DE4139408A1 - Elektrische entladungsmaschine - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine elektrische Entladungsmaschine zum Durchführen einer elektrischen Entladungsbearbeitungsoperation unter Verwendung einer Bearbeitungslösung, welche Bearbeitungspartikel enthält.

Die elektrische Entladungsbearbeitungstechnik ist im Stand der Technik wohl bekannt, bei welcher die von einem elektrischen Entladungsschaltkreis erzeugte hohe Temperaturenergie verwendet wird, ein elektrisch leitfähiges Material, wie etwa Metallmaterial, zu schmelzen, oder es einer Oberflächenbearbeitung zu unterwerfen. In einer elektrischen Entladungsmaschine, welche nach dieser Technik arbeitet, wird im allgemeinen der Entladungsspalt mit einer Bearbeitungslösung, welche eine elektrisch isolierende Charakteristik aufweist, gefüllt, um eine elektrische Isolation für einen elektrischen Entladungsbearbeitungsvorgang zu erhalten. Das heißt, die Bearbeitungslösung wird für elektrische Isolation verwendet. Zusätzlich wird die Bearbeitungslösung verwendet, um die während der Entladungsbearbeitung gebildete Schlacke zu entfernen, und zum Kühlen des bearbeiteten Materials.

Andererseits ist es im Stand der Technik bekannt, daß, wenn eine Bearbeitungslösung verwendet wird, welche eine Art von Bearbeitungspartikeln mit einer Partikelgröße von ungefähr 10 bis 40 µm bei einer Mischungsdichte von ungefähr 20 g/l enthält, die Spiegeloberflächenbearbeitung erreicht werden kann, was für den Fall, in welchem die Konfrontationszone der Elektrode und eines zu bearbeitenden Materials (im folgenden "ein Werkstück" genannt, wenn passend) groß ist, zuvor unmöglich durchführbar ist. Zusätzlich ist es auch bekannt, daß mit der Bearbeitungslösung die physikalischen Eigenschaften wie etwa Korrosionsbeständigkeit und Beständigkeit gegen Abnutzung des Werkstückes verbessert werden, abhängig vom Material der Bearbeitungspartikel.

Im Stand der Technik ist auch die Technik wohl bekannt, bei welcher die Bearbeitungslösung verwendet wird, welche mit Bearbeitungspartikeln wie etwa den oben beschriebenen Bearbeitungspartikeln gemischt ist, um die Oberflächenschicht eines Werkstückes zu bilden. Diese Technik kann den Anwendungsbereich von elektrischer Entladungsbearbeitung beträchtlich vergrößern; es bringt jedoch Probleme mit sich, die bei der praktischen Verwendung zu lösen sind.

Fig. 14 zeigt eine herkömmliche elektrische Entladungsmaschine, welche Bearbeitungspartikel verwendet. In Fig. 5 bezeichnet die Bezugsziffer 1 eine Elektrode; 2 bezeichnet ein zu bearbeitendes Material (oder ein Werkstück); 3 eine Oberflächenplatte, auf welche das Werkstück 2 plaziert wird, wobei die Oberflächenplatte 3 auf den Boden eines Bearbeitungsgefäßes 4 gesetzt ist; 5 bezeichnet einen Bearbeitungslösungsbehälter, welcher eine Bearbeitungslösung 7 enthält, die mit Bearbeitungspartikeln 6 gemischt ist; und 8 bezeichnet ein Bearbeitungslösungszuführungsrohr, welches zwischen das Bearbeitungsgefäß 4 und den Bearbeitungslösungsbehälter 5 gelegt ist, wobei das Rohr 8 mit einer Pumpe 9 und einem Steuerventil 10 versehen ist.

Ferner bezeichnet in Fig. 14 die Bezugsziffer 11 ein Abflußrohr mit einem Abflußsteuerventil 29, welches ausgelegt ist, die Bearbeitungslösung in dem Bearbeitungsgefäß 4 in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 zurückzuführen; 12 bezeichnet einen Grobbearbeitungslösungsbehälter zum Aufnehmen einer Grobbearbeitungslösung. Der Grobbearbeitungslösungsbehälter ist in zwei Gefäße unterteilt; das heißt, in ein Gefäß 12a zum Aufnehmen der gebrauchten Bearbeitungslösung, die von dem Bearbeitungsgefäß 4 zugeführt wird, und in ein Gefäß 12b zum Aufnehmen einer gereinigten Bearbeitungslösung, welche die Bearbeitungslösung ist, die durch Filtern der gebrauchten Bearbeitungslösung in dem Gefäß 12a für gebrauchte Bearbeitungslösung erhalten wird.

Ferner bezeichnet in Fig. 14 die Bezugsziffer 14 ein Filter zum Entfernen von Bearbeitungspartikeln aus der Bearbeitungslösung. Das Filter 14 ist in einem Rohr 15 vorgesehen, welches zwischen dem Gefäß 12a mit der gebrauchten Bearbeitungslösung und dem Gefäß 12b mit der gereinigten Bearbeitungslösung verläuft. Die gebrauchte Bearbeitungslösung in dem Gefäß 12a für gebrauchte Bearbeitungslösung wird dem Filter 14 mittels einer Pumpe 16 zugeführt, wo sie gefiltert wird. Ferner bezeichnet in Fig. 14 die Bezugsziffer 17 ein Rohr zum Zuführen von Grobbearbeitungslösung, welches zwischen dem Gefäß 12b für gereinigte Bearbeitungslösung und dem Bearbeitungsgefäß 4 verläuft, und mit einer Pumpe 18 und einem Steuerventil 19 versehen ist; 20 bezeichnet ein Abflußrohr für gebrauchte Bearbeitungslösung, welches verwendet wird, die gebrauchte Bearbeitungslösung in dem Bearbeitungsgefäß 4 durch ein Abflußsteuerventil 21 dem Gefäß 12a für gebrauchte Bearbeitungslösung zuzuführen; und 22 bezeichnet den Niederschlag von Bearbeitungspartikeln in dem Bearbeitungsgefäß 4.

Der Betrieb der herkömmlichen, so aufgebauten elektrischen Entladungsmaschine wird nun beschrieben.

