DE4139474A1

DE4139474A1 - Elektro-staubabscheideanlage

Info

Publication number: DE4139474A1
Application number: DE4139474A
Authority: DE
Inventors: Takao Hattori; Takaki Iwanaga; Toru Yamaguchi
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba AVE Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba AVE Co Ltd
Priority date: 1990-11-30
Filing date: 1991-11-29
Publication date: 1992-06-04
Also published as: JPH054056A; US5466279A

Description

Die Erfindung betrifft eine Elektro-Staubabscheideanlage. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Verbesserung von Elektrodenabschnitten einer Elektro-Staubabscheideanlage.

Es gibt zwei Hauptfunktionen einer Elektro-Staubabscheide anlage: Die eine besteht in der Aufladung von in der Luft befindlichen Stäuben durch eine Koronaentladung, die zwi schen einer Entladungselektrode und einer Entladungs-Gegen elektrode erfolgt, die andere besteht in dem Abscheiden oder Sammeln derartig aufgeladener Stäube. Eine nadelförmi ge Elektrode, eine von einer Feder unter Zug gehaltene fei ne Metallsaite oder dergleichen wird als Entladungselektro de im Aufladeabschnitt (hier auch als Ionisator bezeichnet) verwendet, um das Entladungsvermögen zu verbessern. Der Staubabscheideabschnitt (hier auch einfach als Abscheider oder Sammler bezeichnet) enthält eine Staubabscheiderelek trode und eine Staubabscheider-Gegenelektrode, die in ge eigneten Abständen gegenüber dem Entladungsabschnitt ange ordnet sind. Eine aus rostfreiem Stahl bestehende Platte oder Folie, oder ein mit einer leitenden Beschichtung auf seiner Oberfläche versehener isolierter Hochpolymerfilm wird als Staubabscheiderelektrode verwendet. Eine Spannung, die kleiner ist als die zwischen die Entladungselektrode und die Entladungs-Gegenelektrode angelegte Spannung, wird zwischen die Staubabscheiderelektrode und die Staubabschei der-Gegenelektrode gelegt.

Um nach jedem Einsatz der Elektro-Staubabscheideanlage die volle Funktionstüchtigkeit beim Entstauben wieder herzu stellen, muß man die beiden Elektroden waschen. Es steht allerdings zu befürchten, daß zwischen den Kanten der Staubabschneideelektrode und der Staubabscheider-Gegen elektrode eine Funkenentladung stattfindet, wenn als Mate rial für die Staubabschneiderelektrode Metall verwendet wird, es sei denn, der Abstand zwischen den beiden Elektro den oder die angelegte Spannung wird genau eingestellt. Wenn ein auf seiner Oberfläche mit einem leitenden Material beschichteter Hochpolymerfilm verwendet wird, kann die Fun kenentladung auch an der Kante des Films stattfinden. Wenn das leitende Beschichtungsmaterial anstatt auf die Kante des Films im Mittelbereich des Hochpolymerfilms aufgebracht wird, vergrößert sich die Breite des Hochpolymerfilms, was zur Folge hat, daß die Tiefe des Staubabscheideabschnitts ebenfalls größer wird.

Gemäß der nicht-geprüften japanischen Patentveröffentli chung 48-88 554 haftet an dem Substrat eine Halbleiter schicht mit einem spezifischem Widerstand von 10⁵-10¹¹ Ω·cm an der Oberfläche, um das Funkenentladungsproblem an der Kante zu vermeiden. In diesem Fall jedoch ist zu be fürchten, daß der an dem Substrat haftende Halbleiterfilm sich mit der Zeit durch das zum Zwecke der Wiedererlangung der Staubabscheidefähigkeit erfolgende Reinigen oder durch ungewöhnliche Entladungsvorgänge abschält.

