DE4120681A1 - Ultraschallwandler - Google Patents

Ultraschallwandler

Info

Publication number
DE4120681A1
DE4120681A1 DE4120681A DE4120681A DE4120681A1 DE 4120681 A1 DE4120681 A1 DE 4120681A1 DE 4120681 A DE4120681 A DE 4120681A DE 4120681 A DE4120681 A DE 4120681A DE 4120681 A1 DE4120681 A1 DE 4120681A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
membrane
ultrasonic transducer
transducer according
piezo
oscillator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE4120681A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Rapps
Peter Prof Dipl Ing Knoll
Franz Dipl Ing Pachner
Martin Dipl Phys Dr Noll
Michael Dipl Ing Fischer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE4120681A priority Critical patent/DE4120681A1/de
Priority to PCT/DE1991/000596 priority patent/WO1992002795A2/de
Priority to EP91912434A priority patent/EP0507892B1/de
Priority to DE59108268T priority patent/DE59108268D1/de
Priority to TW080106559A priority patent/TW205128B/zh
Publication of DE4120681A1 publication Critical patent/DE4120681A1/de
Priority to US07/910,031 priority patent/US5446332A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G10K9/122Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/87Combinations of sonar systems
    • G01S15/876Combination of several spaced transmitters or receivers of known location for determining the position of a transponder or a reflector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/93Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S15/931Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/521Constructional features
    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/26Sound-focusing or directing, e.g. scanning
    • G10K11/34Sound-focusing or directing, e.g. scanning using electrical steering of transducer arrays, e.g. beam steering
    • G10K11/341Circuits therefor
    • G10K11/346Circuits therefor using phase variation
    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K13/00Cones, diaphragms, or the like, for emitting or receiving sound in general
    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G10K9/122Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means
    • G10K9/125Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means with a plurality of active elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Description

Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem Ultraschallwandler nach der Gattung des Hauptanspruchs. Aus der DE-OS 31 37 745 ist schon ein Ultra­ schallwandler bekannt, der als Topfwandler ausgebildet ist. An be­ stimmten Stellen seines Topfes ist als Dämpfungsmaterial eine Ver­ gußmasse angebracht, die beim Senden des Ultraschallwandlers die Ausbreitung des Schalls in den bedämpften Richtungen sehr stark un­ terdrückt. Die Schallausbreitung in Richtung des nicht bedämpften Schalltrichters erfolgt unbedämpft mit entsprechend hoher Energie.
Beim Empfang von Schallwellen ist die Empfindlichkeit an den be­ dampften Stellen des Schalltrichters besonders gering, so daß Schallwellen im wesentlichen nur aus den unbedämpften Richtungen empfangen werden können.
Derartige Topfwandler haben die Eigenschaft, daß der Abstrahlwinkel in der bedämpften Richtung relativ klein ist, während er in der un­ bedämpften Richtung relativ groß ist. Möchte man beispielsweise Hin­ dernisse im Rückraum eines Kraftfahrzeuges lückenlos erkennen, dann müssen mehrere derartige Sensoren nebeneinander angeordnet wer­ den.
Vorteile der Erfindung
Der erfindungsgemäße Ultraschallwandler mit den kennzeichnenden Merkmalen der Ansprüche 1 und 3 hat demgegenüber den Vorteil, daß die Membran bzw. das Gehäuse durch deren Ausbildung die gewünschte Dämpfung bewirkt, so daß keine Vergußmassen erforderlich sind.
Bei einer ersten Ausführungsform der Erfindung ist besonders vor­ teilhaft, daß die Wandung der Membran an zwei gegenüberliegenden Seiten verstärkt ist. Dadurch wird die Herstellung des Ultraschall­ wandlers besonders einfach und kostengünstig.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist von Vorteil, daß für den Ul­ traschallwandler eine etwa rechteckförmige Gehäuseform mit entspre­ chender, angepaßter Membran verwendet wird. Dadurch kann in vorteil­ hafter Weise auf zusätzliche Dämpfungsmittel verzichtet werden, da bei einem Ultraschallwandler, der auf der ersten Grundwelle betrie­ ben wird, die Ausbildung von Nebenkeulen durch die Form der Membran verhindert wird.
Ordnet man den Ultraschallwandler mit einer langen Seite parallel zur Fahrzeugebene an, dann ist der Abstrahlwinkel für die Ultraschallkeule in vertikaler Richtung relativ schmal, während er in horizontaler Richtung sehr breit ist. Dadurch kann beispielsweise bei einem Kraftfahrzeug der interessierende Bereich für die Abstands­ messung mit wenigen Sensoren überwacht werden.
Diese Bauform ist ohne Mehrkosten, beispielsweise im Fließpreßver­ fahren herstellbar.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor­ teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Hauptanspruch angegebenen Ultraschallwandlers möglich.
Eine günstige Ausführung des Ultraschallwandlers ergibt sich, wenn die rechteckförmige Membran zunächst mit einem ersten Piezo-Wandler belegt ist und auf diesen Piezo-Wandler ein zweiter kreisrunder Piezo-Wandler angeordnet ist. Durch Erregung des ersten und zweiten Piezo-Wandlers kann vorteilhaft in der horizontalen sowohl eine breite als auch eine schmale Schallkeule abgestrahlt werden. Durch Überlagerung der Ultraschallkeulen entstehen keine Lücken in der Ge­ samtcharakteristik für die Schallkeule. Daraus ergibt sich der Vor­ teil, daß in vielen Fällen auf den Schalltrichter verzichtet werden kann.
Eine weitere günstige Ausführungsform ist darin zu sehen, daß drei gleichartige Piezosensoren in Reihe nebeneinander angeordnet sind. Die Anregung kann sehr einfach insbesondere mit verschiedenen Fre­ quenzen gleich- oder gegenphasig erfolgen, so daß eine lückenlose Ultraschallkeule entsteht.
Preiswerte Ausführungsformen des Ultraschallwandlers ergeben sich, wenn das Gehäuse aus einem Kunststoff gefertigt wird, der durch ein einfaches Spritzverfahren besonders leicht verarbeitbar ist.
Weitere Vorteile der Erfindung sind der Beschreibung entnehmbar.
Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1a und 1b grafische Darstellungen für die Ultraschallkeulen, Fig. 2 ein Schnittbild, Fig. 3a und b einen Ultraschallwandler nach dem Stand der Technik, Fig. 4a und b ein erstes Ausführungsbei­ spiel, Fig. 5a und b ein zweites Ausführungsbeispiel, Fig. 6a, b, c ein drittes Ausführungsbeispiel und Fig. 7a, b ein viertes Aus­ führungsbeispiel.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In Fig. 1a und b sind Diagramme dargestellt, die die Abstrahl­ charakteristik eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers wiederge­ ben. In Fig. 1a wird die horizontale Abstrahlcharakteristik wieder­ gegeben. Daraus ist zu sehen, daß die Dämpfung in der Hauptkeule der Ultraschallwellen im Bereich um 0o gering ist. Bei zunehmendem Aus­ breitungswinkel ist die Dämpfung der Schallwellen etwas größer und wird in den Nebenkeulen im Bereich zwischen etwa 30 und 80o wieder geringer. Die dargestellte Dämpfungskurve weist also eine weitwink­ lige Abstrahlcharakteristik in der Horizontalen auf.