Bei einer gewöhnlichen Grobbearbeitungsoperation wird die Pumpe 18 betrieben, die gereinigte Bearbeitungslösung von dem Gefäß 12b für gereinigte Bearbeitungslösung durch das Steuerventil 19 und das Grobbearbeitungslösungszuführungsrohr 17 dem Bearbeitungsgefäß 4 zuzuführen. In dem Bearbeitungsgefäß 4 werden elektrische Entladungen zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 induziert, welches fest auf der Oberflächenplatte 3 plaziert ist; das heißt, das Werkstück 2 wird einer elektrischen Entladungsbearbeitung unterworfen. Bei diesem Vorgang bildet sich Schlacke 13.

Als Ergebnis enthält die Bearbeitungslösung die Schlacke 13. Die Bearbeitungslösung in dem Bearbeitungsgefäß 4 wird durch das Gebrauchte-Bearbeitungslösungs-Abflußrohr 20 und das Abflußsteuerventil 21 in das Gefäß 12a für gebrauchte Bearbeitungslösung zurückgeführt. Die so zurückgeführte gebrauchte Bearbeitungslösung wird von der Pumpe 16 zu dem Filter 14 geschickt, wo die Schlacke 13 aus der gebrauchten Bearbeitungslösung entfernt wird; das heißt, letztere wird gereinigt. Die so gereinigte Bearbeitungslösung wird in dem Gefäß 12b für gereinigte Bearbeitungslösung untergebracht, um wieder verwendet zu werden. Die Entfernung von Schlacke 13 aus der gebrauchten Bearbeitungslösung wird zu jeder Zeit oder mit Unterbrechungen während einer Entladungsbearbeitung durchgeführt. Somit wird eine Grobbearbeitungsoperation durchgeführt, während die Bearbeitungslösung, die keine Schlacke enthält, dem Bearbeitungsgefäß 4 zugeführt wird.

Nach dem Grobbearbeitungsvorgang wird ein Feinbearbeitungsvorgang durchgeführt, zum Beispiel für eine Oberflächenbehandlung. Bei diesem Vorgang wird die Grobbearbeitungslösung in ihrer Gesamtheit in das Gefäß 12a für gebrauchte Bearbeitungslösung zurückgeführt, und danach wird die Pumpe 9 betrieben, die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, aus dem Bearbeitungslösungsbehälter 5 dem Spalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück (im folgenden als Zwischenelektrodenspalt bezeichnet, wenn passend) durch das Steuerventil 10 zuzuführen.

Bei einem elektrischen Entladungsbearbeitungsvorgang, welcher durchgeführt wird, während eine Bearbeitungspartikel enthaltende Bearbeitungslösung zwischen der Elektrode und dem Werkstück gehalten wird, muß die Konzentration von Bearbeitungspartikeln in der Bearbeitungslösung jeder Zeit konstant gehalten werden, weil sie die Bearbeitungsstabilität sehr stark beeinflußt. Zu diesem Zweck wird die Bearbeitungslösung 7 während des Bearbeitungsvorganges zu jederzeit umlaufen gelassen; spezieller wird die Bearbeitungslösung 7 durch das Abflußrohr 11 und das Abflußsteuerventil 19 in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 zurückgeführt, während sie von dem Bearbeitungslösungsbehälter 5 in das Bearbeitungsgefäß 4 geführt wird.

Die herkömmliche elektrische Entladungsmaschine ist wie oben beschrieben aufgebaut. In der Maschine wird die Bearbeitungslösung umlaufen gelassen, um die Bearbeitungspartikel dem Zwischenelektrodenspalt zu jeder Zeit zuzuführen. Jedoch ist im allgemeinen, weil das Bearbeitungsgefäß großvolumig ist, die Flußrate der so umlaufenden Bearbeitungslösung gering, und deshalb laufen die Bearbeitungspartikel in der Bearbeitungslösung Gefahr, sich abzusetzen. Somit setzen sich die meisten der Bearbeitungspartikel in der Bearbeitungslösung auf dem Boden des Bearbeitungsgefäßes ab, wie bei 22 angedeutet.

Nach einem Endbearbeitungsvorgang wird die Bearbeitungspartikel enthaltende Bearbeitungslösung in den Bearbeitungslösungsbehälter zurückgeführt; ein größerer Teil des Bodensatzes von Bearbeitungspartikeln verbleibt jedoch in dem Bearbeitungsgefäß wie es ist. Somit wird der nächste Grobbearbeitungsvorgang unter der folgenden Schwierigkeit leiden: Während die dem Bearbeitungsgefäß zugeführte Grobbearbeitungslösung umlaufen gelassen wird, fließen die Bearbeitungspartikel in das Gefäß 12a für gebrauchte Bearbeitungslösung und werden somit von dem Filter 16 entfernt. Dementsprechend wird die Konzentration von Bearbeitungspartikeln in der Bearbeitungslösung verringert, was in der Reduktion einer Oberflächenrauhigkeit resultieren kann, im Auftreten von Lichtbögen, oder im abnormalen Verbrauch der Elektrode.

Diese Schwierigkeit kann mittels des folgenden Verfahrens eliminiert werden: Während einer Entladungsbearbeitung bewegt der Bediener die Bearbeitungslösung in dem Bearbeitungsgefäß, um die Niederschlagung von Bearbeitungspartikeln zu minimieren, und nach dem Bearbeitungsvorgang entfernt der Bediener den Bodensatz von Bearbeitungspartikeln aus dem Bearbeitungsgefäß in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 selber oder gibt Bearbeitungspartikel zusätzlich in den Bearbeitungslösungsbehälter. Dieses Verfahren behindert jedoch eine Automatisierung der elektrischen Entladungsmaschine und bringt Probleme beim wirtschaftlichen Betrieb und bei den Betriebskosten mit sich, die gelöst werden müssen.

Eine Vorrichtung zum Bewegen der Bearbeitungslösung während einer Entladungsbearbeitung wurde im Stand der Technik vorgeschlagen (japanische Patentanmeldung (OPI) No. 1 44 198/1975 ("OPI", wie hier verwendet, bedeutet "ungeprüfte, veröffentlichte Anmeldung")). In der Vorrichtung sind Düsen auf einem zylindrischen Teil, welches um die Elektrode gelegt ist, angeordnet, um so zu bewirken, daß die Bearbeitungslösung wie ein Tornado um die Elektrode fließt.