Aufgabe der Erfindung ist es, angesichts der oben aufge zeigten Probleme eine Elektro-Staubabscheideanlage anzuge ben, die im Hinblick auf größere Zeitabstände bei der Elek trodenreinigung und Wartung sowie bezüglich der Sicherheit, Zuverlässigkeit und kompakten Bauweise dadurch verbessert ist, daß das Auftreten ungewöhnlicher Entladungsvorgänge, wie beispielsweise der Funkenentladung, beherrscht wird.

Gelöst wird diese Aufgabe durch die in den Patentansprüchen angegebene Erfindung.

Demnach schafft die Erfindung eine Staubabscheideanlage, in der in der Luft befindliche Staubpartikel durch Koronaent ladung aufgeladen und dann von dem Staubabscheideabschnitt (im folgenden auch einfach als Abscheider oder Sammler be zeichnet) abgeschieden werden, wobei der Abscheider mehrere Elektroden zum Anlegen bzw. Erzeugen eines elektrischen Feldes besitzt, bei denen von der Oberfläche des Metall films nach innen eine Metalloxid-Halbleiterschicht gebildet ist. Die Metalloxid-Halbleiterschicht ist also innen an der Metallschichtoberfläche gebildet und verhindert so ein un gewöhnliches Entladungsphänomen, wie beispielsweise eine Funkenentladung. Die Metalloxid-Halbleiterschicht kann da durch gebildet werden, daß man die Metallfläche nach innen oxidiert. Dadurch wird die Lebensdauer der Anlage erhöht, da der Metalloxid-Halbleiter beim Reinigen der Elektroden nicht abgeschält wird.

Da die Metalloxid-Halbleiterschicht über die gesamte Ober fläche des Metallfilms gebildet ist und keine Kanten unbe deckt läßt, reduziert sich die Tiefe des Abscheideab schnitts und führt so zu einer insgesamt kompakten Anlage.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung an hand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A eine Abscheiderelektrode, deren Oberfläche mit ei ner Halbleiterschicht versehen ist, wie es dem Stand der Technik entspricht,

Fig. 1B eine zu Fig. 1A gehörige Photographie,

Fig. 2A eine Abscheiderelektrode, deren Oberfläche innen oxidiert ist, um eine durch metallische Oxidation gebildete Halbleiterschicht gemäß der Erfindung zu erhalten,

Fig. 2B eine zu Fig. 2A gehörige Photographie,

Fig. 3 den Aufbau von Ionisator- und Abscheiderelektroden gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 4 eine auseinander gezogene Querschnittdarstellung der in Fig. 3 gezeigten Abscheiderelektrode,

Fig. 5 eine perspektivische Skizze, die die Lagerung der in Fig. 4 gezeigten Abscheiderelektroden veran schaulicht,

Fig. 6A eine zweistufige Elektro-Staubabscheideanlage mit Ionisierdrähten (Entladungselektroden) für positive Entladung und den Abscheider gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, wobei sowohl positi ve als auch negative Elektroden von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 6B eine zweistufige Elektro-Staubabscheideanlage ähn lich wie die in Fig. 6A gezeigte Anlage, wobei aber lediglich negative Elektroden von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 7A eine zweistufige Elektro-Staubabscheideanlage ähn lich wie die in Fig. 6A gezeigte Anlage, wobei die Ionisierdrähte (Entladungselektroden) für negative Entladung ausgelegt sind, wobei sowohl positive als auch negative Abscheiderelektroden von der Oberflä che nach innen oxidiert sind;

Fig. 7B eine zweistufige Elektro-Staubabscheideanlage, ähn lich der in Fig. 7A gezeigten Anlage, wobei ledig lich die positive Elektroden von der Oberfläche nach innen oxidiert sind;

Fig. 8A eine Elektro-Staubabscheideanlage mit integrierten Ionisatoren/Abscheidern gemäß einer dritten Ausfüh rungsform der Erfindung, wobei der Ionisator für positive Entladung ausgelegt ist und die Abschei derelektroden von der Oberfläche nach innen oxi diert sind,

