DE4317137B4 - Vielstrahlgenerator - Google Patents

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Abstract

Vielstrahlgenerator mit einem Substrat und einem darauf gebildeten Gitter aus zyklisch mit einem Abstand p wiederholten Referenzphasenmustern, wobei jedes Referenzphasenmuster aus Bereichen konstanten Phasenpegels ungleicher Breite in einer Richtung entlang einer Oberfläche des Substrats besteht, wobei das Gitter nur zwei Phasenpegel hat, wobei der Vielstrahlgenerator drei Lichtstrahlen erzeugt,
wobei
jedes Referenzphasenmuster bezüglich seiner Mittellinie symmetrisch und in drei Bereiche unterteilt ist, der Abstand h(1) von der Mittellinie zum ersten Phasenpegelsprung die folgende Beziehung erfüllt: 0,126 < h(1)/p < 0,374und der Absolutwert a definiert ist als die Differenz zwischen den zwei Phasenpegeln, die folgende Beziehung erfüllt: 1,5 < |a| < 2,5wobei Vielfache von 2 π zu a addiert oder von a subtrahiert werden können.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Vielstrahlgenerator, welcher Licht aufteilt, beispielsweise Laserlicht, und zwar in eine Vielzahl von Strahlen, welche unabhängig und gleichzeitig benutzt werden, um einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb zu realisieren. Insbesondere ist die Erfindung ein Vielstrahlgenerator, der effektiv bei einer optischen Vorrichtung benutzt werden kann, welche Laserlicht in eine Vielzahl von Strahlen aufteilt, wobei sie das Profil der Lichtquelle, nämlich das Laserlicht, in ein erwünschtes Muster umwandelt. Die vorliegende Erfindung betrifft auch eine Licht-Abtastvorrichtung mit einem Gitter.
  • Wenn Laserlicht auf eine Gittervorrichtung fällt, wird eine Anzahl von Strahlen gebeugten Lichts erzeugt werden. Es ist bekannt, dass dieses Phänomen benutzt werden kann, um eine Gittervorrichtung als einen Vielstrahlgenerator anzuwenden. Der Ausdruck "Vielstrahl" oder manchmal "Vielfachstrahlen", wie hierin benutzt, soll gelten für die Erzeugung von drei oder mehr Lichtstrahlen.
  • 2 zeigt ein Beispiel einer Optik, die ein Gitter benutzt. Das Gitter 7 ist aus einem Substrat 2 gebildet. Wenn das Gitter 7 mit Laserlicht 1 beleuchtet wird, wird eine Anzahl von Strahlen gebeugten Lichts 5 erzeugt. Falls das gebeugte Licht 5 beobachtet wird, wobei das Gitter 7 an dem vorderen Brennpunkt einer Linse 3 positioniert ist, während ein Schirm oder dergleichen am hinteren Brennpunkt 4 derselben Linse positioniert ist, erscheint eine Anzahl von Flecken unter gleichen Abständen auf dem Schirm.
  • Auf diese Weise kann ein einzelner Lichtstrahl theoretisch in eine Vielzahl von Strahlen umgewandelt werden, aber in der Praxis ist es schwierig, eine Vielzahl von Strahlen einheitlicher Intensität effektiv zu erzeugen.
  • Die Gittervorrichtung zum Umwandeln eines einzelnen Lichtstrahls in eine Vielzahl von Einzelstrahlen, beschrieben von G. Hatakoshi und M. Nakamura auf Seiten 84–87 des Technical digest for the Third Microoptics Conference, gehalten in Yokohama 1991, Japan, war einer der Ansätze, die bisher unternommen wurden, um das vorher erwähnte Problem zu lösen. Wie gezeigt in 16, hat ein Substrat 35 ein Gitter 36 aus einem Referenzphasenmuster erstellt, was darauf gebildet ist. Das Gitter 36 ist weiterhin segmentiert bei vorgegebenen Breiten, wobei die Segmente ausgerüstet sind mit einem anderen Phasenmuster, welches aus drei oder mehr Pegeln besteht. Dieser Ansatz stellte sich als in einigem Ausmaß erfolgreich dar beim Erzielen von Einheitlichkeit in der Intensität einer Vielzahl von Strahlen.
