DE4140831A1

DE4140831A1 - Feuchtigkeitssensor

Info

Publication number: DE4140831A1
Application number: DE19914140831
Authority: DE
Inventors: Roland Wagner
Original assignee: BERGHOF SENSORIK GmbH
Current assignee: BERGHOF SENSORIK GmbH
Priority date: 1991-12-11
Filing date: 1991-12-11
Publication date: 1993-07-08
Also published as: WO1993012418A2; WO1993012418A3; EP0616691A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Feuchtigkeitssensor, der auf der Basis der Leitfähigkeit eines elektrischen Wider standes arbeitet, d. h. bei Änderung der Feuchtigkeit des zu analysierenden Stoffes ändert sich der elektrische Widerstand des Feuchtigkeitssensor. Insbesondere ist dieser Feuchtig keitssensor zur Messung der Feuchtigkeit eines Gases ge eignet.

Derartige Feuchtigkeitssensoren bestehen im allgemeinen aus einem Elektrodenpaar, das auf der Oberfläche eines isolieren den Trägers aufgebracht ist. Wenn sich nun die Feuchtigkeit zwischen dem Elektrodenpaar niederschlägt, so wird dies an hand einer Änderung des Stromes oder der Impedanz festge stellt. Bei diesem Typ des Feuchtigkeitssensors wird die Eigenschaft mancher Stoffe ausgenutzt, die bei Aufnahme von Feuchte die elektrische Leitfähigkeit verändern. Sie nehmen dabei aus dem sie umgebenden Meßgas Feuchte auf, bis die Was serdampfpartialdrücke im Gas und in der Leitfähigkeitsschicht gleich sind und geben bei sinkender Feuchte entsprechend Was serdampf an die Legierung ab.

In der Vergangenheit wurden für die Leitfähigkeits-Feuchte fühler meist zwei nah beieinander liegende, meanderförmige, flächige Elektroden verwendet, die auf einer isolierenden Oberfläche aufgebracht waren. Diese Oberfläche wurde mit einer hygroskopischen Elektrolytschicht präpariert, deren Leitfähigkeit sich mit der Gleichgewichtsfeuchte ändert. Diese Elektrolytschicht wurde durch Einwirken von zuviel oder zuwenig Feuchte leicht irreversibel beschädigt.

In jüngerer Zeit wurden daher verschiedentlich Leitfähig keitshygrometer mit Halbleiterfühlern verwendet, deren spezi fischer Widerstand sich mit der Gleichgewichtsfeuchte ändert. Diese Leitfähigkeitshygrometer haben jedoch den entscheidenden Nachteil, stark temperaturabhängig zu sein und müssen deshalb mit einer Temperaturkompensation ausgerüstet werden. Die er reichbare Meßgenauigkeit liegt bei etwa 3% relativer Feuchte.

Andere Feuchtigkeitssensoren, die einen Metalloxydfilm oder einen Polyelektrolytfilm als Feuchte aufnehmendes Element enthalten, weisen eine exponenzielle Widerstandsänderung im Ansprechen auf die relative Luftfeuchtigkeit in dem zu unter suchenden Gasen auf. Feuchtigkeitssensoren, die ein Metall oxyd enthalten, haben eine verhältnismäßig gute Hitzebestän digkeit und sprechen schnell an, besitzen aber einen hohen Temperaturwiderstandskoeffizienten, so daß auch die oben er wähnte Temperaturkompensation bei Präzisionsmessungen berück sichtigt werden muß.

Derartige Feuchtigkeitssensoren haben in der Regel einen viel zu kleinen Gaswirkungsquerschnitt, so daß die Verweilzeit der einzelnen Gasmoleküle an der Reaktionsschicht nur relativ kurz verweilt, so daß eine genaue Aussage bezüglich der Feuchtigkeit des Gases nur schlecht möglich ist. Ferner sind bei den oben beschriebenen Feuchtigkeitssensoren die Oberflä chen, die mit dem zu untersuchenden Gas in Berührung kommen, verhältnismäßig klein, was sich ebenfalls auf die Genauigkeit der Feuchtigkeitsbestimmung des Gases auswirkt.