Fig. 8B die in Fig. 8A dargestellte Elektro-Staubabscheide anlage mit integrierten Ionisatoren/Abscheidern, wobei der Ionisator für negative Entladung ausge legt ist,

Fig. 9(a) eine Elektro-Staubabscheideanlage ohne den Ioni sator, mit zickzack-förmigen elektrostatischen Fil tern und Plattenelektroden, zwischen denen das elektrostatische Filter gemäß der Erfindung ange ordnet ist, wobei sich stromaufwärts auf Masse lie gende Elektroden und stromabwärts positive Elektro den befinden, und die Elektroden sowohl stromauf wärts als auch stromabwärts von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 9(b) die in Fig. 9(a) dargestellte Elektro-Staubab scheideanlage, wobei die Elektroden lediglich die stromabwärts befindlichen Elektroden von der Ober fläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 9(c) die in Fig. 9(a) dargestellte Elektro-Staubab scheideanlage, wobei lediglich die Elektroden auf der stromaufwärts gelegenen Seite von der Oberflä che nach innen oxidiert sind,

Fig. 10(a) eine Elektro-Staubabscheideanlage ähnlich wie in Fig. 9(a), wobei negative Elektroden auf der strom abwärtigen Seite angeordnet sind,

Fig. 10(b) eine Elektro-Staubabscheideanlage ähnlich wie in Fig. 9(b), wobei die negativen Elektroden sich auf der stromabwärts gelegenen Seite befinden,

Fig. 10(c) eine Elektro-Staubabscheideanlage ähnlich wie in Fig. 9(c), wobei die negative Elektroden sich auf der stromabwärts gelegenen Seite befinden,

Fig. 11(a) eine Elektro-Staubabscheideanlage ohne den Ioni sator, mit einem zickzack-förmigen elektrostati schen Filter und maschenförmigen Elektroden, zwi schen denen das elektrostatische Filter gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung angeordnet ist, wobei die auf Masse liegenden Elektroden sich stromaufwärts, die negativen Elektroden sich strom abwärts befinden, während die Elektroden die sich auf beiden Seiten befinden von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 11(b) eine Elektro-Staubabscheideanlage gemäß Fig. 11(a) wobei die Elektroden lediglich auf der strom aufwärts gelegenen Seite von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 11(c) eine Elektro-Staubabscheideanlage ähnlich wie in Fig. 11(a), wobei lediglich die Elektroden auf der stromabwärtigen Seite von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 12(a) die in Fig. 11(a) dargestellte Elektro-Staubab scheideanlage, wobei hier jedoch die positiven Elektroden auf der stromabwärts gelegenen Seite an geordnet sind,

Fig. 12(b) die in Fig. 11(b) dargestellte Elektro-Staubab scheideanlage, wobei die positiven Elektroden sich auf der stromabwärts gelegenen Seite befinden,

Fig. 12(c) die in Fig. 11(c) dargestellte Elektro-Staubab scheideanlage, wobei hier jedoch die positiven Elektroden auf der stromabwärts gelegenen Seite an geordnet sind,

Fig. 13(a) eine Elektro-Staubabscheideanlage ohne Ionisa tor, mit einem zickzack-förmigen elektrostatischen Filter, maschenförmigen Elektroden auf der strom aufwärtigen Seiten, und Plattenelektroden, zwischen denen gemäß der sechsten Ausführungsform der Erfin dung der elektrostatische Film angeordnet ist, wo bei die Massenelektroden sich stromaufwärts und die positiven Elektroden sich stromabwärts befinden, während die Elektroden stromauf und stromab von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 13(b) eine Elektro-Staubabscheideanlage gemäß Fig. 13(a), wobei jedoch lediglich die maschenförmigen Elektroden auf der stromaufwärts gelegenen Seite von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 13(c) die Elektro-Staubabscheideanlage gemäß Fig. 13(a) wobei lediglich die Plattenelektroden auf der stromabwärtigen Seite von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 14(a) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 13(a), wobei die negativen Elektroden sich auf der stromabwärts gelegenen Seite befinden,