  • Jedoch erfordert dieser Ansatz, dass das zusätzliche Phasenmuster auf verschiedenen Pegeln gebildet wird, so dass es notwendig ist, einen schwierigen Prozess durchzuführen, wobei ein Material für Elektronenstrahl (EB)-Belichtung belichtet wird mit EBs (Elektronenstrahlen), wobei ihre Intensität präzise auf verschiedenen Pegeln gesteuert wird. Als weiteres Problem begrenzt der Herstellungsprozess die Anzahl viel er verschiedener Pegel, die dem zusätzlichen Phasenmuster auferlegt werden können, und daher gibt es ebenfalls Beschränkungen für die Anzahl erzeugter vielfach er Strahlen, die Effizienz der Lichtausnutzung und die Gleichförmigkeit in der Intensität der Vielzahl von Strahlen.
  • Aus DE 31 17 092 A1 ist ein binäres Phasengitter bekannt, dessen Gittersprungstellen zur Erzeugung einer begrenzten Anzahl von intensitätsgleichen Beugungsordnungen innerhalb einer Gitterperiode unsymmetrisch angeordnet sind. Aus DE 38 31 743 ist eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mit Laserlicht bekannt.
  • Darin wird der Laserlichtstrahl durch eine Teileanordnung in mindestens zwei Teilstrahlen mit Hilfe eines unsymmetrischen linearen binären Phasen-Beugungsgitters aufgeteilt. Aus DE 40 07 968 A1 ist ein binäres symmetrisches Phasengitter bekannt, allerdings ohne Angaben zu dessen Dimensionierung. Schließlich ist aus US 4,449,215 ein optisches Vielstrahl-Plattenaufzeichnungs- und Wiedergabesystem bekannt mit einem Strahlteiler, der den einzelnen Aufzeichnungsstrahl in eine Vielzahl von separaten co-planaren Strahlen aufteilt. Einzelheiten darüber, wo der Strahlteiler angeordnet ist, ergeben sich aus diesem Dokument nicht.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen effizienten Vielstrahlgenerator zu schaffen, der eine gleichförmige Intensität aufweist und der durch einen einfachen Prozess hergestellt werden kann.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst, wie in den Patentansprüchen 1 bis 5 jeweils angegeben ist.
  • Diese Aufgabe der vorliegenden Erfindung kann gelöst werden durch ein Gitter, das aus wiederholten Referenzphasenmustern besteht, wobei jedes weiter segmentiert ist in drei oder mehr rechtwinklige Muster, welche nicht einheitlich in ihrer Breite sind.
  • Die Breiten der hinzugefügten rechtwinkligen Muster können in erwünschter Art und Weise zur Optimierung eingestellt werden. Deshalb erzeugt der Generator nach der vorliegenden Erfindung trotz der Tatsache, dass nur zwei Phasenpegel angewendet werden, eine Vielzahl von Strahlen einheitlicher Intensität mit hoher Effizienz und ist in der Lage, das Licht hocheffizient auszunutzen. Als weiterer Vorteil kann ein Gitter einer einzelnen Tiefe konstruiert werden, und deshalb kann der Vielstrahlgenerator nach der vorliegenden Erfindung mit großer Leichtigkeit hergestellt werden.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es außerdem, eine Licht-Abtastvorrichtung mit einem Gitter anzugeben, welche Vorrichtung eine schnelle optische Modulation des Lichtes ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst, wie im Patentanspruch 6 angegeben.