Daher ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Feuch tigkeitssensor bereitzustellen, der in der Lage ist, die Ver weilzeit des Gases an und in dem Sensor groß werden zu lassen und der eine hohe Ansprechwahrscheinlichkeit bei geringen Feuchtigkeitsgraden des zu untersuchenden Gases aufweist.

Diese Aufgabe wird gemäß den kennzeichnenden Teilen der unab hängigen Patentansprüche gelöst.

Gemäß des Oberbegriffs des unabhängigen Sachanspruchs besteht der Feuchtigkeitssensor aus einem rohrförmigen Material mit einem Gaseintritt und einem Gasaustritt und einem mittig im rohrförmigen Material befindlichen Dorn, auf dem sich minde stens zwei elektrisch leitende Wicklungen befinden. Dieser Feuchtigkeitssensor zeichnet sich dadurch aus, daß die ein zelnen Wicklungen elektrisch mit minimalen Zwischenräumen voneinander getrennt sind; auf die Wicklungen eine Phosphor pentoxyd (P₂O₅) aufgebracht ist, die auch die Zwischenräume der Wicklungen ausfüllt, und die Abstände zwischen dem rohr förmigen Material und dem mittigen Dorn mit den auf gebrachten Wicklungen minimal ist, um die Verweilzeit des zu untersu chenden Gases maximal zu gestalten.

Das Verfahren zur Herstellung des oben beschriebenen Feuch tigkeitssensors zur Messung der Feuchtigkeit eines zu unter suchenden Gases in einem U-förmigen Rohr mit einem Gasein- und -austritt, wobei sich in den Rohrschenkeln mittig ein Dorn befindet, auf dem mindestens zwei elektrisch leitende Wicklungen aufgebracht werden, die elektrisch durch minimale Zwischenräume voneinander getrennt sind, teilt sich in fol gende kennzeichnende Verfahrensschritte auf:

- Durchspülen des Feuchtigkeitssensors mit 65%iger Salpeter säure (HNO₃) mit einer Lösungsmenge von 150 ml;
- Nachreinigen und Trocknen der Zelle mit 150 ml Aceton;
- Durchströmen einer Menge von 150 ml eines Gemisches aus Aceton und Phosphorsäure (H₃PO₄) im Verhältnis 10 : 1;
- Durchströmen von trockener Luft bei gleichzeitigem Anlagen einer elektrischen Gleichspannung von 80 V.

Besonders günstig wirkt sich die Ausführung des oben be schriebenen Feuchtigkeitssensors aus, wenn die elektrisch leitenden Wicklungen aus Reinst-Platin gefertigt sind. Erfin dungsgemäß wirkt sich auch vorteilhaft der Umstand bei der Ausführung des oben beschriebenen Feuchtigkeitssensors aus, daß die Abstände zwischen den einzelnen Windungen auf dem isolierenden Dorn in der Mitte des rohrförmigen Materials kleiner als 100 µm ist.

Vorteilhaft wirkt sich auch die Tatsache aus, daß die einen Enden der auf einem mittigen Quarzglasstab befindlichen Wick lungen auf der dem Gasein- und -austritt gegenüberliegenden Seite gasdicht aus dem rohrförmigen Material herausgeführt wird.

Die Zentrierung des mittigen Dorns in dem rohrförmigen Mate rial wird einerseits dadurch erzielt, daß an dem einen Ende des mittigen Dorns Haltepunkte angebracht sind, die den Dorn von der Innenwand des rohrförmigen Materials beabstandet und andererseits auf der gegenüberliegenden Seite der mittige Dorn durch eine Quetschstelle gehaltert ist.

Als besonders vorteilhaft hat sich auch herausgestellt, die Spannung, die an die Elektroden gelegt wird, so zu wählen, daß sie in der Nähe von 80 V liegt.

Ein besonders wichtiger erfindungswesentlicher Punkt wird darin gesehen, daß die Phosphorpentoxyd-Schicht homogen auf die Wicklungen auf den mittigen Dorn aufgebracht wird und auch die Zwischenräume zwischen den einzelnen Wicklungen ho mogen mit der Phosphorpentoxyd-Schicht ausgefüllt sind.