In Fig. 1b ist die vertikale Abstrahlcharakteristik des Erfindungs­ gegenstandes dargestellt. Aus dieser Darstellung ist ersichtlich, daß die Dämpfung im 0o-Bereich am geringsten ist, während sie mit zunehmenden Winkel immer größer wird. Die vertikale Abstrahlchrak­ teristik kann daher als schmalwinklig angesehen werden.
In Fig. 2 ist ein Schnitt durch einen bekannten Ultraschallwandler dargestellt, der die prinzipielle Funktion der Schallwellenerzeugung wiedergibt. Der auf der Membran 3 angeordnete Piezoschwinger 2 bewirkt bei Ansteuerung mit einem Wechselspannungssignal, daß die Membran 3 entsprechend der Frequenz der Ansteuerspannung deformiert wird und dadurch Schwingungen erzeugt. Der Piezoschwinger 2 ist zen­ trisch auf der Membran 3 aufgeklebt. Bei geeigneter Wahl des Durch­ messers des Piezoschwingers 2, beispielsweise ein Drittel des Mem­ brandurchmessers, wird die Membran 3 im mittleren Bereich gegenpha­ sig zu den benachbarten Bereichen schwingen. Die vom Sensor abge­ strahlte Ultraschallkeule entsteht aus der Überlagerung der von den drei Schwingungszentren ausgehenden Kugelwellen. So bildet sich in Vorwärtsrichtung eine starke Hauptkeule aus, die durch konstruktive Interferenz der beiden gleichphasig schwingenden Seitenbereiche ent­ steht. Konstruktive Interferenz liegt auch dann vor, wenn der Gang­ unterschied der beiden Teilwellen ein ganzzahliges Vielfaches der Wellenlänge beträgt, was gemäß der Fig. 1a zu den Nebenkeulen führt. Beträgt der Gangunterschied, dann tritt destruktive Inter­ ferenz (Auslöschung) ein, was gemäß der Fig. 1a aus den stärker ge­ dämpften Bereichen bei etwa ±20 bis 25o zu erkennen ist. Je nach­ dem, wie stark die Deformation der Membran 3 ist, bilden sich ent­ sprechende Hauptmaxima, beispielsweise in 0o-Richtung, d. h. in Richtung der Flächennormalen zum Piezoschwinger bzw. Minima und Nebenmaxima aus.
Bei den erfindungsgemäßen Ausführungsbeispielen wird daher versucht, durch Dämpfung der Membran 3 an geeigneten Stellen und mit geeigne­ ten Mitteln die Ausbreitungscharakteristik der Ultraschallkeule so­ wohl bei der Grundwelle als auch bei der ersten Oberwelle zu beein­ flussen.
Bei einem aus der DE-OS 31 37 745 bekannten Ultraschallwandler wurde zur Bestimmung der Abstrahlcharakteristik unterhalb der Membran 3 und am Gehäuse 1 eine Vergußmasse aufgebracht, deren Härte unter­ schiedlich ist zu der der Membran 3 (Fig. 3a, b). Die Vergußmasse ist nachträglich nach der Montage der Membran in das Gehäuse einzu­ bringen. Beim Erfindungsgegenstand wird dagegen keine Vergußmasse benötigt.
Ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in Fig. 4a in Draufsicht und Fig. 4b im Schnitt dargestellt. Das Gehäuse 1 ist kreisringförmig ausgebildet und weist eine Membran 3 auf, die an zwei gegenüberliegenden Seiten 4 verstärkt ausgebildet ist. Der Un­ terschied zum bekannten Ultraschallwandler besteht darin, daß die Membran 3 an den zwei gegenüberliegenden Seiten aus gleichem Ma­ terial verstärkt ausgebildet ist. Eine derartige Membran läßt sich sehr preiswert im Fließpreßverfahren herstellen.
Ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in Fig. 5a in Draufsicht und 5b im Querschnitt dargestellt. Es weist ebenfalls ein ringförmiges Gehäuse 1 auf, das aber etwa rechteckförmig oder oval ausgebildet ist und eine angepaßte Membran 3 aufweist. Auf die Mem­ bran 3 ist im Zentrum ein runder Piezoschwinger 2 angeordnet. Der wesentliche Vorteil dieses Ausführungsbeispiels gegenüber dem vorher beschriebenen besteht darin, daß die bedämpften Bereiche 4 der Mem­ bran 3 von vornherein entfallen. Da das Gehäuse 1 auch im Fließpreß­ verfahren herstellbar ist, sind die Herstellkosten mit denen des kreisrunden Ausführungsbeispiel vergleichbar niedrig.
Ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in Fig. 6a in Draufsicht und in 6b und c in den Seitenansichten dargestellt. Es weist, wie das zweite Ausführungsbeispiel, ein etwa rechteckförmiges Gehäuse auf und hat eine entsprechend angepaßte Membranform. Auf der Innenseite der Membran ist zunächst ein Piezoschwinger 4 aufgeklebt, der nahezu die gesamte Membranfläche abdeckt. Auf den Piezoschwinger 4 ist ein runder Piezoschwinger 2 zentrisch aufgebracht. Der runde Piezoschwinger 2 entspricht dem Piezoschwinger der vorhergehenden Ausführungsbeispiele.