  • Die Figuren zeigen im einzelnen:
  • 1 ein Diagramm zur zeigen des Referenzphasenmusters des beim Vielstrahlgenerator der bevorzugten Ausführungsform benutzten Gitters;
  • 2 ein Diagramm zum Zeigen der Optik, die benutzt wird, um eine Vielzahl von Strahlen mit einem Gitter zu erzeugen;
  • 3 ein Diagramm zum Illustrieren der Funktion M(s);
  • 4 eine Darstellung zum Zeigen der Verteilung der Lichtintensität, wobei drei Strahlen erzeugt wurden mit dem Vielstrahlgenerator-Gitter der bevorzugten Ausführungsform;
  • 5 eine Darstellung zum Zeigen der Verteilung der Lichtintensität, wobei fünf Strahlen erzeugt wurden bei der bevorzugten Ausführungsform;
  • 6 eine Darstellung zum Zeigen der Verteilung der Lichtintensität, wobei sieben Strahlen mit der bevorzugten Ausführungsform erzeugt wurden;
  • 7 eine weitere Darstellung zum Zeigen der Verteilung der Lichtintensität, wobei sieben Strahlen mit der bevorzugten Ausführungsform erzeugt wurden;
  • 8 eine Darstelllung zum Zeighen der Verteilung der Lichtintensität, wobei neun Strahlen der bevorzugten Ausführungsform erzeugt wurden;
  • 9 diagrammatisch eine Querschnittsstruktur eines Gitters, das beim Vielstrahlgenerator der bevorzugten Ausführungsform benutzt werden kann;
  • 10 diagrammatisch eine Querschnittsstruktur eines weiteren Gitters, das bei der bevorzugten Ausführungsform benutzt werden kann;
  • 11 einen Umriß zum Zeigen des geometrischen Musters der Vielzahl von Strahlen;
  • 12 wie ein Lichtmuster einer rechtwinkligen Gestalt aus der Vielzahl von Strahlen gebildet wird;
  • 13 das Layout eines Systems, wobei der Vielstrahlgenerator der bevorzugten Ausführungsform auf eine Laserdruckereinheit angewendet wird;
  • 14 eine vergrößerte Ansicht eines Vielkanal-Akustooptik-Modulators;
  • 15 wie Rastern durchgeführt wird, in dem Fall, in dem eine Vielzahl von Lichtstrahlen unter einem Winkel zur Rasterrichtung ausgerichtet sind; und
  • 16 eine herkömmliche Gitterlinse.
  • Einige Beispiele bevorzugter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im folgenden beschrieben mit Bezug auf die begleitende Zeichnung.
  • 1 ist ein Diagramm zum Zeigen des Referenzphasenmusters des beim Vielstrahlgenerator der ersten Ausführungsform der Erfindung benutzten Gitters. Es wird angenommen, daß das Gitter 7 ein Referenzphasenmuster hat, das sich zyklisch mit einem Abstand p wiederholt.
  • Jedes Referenzphasenmuster besteht aus einem Muster von Rechtecken mit ungleichen Breiten und hat zwei Phasenpegel, wobei die Pegeldifferenz durch a angedeutet ist. Die Referenzphasenmuster sind angenommenerweise eine gerade Funktion, welche bezüglich der Mittellinie 8 symmetrisch ist. Die Breiten individueller Phasenrechtecke werden ausgedrückt durch h(1), h(2), h(3), ... und h(M), vorausgesetzt, daß ein Abstand des Referenzphasenmusters in (2M-1)-Abschnitte oder Segmente aufgeteilt ist. Der Mittelpunkt der Aufspaltung hat eine Breite gleich 2h(1). Falls das Referenzphasenmuster geschrieben wird als £(ξ) und der Gitterabstand als p, dann wird die Lichtintensitätsverteilung auf dem Schirm 4, wie gezeigt in 2, ausgedrückt als:
    Figure 00070001
    wobei
  • s:
    die normalisierte Koordinate auf dem Schirm |s = 2πx/(λf)|;
    λ:
    die Wellenlänge des Lichts;
    N:
    die Gesamtanzahl von im Gitter enthaltenen Referenzphasenmustern ist.
  • Gleichung (1) ergibt: I(s) = F(s)M(s) (2) wobei
    Figure 00080001
    M(s) = |sin(psN/2)/sin(ps/2)|2 (4)
  • Wie in 3 illustriert, ist die Funktion M(s) ausgedrückt durch Gleichung (4) eine Funktion, die gleiche Spitzenwerte an den Positionen auf dem Gitter hat, wo eine Beugung auftritt. Um zu gewährleisten, daß die von dem Gitter gebeugte Anzahl von Lichtstrahlen eine einheitliche Intensität hat, muß die Funktion F(s), ausgedrückt durch Gleichung (3), einen konstanten Wert für alle gebeugten Strahlen von Interesse haben. Dazu ist die Einstellung der Funktion f(ξ), darstellend die Referenzphasenmuster, von kritischer Bedeutung.
  • Substituieren des Referenzphasenmusters von 1 in Gleichung (3) und Durchführen der notwendigen Berechnungen ergibt:
    Figure 00080002
    wobei h(n) = der Breite der n-ten Unterteilung;
    an = der Phasenpegel der n-ten Unterteilung;
    Figure 00080003
  • Es sollte hier bemerkt werden, daß bei der bevorzugten Ausführungsform, welche die Zwei-Pegel-Phasenvariation annimmt, die folgende Beziehung gilt: a1 = a3 = a5 = a7 = ... a2 = a4 = a6 = a8 = ... (6)
  • Wie in 1 gezeigt, ist die Phasendifferenz zu a1 – a2 = a angenommen.