Die Vorrichtung ist vorteilhaft darin, daß die Schlacke von dem Zwischenelektrodenspalt entfernt werden kann; sie ist jedoch noch nachteilig darin, daß in dem Fall, daß eine Bearbeitungslösung verwendet wird, die Bearbeitungspartikel enthält, die Bearbeitungspartikel sich außerhalb des zylindrischen Teiles absetzen, so daß die Konzentration von Bearbeitungspartikeln in der Bearbeitungslösung genauso verringert wird, wie in dem oben beschriebenen Fall.

Die vorangehende Aufgabe der Erfindung wurde durch Vorsehen einer elektrischen Entladungsmaschine gelöst, welche umfaßt: einen Bearbeitungslösungsbehälter zum Aufnehmen einer Bearbeitungslösung, welche Bearbeitungspartikel enthält; ein Bearbeitungsgefäß, welches mit der Bearbeitungslösung gefüllt ist, um ein Werkstück zu bearbeiten; und ein Bearbeitungslösungszirkuliersystem zum Umlaufenlassen der Bearbeitungslösung zwischen dem Bearbeitungslösungsbehälter und dem Bearbeitungsgefäß, welches gemäß der Erfindung ferner umfaßt: Ein Paar von Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen, die in dem Bearbeitungsgefäß in einer Weise angeordnet sind, daß sie einander konfrontieren, wobei die Bearbeitungslösungsspritzeinrichtung die Bearbeitungslösung, die durch das Bearbeitungslösungszirkuliersystem aus dem Bearbeitungslösungsbehälter dahin geliefert wurde, auf das Werkstück in dem Bearbeitungsgefäß in einer vorbestimmten Reihenfolge spritzt.

In der elektrischen Entladungsmaschine der Erfindung werden die Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen in einer vorbestimmten Reihenfolge aktiviert, die Bearbeitungspartikel enthaltende Bearbeitungslösung auf das Werkstück in dem Bearbeitungsgefäß zu spritzen. Als Ergebnis werden die Ströme von Bearbeitungslösung in den Bearbeitungsgefäßen in einer Weise gebildet, daß sie abwechselnd in den entgegengesetzten Richtungen abwechselnd fließen. Dementsprechend kommen die Bearbeitungslösungsströme in dem Bearbeitungsgefäß kaum zur Ruhe. Das heißt, in dem Bearbeitungsgefäß wird keine tote Zone für die Bearbeitungslösung gebildet. Dieses Merkmal, welches einen Niederschlag der Bearbeitungspartikel verhindert, verteilt die Bearbeitungspartikel gleichmäßig in der Bearbeitungslösung.

Eines der Bearbeitungslösungszuführungsrohre, die parallel angeordnet sind, ist mit der Filtereinheit verbunden, wo die Bearbeitungspartikel enthaltende Bearbeitungslösung in eine erste Bearbeitungslösung unterteilt wird, die keine Bearbeitungspartikel enthält, und in eine zweite Bearbeitungslösung, welche Bearbeitungspartikel mit hoher Konzentration enthält. Die zweite Bearbeitungslösung wird in den Bearbeitungslösungsbehälter zurückgeführt, und nur die erste Bearbeitungslösung wird von der Bearbeitungslösungsspritzeinrichtung gespritzt. Durch Spritzen der ersten, keine Bearbeitungspartikel enthaltenden Bearbeitungslösung können die auf dem Boden des Bearbeitungsgefäßes abgelagerten Bearbeitungspartikel periodisch weggewaschen werden, um in dem Bearbeitungslösungsbehälter gesammelt zu werden.

Somit wird die Konzentration von Bearbeitungspartikeln in der Bearbeitungslösung in dem Bearbeitungslösungsbehälter jederzeit konstant gehalten. Die so erhaltene Bearbeitungslösung wird dem Zwischenelektrodenspalt durch ein anderes Bearbeitungslösungszuführungsrohr zugeführt. Demgemäß wird die Konzentration von Bearbeitungspartikeln in der Bearbeitungslösung, die auf die Zwischenelektrode gegeben wird, ebenso jederzeit konstant gehalten.

Die vorliegende Erfindung soll im folgenden unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen näher erläutert werden.

Fig. 1 ist ein Erläuterungsdiagramm, welches die Anordnung eines ersten Beispieles einer elektrischen Entladungsmaschine gemäß dieser Erfindung zeigt;

Fig. 2 und 3 sind erläuternde Diagramme für eine Beschreibung des Betriebes der in Fig. 1 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine;

Fig. 4 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die Anordnung eines zweiten Beispieles der elektrischen Entladungsmaschine gemäß der Erfindung zeigt;

Fig. 5 ist ein erläuterndes Diagramm für eine Beschreibung des Betriebes einer Filtereinheit in der in Fig. 4 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine;

Fig. 6 und 7 sind erläuternde Diagramme für eine Beschreibung des Betriebes der in Fig. 4 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine;

Fig. 8 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die Anordnung eines dritten Beispieles der elektrischen Entladungsmaschine gemäß der Erfindung zeigt;

Fig. 9 bis 13 sind erläuternde Diagramme für eine Beschreibung des Betriebes der in Fig. 8 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine;

Fig. 14 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die Anordnung einer herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine zeigt; und

Fig. 15 bis 18 sind erläuternde Diagramme, welche die Ergebnisse der Experimente zeigen, daß eine Bearbeitungslösung in einem Bearbeitungsgefäß auf verschiedene Weisen zu spritzen.

Fig. 1 zeigt die Anordnung eines ersten Beispiels einer elektrischen Entladungsmaschine gemäß dieser Erfindung. In Fig. 1 sind ein Grobbearbeitungslösungsbehälter und sein Zirkulationssystem ähnlich jenen in Fig. 14 nicht gezeigt. In Fig. 1 sind Teile, welche funktionell jenen entsprechen, die unter Bezug auf Fig. 14 beschrieben wurden, deshalb mit denselben Bezugsziffern oder Zeichen bezeichnet.

