestellen eine weit größere Anzahl an Blenden
bzw. Saugstellen am Werkstück anliegen, kommen die ein
zelnen Saugstellen mit einem geringeren Unterdruck aus
als die handelsüblichen Saugnäpfe. Dadurch kann der Un
terdruck für diese neue Ansaugbaugruppe beispielsweise
mit Radialgebläsen anstatt mit herkömmlichen Vakuumpumpen
erzeugt werden. Die Gebläse sind ferner trotz eines hö
heren Volumenstroms leiser und vibrationsärmer.
Die Unterdruckkammer besteht mindestens aus zwei Hohlräu
men, die über Durchbrüche miteinander in Verbindung ste
hen. Für die Konstruktion einer Ansaugbaugruppe, die
großflächige Platten oder Folien beispielsweise plan auf
nehmen soll, kann es vorteilhaft sein, eine formsteife
und flache Behälterkonstruktion zu wählen. Eine Möglich
keit besteht darin, die Ansaugbaugruppe als Platte mit
vielen kanal- oder zylinderförmigen Hohlräumen zu gestal
ten. Die Kanäle verlaufen dazu in geringem Abstand zur
Ansaugfläche
Z. B. parallel nebeneinander in der Platte. Innerhalb der
Platte sind die Kanäle für die Unterdruckabsaugung über
Durchbrüche miteinander verbunden. Sie können auch über
Bohrungen, die auf der der Ansaugseite abgewandten Seite
angeordnet sind, an einer Unterdruckabsaugung angeschlossen
sein. Die Blendenbohrungen sind von der Ansaugfläche her in
die Kanäle geführt. Dadurch entsteht eine aus einem Stück
bestehende, flache und steife Unterdruckkammer.
In der Ansaugbaugruppe können die Hohlräume als Nuten in
einer Ansaugplatte ausgebildet sein, die auf der dem
Werkstück zugewandten Seite mit einer Blendenplatte abge
deckt sind. Die Ansaugbaugruppe umfaßt somit mindestens
zwei verschiedene Teile, die die Unterdruckkammer bilden.
Das eine Teil ist die Ansaugplatte, die beispielsweise eine
Vielzahl von untereinander u. a. durch Durchbrüche oder
Querrillen verbundenen Nuten enthält. Die mit Nuten
versehene Seite der Ansaugplatte wird durch das zweite
Teil, nämlich die Blendenplatte, abgesehen von den Blenden
selbst, luftdicht abgedeckt. Die zwischen den Nuten
stehenden Stege stützen die Blendenplatte an den Flächen
zwischen den Blenden sicher ab, so daß trotz dünner Wand
stärke der Blendenplatte diese plan auf der Ansaugplatte
aufliegt. So entsteht durch das Verbinden beider Teile eine
kostengünstig herstellbare und steife Ansaugbaugruppe.
Die Nuten sind um eine zentrale Absaugöffnung rechteck
rahmenförmig angeordnet und beispielsweise jeweils an den
Rahmenecken unterbrochen. Andere denkbare Anordnungsmuster
können - auch abhängig von der Außenkontur der Werkstücke -
einen rein parallelen Nutenverlauf haben. Ferner können die
Nuten strahlen-, sichel- oder spiralförmig um eine oder
mehrere Absaugöffnungen angeordnet sein. Sie können auch
dem Kurvenverlauf von konzentrisch angeordneten Kreisen,
Vielecken oder Ellipsen folgen. Eine Kombination
verschiedener Nutenverläufe oder eine mehrfache
Wiederholung bestimmter Muster ist ebenfalls möglich.
Werden mehrere Unterdruckkammern eingesetzt, sind diese
unabhängig voneinander von der Ansaugung trennbar oder
falschbelüftbar. Dadurch können einzelne Bereiche der An
saugfläche vom Unterdrucksystem getrennt bzw. fremdbelüftet
werden, um bei einer Beladung mit mehreren Werkstücken
einzelne davon abheben oder abwerfen zu können.
An der Ansaugplatte können neben den Werkstücken auch
Masken bzw. Positionierteile angesaugt sein, die über
mehrere Bearbeitungsstationen die exakte Aufnahme der zu
bearbeitenden Werkstücke gewährleisten. Die Masken müssen
demnach wie die Werkstücke separat ansaugbar sein.