Die Funktionsweise dieser Anordnung ist wie folgt: Der Piezoschwin­ ger 4, der nahezu die gesamte Membran 3 bedeckt, ist besonders dafür geeignet, die Membran 3 auf der Grundwelle anzuregen. Hierbei wird in der Horizontalen eine Schallkeule abgestrahlt, welche in ihrer Charakteristik der Hauptkeule ähnlich der Fig. 1b ist. Wegen der länglichen Ausdehnung der Membran 3 ist die Hauptkeule in der Hori­ zontalen breiter als in der Vertikalen. Der runde Piezoschwinger 2 regt die Membran samt aufgeklebtem Piezoschwinger 4 zu einer Schall­ abstrahlung mit einer Abstrahlcharakteristik an, wie sie bereits in Fig. 1a dargestellt ist. Wird nun wechselweise der Piezoschwinger 2 und der Piezoschwinger 4 angeregt, so wird in der Horizontalen ein­ mal eine schmale, das andere Mal eine breite Schallkeule angeregt, wobei sich beide Schallkeulen so überlagern, daß die Minima in der Charakteristik des Piezoschwingers 4 noch durch Schallkeulenteile des Piezoschwingers 2 aufgefüllt werden, so daß keine Lücken in der Gesamtcharakteristik entstehen.
Der besondere Vorteil dieses Ausführungsbeispiels besteht also da­ rin, daß die Schallausbreitung in der Horizontalen über den gesamten Abstrahlbereich nahezu ungedämpft ist. Dadurch wird der Schalltrich­ ter entbehrlich, da keine Anteile der Nebenkeulen in die Lücken der Abstrahlcharakteristik zu reflektieren sind.
Ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist Fig. 7a in Drauf­ sicht und in Fig. 7b im Querschnitt dargestellt. Wie bei dem Aus­ führungsbeispiel weist das Gehäuse 1 eine etwa rechteckige Form auf. Die Membran 3 hat die gleiche Form wie zuvor beschrieben. Auf der Membran sind drei gleichartige Piezoschwinger 2 in Reihe nebeneinan­ der angeordnet. Je nach Art der Ansteuerung kann der Wandler wahl­ weise auf der Grundwelle oder auf der ersten Oberwelle angeregt wer­ den. Die Anregung auf der Grundwelle erfolgt dann, wenn alle drei Piezoschwinger 2 gleichzeitig und gleichphasig angesteuert werden. Die Anregung auf der ersten Oberwelle erfolgt dann, wenn der mittle­ re Piezoschwinger gegenphasig zu den beiden äußeren Piezoschwingern angeregt wird. Durch Intermittieren der Ansteuerung mit unterschied­ lichen Phaselagen kann eine breite Schallkeule ohne Minima erzeugt werden.
Die Lage der Minima und Maxima in der Schallfeldverteilung, wie sie in den Fig. 1a und 1b dargestellt wurden, ist frequenzabhängig. Es hat sich als vorteilhaft gezeigt, daß durch Variation der Fre­ quenz (Wobbeln) die Lage der Minima und Maxima derart variiert wer­ den kann, daß im zeitlichen Mittel eine lückenlose Abstrahlcharakte­ ristik in der Horizontalen entsteht. Die starken Dämpfungsbereiche entfallen, so daß der Sensor in der Horizontalen in einem Bereich bis etwa 180o nahezu die gleiche Empfindlichkeit besitzt.
Bei der Herstellung des Gehäuses werden im allgemeinen Metalle, bei­ spielsweise Aluminium verwendet. Die elastischen Eigenschaften der Metalle unterstützen die Schwingungsbildung der Schallwellen. Um die Bearbeitungskosten für die Metallgehäuse zu reduzieren, hat es sich als günstig erwiesen, die Gehäuse aus einem Kunststoff herzustellen. Besonders geeignet hierfür sind sogenannte flüssigkristalline Poly­ mere, die vergleichbare Eigenschaften bezüglich der Elastizität ha­ ben wie die verwendeten Metalle. Die Kunststoffgehäuse sind bei­ spielsweise in einem einfachen Spritzverfahren herstellbar.
Ultraschall-Wandler der beschriebenen Bauart weisen ein ausgeprägtes Nachschwingen auf, nachdem die zum Senden benötigte Energiezufuhr abgeschaltet wird. Dies ist dann störend, wenn ein und derselbe Ul­ traschall-Wandler sowohl zum Senden als auch zum Empfangen der Echos verwendet wird und wenn Echos mit kurzen Laufzeiten detektiert wer­ den sollen. In diesem Fall kann das Echosignal sich dem Signal des ausschwingenden Wandlers überlagern und nicht mehr mit einfachen Mitteln erkannt werden. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist daher vorgesehen, die Membran 3 auf der Innenseite ganzflächig oder auf Teilflächen mit einer Bedämpfungsschicht auszugestalten, um das Nachschwingen der Membran 3 zu verkürzen. Dabei ist vorgesehen, als Bedämpfungsschicht eine Folie auf zukleben oder eine entsprechende Vergußmasse auf die Innenseite der Membran 3 zu gießen. Die Elasti­ zität der Bedämpfungsschicht ist so gewählt, daß die Membran während der Energiezufuhr bei der gewünschten Resonanzfrequenz schwingt. Nach Abschalten der Energiezufuhr soll die Schwingung möglich rasch abgeklungen sein.