Als günstig wird Quarzglas für die Verwendung sowohl des rohrförmigen Materials als auch für den mittigen Dorn angese hen.

Zur Erzielung der oben genannten Vorteile erscheint das oben beschriebene Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors als besonders vorteilhaft.

Weitere Vorteile und Ausführungsformen der vorliegenden Er findung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Im nun Folgenden wird die vorliegende Erfindung zum besseren Verständnis anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zei gen:

Fig. 1 einen erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensor im Längsschnitt;

Fig. 2 die äußere Form des Aufbaus des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors aus zwei rohrförmigen Materia lien, die durch ein rohrförmiges Zwischenstück miteinander verbunden sind;

Fig. 3 einen Querschnitt durch einen Schenkel des U-förmi gen Feuchtigkeitssensors;

Fig. 4 eine vergrößerte Längsschnittansicht eines Schen kels des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors.

In Fig. 1 ist der erfindungsgemäße Feuchtigkeitssensor darge stellt. Dieser Feuchtigkeitssensor besteht aus zwei rohrför migen Schenkeln 10 und 11, die eine Länge von etwa 120 bis 130 mm aufweisen und durch ein rohrförmiges Verbindungsstück 12 zu einem U-Rohr bzw. zu einer kommunizierenden Röhre ver bunden sind. Das Material, sowohl der beiden Schenkel 10 und 11 als auch das Verbindungsstück 12, ist zweckmäßigerweise aus Quarzglas herzustellen, da dieses eine verhältnismäßig große Hitzebeständigkeit aufweist und der temperaturabhängige Ausdehnungskoeffizient verhältnismäßig gering ist. Außerdem ist es durchsichtig, was für manche Versuchsanordnungen unbe dingt erforderlich ist. Die Quarzglaskapillare, die die Schenkel des U-Rohres darstellen, sind auf der einen Seite geöffnet und auf der gegenüberliegenden Seite 7 verschlossen. An einer der Öffnungen (1, 2) wird ein zu untersuchender Trä gergasstrom angeschlossen und verläßt auf der anderen Seite die kommunizierende Röhre, d. h. im vorliegenden Fall durch Öffnung 2 des anderen Schenkels wieder das U-Rohr. Dabei ist es gleichgültig, an welcher Stelle die Gaszuführung bzw. der Gasaustritt angeschlossen wird. Es ist also freigestellt, welche Seite dem Gaseintritt 1 bzw. dem Gasaustritt 2 dient.

Innerhalb der Rohrschenkel 10 und 11 ist jeweils mittig ein Dorn 3 angebracht, der zweckmäßigerweise ebenfalls aus Quarz glas besteht. Dieser Dorn 3 erstreckt sich fast über die ge samte Schenkellänge, so daß im wesentlichen der Innendurch messer der rohrförmigen Schenkel durch den Dorn 3 ausgefüllt ist. Auf diesem Dorn 3 befinden sich zwei elektrisch vonein ander getrennte Platinwicklungen 4, die sich ebenfalls über die gesamte Dornlänge erstrecken, jedoch an den Gasöffnungen nicht miteinander verbunden sind. Somit stellen diese beiden Wicklungen jeweils eine Elektrode dar, an die eine Spannung angelegt werden kann. Die anderen Enden der beiden Elektroden werden auf der gegenüberliegenden Seite 7 der rohrförmigen Quarzglaskapillare eines jeden Schenkels gasdicht aus dem Quarzglasmaterial herausgeführt, d. h. diese Enden 7 werden mit den Elektrodenenden 6 verschmolzen. Im vorliegenden Falle sind demzufolge außerhalb der Feuchtezelle 4 Anschlußdrähte vorhanden, die für den elektrischen Anschluß verwendet werden können.