  • Um den erwünschten Vielstrahlgenerator zu erzeugen, kann man Optimalwerte von h(n) (n = 1, 2, ... und M) bestimmen und eine Phasendifferenz unter a Benutzung von Gleichung (5).
  • Es soll bemerkt werden, daß der Wert der Phasendifferenz a in Gleichung (5) konstant ist, unabhängig davon, ob ihm das positive oder das negative Vorzeichen vorausgeht. Es erscheint klar, daß das Resultat das gleiche ist, sogar falls ganzzahlige Vielfache von 2πλ (wobei λ die Wellenlänge des Lichts ist) addiert oder subtrahiert werden von der Phasendifferenz.
  • Fünf Beispiele von einer Vielzahl von strahlenerzeugenden Gittervorrichtungen wurden entworfen und konstruiert nach der bevorzugten Ausführung der vorliegenden Erfindung, und sie werden im weiteren als Beispiele 1 bis 5 vorgestellt.
  • Beispiel 1
  • Ein Dreistrahlgenerator wurde nach den folgenden Spezifikationen entworfen: h(1)/p = 0.218 h(2)/p = 0.282 |a| = 2.045 (Radiant) (7)
  • Ein Experiment wurde durchgeführt, um den Betrieb der Vorrichtung zur Reproduktion mit der in 2 gezeigten Optik zu simulieren. Die Resultate sind in 4 gezeigt. Die vertikale Achse der Darstellung in 4 gibt die Lichtintensität bezüglich der Intensität des eingegebenen Lichts wieder, welche zu 1 angenommen sei, wohingegen die horizontale Achse die Koordinate s auf den Schirm wiedergibt. Es erscheint klar, daß drei Strahlen gleichförmiger Intensität erzeugt wurden. Die kombinierte Lichtintensität der drei Strahlen war 85%, was eine hohe Effizienz der Ausnutzung des Lichts durch die Vorrichtung andeutet. Falls angenommen wird, daß die Gleichförmigkeit der Vielzahl von Strahlen für die Toleranzen bis zu ± 50% der mittleren Intensität der Vielzahl von Strahlen gilt, werden die Entwurfswerte, aufgestellt in Gleichung (7), Variationen über die folgenden Bereiche zulassen: 0,126 < h(1)/p < 0,374 1,5 < |a| < 2,5 (8)
  • Beispiel 2
  • Ein Fünfstrahlgenerator wurde entworfen nach den folgenden Spezifikationen: h(1)/p = 0,026 h(2)/p = 0,327 h(3)/p = 0,148 |a| = 2,602 (Radiant) (9)
  • Ein Experiment wurde durchgeführt, um den Betrieb der Vorrichtung zur Reproduktion, mit der in 2 gezeigten Optik, zu simulieren. Die Resultate sind in 5 gezeigt. Die vertikale und horizontale Achse in 5 stellen die gleichen Parameter wie in 4 dar. Es ist klar, daß fünf Strahlen gleichförmiger Intensität erzeugt wurden. Die kombinierte Lichtintensität der fünf Strahlen bezüglich der fünf Strahlen bezüglich der Intensität des eingegebenen Lichts war 77%, was die hohe Effizienz der Lichtausnutzung durch die Vorrichtung anzeigt. Wenn angenommen wird, daß die Einheitlichkeit der Vielzahl von Strahlen für Toleranzen von ± 50% der mittleren Intensität der Vielzahl von Strahlen gilt, werden die Entwurfswerte, aufgestellt in Gleichung (9), Variationen über die folgenden Bereiche zulassen: 0,002 < h(1)/p < 0,047 0,293 < h(2)/p < 0,361 2,235 < |a| < 4,06 (10)
  • Beispiel 3
  • Ein Siebenstrahl-Generator wurde nach den folgenden Spezifikationen entworfen: h(1)/p = 0,065 h(2)/p = 0,22 h(3)/p = 0,215 |a| = 3,810 (Radiant) (11)
  • Ein Experiment wurde durchgeführt, um den Betrieb der Vorrichtung zur Reproduktion mit der in 2 gezeigten Optik zu simulieren. Die Resultate sind in 6 gezeigt. Die vertikale und horizontale Achse in 6 stellen die gleichen Parameter wie in 4 dar. Es ist klar, daß sieben Strahlen gleichförmiger Intensität erzeugt wurden. Die Gesamtlichtintensität der sieben Strahlen war 84% bezüglich der Intensität des eingegebenen Lichts, was die hohe Effizienz der Lichtausnutzung durch die Vorrichtung anzeigt. Falls angenommen wird, daß die Einheitlichkeit der Vielzahl von Strahlen für Toleranzen von bis zu ± 50% der mittleren Intensität der Vielzahl von Strahlen gilt, werden die Entwurfswerte, aufgestellt in Gleichung (11), Variationen über die folgenden Bereiche zulassen: 0,045 < h(1)/p < 0,094 0,193 < h(2)/p 0,243 3,55 < |a| < 4,036 (12)