Claims (13)

1. Ultraschallwandler mit einer zur Schwingung anregbaren Membran, die von einem ringförmigen Gehäuse eingefaßt ist, auf der mindestens ein Piezoschwinger angeordnet ist, und deren Schwingungscharakteri­ stik (Ultraschallkeule) in vorgegebenen Richtungen bedämpfbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (3) unterschiedliche Dicken aufweist, daß die dünnere Schicht in etwa rechteckförmig ausgebildet ist und daß im Bereich der dünneren Schicht der Piezoschwinger (2) angeordnet ist.
2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis von dicken zu dünnen Schichten der Membran mindestens 2 : 1 ist.
3. Ultraschallwandler mit einer zur Schwingung anregbaren Membran, die von einem ringförmigen Gehäuse eingefaßt ist, auf der mindestens ein Piezoschwinger angeordnet ist, und deren Schwingungscharakteri­ stik in vorgegebenen Richtungen bedämpfbar ist, dadurch gekennzeich­ net, daß die Membran (3) und das Gehäuse (1) in etwa rechteckförmig ausgebildet sind und daß auf der Membran (3) mindestens ein vorzugs­ weiser runder Piezoschwinger angeordnet ist.
4. Ultraschallwandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Piezoschwinger (4) zwischen dem ersten Piezoschwinger (2) und der Membran (3) angeordnet ist, der nahezu die Fläche der Membran (3) aufweist.
5. Ultraschallwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Piezoschwinger (2), (4) abwechselnd zur Schwingung anregbar sind.
6. Ultraschallwandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß an zwei gegenüberliegenden Seiten des ersten Piezoschwingers (2) mindestens je ein weiterer Piezoschwinger angeordnet ist.
7. Ultraschallwandler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß abwechselnd der mittlere oder die äußeren Piezoschwinger gleichpha­ sig oder gegenphasig anregbar sind.
8. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Membran (3) und/oder das Gehäuses (1) bedämpft ist, so daß die Schwingung auf die Grundwelle der Ultra­ schallkeule begrenzt ist.
9. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Bedämpfung der Membran (3) auf die er­ ste Oberwelle der Ultraschallkeule begrenzbar ist.
10. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Ansteuerung des mindestens einen Piezoschwingers (2, 4) mit einer Wechselspannung erfolgt, deren Fre­ quenz veränderbar ist.
11. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (1) für den Piezoschwinger ei­ nen elastischen Kunststoff, vorzugsweise ein flüssigkristallines Polymer aufweist.
12. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die auf der Innenseite der Membran (3) ganzflächig oder auf Teilflächen aufgebrachte Bedämpfungsschicht zur Verkürzung der Nachschwingdauer der Membran verwendbar ist.
13. Ultraschallwandler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum des Gehäuses (1) über der Bedämpfungsschicht mit einer Vergußmasse ganz oder teilweise gefüllt ist.
DE4120681A 1990-08-04 1991-06-22 Ultraschallwandler Withdrawn DE4120681A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4120681A DE4120681A1 (de) 1990-08-04 1991-06-22 Ultraschallwandler
PCT/DE1991/000596 WO1992002795A2 (de) 1990-08-04 1991-07-23 Ultraschallwandler
EP91912434A EP0507892B1 (de) 1990-08-04 1991-07-23 Ultraschallwandler
DE59108268T DE59108268D1 (de) 1990-08-04 1991-07-23 Ultraschallwandler
TW080106559A TW205128B (de) 1990-08-04 1991-08-19
US07/910,031 US5446332A (en) 1990-08-04 1992-07-28 Ultrasonic transducer