Der wirksame effektive Gasquerschnitt wird von dem Zwischen raum zwischen dem Dorn 3 und der Schenkelrohrwand 5 bestimmt. Genauer gesagt durch den Abstand zwischen den Wicklungen 4 mit der darauf befindlichen Phosphoroxyd-Schicht und der Kapillarwand 5. Für die Ansprechwahrscheinlichkeit bzw. die Empfindlichkeit des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors ist es von außerordentlicher Bedeutung, den wirksamen Gasquerschnitt minimal zu gestalten, damit das Gas bzw. die hier enthaltene Feuchtigkeit die Meßwicklungen genügend lange und intensiv umspült. Dadurch wird eine Steigerung der Empfindlichkeit erzielt, da daß zu untersuchende Gas ge zwungen wird, sich lange an dem Sondenmaterial zu befinden. Entscheidend für die Empfindlichkeit ist außerdem eine verhältnismäßig lange Wegstrecke, die bei herkömmlichen Feuchtigkeitsmeßsonden im allgemeinen nicht gegeben ist. Durch die U-förmige Anordnung der beiden Quarzglaskapillare wird das Gas durch die beiden Schenkel 10, 11 hindurchgeleitet, wobei der wirksame Gasquerschnitt über die gesamte Schenkellänge konstant bleibt.

Ein sehr wichtiges Element für das ordnungsgemäße Funktionie ren des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors ist die Zen trierung bzw. Halterung des nicht leitenden Dorns 3 in der Mitte der Quarzglaskapillare bzw. der Schenkel 10 und 11. Dies geschieht einerseits durch zwei Haltepunkte 8 an dem der Verbindung 12 zwischen den Schenkeln gelegenen Enden des Dorns, sowie durch Quetschstellen 9 der Schenkel 10, 11 auf der gegenüberliegenden Seite in der Nähe der Ein- und Aus tritte 1, 2 der kommunizierenden Röhre.

Die Wicklungen 4 bestehen zweckmäßigerweise aus Reinst- Platinbändchen mit den Abmessungen 0,1×0,014 mm, die mit einer gewissen Steigung auf den Dorn 3 gewickelt sind. Die Reinst-Platinbänder werden bei einer Zweifachwicklung neben einander auf den Dorn 3 in einem gewissen Abstand, der klei ner als 100 µm ist, aufgebracht. Damit befinden sich auf einem Dorn 3 zwei Wicklungen, deren Windungen sich jeweils miteinander abwechseln, d. h. zunächst erscheint die Wicklung 1, dann die Wicklung 2, dann die Wicklung 1, dann wieder die Wicklung 2 usw.

Von entscheidender Bedeutung ist hierbei, daß einerseits die zwei Wicklungen keinen elektrischen Kontakt an irgendeiner Stelle auf dem Quarzglas-Dorn 3 haben und andererseits die Abstände zweier sich ablösender Windungen so klein wie mög lich gehalten werden.

Diese so erhaltenen vier Platinwicklungen 4, die alle elek trisch neutral zueinander angebracht sind, werden am anderen Ende der Gaszuführung bzw. Gasaustritt, wie bereits erwähnt, aus dem Quarzmaterial herausgeführt und gasdicht zugeschmol zen.

In Fig. 2 wird noch einmal der äußere Aufbau des Feuch tigkeitssensors gezeigt. Die mit 10 und 11 bezeichneten Teile stellen die beiden Schenkel des U-Rohres dar, die durch ein rohrförmiges Zwischenstück 12 verbunden sind. Die Gesamtlänge des Feuchtigkeitssensors beträgt in etwa 130 mm. Der Abstand der beiden Schenkel 10 und 11 des U-Rohres kann zwischen 15 und 20 mm liegen. Der Durchmesser der Schenkel 10, 11 wurde im vorliegenden Fall mit 3,2 mm gewählt. Für die Herstellung ist es besonders wichtig, daß das rohrförmige Verbindungs stück 12 etwa bei einem Fünftel der Gesamtlänge des rohrför migen Materials der Schenkel 10 und 11 angebracht ist.

In Fig. 3 wird der Querschnitt eines Schenkels 10 oder 11 ge zeigt. In der Mitte befindet sich der Quarzglas-Dorn 3, auf den bereits die Platinwicklung aufgebracht ist. Die Gesamt schicht 13 besteht also aus einem bzw. zwei Platinwicklungen und einem Überzug aus Phosphorpentoxyd (P₂O₅), das mit dem Gaswirkungsquerschnitt 14 in Berührung kommt. Der Gaswir kungsquerschnitt 14 wird einerseits durch die Innenwand der Quarzglaskapillare 5 und andererseits durch die Phosphorpent oxyd-Schicht begrenzt. Dieser Gaswirkungsquerschnitt sollte nach Möglichkeit sehr klein sein, damit die Strömungsge schwindigkeit des zu messenden Gases sehr klein wird, so daß die Verweilzeit des Gases groß wird.