Selbstverständlich können zur Erleichterung der Masken-
oder Werkstückansaugung spezielle Blendenplatten mit spe
ziellen Formen und Trennfugen bzw. mit speziellen Boh
rungsbildern verwendet werden.
Zur Abtrennung bestimmter Unterdruckkammerbereiche sind
einzelne Durchbrüche zwischen den Nuten durch Schieber
verschließbar ausgeführt. Diese Schieber werden über
pneumatische oder andere Antriebe bewegt, die sowohl in als
auch an der Absaugplatte angeordnet sind.
Um ein sicheres Anliegen der beispielsweise auch mit
kleineren Oberflächenstrukturen versehenen Werkstücke zu
gewährleisten kann die Blendenplatte mit einer dünnen
elastischen - die Blenden freilassenden - Deckschicht
versehen werden. Diese kann aus einem geschlossenzelligen
Moosgummi bestehen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher
erläutert.
Fig. 1 zeigt die Draufsicht auf die An
saugbaugruppe mit einer daraufliegenden Leiter
platte sowie einen Schnitt durch diese Baugruppe.
Fig. 2 zeigt einen Längsschnitt durch die Ansaugbau
gruppe bei ihrer Anordnung auf einer Belichtungs
vorrichtung.
Die in Fig. 1 dargestellte Ansaugbaugruppe umfaßt im we
sentlichen zwei Teile. Diese sind die rechteckige Ansaug
platte (1) und die flächig aufliegende Blendenplatte (9).
Im linken Teil der Draufsicht sieht man die Hohlräume bzw.
Nuten (3, 5). Die Nuten sind rechteckförmig um eine zen
trale Absaugöffnung (2) angeordnet. Sie (3, 5) stoßen an
ihren Enden, den Rahmenecken (8), jeweils auf andere,
senkrecht dazu angeordnete Nuten.
Zur Bildung von Unterdruckkammern (30, 50) sind die ein
zelnen Nuten (beziehungsweise einzelne Nutenbereiche)
untereinander über Durchbrüche bzw. Bohrungen (7)
miteinander verbunden. In der Schnittdarstellung von Fig.
1 ist beispielsweise dargestellt wie die Nuten (3) mittels
der Bohrungen(7) zur Unterdruckkammer (30) zusammengefaßt
werden können.
Die äußeren Nuten (5) (vergleiche linke Seite der Ansaug
platte (1)) können relativ zu den anderen (inneren)
Nuten (3) pneumatisch getrennt werden. Aus dem abgetrennten
Bereich wird die Luft über eine (mehrfach über dem Umfang
vorhandene) Absaugöffnung (4) abgesaugt. Dieser Bereich
dient hierbei dem separaten Halten einer Maske (15), vgl.
Fig. 2.
Die aus den inneren Nuten (3) gebildete Unterdruckkam
mer (30) wird zum Werkstück - also der Leiterplatte (11) -
hin mit der Blendenplatte (9) abgedeckt; die Blenden
platte (9) weist hier 900 Blendenbohrungen (10) auf. Die
aus den (äußeren) Nuten (5) gebildete Unterdruckkammer (50)
dient zur Halterung der Maske (15).
Auf der Blendenplatte (9) liegt die Leiterplatte (11) mit
ihren Bohrungen (12) und Ausbrüchen (13) auf. Trotz dieser
vielen Bohrungen und Ausbrüche ist der größere Anteil der
Blendenbohrungen (10) durch das Aufliegen der Leiterplatte
(11)verschlossen.
Fig. 2 zeigt eine Ansaugbaugruppe (1, 9), die gleichzeitig
als Deckel einer Leiterplattenbelichtungsanlage fungiert.
Von der Leiterplattenbelichtungsanlage ist hier der
Belichtungsrahmen (21) mit seiner Glasplatte (23) zu
erkennen.
Für den Belichtungsvorgang wird die zwischen der Maske (15)
positionierte Leiterplatte (11) über den Belichtungsrahmen
transportiert. Dort wird die Ansaugbaugruppe (1, 9), ge
führt von Bolzen (22), auf einen auf einer Glasplatte (23)
liegenden Film (24) herabgesenkt. Der Film (24) wird auf
der Glasplatte (23) ebenfalls durch Unterdruck angesaugt
gehalten. Die Luft zur Ansaugung des Films (24) wird über
die Bohrungen (27) abgesaugt.