  • Beispiel 4
  • Eine weitere Version eines Siebenstrahl-Generators mit einer erhöhten Anzahl von Unterteilungen wurde nach den folgenden Spezifikationen entworfen: h(1)/p = 0,018 h(2)/p = 0,83 h(3)/p = 0,172 h(4)/p = 0,227 |a| = 3,569 (Radiant) (13)
  • Ein Experiment wurde durchgeführt, um den Betrieb der Vorrichtung zur Reproduktion mit der in 2 gezeigten Optik zu simulieren. Die Resultate sind in 7 gezeigt. Die vertikale und horizontale Achse in 7 stellen die gleichen Parameter wie in 4 dar. Es ist klar, daß sieben Strahlen gleichförmiger Intensität erzeugt wurden.
  • Die kombinierte Lichtintensität der sieben Strahlen bezüglich der Intensität des eingegebenen Lichts war 70%, was die hohe Effizienz der Lichtausnutzung durch die Vorrichtung anzeigt. Wenn angenommen wird, daß die Einheitlichkeit der Vielzahl von Strahlen für Toleranzen bis zu + 50% der mittleren Intensität der Vielzahl von Strahlen gilt, werden die Entwurfswerte, aufgestellt in Gleichung (13), Variationen über die folgenden Bereiche zulssen: 0,00036 < h(1)/p < 0,03 0,06 < h(2)/p < 0,105 0,149 < h(3)/p < 0,19 2,45 < |a| < 3,84 (14)
  • Beispiel 5
  • Ein Neunstrahl-Generator wurde nach den folgenden Spezifikationen entworfen: h(1)/p = 0,094 h(2)/p = 0,07 h(3)/p = 0,196 h(4)/p = 0,14 |a| = 2,644 (15)
  • Ein Experiment wurde durchgeführt, um den Betrieb der Vorrichtung zur Reproduktion mit der in 2 gezeigten Optik zu simulieren. Die Resultate sind in 8 gezeigt. Die vertikale und horizontale Achse in 8 stellen die gleichen Parameter wie in 4 dar. Neun Strahlen einheitlicher Intensität wurden erzeugt. Die kombinierte Lichtintensität der neuen Strahlen bezüglich der Intensität des eingegebenen Lichts war 76%, was die hohe Effizienz der Lichtbenutzung durch die Vorrichtung anzeigt. Falls angenommen wird, daß die Gleichförmigkeit der Vielzahl von Strahlen für Toleranzen bis zu + 50% der mittleren Intensität der Vielzahl von Strahlen gilt, werden die Entwurfswerte, aufgestellt in Gleichung (15), Variationen über die folgenden Bereiche zulassen: 0,069 < h(1)/p < 0,117 0,048 < h(2)/p < 0,088 0,176 < h(3)/p < 0,22 2,45 < |a| < 2,9 (16)
  • Alle der Vielstrahlerzeugungs-Gittervorrichtungen der oben beschriebenen Ausführungsformen können leicht durch bestehende Techniken hergestellt werden (zum Beispiel Beschichten und Ätzen), wie sie für optische Materialien anwendbar sind. 9 und 10 zeigen den Querschnitt von Gitterstrukturen, die erzeugt wurden durch Beschichtungs- bzw. Ätztechniken. Das in 9 gezeigte Gitter ist gebildet aus einem Beschichtungsmaterial 9, das auf einem Substrat 10 abgeschieden ist. Der Brechungsindex nC des Beschichtungsmaterials und seine Dicke e können in Beziehung gesetzt werden zur Phasendifferenz a (siehe Gleichung (8) und andere) durch Gleichung (17) (siehe unten) und die Dicke e des Beschichtungsmaterials kann vorausbestimmt werden angesichts des Entwurfswerts der Phasendifferenz a: a = (2π/λ) (nC – 1) e (17)
  • Das Substrat kann aus einem Glasmaterial gebildet sein und das Beschichtungsmaterial kann beispielsweise ein MgF2-Material sein. Das in 10 gezeigte Gitter wird durch direktes Ätzen auf einem Substrat 11, wie zum Beispiel einer Glasplatte, gebildet.
