DE4140330C1 - - Google Patents
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W20/00—Interconnections in chips, wafers or substrates
- H10W20/01—Manufacture or treatment
- H10W20/071—Manufacture or treatment of dielectric parts thereof
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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-
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
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Priority Applications (3)
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Applications Claiming Priority (1)
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| DE4140330A DE4140330C1 (enExample) | 1991-12-06 | 1991-12-06 |
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Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| DE4140330A Expired - Fee Related DE4140330C1 (enExample) | 1991-12-06 | 1991-12-06 |
Country Status (3)
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|---|---|
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Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
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Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| DE3705152A1 (de) * | 1986-02-20 | 1987-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleitereinrichtung und verfahren zu deren herstellung |
| DE3915337A1 (de) * | 1989-05-10 | 1990-11-15 | Siemens Ag | Verfahren zum herstellen einer niederohmigen planen kontaktmetallisierung fuer hochintegrierte halbleiterschaltungen |
Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
| DE2554638A1 (de) * | 1975-12-04 | 1977-06-16 | Siemens Ag | Verfahren zur erzeugung definierter boeschungswinkel bei einer aetzkante |
| CA1339817C (en) * | 1989-05-31 | 1998-04-14 | Mitel Corporation | Curing and passivation of spin-on-glasses by a plasma process, and product produced thereby |
-
1991
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-
1992
- 1992-12-03 EP EP19920120649 patent/EP0545411A3/en not_active Withdrawn
- 1992-12-07 JP JP4327026A patent/JPH05251574A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| DE3705152A1 (de) * | 1986-02-20 | 1987-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleitereinrichtung und verfahren zu deren herstellung |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05251574A (ja) | 1993-09-28 |
| EP0545411A3 (en) | 1993-07-21 |
| EP0545411A2 (en) | 1993-06-09 |
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