In Fig. 4 ist ein vergrößerter Längsschnitt eines Schenkels 10 oder 11 des U-Rohres ersichtlich. In dieser Zeichnung ist deutlich zu erkennen, daß die Wicklungen 4 auf dem Quarzglas- Dorn 3 mit einer gewissen Steigung aufgewickelt sind, wobei die Zwischenräume zwischen den einzelnen Wicklungen 4 durch weiße Striche gekennzeichnet sind. Ferner sind die zur Halte rung des Dorns 3 vorgesehenen Quetschstellen 9 in einem Schenkel des U-Rohres deutlich zu erkennen. Die Wickellänge auf dem Dorn 3 liegt im vorliegenden Fall zwischen 80 und 100 mm. Die genaue Materialangabe des Dorns 3 ist N16B, der einen Durchmesser von 1,5 mm aufweist.

Wie oben bereits erwähnt, wird für die Beschichtung der Wick lungen 4 ein Phosphorpentoxyd (P₂O₅) herangezogen, was als äußerst hygroskopische Substanz bekannt ist. Die elektrische Leitfähigkeit des Phosphorpentoxyds ist im trockenen Zustand extrem klein und im feuchten Zustand extrem groß. Das Phos phorpentoxyd wird zwischen den jeweiligen Platinbindungen mit einem speziellen erfindungsgemäßen Verfahren aufgebracht und zwar in der Art und Weise, daß eine homogene Bedeckung über die gesamte Schenkellänge gewährleistet ist. An die einzelnen elektrischen Anschlüsse, d. h. an die einen Enden der Elektro den wird eine Spannung von 80 V Gleichstrom angeschlossen.

Die Beschichtung der Wicklungen erfolgt in verschiedenen Ver fahrensschritten. Zunächst wird mit einem geeigneten Flüssig keitstransportsystem (Pumpe) die gesamte Meßzelle mit 65% iger HNO₃ (Salpetersäure) durchspült. Die dabei verwendete Lösungsmenge beträgt 150 ml. Danach wird die Zelle mit dem Lösungsmittel Aceton nachgereinigt und getrocknet. Die Lösungsmenge des Acetons beträgt ebenfalls 150 ml. Anschlie ßend wird ein Gemisch im Verhältnis 10 : 1 von Aceton und Phos phorsäure hergestellt und durch die Meßzelle geleitet. Die Gemischmenge beträgt ebenfalls 150 ml. Im Anschluß daran wird die Zelle an trockene Luft angeschlossen und durchströmt, wo bei hier gleichzeitig eine Gleichspannung von 80 V angelegt wird. Der hierbei fließende elektrische Strom spaltet aus der Phosphorsäure Wasser ab und es bildet sich das Phosphorpent oxyd (P₂O₅). Somit wird eine homogene gleichmäßige und vollständige Beschichtung der Platinwicklungen erzielt.

Wird nun ein zu untersuchendes Gas durch die Meßzelle gelei tet, das einen gewissen Feuchtigkeitsgrad beinhaltet, wird die Substanz P₂O₅ in Folge seiner starken Hygroskopie die Feuchte des Gases aufnehmen und damit gleichzeitig ihre Leit fähigkeit verändern. Der dadurch ansteigende Strom, der durch die Meßzelle fließt, ist ein direktes Maß für die vorhandene Feuchtigkeit. Der ansteigende Strom bewirkt somit eine Disso ziation der Feuchtigkeit und spaltet H₂ und O₂ ab, welches als Gas die Zelle verläßt. Somit stellt sich ein andauernder Gleichgewichtszustand ein. Der Prozeß ist reversibel.