Fig. 14(b) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 13(b), wobei sich die negativen Elektroden auf der stromabwärts gelegenen Seite befinden,

Fig. 14(c) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 13(c), wobei sich die negativen Elektroden auf der stromabwärts gelegenen Seite befinden,

Fig. 15(a) eine Elektro-Staubabscheideanlage ohne den Ioni sierabschnitt, mit dem zickzack-förmigen elektro statischen Filter und den maschenförmigen Elektro den, zwischen denen der elektrostatische Filter ge mäß der siebten Ausführungsform der Erfindung sand wichartig aufgenommen ist, wobei die auf Masse lie genden Elektroden sich stromaufwärts und die posi tiven Elektroden sich stromabwärts befinden, wäh rend die stromaufwärtigen und die stromabwärtigen Elektroden von der Oberfläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 15(b) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 15(a), wobei die maschenförmigen Elektroden ledig lich auf der stromaufwärtigen Seite von der Ober fläche nach innen oxidiert sind,

Fig. 15(c) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 15(a), wobei die maschenförmigen Elektroden ledig lich auf der stromabwärtigen Seite von der Oberflä che nach innen oxidiert sind,

Fig. 16(a) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 15(a), wobei die negativen Elektroden auf der stromabwärtigen Seite angeordnet sind,

Fig. 16(b) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 15(b), bei der die negativen Elektroden auf der stromabwärtigen Seite angeordnet sind, und

Fig. 16(c) die Elektro-Staubabscheideanlage nach Fig. 15(c), bei hier jedoch die negativen Elektroden auf der stromabwärtigen Seite angeordnet sind.

Fig. 1A zeigt eine Abscheiderelektrode in einer herkömmli chen Elektro-Staubabscheideanlage. Bei dieser Elektrode ist die Oberfläche mit Halbleiterschichten überzogen. Diese Schichten befinden sich außen an der Oberfläche der Ab scheiderelektrode, wobei es sich um granulierte nicht durchgehende Schichten handelt, bei denen die Schwierigkeit des Kontakts zwischen der blanken Oberfläche der Elektrode und der Schicht besteht. Fig. 1B zeigt eine Photographie einer solcher Abscheiderelektrode nach Fig. 1A.

Fig. 2A zeigt eine Abscheiderelektrode in der erfindungsge mäßen Elektro-Staubabscheideanlage. Bei dieser Abscheider elektrode ist die Oberfläche nach innen oxidiert, um eine Metalloxid-Halbleiterschicht zu bilden. Bei dieser Schicht handelt es sich um eine durchgehende Halbleiterschicht auf Atomstruktur-Niveau. Demgemäß handelt es sich um eine sta bile Schicht. Man kann hierdurch die angelegte Spannung weiter heraufsetzen, und darüber hinaus den Abstand zwischen den Elektroden verringern.

Fig. 3 zeigt den Aufbau der erfindungsgemäßen Elektro- Staubabscheideanlage.

Ein (hier auch als Ionisator bezeichneter) Staubaufladeab schnitt dient zum Aufladen von Staubpartikeln. Der Staub aufladeabschnitt befindet sich in dem stromaufwärtigen Be reich des Luftstroms, der in Fig. 3 durch Pfeile angedeutet ist. Der Staubaufladeabschnitt (der Ionisator) umfaßt meh rere Entladungselektroden 1 und mehrere Entladungs-Gegen elektroden 2. In dem stromabwärtigen Bereich in Fig. 3 be findet sich ein Staubabscheideabschnitt (hier auch einfach als Sammler oder Abscheider bezeichnet), der die Staubpar tikel sammelt. Der Abscheider oder Sammler enthält mehrere Abscheiderelektroden 3 und Abscheider-Gegenelektroden 4.