Im ersten Ausführungsbeispiel der elektrischen Entladungsmaschine verzweigt sich das Bearbeitungslösungszuführungsrohr 8, welches einen Teil des Bearbeitungslösungszuführungssystem bildet, in zwei Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a und 8b. Die Endabschnitte der Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a und 8b sind mit Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b verbunden, die in dem Bearbeitungsgefäß 4 derartig untergebracht sind, daß sie einander gegenüberstehen. Jede der Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b ist ein zylindrisches Rohr, dessen beide Enden geschlossen sind, welches eine Vielzahl von kleinen Düsenlöchern 26 aufweist, die in der zylindrischen Wand derartig gebildet sind, daß die Bearbeitungslösung auf das Werkstück 2 gespritzt wird. Bevorzugtermaßen wird die Bearbeitungslösung auf die Oberflächenplatte 3 von leicht schräg oben gespritzt, um so entlang der oberen Oberfläche der letzteren zu dem Werkstück 2 hinzufließen (vgl. Fig. 2) .

In Fig. 1 bezeichnen Bezugszeichen 27a und 27b Steuerventile, die jeweils für die Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a und 8b vorgesehen sind. Die Steuerventile 27a und 27b werden von einer Steuerungseinheit 28 gesteuert. Die Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8, 8a und 8b, die Steuerventile 27a und 27b, das Abflußrohr 11 und das Abflußsteuerventil 29 bilden ein System zum Zirkulieren der Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, zwischen dem Bearbeitungslösungsbehälter 5 und dem Bearbeitungsgefäß 4. Der Bearbeitungslösungsbehälter 5 ist mit einem Beweger versehen (nicht gezeigt), um die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, zu bewegen.

Nun wird der Betrieb des ersten Ausführungsbeispieles der elektrischen Entladungsmaschine beschrieben.

Die Pumpe 9 wird betrieben, um die Bearbeitungslösung 7, die Bearbeitungspartikel 6 enthält, aus dem Bearbeitungslösungsbehälter 5 zu den Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b zu liefern, so daß die Bearbeitungslösung abwechselnd von den Einheiten 25a und 25b gespritzt wird. Wenn die Steuereinheit 28 betrieben wird, das Steuerventil 27a zu öffnen, um dadurch zu bewirken, daß die Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a die Bearbeitungslösung spritzt, fließt die Bearbeitungslösung 7 in das Bearbeitungsgefäß 4. Das heißt, wie in Fig. 2 gezeigt, existieren Ströme 30 von Bearbeitungslösungen; das heißt, ein Bearbeitungslösungsstrom 30a, welcher gegen das Werkstück 2 stoßend das Letztere 2 hinauf fließt, und ein Bearbeitungslösungsstrom 30b, welcher entlang der oberen Oberfläche des Werkstückes 2 fließt, und gegen die innere Wand des Bearbeitungsgefäßes stoßend die innere Wand hinauf fließt.

In diesem Fall fließen die meisten der Bearbeitungspartikel 6, die in den Bearbeitungslösungen gemischt sind, zusammen mit den beiden Strömen 30a und 30b der Bearbeitungslösung. Somit werden die Bearbeitungspartikel gleichförmig in der Bearbeitungslösung verteilt, ohne sich auf der Oberflächenplatte 3 abzusetzen. Es sollte jedoch vermerkt werden, daß eine tote Zone 31 hinter dem Werkstück 2 gebildet wird, und die Bearbeitungslösung in der toten Zone 31 einen Wirbel 30c bildet; das heißt, die Bearbeitungslösung stagniert dort. Deshalb beginnen die Bearbeitungspartikel sich in der toten Zone 31 abzusetzen, wenn unter diesen Umständen die Bearbeitungslösung kontinuierlich von der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a gespritzt wird, und sie können sich absetzen, um den Entladungsbearbeitungsvorgang nachteilig zu beeinflussen.

Deshalb wird, bevor diese Schwierigkeit auftritt, die Steuerungseinheit 28 so betrieben, das Steuerventil 27a zu schließen, um dadurch den Betrieb der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a auszusetzen, und das Steuerventil 27b zu öffnen, um dadurch zu bewirken, daß die Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25b die Bearbeitungslösung in der entgegengesetzten Richtung spritzt. In diesem Fall fließt die Bearbeitungslösung wie in Fig. 3 gezeigt, das heißt, die Bearbeitungslösungsströme verlaufen gerade in entgegengesetzter Richtung zu den Bearbeitungslösungsströmen in Fig. 2. Dieses eliminiert die oben beschriebene Schwierigkeit, daß die Bearbeitungslösung den Wirbel 30c in der toten Zone 31 bildet.

Die oben beschriebenen Bearbeitungslösungsspritzvorgänge der Bearbeitungslösungsspritzeinheiten werden abwechselnd durchgeführt. Deshalb bildet sich keine tote Zone in dem Bearbeitungsgefäß 4, der Niederschlag von Bearbeitungspartikeln wird verhindert, das heißt, die Bearbeitungspartikel 6 werden gleichförmig in der Bearbeitungslösung 7 verteilt. Somit können mit der elektrischen Entladungsmaschine geeignete Entladungsbearbeitungsbedingungen vorgesehen werden.

Fig. 4 zeigt die Anordnung eines zweiten Ausführungsbeispieles der elektrischen Entladungsmaschine gemäß der Erfindung.

In der in Fig. 2 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine verzweigt sich das Bearbeitungslösungszuführungsrohr in zwei parallele Rohrleitungen 8c und 8d. Die Rohrleitung 8d ist mit einer zylindrischen Filtereinheit 35 ausgestattet, welche mit den oben beschriebenen Bearbeitungslösungszuführungsrohren 8a und 8b verbunden ist. Die Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a und 8b sind mit den oben beschriebenen Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a bzw. 25b verbunden. Ähnlich wie in dem Fall der Fig. 8 wird die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, durch die Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8 und 8c in das Bearbeitungsgefäß 4 geliefert.

Die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, wird durch die Rohrleitung 8d der Filtereinheit 35 zugeführt, wo die Bearbeitungspartikel 6 aus der Bearbeitungslösung 7 entfernt werden, so daß eine erste Bearbeitungslösung, welche keine Bearbeitungspartikel 6 enthält, und eine zweite Bearbeitungslösung, welche Bearbeitungspartikel mit hoher Konzentration enthält, erhalten werden. Nur die erste Bearbeitungslösung, welche keine Bearbeitungspartikel enthält, wird durch die Rohrleitung 8d den Bearbeitungslösungszuführungsrohren 8a und 8b zugeführt, so daß sie abwechselnd von den Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b gespritzt wird.