Sobald die Leiterplatte (11) mit der Ansaugbaugruppe (1, 9)
auf dem Film (24) aufliegt, wird der Kontakt zwischen
Leiterplatte (11) und Film (24) mit Hilfe von Unterdruck
zusätzlich verstärkt. Dazu wird über eine Bohrung (26) die
vorhandene bzw. eindringende Luft aus dem Raum zwischen dem
Belichtungsrahmen (21), der Ansaugbaugruppe (1, 9) und
einer Dichtlippe (28) abgesaugt.
Die Leiterplatte (11) wird (vergleiche Fig. 1) über die aus
den Nuten (3) sich ergebende Unterdruckkammer (30) gehal
ten; diese Unterdruckkammer (30) ist mit der zentralen Ab
saugöffnung (2) verbunden. Die Maske (15) wird über die aus
den Nuten (5) bestehende Unterdruckkammer (50) gehalten;
diese ist ihrerseits mit der (peripheren) Absaugbohrung (4)
verbunden. Je nach Größe der Leiterplatte (11) einerseits
und der Maske (15) andererseits können diese Unterdruck
kammern (30) beziehungsweise (50) aufeinander abgestimmt
eingestellt werden.
1
Ansaugplatte
2
zentrale Absaugöffnung
3
Hohlräume (Nuten) für Leiterplattenzone
4
Absaugöffnung für Maskenzone
5
Hohlräume (Nuten) für Maskenzone
6
Stege
7
Durchbrüche
8
Rahmenecken
9
Blendenplatte
10
Blenden
11
Werkstück (Leiterplatte)
12
Leiterplattenbohrungen
13
Leiterplattenausbrüche
15
Maske
21
Belichtungsrahmen
22
Führungsbolzen
23
Glasplatte
24
Film
26
Bohrung für Kontaktvakuum
27
Bohrungen für Filmansaugung
28
Dichtlippe
29
Licht für Belichtung
30
Unterdruckkammer (Summe aller Nuten (
3
))
50
Unterdruckkammer (Summe aller Nuten (
5
))
Claims (7)
1. Ansaugbaugruppe zum Aufnehmen von platten- und/oder
folienartigen Werkstücken mit Hilfe einer Unterdruckan
saugung für den Transport innerhalb einer Bearbeitungsma
schine und/oder eines Handhabungsgeräts, wobei die An
saugbaugruppe mindestens eine Unterdruckkammer mit minde
stens einer Absaugöffnung umfaßt, dadurch gekennzeichnet,
daß die Unterdruckkammer (30, 50) mit einer Vielzahl von
Blenden (10) über mindestens eine Außenseite mit dem
Werkstück (11) und/oder der Umgebung in Verbindung steht.
2. Ansaugbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Unterdruckkammer (30, 50) aus mindestens
zwei Hohlräumen (3, 5) besteht, die über Durchbrüche (7)
miteinander in Verbindung stehen.
3. Ansaugbaugruppe nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Hohlräume (3, 5) als Nuten in einer An
saugplatte (1) ausgebildet sind, die auf der dem Werk
stück (11) zugewandten Seite mit einer Blendenplatte (9)
abgedeckt sind.
4. Ansaugbaugruppe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich
net, daß die Nuten (3, 5) rechteckrahmenförmig um eine
zentrale Absaugöffnung (2) angeordnet sind.
5. Ansaugbaugruppe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die rechteckrahmenförmig angeordneten Nuten (3, 5)
jeweils an den Rahmenecken (8) unterbrochen sind.
6. Ansaugbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß bei mehreren Unterdruckkammern (30, 50) diese
unabhängig voneinander von den Ansaugöffnungen (2, 4)
trennbar oder falschbelüftbar sind.