Fig. 4 zeigt den Aufbau der Abscheiderelektrode 3. Eine als Basiselektrodenmaterial dienende SUS-Folie 5 mit einer Stärke von etwa 100 µm wird 30 Minuten lang in 600°C warmer Luft wärmebehandelt, und es bildet sich von der äußersten Fläche nach innen eine etwa 10 µm dicke Metalloxid-Halblei terschicht 6 aus. Die Dicke der Metalloxid-Halbleiter schicht 6 liegt vorzugsweise in dem Bereich von 2 bis 50 µm. Ist die Schichtdicke kleiner als 2 µm, tritt ein Tun nelstrom-Effekt ein, der möglicherweise eine Funkenentla dung an der Kante der Abscheiderelektrode bewirkt. Ist die Schichtdicke größer als 50 µm, so wird die Schicht dielek trisch, wodurch die Fähigkeit der Staubabscheidung beein trächtigt wird.

Fig. 5 zeigt den Aufbau einer Abscheiderelektrode 3 und Ab scheider-Gegenelektrode 4 die in der oben erwähnten Weise hergestellt sind. Die beiden Enden der Abscheiderelektrode 3 und der Abscheider-Gegenelektrode 4 werden jeweils zwi schen Sammelelektroden 7 und 8 gehalten und von diesen ver bunden. Die Sammelelektroden 7 und 8 sind jeweils mit Hal tegliedern 9, 10 verbunden. Die Abscheiderelektrode 3 be findet sich mit einem geeigneten Abstand gegenüber der Ab scheider-Gegenelektrode 4.

Bei dem oben erläuterten Ausführungsbeispiel wird zwischen die als eine positive Elektrode fungierende Entladungselek trode 1 und die als negative Elektrode in dem Entladungsab schnitt innerhalb des stromaufwärts gelegenen Bereichs die nende Entladungs-Gegenelektrode 2 eine Hochspannung gelegt, um eine Koronaentladung zu erzeugen, durch welche in der Luft enthaltene Staubpartikel 11 aufgeladen werden. In dem Abscheideabschnitt im stromabwärts gelegenen Bereich wird eine Spannung, die kleiner ist als die zwischen die Entla dungselektroden 1 und 2 gelegte Spannung, zwischen die als negative Elektrode dienende Abscheiderelektrode 3 und die als positive Elektrode dienende Abscheider-Gegenelektrode 4 gelegt, um die aufgeladene Staubpartikel 11 zu sammeln.

Die nachstehenden Vergleichstabellen zeigen die Beherrsch barkeit einer Abnormalentladung und die Beeinträchtigung der Staubabscheidungs-Wirksamkeit im Vergleich zu einem herkömmlichen Beispiel.

Als Vergleichsbeispiel dient eine Staubabscheideanlage, in der ein Abscheideabschnitt genauso wie bei dem oben erläu terten Ausführungsbeispiel ausgestaltet ist, wobei der Hochpolymerfilm (aus Polyprophylen) mit einem leitenden Ruß enthaltenden Beschichtungsmaterial auf die Gesamtfläche der Staubabscheiderelektrode aufgebracht wurde.

Tabelle 1 zeigt die Anzahl von in den ersten 10 Minuten auftretenden abnormalen Entladungen. Wenn eine normale Spannung von 2,0 kV und eine überhöhte Spannung von 4,0 kV angelegt wurden, fand keine abnormale Entladung bei der Staubabscheideanlage gemäß der Erfindung statt. Bei dem Vergleichsbeispiel hingegen erfolgte in dieser Zeit 32mal eine abnormale Entladung. Man sieht, daß man den Abstand zwischen den Abscheiderelektroden im Vergleich zu der her kömmlichen Anordnung weiter herabsetzen kann. Selbst wenn der Abstand der Elektroden unverändert bleibt, kann man an die Elektroden gemäß der Erfindung eine höhere Spannung an legen, um dadurch die Wirksamkeit bei der Staubabscheidung zu erhöhen.