Die zweite Bearbeitungslösung, welche Bearbeitungspartikel mit hoher Konzentration enthält, wird durch eine Rohrleitung 8e in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 zurückgeführt. In Fig. 4 bezeichnen Bezugszeichen 36 und 37 Steuerventile, die für die Rohrleitung 8d vorgesehen sind; und 38 ein Steuerventil, welches für die Rohrleitung 8c vorgesehen ist. Die anderen Anordnungen der elektrischen Entladungsmaschine sind dieselben wie jene der in Fig. 14 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine.

Der Betrieb des zweiten Beispieles der elektrischen Entladungsmaschine, die so aufgebaut ist, wird nun beschrieben.

Nach einem Feinbearbeitungsvorgang wird die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 in dem Bearbeitungsgefäß enthält, durch das Abflußrohr 11 und das Abflußsteuerventil 29 in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 zurückgeführt. Wenn die Bearbeitungslösung in ihrer Gesamtheit aus dem Bearbeitungsgefäß 4 entfernt worden ist, wird das Steuerventil 10 geschlossen und das Steuerventil 36 geöffnet, und unter dieser Bedingung wird die Pumpe 9 betrieben, die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, der Filtereinheit 35 zuzuführen. Die so zugeführte Bearbeitungslösung 5, wie in Fig. 5 gezeigt, wird von einem Filmfilter 39 in der Filtereinheit 35 in eine Bearbeitungslösung 7a unterteilt, welche keine Bearbeitungspartikel enthält, und in eine Bearbeitungslösung 7b, welche Bearbeitungspartikel mit hoher Konzentration enthält.

Wenn der Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält, erlaubt wird, entlang der inneren Wand des zylindrischen Filmfilters 39 zu fließen, werden die Drücke innerhalb und außerhalb des Filmfilters 39 voneinander verschieden, so daß die Bearbeitungslösung 7 dazu neigt, nach außen durch den Filmfilter 39 zu treten. In dem Fall, daß der Maschendurchmesser des Filmfilters 39 kleiner ist als die Partikelgröße der Bearbeitungspartikel 6, können die letzteren sechs nicht durch den Filmfilter 39 hindurchgehen, so daß sie auf der inneren Wand des Filmfilters 39 abgelagert werden, und demgemäß geht nur die Bearbeitungslösung 7a durch den Filmfilter 39. Die Bearbeitungslösung 7a wird durch die Rohrleitung 8d und das Steuerventil 37 und durch die Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a und 8b in dem Bearbeitungsgefäß 4 zugeführt.

In diesem Fall wird eines der zwei Steuerventile 27a und 27b geöffnet, und dementsprechend wird die Bearbeitungslösung 7a nur von einer der Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen 25a und 25b, für welche die Steuerventile 27a bzw. 27b vorgesehen sind, gespritzt. Die so gespritzte Bearbeitungslösung 7a wäscht die Bearbeitungspartikel von dem Bearbeitungsgefäß 4 weg; das heißt, die die Bearbeitungspartikel absorbierende Bearbeitungslösung wird in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 durch das Abflußrohr 11 und das Abflußsteuerventil 29 zurückgeführt.

Fig. 6 und 7 zeigen, wie die Bearbeitungspartikel, die in dem Bearbeitungsgefäß verbleiben, mit der Bearbeitungslösung entfernt werden, welche, durch die Filtereinheit 35 hindurchtretend, keine Bearbeitungspartikel enthält. Im Falle der Fig. 6 wird das Steuerventil 27a von der Steuerungseinheit 28 geöffnet, während das Steuerventil 27b geschlossen ist. Im Falle der Fig. 7 wird das Steuerventil 27a von der Steuerungseinheit 28 geschlossen, während das Steuerventil 27b geöffnet ist.

Wenn das Steuerventil 27a geöffnet wird, wird die Bearbeitungslösung 7a, welche, durch die Filtereinheit 35 hindurchtretend, keine Bearbeitungspartikel enthält, nur an die Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a geliefert, so daß sie von den Düsenlöchern 26 der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a auf das Werkstück 2 gespritzt wird. Als Ergebnis wird ein Bearbeitungslösungsstrahl in dem Bearbeitungsgefäß 4 gebildet, wie bei 40 angedeutet. Das heißt, der Bearbeitungslösungsstrahl läuft entlang der Ablage von Bearbeitungspartikeln 22a in dem Bearbeitungsgefäß 4. Somit fließt die Bearbeitungslösung über das Werkstück 2, während sie Bearbeitungspartikel aufnimmt, wie bei 40a angedeutet, zum Auslaß (nicht gezeigt) des Bearbeitungsgefäßes.

Bei diesem Vorgang ist es unmöglich, den Belag von Bearbeitungspartikeln 22b vollständig wegzuwaschen. Deshalb wird, nachdem der Absatz von Bearbeitungspartikeln 22a weggewaschen worden ist, das Steuerventil 27a geschlossen, um den Bearbeitungslösungsspritzvorgang der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a zu unterbinden, und dann wird das Steuerventil 27b geöffnet, um den Betrieb der anderen Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25b zu beginnen.

Als Ergebnis fließt in dem Bearbeitungsgefäß 4 die Bearbeitungslösung 7a wie in Fig. 7 gezeigt. In diesem Fall ist die Flußrichtung der Bearbeitungslösung 7a entgegengesetzt der Flußrichtung der Bearbeitungslösung 7a im Falle der Fig. 6. Somit wird die Zone, wo die Bearbeitungslösung nicht ausreichend fließt, vom Fluß der Bearbeitungslösung, wie in Fig. 7 gezeigt, eliminiert. Somit wird der Absatz 20b von Bearbeitungspartikeln weggewaschen; das heißt, die Bearbeitungspartikel können selbst aus der Zone weggewaschen werden, wo die Bearbeitungslösung ungenügend fließt.