7. Ansaugbaugruppe nach Anspruch 3 und 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß einzelne Durchbrüche (7) zwischen den Nu
ten (3, 5) durch Schieber verschließbar sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934335735 DE4335735C2 (de) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Ansaugbaugruppe für Platten und Folien |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934335735 DE4335735C2 (de) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Ansaugbaugruppe für Platten und Folien |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4335735A1 DE4335735A1 (de) | 1995-04-27 |
DE4335735C2 true DE4335735C2 (de) | 1999-04-01 |
Family
ID=6500565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934335735 Expired - Fee Related DE4335735C2 (de) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Ansaugbaugruppe für Platten und Folien |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4335735C2 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19859049C2 (de) * | 1998-12-21 | 2003-07-03 | Karl Suss Dresden Gmbh | Belichtunganordnung für fotolackbeschichtete Leiterplatten |
DE10000414C2 (de) * | 2000-01-07 | 2002-02-07 | Hilmar Wicke | Verfahren zur stiftlosen versatzfreien Montage von Multilayer-Innenanlagen |
DE102006048069B4 (de) * | 2006-10-11 | 2010-04-22 | Eads Deutschland Gmbh | Sauggreifer zur Handhabung von Werkstücken |
ITPR20110065A1 (it) * | 2011-07-08 | 2013-01-09 | B S Societa In Nome Collettivo Di Vittorio Bonin | Dispositivo di presa |
ITPR20110063A1 (it) * | 2011-07-08 | 2013-01-09 | B S Societa In Nome Collettivo Di Vittorio Bonin | Dispositivo di presa |
ITPR20110064A1 (it) * | 2011-07-08 | 2013-01-09 | B S Societa In Nome Collettivo Di Vittorio Bonin | Dispositivo di presa |
CN110980280A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-04-10 | 东莞理工学院 | 一种非接触多点式气浮抓取装置 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4032233A (en) * | 1976-05-03 | 1977-06-28 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Exposure registry apparatus |
US4252497A (en) * | 1977-08-22 | 1981-02-24 | Heico Inc. | Article handling system |
SU917366A1 (ru) * | 1980-09-01 | 1982-03-30 | Предприятие П/Я Р-6707 | Способ формировани защитного покрыти и устройство дл его осуществлени |
DE7922621U1 (de) * | 1979-08-08 | 1982-10-07 | Reinhard Mohn GmbH, 4830 Gütersloh | Kontaktkopiervorrichtung |
DE3223428A1 (de) * | 1981-07-02 | 1983-01-27 | Dainippon Screen Seizo K.K., Kyoto | Reproduktionskamera |
SU1050140A1 (ru) * | 1982-07-28 | 1983-10-23 | Предприятие П/Я В-8941 | Устройство дл контактной фотолитографии |
DE3243144A1 (de) * | 1982-11-22 | 1984-05-24 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Belichtungsvorrichtung |
SU1102063A1 (ru) * | 1983-04-27 | 1984-07-07 | Предприятие П/Я А-3791 | Устройство дл совмещени реперных знаков пленочного фотошаблона печатной платы |
DE3710404A1 (de) * | 1986-03-31 | 1987-10-01 | Polygraph Leipzig | Vakuumsaugtisch fuer flache gegenstaende insbesondere fuer druckvorlagen und dgl. |
US4842412A (en) * | 1986-01-22 | 1989-06-27 | Eiichi Miyake | Exposure apparatus employed for fabricating printed circuit boards |
DE3920035A1 (de) * | 1988-07-04 | 1990-01-11 | Kuttler Hans Juergen | Vorrichtung zum vereinzeln und transportieren von werkstuecken |
DE3602078C2 (de) * | 1986-01-24 | 1990-04-19 | Riba-Prueftechnik Gmbh, 7801 Schallstadt, De | |
DE9102055U1 (de) * | 1991-02-21 | 1991-09-05 | Kuttler, Hans-Jürgen, 7735 Dauchingen | Vorrichtung zum Manipulieren von Leiterplatten |
SU950176A1 (ru) * | 1980-09-25 | 1992-09-30 | Предприятие П/Я Г-4816 | Способ изготовлени печатных плат с металлизированными отверсти ми |
-
1993
- 1993-10-20 DE DE19934335735 patent/DE4335735C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4032233A (en) * | 1976-05-03 | 1977-06-28 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Exposure registry apparatus |
