DE4232077A1 - Linearführung - Google Patents

Linearführung

Info

Publication number
DE4232077A1
DE4232077A1 DE4232077A DE4232077A DE4232077A1 DE 4232077 A1 DE4232077 A1 DE 4232077A1 DE 4232077 A DE4232077 A DE 4232077A DE 4232077 A DE4232077 A DE 4232077A DE 4232077 A1 DE4232077 A1 DE 4232077A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
linear guide
spring
joints
axes
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE4232077A
Other languages
English (en)
Inventor
Bruno Schweizer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE4232077A priority Critical patent/DE4232077A1/de
Priority to US08/123,378 priority patent/US5438451A/en
Publication of DE4232077A1 publication Critical patent/DE4232077A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/12Arrangements for adjusting play
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B23Q1/36Springs
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/26Stages; Adjusting means therefor
    • GPHYSICS
    • G12INSTRUMENT DETAILS
    • G12BCONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B5/00Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Linearführung mit einem Gestell, einem Geräteteil und mit Federgelenken zwischen Gestell und Geräteteil.
Linearführungen mit Federgelenken werden in der Feinmechanik seit langem verwendet, wobei Blattfedern und Membranfedern vorzugsweise verwendet werden. Vorteilhafte Anwendung findet eine erfindungsgemäße Linearführung z. B. in einem linear feinverstellbaren Tisch für Mikroskope nach der am gleichen Tag eingereichten Patentanmeldung des gleichen Erfinders und Anmelders mit dem Titel "Linear feinverstellbarer Tisch".
Eine gattungsgemäße Linearführung mit Blattfedern ist aus DE 31 43 092 C2 bekannt. Die z. B. aus Archiv für Technisches Messen V 170-4 Mai 1949 bekannten Parallelogramm-Blattfeder-Führungsgelenke werden in einem Vierkant- oder Zylinderrohr angeordnet. Die dünnen Blattfederstege stellen sich einer einfachen Herstellung mit herkömmlicher Zerspanungstechnik entgegen.
Es ist die Aufgabe der Erfindung eine einfach herzustellende gattungsgemäße Linearführung anzugeben, die orthogonal zur Führungsrichtung versatz- und kippstabil in allen Richtungen ist. Auf Blattfederparallelogramme soll verzichtet werden.
Die Lösung gelingt bei einer gattungsgemäßen Linearführung dadurch, daß die Federgelenke aus in Reihe geschalteten elastischen Drehgelenken mit jeweils parallelen Achsen und aus Trägern bestehen, und daß zwischen Gestell und Geräteteil mehrere Federgelenke, deren Achsen einen erheblichen Winkel untereinander bilden, parallel geschaltet sind.
Vorteilhaft ist es, wenn der Winkel zwischen den Achsen etwa 90° beträgt, wenn drei elastische Drehgelenke in Reihe geschaltet sind, wenn die Drehgelenke als schmale lange Stege ausgeführt und die Federgelenke insgesamt einstückig sind.
Eine besonders kompakte Bauform, die z. B. zum Führen von Mikroskoptischen gemäß obengenannter gleichzeitiger Patentanmeldung geeignet ist, ergibt sich durch koaxiale Anordnung von zwei Federgelenken mit gekreuzten Achsen.
Eine weitere vorteilhafte Anordnung der zwei Federgelenke ergibt sich nach Anspruch 7, wenn sie in gekreuzter Anordnung zwischen dem Geräteteil und zwei gegenüberliegenden Teilen des Gestelles angeordnet sind. Überraschend wurde gefunden, daß zwei Federgelenke, die einzeln nicht kippstabil sind und auch Versatz zulassen, sich in solcher Anordnung gegenseitig so beeinflussen, daß das Geräteteil kipp- und versatzfrei linear geführt wird. Wichtig ist dabei, daß die zwischen die einzelnen elastischen Drehgelenke der Federgelenke geschalteten Träger torsionssteif sind.
Näher erläutert wird die Erfindung mit den in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen.
Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht eines ersten Beispiels;
Fig. 2a zeigt einen Schnitt durch das erste Beispiel;
Fig. 2b zeigt einen dazu parallelen Schnitt durch das erste Beispiel;
Fig. 3 zeigt eine Frontansicht des ersten Beispiels;
Fig. 4 zeigt einen Längsschnitt eines zweiten Beispiels;
Fig. 5 zeigt einen Querschnitt des zweiten Beispiels;
Fig. 6 zeigt einen zu Fig. 4 orthogonalen Längsschnitt des zweiten Beispiels.
Fig. 1 zeigt in Seitenansicht eine Linearführung mit einem Gestell (1) mit zwei gabelförmig vorspringenden Teilen (11, 12), zwischen denen ein Geräteteil (2) angeordnet ist. Das Geräteteil (2) ist beidseitig über Federgelenke (4, 5) mit den vorspringenden Teilen (11, 12) des Gestells (1) verbunden. Jedes Federgelenk (4, 5) besteht aus drei parallelen Biegefedern (41, 42, 43) bzw. (51, 52, 53) welche an entgegengesetzten Enden steifer Träger (44, 45) bzw. (54, 55) und dem Gestell (1) bzw. dem Geräteteil (2) in Zickzack-Anordnung angeordnet sind.