Andererseits werden die sich auf der inneren Wand des Filmfilters 39 der Filtereinheit 35 absetzenden Bearbeitungspartikel wie folgt behandelt: Das heißt, die Bearbeitungslösung 7, die in dem Filmfilter 39 fließt, absorbiert die Bearbeitungspartikel und bildet so die zuvor erwähnte Bearbeitungslösung 7b, welche Bearbeitungspartikel mit hoher Konzentration enthält. Die Bearbeitungslösung 7b wird durch die Rohrleitung 84 und das Steuerventil 38 in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 zurückgeführt. Somit können, bevor ein Endbearbeitungsvorgang beginnt, die Bearbeitungspartikel, welche vor dem Endbearbeitungsvorgang verbleiben, aus dem Bearbeitungsgefäß vollständig weggewaschen werden. Wie oben beschrieben wurde, wird die Bearbeitungslösung 7b durch die Rohrleitung 8e und das Steuerventil 38 in den Bearbeitungslösungsbehälter 5 zurückgeführt. Deshalb kann bei dem nächsten Endbearbeitungsvorgang die Bearbeitungslösung 7, welche Bearbeitungspartikel mit einer vorbestimmten Konzentration enthält, an den Zwischenelektrodenspalt geliefert werden. Das heißt, es können befriedigende Entladungsbearbeitungsbedingungen erhalten werden.

Während einer Entladungsbearbeitung kann die Bearbeitungslösung 7, welche keine Bearbeitungspartikel enthält, abwechselnd von den Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b gespritzt werden, um zu verhindern, daß sich Bearbeitungspartikel 6 in dem Bearbeitungsgefäß 4 absetzen.

Fig. 8 zeigt die Anordnung eines dritten Ausführungsbeispieles der elektrischen Entladungsmaschine gemäß der Erfindung. In Fig. 8 sind ein Grobbearbeitungslösungsbehälter und sein Bearbeitungslösungszirkuliersystem nicht gezeigt, welche ähnlich jenen in Fig. 14 sind. In Fig. 8 sind deshalb Teile, welche funktionell jenen entsprechen, die bereits unter Bezug auf Fig. 14 beschrieben wurden, mit denselben Bezugsziffern oder Zeichen bezeichnet.

In der in Fig. 8 gezeigten elektrischen Entladungsmaschine ist ein Bearbeitungslösungszuführungsrohr 41, ein Teil des Bearbeitungslösungszuführungssystems, parallel geschaltet zu dem Bearbeitungslösungszuführungsrohr 8, welches sich in vier parallele Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a, 8b, 8c und 8d verzweigt. Diese Rohre 8a, 8b, 8c und 8d sind mit Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a, 25b, 25c bzw. 25d verbunden, welche in dem Bearbeitungsgefäß derart angeordnet sind, daß sie sich einander gegenüberstehen. Jede der Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a bis 25d hat die Form eines zylindrischen Rohres, dessen beide Enden geschlossen sind, welches eine Vielzahl von kleinen Düsenlöchern 26 in der zylindrischen Wand aufweist.

Spezieller sind die Richtungen der Düsenlöcher 26 der Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b so bestimmt, daß die Bearbeitungslösung auf die obere Oberfläche der Oberflächenplatte 3 gespritzt wird, bevorzugtermaßen von leicht schräg oben. Und die Richtungen von Düsenlöchern 26 der Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25c und 25d sind so bestimmt, daß die Bearbeitungslösung 7 auf die obere Oberfläche des Werkstückes 2 gespritzt wird, bevorzugtermaßen von leicht schräg oben.

Die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25c und 25d sind so konstruiert, daß sie gemäß der Dicke eines Werkstückes 2 vertikal bewegt werden können, oder eine Vielzahl von Einstellpositionen für die Einheiten 25c und 25d vorgesehen sind. In Fig. 8 bezeichnet das Bezugszeichen 27 ein Steuerventil für das Bearbeitungslösungszuführungsrohr 8; und 27a, 27b, 27c und 27d bezeichnen Steuerventile, die für die Bearbeitungslösungszuführungsrohre 8a, 8b, 8c bzw. 8d vorgesehen sind.

Der Betrieb des dritten Beispiels der elektrischen Entladungsmaschine, die so aufgebaut ist, wird nun beschrieben.

Bevor ein Endbearbeitungsvorgang nach dem Grobbearbeitungsvorgang begonnen wird, ist es nötig, das Bearbeitungsgefäß 4 mit der Bearbeitungslösung 7 zu füllen, welche Bearbeitungspartikel 6 enthält. Dazu wird bei geschlossenem Steuerventil 27 die Pumpe 9 betrieben, die Bearbeitungslösung 7 von dem Bearbeitungslösungsbehälter 5 durch das Steuerventil 42 und das Bearbeitungslösungszuführungsrohr 42 in das Bearbeitungsgefäß 4 zu liefern. Nachdem das Bearbeitungsgefäß 4 mit der Bearbeitungslösung 7 gefüllt ist, wird das Steuerventil 42 geschlossen, während das Steuerventil 27 geöffnet wird. Unter diesen Umständen wird mit Hilfe der Pumpe 9 die Bearbeitungslösung an die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a, 25b, 25c und 25d geliefert, und von jenen Spritzeinheiten 25a bis 25d in einer vorbestimmten Reihenfolge verspritzt.

Wenn das Steuerventil 27a geöffnet wird, und die Steuerventile 27b, 27c und 27d geschlossen sind, wird die Bearbeitungslösung von der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a derart verspritzt, daß sie entlang der oberen Oberfläche der Oberflächenplatte 3 fließt. In diesem Fall werden erste und zweite Bearbeitungslösungsströme 31a und 31b gebildet, wie in Fig. 10 gezeigt ist. Das heißt, die ersten Bearbeitungslösungsströme 31a fließen entlang der oberen Oberfläche der Oberflächenplatte 3, und die zweiten Bearbeitungslösungsströme 31b stoßen auf das Werkstück 2 und kehren zu der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25 zurück. Somit wird bewirkt, daß die meisten der in der Bearbeitungslösung enthaltenen Bearbeitungspartikel 6 zusammen mit den Bearbeitungslösungsströmen 31a und 31b fließen. Demgemäß setzen sich die Bearbeitungspartikel nicht auf der Oberflächenplatte 3 ab, und werden gleichmäßig in der Bearbeitungslösung 7 verteilt.

Es werden jedoch bei diesem Vorgang Zonen 33a und 33b auf der Oberflächenplatte und dem Werkstück gebildet, wo die Bearbeitungslösung nicht fließt. Deshalb setzen sich die Bearbeitungspartikel in den oben beschriebenen Zonen 33a und 33b, wo die Bearbeitungslösung nicht fließt, ab, wenn unter diesen Umständen die Bearbeitungslösung 7 weiter von der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25 verspritzt wird. In diesem Fall können sich die Bearbeitungspartikel so stark absetzen, daß sie den Entladungsbearbeitungsvorgang nachteilig beeinflussen.