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4024791 1990-08-04
DE4120681A DE4120681A1 (de) 1990-08-04 1991-06-22 Ultraschallwandler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4120681A1 true DE4120681A1 (de) 1992-02-06

Family

ID=25895646

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4120681A Withdrawn DE4120681A1 (de) 1990-08-04 1991-06-22 Ultraschallwandler
DE59108268T Expired - Lifetime DE59108268D1 (de) 1990-08-04 1991-07-23 Ultraschallwandler

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59108268T Expired - Lifetime DE59108268D1 (de) 1990-08-04 1991-07-23 Ultraschallwandler

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5446332A (de)
EP (1) EP0507892B1 (de)
DE (2) DE4120681A1 (de)
TW (1) TW205128B (de)
WO (1) WO1992002795A2 (de)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19614885C1 (de) * 1996-04-16 1997-09-04 Bosch Gmbh Robert Sensor zum Senden und/oder Empfangen akustischer Signale
DE10153638A1 (de) * 2001-07-02 2003-05-22 Shih Hsiung Li Ultraschallsensor zur Entfernungsmessung
DE10159679A1 (de) * 2001-11-30 2003-06-12 Valeo Schalter & Sensoren Gmbh Ultraschallsensoreinheit und Verfahren zur Herstellung
DE19912772C2 (de) * 1998-03-26 2003-07-10 Shih Hsiung Li Ultraschallsensor zur Abstandsmessung
DE19917862B4 (de) * 1998-04-24 2005-03-31 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo Ultraschallsensor
DE10361316A1 (de) * 2003-12-19 2005-07-21 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallwandlervorrichtung
WO2007028704A2 (de) * 2005-09-07 2007-03-15 Siemens Vdo Automotive Ag Ultraschallschwingungswandler mit einem auf einer membranfläche andegeordneten piezoelement
EP0993344B2 (de) 1997-06-30 2008-10-15 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler
DE102015217778A1 (de) 2015-09-17 2017-03-23 Robert Bosch Gmbh Akustischer Sensor mit einer Membran und einem elektroakustischen Wandler
EP2650055B1 (de) * 2012-04-12 2019-11-06 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung und Verfahren zur Umfelderfassung eines Fahrzeugs

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10294995A (ja) * 1997-04-21 1998-11-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 防滴型超音波送信器
EP1001653B1 (de) * 1998-11-02 2008-07-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelektrischer Lautsprecher
JP3324593B2 (ja) * 1999-10-28 2002-09-17 株式会社村田製作所 超音波振動装置
DE10009129A1 (de) * 2000-02-26 2001-08-30 Volkswagen Ag Ultraschallsensor
JP3501100B2 (ja) * 2000-05-15 2004-02-23 株式会社村田製作所 超音波送受波器
JP3706903B2 (ja) 2000-08-10 2005-10-19 独立行政法人産業技術総合研究所 フレキシブル高感度セラミックスセンサー
EP1202249A1 (de) * 2000-10-26 2002-05-02 Imra Europe S.A. Wasserdichte Wandler für Halbwellenwandleranordnung
JP3944052B2 (ja) * 2001-12-27 2007-07-11 株式会社デンソー 超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナー
DE10316946A1 (de) * 2003-04-12 2004-10-21 Daimlerchrysler Ag Vorrichtung und Verfahren zur Dämpfung von Druckschwingungen in Hydraulikleitungen
JP2006203563A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Nippon Soken Inc 超音波センサ
WO2007029559A1 (ja) * 2005-09-09 2007-03-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波センサ
JP5012512B2 (ja) * 2005-12-27 2012-08-29 日本電気株式会社 圧電アクチュエータおよび電子機器
EP1993322A4 (de) * 2006-03-06 2016-10-26 Murata Manufacturing Co Ultraschallsensor und herstellungsverfahren dafür
DE102006041975A1 (de) * 2006-09-07 2008-03-27 Hella Kgaa Hueck & Co. Ultraschallsensor und Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors
EP1906383B1 (de) * 2006-09-29 2013-11-13 Tung Thih Electronic Co., Ltd. Ultraschallgerät-Sende-/Empfangsvorrichtung
DE102006050037A1 (de) 2006-10-24 2008-04-30 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler
DE102008040905A1 (de) * 2008-07-31 2010-02-04 Robert Bosch Gmbh Ultraschallsensor
DK177040B1 (en) 2010-04-12 2011-02-28 Miitors Aps Ultrasonic consumer meter with locking mechanism
US20120245466A1 (en) * 2011-03-25 2012-09-27 Infosys Technologies, Ltd. Method and system for capturing medical imaging data
TWI440831B (zh) * 2011-04-27 2014-06-11 Tung Thih Electronic Co Ltd Ultrasonic sensor
DE102012100032B4 (de) * 2012-01-03 2016-04-07 Dr. Raubenheimer GmbH Wasserreinigungssystem und Verfahren zur Behandlung von Wasser
DE102015110776A1 (de) * 2015-07-03 2017-01-05 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensorvorrichtung für ein Kraftfahrzeug mit zwei Piezoelementen, Fahrerassistenzsystem, Kraftfahrzeug sowie Verfahren
CA3000266A1 (en) * 2015-10-09 2017-04-13 Microsonic Gmbh Sensor with monolithic ultrasonic array
JP6752427B2 (ja) * 2016-05-09 2020-09-09 日本セラミック株式会社 パラメトリックスピーカ
DE102016123414A1 (de) 2016-12-05 2018-06-07 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensor für ein Kraftfahrzeug mit einem akustischen Koppelelement, Ultraschallsensoranordnung, Kraftfahrzeug und Verfahren
DE102017205376A1 (de) * 2017-03-30 2018-10-04 Robert Bosch Gmbh Schallwandler
DE102017127587A1 (de) * 2017-11-22 2019-05-23 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Anordnung für ein Kraftfahrzeug mit einem Ultraschallsensor und mit einem Dämpfungselement, welches Armierungselemente aufweist sowie Vorrichtung