Der so erstellte Feuchtigkeitssensor weist einen extrem klei nen Gaswirkungsquerschnitt auf, wodurch eine extrem hohe Ver weilzeit des zu untersuchenden Gases erzielt wird. Ferner wird mit dem erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensor eine ex trem hohe Ansprechwahrscheinlichkeit erzielt, die unter an derem darauf zurückzuführen ist, daß die Windungszwischen räume der einzelnen Platinwindungen kleiner als 100 µm sind. Ein weiterer Vorteil des oben beschriebenen Feuchtigkeitssen sors besteht darin, daß die gesamte Meßfläche, die mit Phosphorpentoxyd beschichtet ist, verhältnismäßig groß ist.

Claims

1. Feuchtigkeitssensor zur Messung der Feuchtigkeit eines zu untersuchenden Gases bestehend aus einem rohrförmigen Material mit

- einem Gaseintritt (1) und einem Gasaustritt (2) und
- einem mittig im rohrförmigen Material befindlichen Dorn (3), auf dem sich mindestens zwei elektrisch leitende Wicklungen (4) befinden, dadurch gekenn zeichnet, daß
- die einzelnen Wicklungen (4) elektrisch durch minimale Zwischenräume voneinander getrennt sind;
- auf die Wicklungen (4) eine Phosphorpentoxyd-Schicht (P₂O₅) aufgebracht ist, die auch die Zwischenräume der Wicklungen (4) ausfüllt;
- die Abstände zwischen der rohrförmigen Materialwand (5) und dem mittigen Dorn (3) mit den auf gebrachten Wicklun gen (4) minimal ist, um die Verweilzeit des zu unter suchenden Gases maximal zu gestalten.

2. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Wicklungen (4) aus Reinst-Platin bestehen.

3. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Wicklungen (4) aus Platin-Nickel-Manteldraht bestehen.

4. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungszwischen räume der einzelnen Wicklungen (4) kleiner als 100 µm sind.

5. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die einen Enden (6) der auf einem mittigen Dorn (3) befindlichen Wicklungen (4) auf der dem Gasein- (1) und Austritt (2) gegenüber lie genden Seite (7) gasdicht aus dem rohrförmigen Material herausgeführt sind.

6. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der mittige Dorn (3) an seinem einen Ende durch zwei Haltepunkte (8) von der In nenwand des rohrförmigen Materials beabstandet wird und auf der gegenüberliegenden Seite durch eine Quetschstelle (9) gehaltert ist.

7. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die Anschlußdrähte (6) der Wicklungen (4) eine Gleichspannung angeschlossen ist.

8. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleichspannung 80 V beträgt.

9. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Phosphorpentoxyd-Schicht homogen auf die Wicklungen (4) und die dazwi schen liegenden Räume aufgebracht ist.

10. Feuchtigkeitssensor nach einem der vorangegangenen An sprüche, dadurch gekennzeich net, daß die auf dem mittigen Dorn (3) befindlichen Wicklungen (4) elektrisch parallel geschaltet sind.

11. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Feuchtigkeitssensor aus zwei Quarzglasröhren (10, 11) besteht, die durch ein rohrförmiges Quarzglas (12) miteinander verbunden sind.

12. Verfahren zur Herstellung eines Feuchtigkeitssensors zur Messung der Feuchtigkeit eines zu untersuchenden Gases in einem U-förmigen Rohr mit einem Gasein- (1) und Aus tritt (2), wobei sich in den Rohrschenkeln mittig ein Dorn (3) befindet, auf dem mindestens zwei elektrisch leitende Wicklungen (4) aufgebracht werden, die elek trisch voneinander getrennt sind, dadurch ge kennzeichnet, daß auf die Wicklungen (4) eine homogene Schicht aus Phosphorpentoxyd (P₂O₅) durch fol gende Verfahrensschritte aufgebracht wird:

- Durchspülen des Feuchtigkeitssensors mit 65%iger Salpetersäure (HNO₃) mit einer Lösungsmenge von 150 ml;
- Nachreinigen und Trocknen der Zelle mit 150 ml Acen ton;
- Durchströmen einer Menge von 150 ml eines Gemisches aus Aceton und Phosphorsäure (H₃PO₄) im Verhältnis 10 : 1;
- Durchströmen von trockener Luft bei gleichzeitigem An legen einer elektrischen Gleichspannung von 80 V.