Die Schnitte Fig. 2a durch die Biegefeder (42) des ersten Federgelenks (4) und Fig. 2b durch die Biegefeder (52) des zweiten Federgelenks (5) sowie die Vorderansicht der Fig. 3 verdeutlichen den Aufbau, bei dem die Biegefedern (41, 42, 43) des ersten Federgelenks (4) in Achsrichtung (y) und die Biegefedern (51, 52, 53) des zweiten Federgelenks (5) in Achsrichtung (x) angeordnet sind, so daß zwischen den Achsen (y, x) der beiden Federgelenke (4, 5) ein Winkel von 90° eingeschlossen wird. Die Biegefedern (41, 42, 43) bzw. (51, 52, 53) sind als schmale lange Stege ausgeführt, die nur gegenüber Biegung um ihre Längsachse (y, x) weich sind. Die Träger (44, 45) sind massive quaderförmige Platten.
Das Geräteteil ist beispielsweise als Zeiger oder Taster dargestellt.
Wichtig ist, daß die Biegefedern (41, 42, 43; 51, 52, 53) nur um ihre Achsen (y, x) drehbar sind und die Träger (44, 45; 54, 55) verwindungssteif sind, so daß die Parallelität der Achsen der Biegefedern (41, 42, 43) bzw. (51, 52, 53) untereinander gewährleistet ist, bei jeglicher zulässiger Belastung.
Ohne das zweite Federgelenk (5) ermöglicht das so gebaute Federgelenk (4) eine lineare Verschiebung des Geräteteils (2) in z-Richtung, also nach unten oder oben auf der Zeichnung, ohne zwangsläufigen Seitenversatz. Es läßt aber Seitenversatz des Geräteteils (2) nach links und rechts sowie das Kippen um eine zur Zeichenebene senkrechte Achse (y) zu. Steif ist das Federgelenk (4) gegen Parallelversatz senkrecht zur Zeichenebene (y-Richtung).
Das zweite Federgelenk (5) hat solo die gleichen Eigenschaften wie das erste Federgelenk (4) allerdings durch die um 90° verdrehte Anordnung mit Vertauschung der x- und y-Achse. Beiden gemeinsam ist nur der Freiheitsgrad Linearverschiebung in z-Richtung. Die Montage der Federgelenke (4) und (5) in Parallelschaltung zwischen Gestell (1) und Geräteteil (2) verkoppelt beide starr, so daß eine Bewegung des Geräteteils (2) nur noch im beiden Federgelenken (4, 5) gemeinsamen Freiheitsgrad möglich ist und die Linearführung erreicht ist.
Die Ausführung der Federgelenke (4, 5) mit genau drei elastischen Drehgelenken (41, 42, 43; 51, 52, 53) ist optimal, da so mit minimaler Gelenkzahl die Linearverschiebung ohne Seitenversatz möglich ist. Der Seitenversatz, der aus der Kippung der Träger (44, 45) bzw. (54, 55) zwangsläufig folgt, wird vom mittleren Gelenk (42, 52) ausgeführt. Für größeren linearen Hub der Linearführung kann jedoch auch die Anordnung von mehr als drei elastischen Drehgelenken sinnvoll sein.
Ein zweites Ausführungsbeispiel ist in einem Längsschnitt in Fig. 4, im Querschnitt in Fig. 5 und in einem zweiten, zum ersten orthogonalen, Längsschnitt in Fig. 6 dargestellt. Dieses Ausführungsbeispiel ist auch in der obengenannten gleichzeitigen Patenanmeldung beschrieben.
Das plattenförmige Gestell (38) ist auf einer Grundplatte (31) angeordnet. Das Geräteteil (32) ist als Tisch ausgebildet.
Ein erstes Federgelenk (36) ist koaxial von einem zweiten Federgelenk (37) umgeben. Mittig ist ein Linearantrieb (35), z. B. ein Piezostellelement, angeordnet.
Die elastischen Drehgelenke (33a, b, c) des äußeren Federgelenks (37) und die elastischen Drehgelenke (34a, b, c) des inneren Federgelenks (36) sind um 90° gegeneinander verdreht. Untereinander verbunden sind die elastischen Drehgelenke (33a, b, c) bzw. (34a, b, c) jeweils mit starren Platten, wie im ersten Beispiel, die wegen der koaxialen Anordnung ringförmig ausgebildet sind. Die Federgelenke (37, 36) können einfach aus Metallrohren durch Sägen oder Fräsen, wobei die elastischen Drehgelenke (33a, b, c, 34a, b, c) als dünne Stege stehen bleiben, aus einem Stück hergestellt werden.
Andere erfindungsgemäße Anordnungen sind z. B. mit mehr Federgelenken und mit von 90° abweichendem Winkel zwischen den Achsen möglich, so können drei Federgelenke in der Art des Federgelenks (4) der Fig. 1 im Dreieck auf einem ebenen Gestell nebeneinander angeordnet werden, wobei der Winkel zwischen den Achsen 60° beträgt.
Auch zwei Federgelenke können mit einem anderen Winkel als 90° zwischen den Achsen verwendet werden, wobei aber die Steifigkeit der Linearführung asymmetrisch wird und die gegenseitige Versperrung der Federgelenke bei gegen Null gehendem Winkel verschwindet.