Tabelle 1

Tabelle 2 zeigt, wie häufig eine Reinigung stattfinden konnte, bevor die Wirksamkeit der Staubabscheidung unter weniger als 50% des Anfangswertes absank, wenn jede Ab scheiderelektrode mit Hilfe eines neutralen Haushaltsreini gers gereinigt wurde. Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erwies sich die fortschreitende Verschlechte rung als wesentlich langsamer als bei dem herkömmlichen Vergleichsbeispiel, während bei dem herkömmliche Ver gleichsbeispiel ein Abschälen zwischen blanker Elektroden oberfläche und Materialbeschichtung stattfand und mit zu nehmender Anzahl von Reinigungsvorgängen immer stärker wur de. Bei dem 23. Reinigungsvorgang war die Staubabschei dungswirkung des herkömmlichen Vergleichsbeispiels geringer als 50% (des Anfangswertes).


Häufigkeit der Reinigung bis zur Abnahme der Staubabscheidungs-Wirkung auf weniger als 50% des Anfangswerts
Bevorzugte Ausführungsform
100 oder darüber
Vergleichsbeispiel	23 (herkömmlich)

Das Basis- oder Ausgangs-Elektrodenmaterial des Staubab scheideabschnitts ist nicht auf die für das obige Ausfüh rungsbeispiel angegebene SUS-Folie beschränkt. Man kann je des Metall verwenden, das eine Halbleitfähigkeit von 10^-3 bis 10¹⁰ Ω·m besitzt. Die Elektroden können nicht nur durch Wärmebehandlung oxidiert werden, um die Metalloxid-Halblei terschicht zu erhalten, wie es bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel der Fall ist, sondern man kann auch mit Sauerstoffionen-Implantation, einer Überschuß-Wärmeoxida tion gefolgt von einer Glimmnitrierung (Ionitrierung), ei ner anodischen Oxidation, einer chemischen Umwandlungsbe handlung und dergleichen arbeiten. Beispielweise kann man die Oxidierungsbehandlung durchführen, durch die Sauer stoffionen-Implantation bei einer Sauerstoff-Ionenenergie von 10 keV-999 keV; durch eine Überschuß-Wärmeoxidation in einer Oxidationsgasatmosphäre bei einer Temperatur von mehr als 550°C, gefolgt von einer Glimmnitrierung bei einer Behandlungstemperatur von 400°C und einer Bereitstellung einer Entladungsenergiequelle von mehr als 100 kW; durch anodische Oxidation; durch chemische Umwandlungsoxidation usw.

Man sieht, daß verschiedene Modifikationen der oben erläu terten Erfindung möglich sind, wie im folgenden beschrie ben.

Bei der in den Fig. 6 und 7 dargestellten zweiten Aus führungsform der Erfindung enthält eine zweistufige Elek tro-Staubabscheideanlage Ionisierungsdrähte (Entladungs elektroden) und einen Abscheider, wobei sowohl die positi ven als auch die negativen Elektroden, zumindest aber die einen, von ihrer Oberfläche nach innen oxidiert sind, um eine Metalloxid-Halbleiterschicht zu bilden. Man sieht, daß die zweite Ausführungsform der oben beschriebenen ersten Ausführungsform ähnelt.

Bei der in Fig. 8 dargestellten dritten Ausführungsform sind ein Ionisator und ein Abscheider einstückig oder zu sammenhängend ausgebildet, indem der Ionisator mit der Ab scheiderelektrode derart verbunden ist, daß die Elektrode sowohl als Ionistor als auch als Abscheider dient. Die Ab scheiderelektrode ist jeweils von der Oberfläche nach innen oxidiert, um die Metalloxid-Halbleiterschicht zu bilden.

Weitere abgewandelte Versionen sind in den Fig. 9 bis 16 gezeigt. Diese Elektro-Staubabscheideanlagen enthalten kei ne Ionisatoren, und der Staub wird von elektrostatischen Filtern abgeschieden.