  • Die Vielzahl von Strahlen, erzeugt durch den Vielstrahlgenerator nach der vorliegenden Erfindung, kann in diskreter Form, wie gezeigt durch 12, in 11 benutzt werden. Alternativ kann sie so eingestellt werden, daß nebeneinanderliegende Strahlen einander überlappen, wie gezeigt durch 13 in 12. Die in 12 gezeigte Einstellung bietet den Vorteil, daß kreisförmige Strahlen, einfallend auf das Gitter, umgewandelt werden können in einen im wesentlichen rechtwinkligen Strahl, der eine gleichförmige Lichtintensität über einen breiteren Bereich hat.
  • 13 zeigt den Aufbau eines Systems, in dem der Vielstrahlgenerator der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auf eine Laserdruckereinheit angewendet wird. Laserlicht 1, herrührend von einer Laservorrichtung 25, wird gerichtet in den Vielstrahlgenerator, der durch 14 angedeutet ist. Die resultierende Vielzahl von Strahlen wird kollimiert durch eine Linse 3 des schon in bezug auf 1 beschriebenen Typs. Das resultierende parallele Licht wird in eine Vielkanal-Akustooptik-Vorrichtung 26 geleitet, worin sie auf einen schmalen Fleck fokussiert wird. Bei solche einem schmalen Fleck ist die für eine Schallwelle benötigte Zeit, den Fleck zu durchqueren, hinreichend verkürzt, um schnellere optische Modulation zu ermöglichen.
  • Die Struktur der Vielkanal-Akustoopikvorrichtung 26 ist in 14 illustriert. Die Vorrichtung besteht aus einem einzelnen akusto-optischen Medium, wie zum Beispiel einem PbMoO4-Kristall, der ausgerüstet ist mit einer Vielzahl von Wandlern 24 zum Erzielen einer unabhängigen Modulation der Vielzahl eingegebener Strahlen. Genauer ausgedrückt, werden gegenseitig unabhängige elektrische Signale angelegt an die jeweiligen Wandler 24, welche verursachen, daß Schallwellen durch den akusto-optischen Kristall unabhängig voneinander propagieren, so daß die entsprechenden Lichtstrahlen durch Beugung an den Klangwellen moduliert werden.
  • In 13 treibt eine Schaltungseinheit 33 die Vielkanal-Akustooptikvorrichtung 26 an. Das Licht, das hervorgeht aus der Vielkanal-Akustooptikvorrichtung 26, wird fokussiert in Strahlen geeigneten Durchmessers mittels einer Linse 31 und fallen danach auf einen rotierenden polygonalen Spiegel 28. Der Spiegel 28 rotiert in der durch einen Pfeil angedeuteten Richtung, so daß die erzeugte Vielzahl von Strahlen die Oberfläche einer lichtsensitiven Trommel gleichzeitig überstreichen wird. Eine Linse 29 ist vorgesehen, um die Vielzahl von Lichtstrahlen als eine Reihe kleiner Flecken auf der Oberfläche der Trommel 30 zu fokussieren. Ein Fotodetektor 27 ist vorgesehen, um die Vielzahl von Lichtstrahlen zu empfangen, woraufhin er Signale erzeugt, die den jeweiligen Strahlen entsprechen und welche benutzt werden als Synchronsignale für die zugeordneten Strahlen.