US4252497A (en) * | 1977-08-22 | 1981-02-24 | Heico Inc. | Article handling system |
DE7922621U1 (de) * | 1979-08-08 | 1982-10-07 | Reinhard Mohn GmbH, 4830 Gütersloh | Kontaktkopiervorrichtung |
SU917366A1 (ru) * | 1980-09-01 | 1982-03-30 | Предприятие П/Я Р-6707 | Способ формировани защитного покрыти и устройство дл его осуществлени |
SU950176A1 (ru) * | 1980-09-25 | 1992-09-30 | Предприятие П/Я Г-4816 | Способ изготовлени печатных плат с металлизированными отверсти ми |
DE3223428A1 (de) * | 1981-07-02 | 1983-01-27 | Dainippon Screen Seizo K.K., Kyoto | Reproduktionskamera |
SU1050140A1 (ru) * | 1982-07-28 | 1983-10-23 | Предприятие П/Я В-8941 | Устройство дл контактной фотолитографии |
DE3243144A1 (de) * | 1982-11-22 | 1984-05-24 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Belichtungsvorrichtung |
SU1102063A1 (ru) * | 1983-04-27 | 1984-07-07 | Предприятие П/Я А-3791 | Устройство дл совмещени реперных знаков пленочного фотошаблона печатной платы |
US4842412A (en) * | 1986-01-22 | 1989-06-27 | Eiichi Miyake | Exposure apparatus employed for fabricating printed circuit boards |
DE3602078C2 (de) * | 1986-01-24 | 1990-04-19 | Riba-Prueftechnik Gmbh, 7801 Schallstadt, De | |
DE3710404A1 (de) * | 1986-03-31 | 1987-10-01 | Polygraph Leipzig | Vakuumsaugtisch fuer flache gegenstaende insbesondere fuer druckvorlagen und dgl. |
DE3920035A1 (de) * | 1988-07-04 | 1990-01-11 | Kuttler Hans Juergen | Vorrichtung zum vereinzeln und transportieren von werkstuecken |
DE9102055U1 (de) * | 1991-02-21 | 1991-09-05 | Kuttler, Hans-Jürgen, 7735 Dauchingen | Vorrichtung zum Manipulieren von Leiterplatten |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
DE-Prospekt: Handhabungsautomaten, Reihe Ro 102, der Fa. KUTTLER, Handhabungstechnik GmbH * |
DE-Prospekt: Horizontalstapelautomaten KE/KA 45/55, der Fa. KUTTLER , Handhabungstechnik GmbH * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4335735A1 (de) | 1995-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0002516B1 (de) | Vakuumkopf für flache, dünne Werkstücke | |
DE3234969C2 (de) | Vakuumbetätigbarer Werkstückhalter | |
EP1257389B1 (de) | Vakuumhandhabungsgerät | |
DE3874981T2 (de) | Vakuumvorrichtung zum halten von werkstuecken. | |
DE3941277C1 (de) | ||
DE102008042364B4 (de) | Saugwalze und Transportvorrichtung, die diese verwendet | |
DE60313279T2 (de) | Transportsystem | |
EP0412373A1 (de) | Vorrichtung zum Fördern von Lagen aus einer Mehrzahl von Einzelgegenständen | |
DE3735449A1 (de) | Fertigungssystem fuer halbleitersubstrate | |
WO2009115068A1 (de) | Verfahren und transportbandsystem mit mindestens einem transportband zum transportieren von flachem transportgut | |
DE3124337C2 (de) | ||
DE4335735C2 (de) | Ansaugbaugruppe für Platten und Folien | |
DE102008023907A1 (de) | Bernoulli-Greifvorrichtung zum Greifen und Handhaben von plattenförmigen Elementen, insbesondere von Waferelementen | |
EP2851319B1 (de) | Sauggreifer | |
DE3001652C2 (de) | Saugkanal einer Fördereinrichtung | |
DE3242944A1 (de) | Luftkissentransportsystem | |
EP2251127B1 (de) | Holzbearbeitungsmaschine mit Luftkissentisch | |
DE10008831C2 (de) | Fördervorrichtung für den hängenden Transport von flachen Gegenständen, insbesondere von metallischen Platinen | |
DE10027814A1 (de) | Sauggreifer | |
DE10050327A1 (de) | Saugnapf | |
AT501643B1 (de) | Greifer zum handhaben dünner scheibenförmiger gegenstände | |
DE3232451C1 (de) | Luftkissen-Stützvorrichtung für Glasscheiben | |
DE4109351C2 (de) | Werkstück-Aufnahmevorrichtung | |
AT410540B (de) | Greifer für das handhaben dünner plättchen | |
DE3218104C1 (de) | Vorrichtung zum Entnehmen von Schutztaschen aus ausgerichteten Magazinen und deren gerichtetes Zuführen auf ein mit einem Klebstoff versehenes Albumblatt |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |