DE4039426A1 - Einrichtung und verfahren zum messen einer ueberzugsdicke - Google Patents

Einrichtung und verfahren zum messen einer ueberzugsdicke

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General Electric Co
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    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf das Messen einer Überzugs­ dicke und insbesondere auf die Verwendung einer Wirbel­ stromeinrichtung mit einem Wobbelgenerator.
Wenn Substratteile mit dünnen Schichten überzogen werden, ist es wichtig, die Schichtdicke zu steuern. Wenn der Über­ zug physikalische Eigenschaften, beispielsweise akustische Impedanz oder elektrischen Widerstand, hat, die sich von dem Substrat deutlich unterscheiden, wird die Steuerung der Schichtdicke mit üblichen Techniken durchgeführt, wie bei­ spielsweise Ultraschall oder Wirbelströmen fester Frequenz. Beim Überziehen einiger Substratteile unterscheiden sich aber die Substrat- und Überzugsmaterialien nur leicht, bei­ spielsweise beim Überziehen eines Zirkaloyrohres mit Zirko­ niummetall. Dadurch ist der Unterschied in den physikali­ schen Eigenschaften nur klein und macht es schwierig, die Überzugsdicke zu ermitteln.
Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, eine Überzugs­ dicke zu bestimmen, insbesondere wenn die Unterschiede in den physikalischen Eigenschaften des Überzugs und des Sub­ strats klein sind.
Erfindungsgemäß wird eine Einrichtung geschaffen zum Messen der Dicke eines Überzugs auf einem Substrat mit einem gege­ benen Substratmaterial, die Mittel zum Erzeugen von Wirbel­ strömen unterschiedlicher Frequenz in dem überzogenen Sub­ strat, dem Überzug und einem nicht-überzogenen Substrat des gegebenen Materials und Mittel enthält zum Vergleichen von Leitfähigkeitsänderungen des Überzugs und des überzogenen Substrats mit dem nicht-überzogenen Substrat bei Änderungen in der Frequenz.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Messen der Dicke eines Überzugs auf einem Substrat mit einem gegebenen Sub­ stratmaterial werden Wirbelströme variabler Frequenz in dem überzogenen Substrat, dem Überzug und einem nicht-überzoge­ nen Substrat des gegebenen Materials erzeugt, und dann wer­ den Änderungen in der Leitfähigkeit des Überzugs und des überzogenen Substrates mit dem nicht-überzogenen Substrat bei Änderungen der Frequenz verglichen.
Die Erfindung wird nun mit weiteren Merkmalen und Vorteilen anhand der Beschreibung und Zeichnung von Ausführungsbei­ spielen näher erläutert.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm von einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 2 ist eine Querschnittsdarstellung der Anordnung von Sondenspulen, die in Fig. 1 verwendet sind.
Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht von einem Winkelblock, der zum Kalibrieren gemäß der Erfindung verwendet wird.
Fig. 4 ist ein Kurvenbild von einem Signal in dem Ausfüh­ rungsbeispiel gemäß Fig. 1.
Fig. 5 ist ein teilweises Blockdiagramm von einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung.
In Fig. 1 ist eine Brückenschaltung 10 mit Sondenspulen 12 und 14 gezeigt, von denen jeweils das eine Ende an Erde bzw. Masse gelegt ist. Die Brücke 10 enthält auch Indukti­ vitäten 16 und 18, die auf entsprechende Weise mit den üb­ rigen Enden der Sonden 12 und 14 verbunden sind. Während die Induktivitäten 16 und 18 durch Widerstände oder Konden­ satoren ersetzt werden können, ist es vorzuziehen, daß sie Induktivitäten sind, so daß die Empfindlichkeit der Brücke 10 über einem breiten Frequenzbereich beibehalten wird. Mit den anderen Enden der Induktivitäten 16 und 18 ist eine Wobbelsignalquelle oder ein Oszillator 20 verbunden. Die Quelle 10 hat eine typische Wobbelfrequenz zwischen etwa 10 kHz bis 10 MHz mit einer Wobbelgeschwindigkeit von etwa 30 Hz, obwohl auch andere Frequenzen verwendet werden können. Vorzugsweise ist die Quelle 20 eine Konstantstromquelle (hohe Ausgangsimpedanz), um die Brückenempfindlichkeit über dem Wobbelfrequenzbereich helfend zu unterstützen.
Vergleichsmittel, wie beispielsweise Phasendetektoren 22 und 24, haben jeweils zwei Eingänge, die auf entsprechende Weise mit dem Knotenpunkt der Spulen 12 und 16 und auch mit dem Knotenpunkt der Spulen 14 und 18 verbunden sind. Die Quelle 20 liefert ein Signal an den Eingang eines Phasen­ stellers 26. Das Ausgangssignal aus der Stelleinrichtung 26 wird direkt an den Eingang des Detektors 24 und auch an den Eingang einer 90°-Phasenschieberschaltung 28 angelegt; das Ausgangssignal aus der Schaltung 28 wird dem Detektor 22 zugeführt. Somit ist der Detektor 22 der Q- bzw. Quadratur­ kanal-Phasendetektor, während der Detektor 24 der I- bzw. Längskanal-Phasendetektor ist.
Bekanntlich können die Detektoren 22 und 24 jeweils eine Diodenbrücke enthalten, die das Differenzsignal von den Sonden 12 und 14 und von der Quelle 20 als Eingangssignale empfängt. Ein Ausgangssignal aus der Brücke wird einem Wi­ derstands/Kapazitäts-Tiefpaßfilter zugeführt. Dieses Filter sollte eine Zeitkonstante aufweisen, die länger als die Pe­ riode der unteren Grenzfrequenz der Wobbelfrequenz, bei­ spielsweise 1/10 kHz, und kürzer ist als die Periode der Wobbelgeschwindigkeit, beispielsweise 1/30 Hz. Die Phasen­ detektoren 22 und 24 lassen das Differenzsignal von den Sonden 12 und 14 im wesentlichen durch, wenn es gleichpha­ sig mit demjenigen des Referenzoszillatorsignals ist, das dem entsprechenden Detektor zugeführt ist, und sie sperren das Differenzeingangssignal, wenn es dazu phasenverschoben ist.
Das Ausgangssignal aus dem Q-Kanal-Detektor 22 wird einer Servoschaltung 30 zugeführt, die einen mechanischen Manipu­ lator (nicht gezeigt) aufweist zum Steuern der Position der Sonde 12, wie es durch die gestrichelte Linie 32 gezeigt ist. Das Ausgangssignal aus dem Q-Kanal-Detektor 22 wird auch an den Vertikalachsen-Eingang einer Kathodenstrahlröh­ ren-Anzeige 33 angelegt, die eine Horizontalachsen-Zeitab­ lenkung hat, die mit der Wobbelfrequenz der Quelle 20 syn­ chronisiert ist.
Das Ausgangssignal aus dem I-Kanal-Detektor 24 wird an den Eingang eines Verstärkers 34 angelegt, der ein Ausgangssi­ gnal an einen Schalter 36 liefert. Wenn der Schalter 36 für einen direkten Anzeigemodus mit dem Kontakt 38 in Eingriff ist, wird das Ausgangssignal des Verstärkers 34 an den Ein­ gang für die vertikale Achse einer Kathodenstrahlröhren-An­ zeige 40 angelegt, die auch einen Zeithub auf der horizon­ talen Achse hat, der mit dem Frequenzhub der Quelle 20 syn­ chronisiert ist, um eine Übergangsfrequenz, die nachfolgend näher erläutert wird, anzuzeigen.
Wenn der Schalter 36 mit dem Kontakt 42 in Eingriff ist, ist ein digitaler Kurvenanpassungsmodus gewählt. Das Aus­ gangssignal des Verstärkers 34 wird an eine Regressionsana­ lyse-Schaltung 44 angelegt, die einen Mikroprozessor auf­ weisen kann, der so programmiert ist, daß eine Anpassung der kleinsten Quadrate, eine Technik der maximalen Wahr­ scheinlichkeit, usw. ausgeführt, wie es allgemein bekannt ist, um die Übergangsfrequenz zu ermitteln. Es könnte auch eine verdrahtete Schaltungsanordnung verwendet werden. Das die Übergangsfrequenz angebende Ausgangssignal aus der Schaltung 44 wird einer Schaltung 46 zugeführt, beispiels­ weise einem Festwertspeicher (ROM), der mit einer Tabelle der Überzugsdicke über Übergangsfrequenzen (nachfolgend nä­ her erläutert) kalibriert ist. Dieses, die Überzugsdicke betreffende Ausgangssignal aus der Schaltungsanordnung 46 wird einer Anzeige 47 zugeführt, die entweder eine analoge oder eine digitale Anzeige der Überzugsdicke sein kann.
Wenn der Schalter 36 mit dem Kontakt 48 in Eingriff ge­ bracht wird, wird das Ausgangssignal des Verstärkers 34 an ein Differenzierglied 50 angelegt, um die erste Ableitung des Ausgangssignals zu berechnen. Das Ausgangssignal aus dem Differenzierglied 50 wird einer Verhältnisschaltung 52 zugeführt, die einen Mikroprozessor aufweisen kann, der so programmiert ist, daß ein Verhältnis errechnet wird. Es können auch verdrahtete, digitale oder analoge Schaltungen zum Berechnen von Verhältnissen verwendet werden, wie es allgemein bekannt ist. Das Ausgangssignal aus dem Differen­ zierglied 50 wird auch einem Differenzierglied 54 zuge­ führt, um die zweite Ableitung des Ausgangssignals des Ver­ stärkers 34 zu berechnen. Das Ausgangssignal aus dem Diffe­ renzierglied 54 wird an die Verhältnisschaltung 52 ange­ legt. Das Ausgangssignal aus der Verhältnisschaltung 52 wird dem Vertikalachseneingang einer Kathodenstrahlröhren- Anzeige 56 zugeführt, die auf der horizontalen Achse einen Zeithub hat, der mit dem Frequenzhub der Quelle 20 synchro­ nisiert ist. Es wird deutlich, daß die Anzeigen 33, 40 und 56 die gleiche Anzeige mit einem Schalter (nicht gezeigt) sein können, der den Eingang der Anzeige zwischen den Aus­ gängen der Schaltungsanordnungen 22, 34 oder 52 gemäß der Stellung des Schalters 36 oder dem Phasenstellbetrieb (nachfolgend näher erläutert) umschaltet. Es kann auch ein Zweistrahl-Oszilloskop als Anzeige verwendet werden.
Wie in Fig. 2(a) gezeigt ist, wird während des ersten Be­ triebs, der "Phaseneinstellung" genannt wird, die Sonde bzw. der Tastkopf 12 nahe an und mit der Spulenachse vor­ zugsweise senkrecht zu einem Substrat 58 mit einem Überzug 60 bekannter oder unbekannter Dicke angeordnet. Die Sonde bzw. der Tastkopf 14 wird nahe an und mit der Spulenachse senkrecht zu einem nicht-überzogenen Referenzsubstrat 62 des gleichen Materials, wie dem Substrat 58 angeordnet, wie es in Fig. 2(b) gezeigt ist. Im allgemeinen können die Sub­ strate 58 und 62 und der Überzug 60 irgendein leitendes Ma­ terial sein, beispielsweise Metalle, leitfähige Kunst­ stoffe, zusammengesetzte Materialien usw. Sowohl die Sonden 12 und 14 als auch die Substrate 58 und 60 sind normaler­ weise bewegungslos. Durch die Quelle 20 wird ein Wobbelfre­ quenzsignal erzeugt, das Wirbelströme in den Substraten 58 und 62 und dem Überzug 60 gemäß ihren entsprechenden Leit­ fähigkeiten bei der augenblicklichen Frequenz hervorrufen. Der Q-Kanal-Phasendetektor 22 vergleicht diese Leitfähig­ keiten, indem er die Größe und Phase der Spannungen ver­ gleicht, die die Wirbelströme in den Spulen 12 und 14 er­ zeugen, wobei dieser Vergleich auf der Anzeige 33 angezeigt wird. Die Phaseneinstellschaltung 26 wird dann eingestellt, um die möglichst horizontale Anzeigelinie 64 auf der An­ zeige 33 zu ergeben, d. h., die kleinstmögliche Empfindlich­ keit des Q-Kanal-Detektors 22 auf Unterschiede in Leitfä­ higkeitsänderungen. Dies entspricht in etwa der maximalen Empfindlichkeit des I-Kanal-Detektors 24 auf unterschiedli­ che Leitfähigkeitsänderungen der Substrate 58 und des Über­ zugs 60 im Vergleich zum Substrat 62 und auch der maximalen Empfindlichkeit des Q-Kanal-Detektors 22 auf Änderungen im Abstand zwischen der Sonde 12 und den Substraten 58. Diese späteren Änderungen werden "Abhebung" (lift-off) genannt.
Der nächste Schritt ist die Kalibrierung bzw. Eichung, und, wie in Fig. 3 gezeigt ist, ist die Sonde 12 nahe einem Sub­ strat 66 angeordnet, das einen im Winkel überlappten keil­ förmigen Überzug 68 aufweist. Die Dicke des Überzugs 68 än­ dert sich in bekannter Weise mit dem Abstand entlang dem Substrat 66. Anstatt keilförmig zu sein, kann der Überzug 68 stufenförmig sein, wobei die Stufen eine bekannte Dicke aufweisen. Die Sonde 14 ist weiterhin in der Weise angeord­ net, wie es in Fig. 2(b) gezeigt ist. Die Quelle 20 wird aktiviert und ihre Frequenz wird gewobbelt. Wenn die Sonde 12 nahe einem dünnen Abschnitt des Überzugs 68 und die Fre­ quenz niedrig ist, durchdringen Wirbelströme sowohl den Überzug 68 als auch das Substrat 66. Somit sind die Signale von den Sonden bzw. Tastköpfen 12 und 14 nahezu gleich, und die Brücke 10 ist nahezu abgeglichen, da die Sonden 12 und 14 auf entsprechende Weise im wesentlichen die Leitfähig­ keit der Substrate 66 und 62 messen, die gleich sind. Wenn die Frequenz angehoben wird, bleibt die Symmetrie bzw. der Abgleich zunächst konstant, aber schließlich bewirkt der Haut- bzw. Skineffekt, daß weniger und weniger Wirbelströme das Substrat 66 durchdringen, und die Unsymmetrie der Brücke steigt an, wie es aus der Kurve 70 in Fig. 4 er­ sichtlich ist. Letztendlich verflacht die Unsymmetrie, da vorwiegend die Leitfähigkeit des Überzugs 68 gemessen wird. In der Mitte zwischen diesen Pegelabschnitten der Kurve 70 ist eine Übergangsfrequenz f2, die dort auftritt, wo die Dicke des Überzugs 68 etwa gleich der Hauttiefe ist. Da die Überzugsdicke bekannt ist, wird ein Kalibrierungspunkt der Frequenz über der Dicke erhalten und in der Schaltungsan­ ordnung 46 gespeichert, und die horizontalen Achsen der An­ zeigen 40 und 56 sind kalibriert. Die Sonde 12 wird dann so bewegt, daß sie nahe einem dickeren Abschnitt des Überzugs 68 angeordnet ist, und der Vorgang wird wiederholt, wie es durch die Kurve 72 gezeigt ist. Diesmal wird eine neue Übergangsfrequenz f1 erhalten, wobei f2 größer ist als f1. Der neue Kalibrierungspunkt wird in der Schaltungsanordnung 46 gespeichert und die horizontalen Achsen der Anzeigen 40 und 56 werden kalibriert. Dieser Vorgang wird mehrere Male wiederholt, bis eine ausreichende Anzahl von Kalibrierungs­ punkten erhalten worden sind. Dabei kann zunächst ein dic­ ker Überzug zur Kalibration verwendet werden und dann dün­ nere Überzüge.
Der nächste Schritt besteht darin, die Einrichtung gemäß den beschriebenen Ausführungsbeispielen der Erfindung dazu zu verwenden, die Dicke eines unbekannten Überzuges zu mes­ sen, indem die Sonde 12 nahe einem Substrat 58 mit einem Überzug 60 unbekannter Dicke angeordnet wird, wie es in Fig. 2(a) gezeigt ist. Die Sonde 12 wird langsam in einem ein- oder zweidimensionalen Muster über dem Substrat 58 ab­ getastet. Alternativ kann das Substrat 58 bewegt werden, während die Sonde 12 stationär bleibt, oder es kann irgend­ eine Kombination von beiden Bewegungen verwendet werden, insbesondere für eine zweidimensionale Abtastung, wobei die eine der Bewegungen in der einen Richtung und die andere Bewegung senkrecht zu der einen Richtung durchgeführt wer­ den kann. Mit "langsam" ist gemeint, daß diese mechanische Abtastung langsam ist im Vergleich zu der Wobbelgeschwin­ digkeit der Quelle 20. Auf Wunsch kann während dieser Abta­ stung das Ausgangssignal auf dem Q-Kanal-Detektor 22 dazu verwendet werden, die Servoschaltung 30 zu steuern, die ih­ rerseits den Abstand zwischen der Sonde 12 und dem Substrat 58 im wesentlichen konstant hält, d. h., die Abhebung mini­ miert, um genauere Dickenmessungen zu ermöglichen. Die Sonde 14 ist weiterhin so angeordnet, wie es in Fig. 2(b) gezeigt ist.
Der Verstärker 34 liefert ein Signal, wie es durch die Be­ zugszahl 74 in Fig. 1 gezeigt ist. Wenn der direkte Anzei­ gemodus durch den Schalter 36 gewählt ist, wird das Signal 74 durch die Anzeige 40 angezeigt. Wenn der digitale Kur­ venanpassungs-Modus gewählt ist, ermittelt die Regressions- Analyseschaltung 44 die Übergangsfrequenz, die am besten zu dem Signal 74 paßt. Dann wird ein diese Frequenz darstel­ lendes Signal an die Schaltungsanordnung 46 angelegt und eine Dicke, die dieser Frequenz entspricht, wird ausgelesen und durch die Anzeige 47 angezeigt.
Wenn der Steigungs/Krümmungs-Verhältnismodus gewählt ist, dann wird die Brückenunsymmetrie nicht direkt verwendet, sondern es wird die erste Ableitung des Signals 74 durch die Schaltung 50 berechnet, wie es durch das Signal 76 ge­ zeigt ist. Dann wird die zweite Ableitung des Signals 74 durch die Schaltung 54 berechnet, wie es durch das Signal 78 dargestellt ist. Das Verhältnis des Signals 76 zum Si­ gnal 78 wird dann durch die Schaltung 52 berechnet. Bei großen und kleinen Frequenzen ist die erste Ableitung klein. Bei der Übergangsfrequenz ist die Ableitung groß und die zweite Ableitung geht gegen Null. Das Verhältnis ist auf einem Maximum an dem Wendepunkt der Brückenunsymme­ trie/Frequenz-Kurve, wie es durch das Signal 80 gezeigt ist. Somit ist dieses Verfahren eine sehr empfindliche Mes­ sung der Übergangsfrequenz. Das Signal 80 wird dann durch die Anzeige 56 angezeigt.
Auf Wunsch und wenn eine zweidimensionale Abtastung verwen­ det wird, kann das Ausgangssignal aus dem Verstärker 34 dazu verwendet werden, ein räumliches Bild auf einer An­ zeige (nicht gezeigt) in entweder einer Grauskala oder Farbe zu machen.
Zusammenfassend ist festzustellen, daß die Erfindung eine empfindliche Einrichtung und ein Verfahren schafft zum Mes­ sen der Dicke eines Überzugs auf einem Substrat, selbst wenn die physikalischen Eigenschaften des Überzugs und des Substrats klein sind. Weiterhin wird deutlich, daß viele weitere Ausführungsbeispiele möglich sind. Beispielsweise können, wie es in Fig. 5 gezeigt ist, anstatt daß sie ein Teil einer Brückenschaltung 10 sind, die Sonden 12 und 14 mit entsprechenden Eingängen einer einen Differenzverstär­ ker 82 enthaltenden Vergleichseinrichtung verbunden sein. Der eine Eingang von jedem Detektor 22 und 24 ist mit dem Ausgang des Verstärkers 82 verbunden, während der verblei­ bende Eingang von jedem Detektor 22 und 24 an Erde bzw. Masse gelegt ist. Der Rest der Schaltung ist identisch mit derjenigen, die in Fig. 1 gezeigt ist.