Somit wird vor dem Auftreten dieser Schwierigkeit das Steuerventil 27a geschlossen, um den Spritzbetrieb der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25a zu unterbinden, und dann wird das Steuerventil 27b geöffnet, um die Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25b zu veranlassen, die Bearbeitungslösung in der entgegengesetzten Richtung zu spritzen, wie in Fig. 11 gezeigt ist. Wie aus dem Vergleich der Fig. 10 und 11 ersichtlich ist, sind die Bearbeitungslösungsströme in Fig. 11 jenen in Fig. 10 entgegengesetzt gerichtet, was die Zone 33a, wo die Bearbeitungslösung nicht fließt, eliminiert. Jedoch ist unter diesen Umständen die Zone 33b noch nicht eliminiert, und das Absetzen von Bearbeitungspartikeln setzt sich fort.

Um diese Schwierigkeit zu eliminieren, wird das Steuerventil 27b geschlossen, um den Bearbeitungslösungsspritzvorgang der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25 zu unterbinden, und dann wird das Steuerventil 27c geöffnet, um der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25c zu erlauben, das Spritzen der Bearbeitungslösung auf das Werkstück 2 zu beginnen, welche auf ein vorbestimmtes Niveau in Übereinstimmung mit der Höhe oder Dicke des Werkstückes eingestellt wurde. Bei diesem Vorgang werden Bearbeitungslösungsströme 32a und 32b über dem Werkstück 2 gebildet, wie in Fig. 2 gezeigt ist, wodurch die meisten der Bearbeitungspartikel, die sich in der Zone 33b des Werkstückes 2 abgesetzt haben, weggewaschen werden. Jedoch wird eine Zone 33c auf dem Werkstück 2 gebildet, wo die Bearbeitungslösung nicht fließt. Deshalb setzen sich Bearbeitungspartikel auf dem Werkstück 2 in der Zone 33c ab, wenn unter diesen Umständen die Bearbeitungslösung 7 weiterhin von der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25c verspritzt wird.

Um diese Schwierigkeit zu eliminieren, wird das Steuerventil 27c geschlossen, um den Betrieb der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25c zu unterbinden, und dann wird das Steuerventil 27d geöffnet, um der Bearbeitungslösungsspritzeinheit 25d zu erlauben, den Bearbeitungslösungsstrahl in entgegengesetzter Richtung zu verspritzen, welche auf ein vorbestimmtes Niveau eingestellt wurde, wie in Fig. 13 gezeigt ist. Wie sich aus dem Vergleich der Fig. 13 mit Fig. 12 ergibt, sind die Bearbeitungslösungsströme entgegengesetzt zu jenen in Fig. 12, wodurch die Zone 33c, wo die Bearbeitungslösung nicht fließt, eliminiert wird. Somit wird verhindert, daß sich Bearbeitungspartikel absetzen, weil Zonen gebildet werden, wo die Bearbeitungslösung nicht fließt.

In der oben beschriebenen elektrischen Entladungsmaschine werden die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a, 25b, 25c und 25d in der genannten Reihenfolge aktiviert, um die Bearbeitungslösung 7 zu verspritzen. Jedoch ist die Reihenfolge der Aktivierung dieser Bearbeitungslösungsspritzeinheiten nicht darauf oder dadurch beschränkt.

Im Fall, daß die Abscheidung von Bearbeitungspartikeln auf der Elektrode 1 die Bearbeitungspartikelmischungskonzentration nachteilig beeinflußt, ist es nötig, die Bearbeitungslösung auf die obere Oberfläche der Elektrode 1 hin zu spritzen. Dazu können die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten, welche vertikal bewegt und einander gegenübergestellt werden können, und die Bearbeitungslösungszuführungsrohre und die dafür vorgesehenen Steuerventile mit dem Bearbeitungslösungszuführungsrohr 8 verbunden werden (nicht gezeigt).

Die oben beschriebene elektrische Entladungsmaschine kann wie folgt modifiziert werden: Ein Paar von beweglichen Bearbeitungslösungsspritzeinheiten, die in vertikaler Position nach Wunsch verstellbar sind, werden in der Bearbeitungslösung an beiden Enden ähnlich wie in Fig. 1 eingestellt. In dieser Modifikation werden die beweglichen Bearbeitungslösungsspritzeinheiten vertikal in Übereinstimmung mit der Dicke des Werkstückes, welches bearbeitet werden soll, bewegt, und abwechselnd aktiviert. Somit kann die so modifizierte Entladungsmaschine dieselben Effekte zeigen wie die in Fig. 8 dargestellte elektrische Entladungsmaschine.

Die Ergebnisse von Experimenten an der Absetzung von Bearbeitungspartikeln abhängig von Bearbeitungslösungsspritzrichtungen wird unter Bezug auf die Fig. 15 bis 18 beschrieben. Bei jeder der Fig. 15 und 18 sind die Teile (a) und (b) eine ebene Ansicht bzw. eine Frontalansicht der Oberflächenplatte in der Bearbeitungslösung.