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3396286A (en) * 1965-01-21 1968-08-06 Linden Lab Inc Transducer assembly for producing ultrasonic vibrations
DE2125784C3 (de) 1971-05-25 1980-09-18 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Elektroakustischer Wandler
US3786202A (en) * 1972-04-10 1974-01-15 Motorola Inc Acoustic transducer including piezoelectric driving element
US3873947A (en) * 1974-04-22 1975-03-25 Rockwell International Corp Multiple frequency flexure-mode resonator
US3943388A (en) * 1974-06-27 1976-03-09 Fred M. Dellorfano, Jr. Electroacoustic transducer of the flexural vibrating diaphragm type
FR2419642A1 (fr) * 1978-03-09 1979-10-05 Chauveau Didier Haut-parleur piezo-electrique multi-elements
US4214484A (en) * 1978-10-16 1980-07-29 Rhode Island Hospital Ultrasonic particulate sensing
US4276491A (en) * 1979-10-02 1981-06-30 Ausonics Pty. Limited Focusing piezoelectric ultrasonic medical diagnostic system
DE3138068A1 (de) * 1980-11-10 1982-07-08 Marukokeihouki Co. Ltd., Nagano Piezoelektrische mehrfrequenz-schallerzeugungsvorrichtung
DE3137745A1 (de) * 1981-09-23 1983-04-07 Egon 5000 Köln Gelhard Sensor fuer die durchfuehrung der distanzmessung nach dem ultraschalll-echoprinzip
DE3207950A1 (de) * 1982-03-05 1983-09-15 Bosch Gmbh Robert Abstandsmessvorrichtung
US4556814A (en) * 1984-02-21 1985-12-03 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Piezoelectric ultrasonic transducer with porous plastic housing
US4751419A (en) * 1986-12-10 1988-06-14 Nitto Incorporated Piezoelectric oscillation assembly including several individual piezoelectric oscillation devices having a common oscillation plate member
NO174309C (no) * 1987-04-24 1994-04-13 Norske Stats Oljeselskap Elektroakustisk transducer for anordning i et gassformig fluid, særlig for måling av strömningsghastigheten i et rör under eksplosjonsfarlige forhol
US4996713A (en) * 1989-09-25 1991-02-26 S. Eletro-Acustica S.A. Electroacoustic piezoelectric transducer having a broad operating range