Claims (7)

1. Linearführung mit einem Gestell (1) , einem Geräteteil (2) und mit Federgelenken (4, 5), dadurch gekennzeichnet, daß die Federgelenke (4, 5) aus in Reihe geschalteten elastischen Drehgelenken (41, 42, 43; 51, 52, 53) mit jeweils parallelen Achsen (x, y) und aus Trägern (44, 45; 54, 55) bestehen, und daß zwischen Gestell (1) und Geräteteil (2) mehrere Federgelenke (4, 5) , deren Achsen (x, y) einen erheblichen Winkel untereinander bilden, parallel geschaltet sind.
2. Linearführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Federgelenke (4, 5) vorgesehen sind und der Winkel zwischen den Achsen (x, y) ungefähr 90° beträgt.
3. Linearführung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß drei elastische Drehgelenke (41-43; 51-53) pro Federgelenk (4, 5) in Reihe geschaltet sind.
4. Linearführung nach mindestens einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehgelenke (41-43; 51-53) als schmale lange Stege zwischen den Trägern (44, 45; 54, 55) bzw. zwischen Trägern (44, 45; 54, 55) und Gestell (1) bzw. Geräteteil (2) ausgeführt sind.
5. Linearführung nach mindestens einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Federgelenke (4, 5) einstückig ausgebildet sind.
6. Linearführung nach mindestens einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Federgelenke (36, 37) koaxial angeordnet sind (Fig. 4).
7. Linearführung nach mindestens einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß das Gestell (1) zwei gabelförmig vorspringende Teile (11, 12) aufweist, zwischen denen das Geräteteil (2) angeordnet ist, und daß das Geräteteil (2) auf zwei gegenüberliegenden Seiten über je ein Federgelenk (4, 5) mit den vorspringenden Teilen (11, 12) des Gestells (1) verbunden ist, und daß die Achsen (x, y) der zwei Federgelenke (4, 5) einen erheblichen Winkel untereinander bilden.
DE4232077A 1992-09-25 1992-09-25 Linearführung Ceased DE4232077A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4232077A DE4232077A1 (de) 1992-09-25 1992-09-25 Linearführung
US08/123,378 US5438451A (en) 1992-09-25 1993-09-17 Linearly fine-adjustable stage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4232077A DE4232077A1 (de) 1992-09-25 1992-09-25 Linearführung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4232077A1 true DE4232077A1 (de) 1994-03-31