Bei der vierten Ausführungform nach den Fig. 9 und Fig. 10 enthält die Elektro-Staubabscheideanlage ein zickzack-för miges elektrisches Filter zum Abscheiden der Staubpartikel und Plattenelektroden zum Erzeugen des elektrischen Feldes, wodurch die Lebensdauer und die Staubabscheidungswirkung des elektrostatischen Filters verbessert und aufrechterhal ten werden. Das elektrostatische Filter befindet sich neben den Plattenelektroden. Die auf Masse liegenden Elektroden befinden sich bezüglich der Luftstromrichtung auf der stromaufwärts gelegenen Seite (die Stromrichtung ist durch einen Pfeil kenntlich gemacht), die positiven oder negati ven Elektroden befinden sich stromabwärts. Die Plattenelek troden mindestens auf der stromaufwärtigen Seite oder auf der stromabwärtigen Seite (oder auf beiden Seite) sind von der Oberfläche her nach innen oxidiert, um die Metalloxid- Halbleiterschicht zu bilden.

Bei der fünften Ausführungsform nach Fig. 11 und Fig. 12 enthält die Elektro-Staubabscheideanlage das zickzack-för mige elektrostatische Filter zum Abscheiden der Staubparti kel und maschenförmige Elektroden zum Anlegen des elektri schen Feldes. Das elektrostatische Filter befindet sich zwischen den maschenförmigen Elektroden. Die auf Masse lie genden Elektroden befinden sich stromaufwärts, während die positiven oder negativen Elektroden stromabwärts angeordnet sind. Die maschenförmigen Elektroden auf zumindest einer der Seiten sind von der Oberfläche her nach innen oxidiert, um die Metalloxid-Halbleiterschicht zu bilden.

Bei der sechsten Ausführungsform nach den Fig. 13 und 14 ist die Elektro-Staubabscheideanlage als Kombination der vierten und der fünften Ausführungsform ausgebildet.

Bei der siebten Ausführungsform nach Fig. 15 und 16 enthält die Elektro-Staubabscheideanlage das elektrostatische Fil ter und die maschenförmigen Elektroden, zwischen denen das elektrostatische Filter sandwichartig eingefaßt ist. Die auf Erde geschalteten Elektroden befinden sich auf der stromaufwärtigen, die positiven oder negativen Elektroden auf der stromabwärtgen Seite. Die maschenförmigen Elektro den auf zumindest einer der Seiten sind von der Oberfläche nach innen oxidiert, um die Metalloxid-Halbleiterschicht zu bilden.

Zusammengefaßt: da die Metalloxid-Halbleiterschicht auf der Metallschichtoberfläche zur Innenseite hin ausgebildet ist, kann eine abnormale Entladungserscheinung, z. B. eine Fun kenentladung, verhindert werden. Die Metalloxid-Halbleiter schicht kann gebildet werden, indem man die metallische Oberfläche nach innen oxidiert, wodurch die Dauerhaftigkeit der Anlage deshalb verbessert wird, weil der Metalloxid- Halbleiter bei dem Elektrodenreinigen nicht abgeschält wird. Da außerdem die Metalloxid-Halbleiterschicht über die gesamte Oberfläche des Metallfilms gebildet ist, wobei kei ne Kanten unbedeckt bleiben, reduziert sich die Tiefe des Staubabscheideabschnitts, so daß man eine insgesamt kom pakte Anlage bauen kann.

Claims

1. Elektro-Staubabscheideanlage zum Abscheiden von Staubpartikeln aus der Luft mit Hilfe eines elektrischen Feldes, umfassend:
eine Ionisiereinrichtung mit mehreren Ionisierelek troden zum Aufladen von Staubpartikeln; und
eine Abscheideeinrichtung mit mehreren Abscheider elektroden zum Sammeln der aufgeladenen Staubpartikel, wo bei die Abscheiderelektroden gegenüber den Ionisierelektro den angeordnet sind und eine durch eine Oxidiationsbehand lung von ihrer Oberfläche nach innen gebildete Metalloxid- Halbleiterschicht aufweisen.