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19614885C1 (de) * 1996-04-16 1997-09-04 Bosch Gmbh Robert Sensor zum Senden und/oder Empfangen akustischer Signale
EP0993344B2 (de) 1997-06-30 2008-10-15 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler
DE19912772C2 (de) * 1998-03-26 2003-07-10 Shih Hsiung Li Ultraschallsensor zur Abstandsmessung
DE19917862B4 (de) * 1998-04-24 2005-03-31 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo Ultraschallsensor
DE10153638A1 (de) * 2001-07-02 2003-05-22 Shih Hsiung Li Ultraschallsensor zur Entfernungsmessung
DE10153638B4 (de) * 2001-07-02 2004-01-29 Shih Hsiung Li Ultraschallsensor zur Entfernungsmessung
DE10159679A1 (de) * 2001-11-30 2003-06-12 Valeo Schalter & Sensoren Gmbh Ultraschallsensoreinheit und Verfahren zur Herstellung
DE10361316A1 (de) * 2003-12-19 2005-07-21 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallwandlervorrichtung
DE10361316B4 (de) * 2003-12-19 2015-08-27 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallwandlervorrichtung
DE102005042596A1 (de) * 2005-09-07 2007-04-26 Siemens Ag Ultraschallschwingungswandler
WO2007028704A3 (de) * 2005-09-07 2007-06-07 Siemens Ag Ultraschallschwingungswandler mit einem auf einer membranfläche andegeordneten piezoelement
WO2007028704A2 (de) * 2005-09-07 2007-03-15 Siemens Vdo Automotive Ag Ultraschallschwingungswandler mit einem auf einer membranfläche andegeordneten piezoelement
EP2650055B1 (de) * 2012-04-12 2019-11-06 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung und Verfahren zur Umfelderfassung eines Fahrzeugs
DE102015217778A1 (de) 2015-09-17 2017-03-23 Robert Bosch Gmbh Akustischer Sensor mit einer Membran und einem elektroakustischen Wandler
DE102015217778B4 (de) 2015-09-17 2019-05-29 Robert Bosch Gmbh Akustischer Sensor mit einer Membran und einem elektroakustischen Wandler

Also Published As

Publication number Publication date
TW205128B (de) 1993-05-01
EP0507892A1 (de) 1992-10-14
EP0507892B1 (de) 1996-10-09
WO1992002795A3 (de) 1992-08-06
DE59108268D1 (de) 1996-11-14
WO1992002795A2 (de) 1992-02-20
US5446332A (en) 1995-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4120681A1 (de) Ultraschallwandler
DE102007045809B4 (de) Detektorvorrichtung für ein Hindernis
DE2937942C2 (de) Ultraschallwandler
DE19714973C2 (de) Verfahren und Anordnung zur Feststellung einer Überfüllung bei der Messung des Füllstands einer Flüssigkeit in einem Behälter nach dem Impulslaufzeitverfahren
DE3738515C2 (de)
DE3602351C1 (de) Schallwandlersystem
DE102015015900B3 (de) Schwingelement für einen Ultraschall-Transducer mit Mehrfachresonanz
DE69407794T2 (de) Akoustische sende- und empfangseinheit
DE4311963A1 (de) Füllstandsmeßgerät
WO2013178390A1 (de) Ultraschallsensor sowie vorrichtung und verfahren zur messung eines abstands zwischen einem fahrzeug und einem hindernis
DE2611780B2 (de) Ultraschallwandler und Verfahren zu dessen Herstellung
DE2949930A1 (de) Elektro-akustischer wandler fuer akustische abbildungseinrichtungen
DE2835367A1 (de) Elektroakustischer wandler
EP0308931A2 (de) Ultraschallwandler mit astigmatischer Sende-/Empfangscharakteristik
EP0308899A2 (de) Ultraschallwandler mit astigmatischer Sende-/Empfangscharakteristik
EP0993344B1 (de) Ultraschallwandler
DE102015015901B3 (de) Schwingelement für einen Ultraschall-Transducer mit einer auf einem Translationsgitter basierenden Mehrfachresonanz
DE1301865B (de) Mehrfachreflexionsanordnung zur Kompression von Frequenzmodulierten Impulsen
DE10361316B4 (de) Ultraschallwandlervorrichtung
DE2023929A1 (de) Piezoelektrischer Ultraschall-Wandler.
DE4114180A1 (de) Ultraschallwandler
DE2109013C3 (de) Elektroakustischer Wandler
DE19758243A1 (de) Schallwandlersystem
DE102017209823A1 (de) Ultraschallsensor
EP0678853A2 (de) Ultraschallwandler mit asymmetrischer Strahlungscharakteristik

Legal Events

Date Code Title Description
8141 Disposal/no request for examination