• 1) Aufwärtsspritzen der Bearbeitungslösung (vgl. Fig. 15).
  Im Falle der Fig. 15 waren die Düsenlöcher 26 der Bearbeitungslösungsspritzeinheit schräg aufwärts gerichtet. In diesem Fall setzten sich die Bearbeitungspartikel, wie von den schrägen Linien 22 im Teil (a) der Fig. 5 angedeutet, auf der gesamten oberen Oberfläche der Oberflächenplatte 3 ab. In Fig. 15 bezeichnet die Bezugsziffer 43 eine am Werkstück befestigte Vorrichtung, um die Bearbeitungslösung zu dem Spalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück zu liefern.
• 2) Beim Spritzen der Bearbeitungslösung in zwei Richtungen, welche zueinander rechtwinkelig sind (vgl. Fig. 16).
  Die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b wurden bei der Oberflächenplatte derart angeordnet, daß sie rechte Winkel bildeten, und die Düsenlöcher wurden leicht nach unten gerichtet. In diesem Fall wurde die tote Zone hinter dem Werkstück 2 und der Vorrichtung 43 gebildet, und die Bearbeitungspartikel wurden in der toten Zone abgesetzt, wie bei 22 angedeutet. Dieses zeigt die Tatsache, daß abhängig von der Anordnung des Werkstückes 2 und der am Werkstück befestigten Vorrichtung in dem Bearbeitungsgefäß die tote Zone gebildet wird, welche von der Bearbeitungslösung nicht erreicht wird.
• 3) Beim Spritzen der Bearbeitungslösung aufwärts (vgl. Fig. 17).
  Die auf beiden Seiten des Werkstückes positionierten Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b wurden aktiviert, die Bearbeitungslösung gleichzeitig zu verspritzen. In diesem Fall trat das Absetzen von Bearbeitungspartikeln auf, wenn die Flußrate und der Druck der verspritzten Bearbeitungslösung nicht ausgewogen miteinander waren. Im Fall der Fig. 17 war der Druck der von links gespritzten Bearbeitungslösung niedriger als der der von rechts gespritzten Bearbeitungslösung, so daß der Niederschlag von Bearbeitungspartikeln auf der linken Seite der Vorrichtung 43 stattfand.
• 4) Beim Spritzen der Bearbeitungslösung abwechselnd in entgegengesetzte Richtungen (vgl. Fig. 18).
  Die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten 25a und 25b wurden in der gleichen Weise wie in Fig. 7 angeordnet, und sie wurden abwechselnd aktiviert, die Bearbeitungslösung zu verspritzen. Die Bearbeitungslösung wurde in dieselben Richtungen verspritzt, wie in der elektrischen Entladungsmaschine der Erfindung. Ein sich Absetzen der Bearbeitungspartikel wurde überhaupt nicht beobachtet.

Wie oben beschrieben wurde, kann in der elektrischen Entladungsmaschine nach der Erfindung das sich Absetzen von Bearbeitungspartikeln in dem Bearbeitungsgefäß verhindert werden, und die Konzentration von Bearbeitungspartikeln in der Bearbeitungslösung, die dem Zwischenelektrodenspalt zugeführt wird, kann zu jeder Zeit konstant gehalten werden. Als Ergebnis werden die diversen Schwierigkeiten wie etwa die Reduktion der Oberflächenrauhigkeit, das Auftreten von Lichtbögen, und der abnormale Verbrauch der Elektrode, wovon die herkömmliche elektrische Entladungsmaschine begleitet wird, eliminiert. Zusätzlich können in der elektrischen Entladungsmaschine nach der Erfindung die Bearbeitungspartikel in dem Bearbeitungsgefäß bereits dadurch bewegt werden, daß nur die Bearbeitungslösung von den Bearbeitungslösungsspritzeinheiten verspritzt wird. Dieses Merkmal trägt zu einer Reduktion der Herstellungskosten bei, ebenso wie zur leichten Automatisierung der elektrischen Entladungsmaschine.

Claims (5)

1. Elektrische Entladungsmaschine, mit
einem Bearbeitungslösungsbehälter (5) zum Aufnehmen einer Bearbeitungslösung (7), welche Bearbeitungspartikel (6) enthält;
einem Bearbeitungsgefäß (4), welches mit der Bearbeitungslösung (7) gefüllt ist, um ein Werkstück (2) zu bearbeiten;
einem Bearbeitungslösungszirkuliersystem (8a, 8b, 11, 27a, 27b, 29) zum Umlaufenlassen der Bearbeitungslösung (7) zwischen dem Bearbeitungslösungsbehälter (5) und dem Bearbeitungsgefäß (4); und
einem Paar von Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen (25a, 25b), die in dem Bearbeitungsgefäß (4) derart angeordnet sind, sich gegenüberzustehen, wobei die Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen (25a, 25b) die ihnen durch das Bearbeitungslösungszirkuliersystem von dem Bearbeitungslösungsbehälter (5) zugeführte Bearbeitungslösung (7) auf das Werkstück (2) in dem Bearbeitungsgefäß (4) in einer vorbestimmten Reihenfolge spritzen.

2. Elektrische Entladungsmaschine nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
zwei Bearbeitungslösungszuführungsrohre (8a, 8b), in welche sich ein Bearbeitungslösungszuführungsrohr (8) des Bearbeitungslösungszirkuliersystems (8, 8a, 8b, 11, 27a, 27b, 29) verzweigt,
wobei eines der beiden Bearbeitungslösungszuführungsrohre (8a, 8b) mit einer Filtereinheit (35) versehen ist, welche die Bearbeitungslösung (7) filtert, um eine erste Bearbeitungslösung zu bilden, welche keine Bearbeitungspartikel enthält, und eine zweite Bearbeitungslösung, welche Bearbeitungspartikel mit hoher Konzentration enthält; und
eine Rohrleitung (8c) zum Rückführen der zweiten Bearbeitungslösung in den Bearbeitungslösungsbehälter (5), und eine Rohrleitung (8d) zum Zuführen der ersten Bearbeitungslösung zu den Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen (25a, 25b).

3. Elektrische Entladungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen (25a, 25b), die in dem Bearbeitungsgefäß (4) einander gegenüberstehend angeordnet sind, vertikal bewegbar sind und in einer vorbestimmten Reihenfolge aktiviert werden, die Bearbeitungslösung (7) auf eine Oberflächenplatte (3), ein Werkstück (2) und eine Elektrode in dem Bearbeitungsgefäß (4) zu spritzen.

4. Elektrische Entladungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede des Paares von Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen (25a, 25b) zwei Bearbeitungslösungsspritzeinheiten umfaßt, die in zwei Schichten gelegt sind, wobei die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten, die das Paar von Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen bilden, in einer vorbestimmten Reihenfolge aktiviert werden, die Bearbeitungslösung (7) auf eine Oberflächenplatte (3), ein Werkstück (2) und eine Elektrode in dem Bearbeitungsgefäß (4) zu spritzen.

5. Elektrische Entladungsmaschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Bearbeitungslösungsspritzeinheiten (25a, 25b), die die Bearbeitungslösungsspritzeinrichtungen bilden, vertikal bewegbar sind, die Bearbeitungslösung (7) auf die Oberflächenplatte (3), das Werkstück (2) und die Elektrode in dem Bearbeitungsgefäß (4) zu spritzen.