Family

ID=6468777

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4232077A Ceased DE4232077A1 (de) 1992-09-25 1992-09-25 Linearführung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4232077A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4437195A1 (de) * 1994-10-18 1996-04-25 Schaeffler Waelzlager Kg Elastisches Zwischenstück für eine Profilschienenführung
WO1998008126A1 (de) * 1996-08-23 1998-02-26 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Feinfokussiertisch
DE10350574A1 (de) * 2003-10-30 2005-06-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Festkörpergelenkführungen
EP1605174A2 (de) * 2004-06-09 2005-12-14 Zimmer, Günther Stephan Elastische Lagerung einer Brems- und Klammeinrichtung
US10897812B2 (en) 2018-12-25 2021-01-19 AT&S (Chongqing) Company Limited Component carrier having a component shielding and method of manufacturing the same

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4437195A1 (de) * 1994-10-18 1996-04-25 Schaeffler Waelzlager Kg Elastisches Zwischenstück für eine Profilschienenführung
DE4437195C2 (de) * 1994-10-18 2002-03-21 Schaeffler Waelzlager Ohg Elastisches Zwischenstück für eine Profilschienenführung
WO1998008126A1 (de) * 1996-08-23 1998-02-26 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Feinfokussiertisch
US6137627A (en) * 1996-08-23 2000-10-24 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Fine focusing table
DE10350574A1 (de) * 2003-10-30 2005-06-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Festkörpergelenkführungen
EP1605174A2 (de) * 2004-06-09 2005-12-14 Zimmer, Günther Stephan Elastische Lagerung einer Brems- und Klammeinrichtung
DE102004027984A1 (de) * 2004-06-09 2006-02-02 Zimmer, Günther Elastische Lagerung einer Brems- und Klemmeinrichtung
EP1605174A3 (de) * 2004-06-09 2010-03-31 Zimmer, Günther Stephan Elastische Lagerung einer Brems- und Klammeinrichtung
DE102004027984B4 (de) * 2004-06-09 2011-04-28 Zimmer, Günther Elastische Lagerung einer Brems- und Klemmeinrichtung
US10897812B2 (en) 2018-12-25 2021-01-19 AT&S (Chongqing) Company Limited Component carrier having a component shielding and method of manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0499943B1 (de) Prüfvorrichtung zur Durchführung von 4-Punkt-Biegewechselbeanspruchungsversuchen
DE2502619C3 (de) Bausatz zum Aufbau eines zur Aufnahme von Instrumenten, insbesondere Laborinstrumenten, bestimmten Gestells
EP0710971A1 (de) Mikromechanisches Relais
DE2835693C3 (de)
DE3804242A1 (de) Vorrichtung zum praezisionseinstellen der winkellage optischer elemente
WO1999008832A1 (de) Vorrichtung zum bewegen und positionieren eines gegenstandes in einer ebene
DE4232077A1 (de) Linearführung
CH663841A5 (de) Zahnmesstaster.
DE3234618C2 (de) Hebelgetriebe
DE2751207A1 (de) Kreuztisch fuer mikroskope
DE2946989C3 (de) Koaxialer Richtungskoppler
DE1447344B2 (de) Mechanismus zur Verstellung eines Ob jekttragers um geringe Strecken in einer vorgegebenen Verstellrichtung
DE10244850A1 (de) Einstellbares Pinhole
DE60222777T2 (de) Vertikal-feinbewegungsmechanismus eines mikroskops
DE3301658A1 (de) Mechanische einstellvorrichtung
DE4405501C1 (de) Piezoelektrische Verstellvorrichtung
EP0779126A1 (de) Werkzeugmaschine mit mehreren Antriebseinheiten
EP0447918B1 (de) Toleranzausgleichsvorrichtung
DE19539581B4 (de) Universalgelenk mit Feder-Viergelenken
DE3120644C2 (de) Justiereinrichtung für eine Magnetsonde
DE3314483C2 (de) Lünette mit Mitteln zum Ausgleich der elastischen Durchbiegung der Halteglieder
DE2310992C3 (de) Antriebsvorrichtung für Schlitten an Werkzeugmaschinen mit einem Schraubspindeltrieb
DE19500451A1 (de) Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE286474C (de)
WO2002046819A2 (de) Kippspiegeleinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8131 Rejection