  • Die Vielzahl von in die Vielkanal-Akustooptikvorrichtung 26 geleiteten Strahlen werden fokussiert auf eine Reihe kleiner Flecken. Falls der Durchmesser dieser Flecken D ist und der Abstand der Wandler 24 T ist, ist der Wert T/D natürlich größer als 1. Da die Vielzahl von Strahlflecken, welche auf der Oberfläche der lichtsensitiven Trommel 30 ausgebildet ist, sich unter diesem Verhältnis anordnet, wird der Abstand, auf der sich die Flecken anordnen, größer sein als der Fleckdurchmesser. Um zu gewährleisten, daß nichtbeleuchtete Bereiche sich nicht ausbilden werden zwischen Rasterungen durch eine Vielzahl von Strahlen, ist es notwendig, daß die Flecken ausgerichtet werden auf der Oberfläche der lichtsensitiven Trommel 30 unter einem Winkel in bezug auf die Rasterrichtung, wie durch 34 in 15 angedeutet. Um diese Notwendigkeit zu erfüllen, müssen der Vielstrahlgenerator 14 und die Wandler 24 in der Vielkanal-Akustooptikvorrichtung 26 im wesentlichen unter einem Winkel mit der Rotationsachse des polygonalen Spiegels 28 angeordnet sein.
  • Wie auf den vorherigen Seiten beschrieben, kann der Vielstrahlgenerator nach der vorliegenden Erfindung leicht hergestellt werden, da er die Benutzung eines Gitters mit nur zwei Phasenpegeln oder einer einzigen Tiefe zuläßt. Dabei hat er eine große Breite in der Entwurfsmöglichkeit, da die Breite rechtwinkliger Muster, woraus das Gitter zusammengesetzt ist, neu eingestellt werden kann. Weiterhin gewährleistet der Vielstrahlgenerator der vorliegenden Erfindung eine hocheffiziente Ausnutzung des Lichts, während er eine Vielzahl von Strahlen exzellenter Gleichförmigkeit bezüglich ihrer Intensität erzeugt.

Claims (6)

  1. Vielstrahlgenerator mit einem Substrat und einem darauf gebildeten Gitter aus zyklisch mit einem Abstand p wiederholten Referenzphasenmustern, wobei jedes Referenzphasenmuster aus Bereichen konstanten Phasenpegels ungleicher Breite in einer Richtung entlang einer Oberfläche des Substrats besteht, wobei das Gitter nur zwei Phasenpegel hat, wobei der Vielstrahlgenerator drei Lichtstrahlen erzeugt, wobei jedes Referenzphasenmuster bezüglich seiner Mittellinie symmetrisch und in drei Bereiche unterteilt ist, der Abstand h(1) von der Mittellinie zum ersten Phasenpegelsprung die folgende Beziehung erfüllt: 0,126 < h(1)/p < 0,374und der Absolutwert a definiert ist als die Differenz zwischen den zwei Phasenpegeln, die folgende Beziehung erfüllt: 1,5 < |a| < 2,5wobei Vielfache von 2 π zu a addiert oder von a subtrahiert werden können.
  2. Vielstrahlgenerator mit einem Substrat und einem darauf gebildeten Gitter aus zyklisch mit einem Abstand p wiederholten Referenzphasenmustern, wobei jedes der Referenzphasenmuster aus Bereichen konstanten Phasenpegels ungleicher Breite in einer Richtung entlang einer Oberfläche des Substrats besteht, wobei das Gitter nur zwei Phasenpegel hat, wobei der Vielstrahlgenerator fünf Lichtstrahlen erzeugt, wobei jedes Referenzphasenmuster bezüglich seiner Mittelinie symmetrisch und in fünf Bereiche unterteilt ist, der Abstand h(1) von der Mittellinie zum ersten Phasensprung und der Abstand h(2) vom ersten Phasensprung zum zweiten Phasensprung den folgenden Beziehungen genügen: 0,002 < h(1)/p < 0,047 0,293 < h(2)/p < 0,361und der Absolutwert von a definiert ist als Differenz zwischen den zwei Phasenpegeln, die folgende Beziehung erfüllt: 2,235 < |a| < 4,06wobei Vielfache von 2 π addiert werden können zu a oder subtrahiert werden können von a.