2. Elektro-Staubabscheideanlage zum Abscheiden von in der Luft befindlichen Staubpartikeln unter Verwendung eines elektrischen Feldes, umfassend;
eine Ionisiereinrichtung mit mehreren Ionisierelek troden zum Aufladen der Staubpartikel;
eine Abscheideeinrichtung mit mehreren Abscheider elektroden zum Sammeln der aufgeladenen Staubpartikel, wo bei die Abscheiderelektroden mit den Ionisierelektroden verbunden sind, und die Abscheiderelektroden eine Metall oxid-Halbleiterschicht aufweisen, die durch eine Oxidiati onsbehandlung von ihrer Oberfläche nach innen gebildet ist.

3. Elektro-Staubabscheideanlage zum Abscheiden von in der Luft befindlichen Staubpartikeln mit Hilfe eines elek trischen Feldes, umfassend;
eine Filtereinrichtung mit einem elektrostatischen Filter zum Abscheiden der Staubpartikel; und
eine Einrichtung zum Erzeugen eines elektrischen Fel des, wobei die Elektroden in enger Nachbarschaft des elek trostatischen Filters angeordnet sind und eine Metalloxid Halbleiterschicht aufweisen, die durch eine Oxidationsbe handlung von der Oberfläche der Elektroden nach innen ge bildet ist.

4. Elektro-Staubabscheideanlage zum Abscheiden von in der Luft befindlichen Staubpartikeln unter Verwendung eines elektrischen Feldes, umfassend;
ein elektrostatisches Filter zum Abscheiden der Staubpartikel; und
mehrere Plattenelektroden zum Erzeugen eines elektri schen Feldes, zwischen welchen das elektrostatische Filter angeordnet ist, wobei die Plattenelektroden eine Metallo xid-Halbleiterschicht besitzen, die durch eine Oxidiation behandlung von der Oberfläche der Plattenelektroden nach innen gebildet ist.

5. Anlage nach Anspruch 4, gekennzeich net durch mehrere maschenförmige Elektroden zum Anle gen eines elektrischen Feldes, wobei die maschenförmigen Elektroden um das elektrostatische Filter und die Platten elektroden herum angeordnet sind und eine Metalloxid-Halb leiterschicht aufweisen, die durch eine Wärmebehandlung von der Oberfläche der maschenförmigen Elektroden nach innen gebildet ist.

6. Elektro-Staubabscheideanlage zum Abscheiden von in der Luft befindlichen Staubpartikeln unter Verwendung eines elektrischen Feldes, umfassend;
ein elektrostatisches Filter zum Abscheiden der Staubpartikel; und
mehrere maschenförmige Elektroden zum Erzeugen eines elektrischen Feldes, zwischen welchen das elektrostatische Filter angeordnet ist, wobei die maschenförmigen Elektroden eine durch eine Oxidationsbehandlung von der Oberfläche der maschenförmigen Elektrodengebildete Metalloxid-Halbleiter schicht nach innen aufweisen.

7. Anlage nach Anspruch 6, bei der das elektrosta tische Filter parallel zu dem elektrostatischen Filter an geordneten maschenförmigen Elektroden liegt.

8. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die Dicke der Metalloxid-Halbleiterschicht im Bereich von 2 bis 50 µm liegt.

9. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei der die Abscheiderelektroden bzw. die Elektroden zum Erzeugen des elektrischen Feldes mindestens eine der folgenden Be handlungen erfahren haben: thermische Oxidation, Sauer stoffionen-Implantation, Überschußwärmeoxidation, gefolgt von Glimmnitrierung, anodische Oxidation und chemische Um wandlungsoxidation.

10. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei der die positiven und/oder die negativen Elektroden der Ab scheiderelektroden bzw. der Plattenelektroden oxidiert sind.