  3. Vielstrahlgenerator mit einem Substrat und einem darauf gebildeten Gitter aus zyklisch mit einem Abstand p wiederholten Referenzphasenmustern, wobei jedes Referenzphasenmuster aus Bereichen konstanten Phasenpegels ungleicher Breite in einer Richtung entlang einer Oberfläche des Substrats besteht, wobei das Gitter nur zwei Phasenpegel hat, wobei der Vielstrahlgenerator sieben Lichtstrahlen erzeugt, wobei jedes Referenzphasenmuster bezüglich seiner Mittelinie symmetrisch und in fünf Bereiche unterteilt ist, der Abstand h(1) von der Mittelinie zum ersten Phasensprung und der Abstand h(2) vom ersten zum zweiten Phasensprung, den folgenden Beziehungen genügen: 0,045 < h(1)/p < 0,094 0,193 < h(2)/p < 0,243und der Absolutwert von a definiert ist als die Differenz zwischen den zwei Phasenpegeln, und der folgenden Beziehung genügt: 3,55 < |a| < 4,036wobei Vielfache von 2 π zu a addiert oder von a subtrahiert werden können.
  4. Vielstrahlgenerator mit einem Substrat und einem darauf gebildeten Gitter aus zyklisch mit einem Abstand p wiederholten Referenzphasenmustern, wobei jedes Referenzphasenmuster aus Bereichen konstanten Phasenpegels ungleicher Breite in einer Richtung entlang einer Oberfläche des Substrats besteht, wobei das Gitter nur zwei Phasenpegel hat, wobei der Vielstrahlgenerator sieben Lichtstrahlen erzeugt, wobei jedes Referenzphasenmuster bezüglich seiner Mittellinie symmetrisch und in sieben Bereiche unterteilt ist, der Abstand h(1) von der Mittellinie zum ersten Phasensprung, der Abstand h(2) vom ersten Phasensprung zum zweiten Phasensprung und der Abstand h(3) vom zweiten Phasensprung zum dritten Phasensprung, den folgenden Beziehungen genügen: 0,00036 < h(1)/p < 0,03 0,06 < h(2)/p < 0,105 0,149 < h(3)/p < 0,19und der Absolutwert von a definiert ist als die Differenz zwischen den zwei Phasenpegeln und der folgenden Beziehung genügt: 2,45 < |a| < 3,84wobei Vielfache von 2 π zu a addiert oder von a subtrahiert werden können.
  5. Vielstrahlgenerator mit einem Substrat und einem Gitter aus zyklisch mit einem Abstand p wiederholten Referenzphasenmustern, wobei jedes der Referenzphasenmuster aus Bereichen konstanten Phasenpegels ungleicher Breite in einer Richtung entlang einer Oberfläche des Substrats besteht, wobei das Gitter nur zwei Phasenpegel hat, wobei der Vielstrahlgenerator neun Lichtstrahlen erzeugt, wobei jedes Referenzphasenmuster bezüglich seiner Mittelinie symmetrisch und in sieben Bereiche unterteilt ist, der Abstand h(1) von der Mittellinie zum ersten Phasensprung, der Abstand h(2) vom ersten zum zweiten Phasensprung und der Abstand h(3) vom zweiten zum dritten Phasensprung, den folgenden Bedingungen genügen: 0,069 < h(1)/p < 0,117 0,048 < h(2)/p < 0,088 0,176 < h(3)/p < 0,22 der Absolutwert von a definiert ist als die Differenz zwischen den zwei Phasenpegeln und der folgenden Beziehung genügt: 2,45 < |a| < 2,9wobei Vielfache von 2 π zu a addiert oder von a subtrahiert werden können.
  6. Licht-Abtastvorrichtung mit einem Gitter (14), wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: eine Lichtquelle (25) zum Erzeugen eines Lichtstrahls (1); eine Linse (3); ein Gitter (14), das an dem vorderen Brennpunkt der Linse (3) vorgesehen ist, zum Aufteilen eines einfallenden Lichtstrahls in eine Vielzahl von Strahlen; einen Vielkanal-Lichtmodulator (26) zum unabhängigen Modulieren der durch das Gitter (14) erzeugten vielen Strahlen; eine Licht-Abtasteinheit (28) zum Abtasten der von dem Vielkanal-Lichtmodulator (26) ausgesendeten vielen Strahlen auf ein abzutastendes Medium (30); und eine weitere Linse (29) zum Fokussieren der vielen Strahlen als eine Lichtfleck-Reihe auf das abzutastende Medium (30); wobei die Richtung der Lichtfleck-Reihe in bezug auf die Richtung der Abtastung durch die Licht-Abtasteinheit (28) zum Abtasten der Lichtfleck-Reihe schräg eingestellt ist.
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