Claims (33)

1. Einrichtung zum Messen der Dicke eines Überzugs auf einem Substrat mit einem gegebenen Substratmaterial, ge­ kennzeichnet durch:
Mittel (10 bis 20) zum Erzeugen von Wirbelströmen va­ riabler Frequenz in dem überzogenen Substrat, dem Überzug und einem nicht-überzogenen Substrat des gegebenen Materi­ als und
Mittel (22, 24) zum Vergleichen von Leitfähigkeitsän­ derungen der Überzugs und des überzogenen Substrates mit dem nicht-überzogenen Substrat bei Frequenzänderungen.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmittel (22, 24) Mittel aufweisen zum Detektieren von Phasendiffe­ renzen zwischen den Wirbelströmen.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugungsmittel erste und zweite Sondenspulen (12, 14) aufweisen, die auf ent­ sprechende Weise nahe den überzogenen und nicht-überzogenen Substraten angeordnet werden können.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugungsmittel eine Brückenschaltung (10) aufweisen, die die ersten und zweiten Spulen (12, 14) enthält.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Brückenschaltung (10) ferner dritte und vierte Spulen (16, 18) enthält.
6. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmittel einen Differenzverstärker aufweisen, dessen zwei Eingänge auf entsprechende Weise mit den Spulen verbunden sind.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugungsmittel einen Oszillator aufweisen, der zwischen etwa 10 kHz bis 10 MHz wobbelt.
8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzeigeeinrichtung (33) mit den Vergleichsmitteln verbunden ist.
9. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Regressions-Analy­ seschaltung (44) mit den Vergleichsmitteln verbunden ist, und ein Dicken/Frequenz-Speicher (46) mit der Analyseschal­ tung verbunden ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Analyseschaltung (44) eine Kleinstquadrat-Schaltung ist.
11. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Analyseschaltung (44) eine Maximalwahrscheinlichkeits-Schaltung ist.
12. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein erstes Differenzier­ glied (50) mit der Vergleichsschaltung verbunden ist, ein zweites Differenzierglied (54) mit dem ersten Differenzier­ glied (50) verbunden ist und eine Verhältnisschaltung (52) mit beiden Differenziergliedern verbunden ist.
13. Einrichtung zum Messen der Dicke eines Überzugs auf einem Substrat mit einem gegebenen Substratmaterial, gekennzeichnet durch:
erste und zweite Sondenspulen (12, 14), die auf ent­ sprechende Weise nahe dem überzogenen Substrat und einem nicht-überzogenen Substrat aus dem gegebenen Material ange­ ordnet werden können,
einen Wobbelfrequenzoszillator, der mit den Spulen verbunden ist, und
mit den Spulen und dem Oszillator verbundenen Mitteln zum Vergleichen von Leitfähigkeitsänderungen des Überzugs und dem überzogenen Substrat mit dem nicht-überzogenen Sub­ strat bei Frequenzänderungen.
14. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die überzogenen und nicht- überzogenen Substrate auf entsprechende Weise zugeordnet sind.
15. Einrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Substrate jeweils eine Zirkaloylegierung enthalten und der Überzug Zirkonium ent­ hält.
16. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine Brückenschaltung (10) mit Sondenspulen (12, 14) vorgesehen ist.
17. Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Brückenschaltung (10) dritte und vierte Spulen (16, 18) enthält, die auf entspre­ chende Weise mit den ersten und zweiten Spulen (12, 14) verbunden sind.
18. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Wobbelfrequenzoszilla­ tor zwischen etwa 10 kHz bis 10 MHz wobbelt.
19. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmittel einen ersten Phasendetektor (22) enthalten, der mit den Spulen und mit dem Oszillator verbunden ist.
20. Einrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Phasendetektor (24) mit den Spulen verbunden ist und ein 90°-Phasenschie­ ber (28) zwischen den Oszillator und den zweiten Detektor geschaltet ist.
21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phasenstelleinrich­ tung (26) an ihrem Einlaß mit dem Oszillator und an ihrem Ausgang mit dem ersten Detektor (24) und dem Phasenschieber (28) verbunden ist.
22. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß eine Servoschaltung (30) mit dem zweiten Detektor (22) verbunden ist und mechanisch mit der Spule (12) in Verbindung steht, die nahe dem über­ zogenen Substrat angeordnet ist.
23. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmittel einen Differenzverstärker mit zwei Eingängen aufweist, die auf entsprechende Weise mit den Spulen verbunden sind.
24. Verfahren zum Messen der Dicke eines Überzugs auf ei­ nem Substrat mit einem gegebenen Substratmaterial, gekennzeichnet durch:
Erzeugen von Wirbelströmen variabler Frequenz in dem überzogenen Substrat, dem Überzug und einem nicht-überzoge­ nen Substrat aus dem gegebenen Material und
Vergleichen von Leitfähigkeitsänderungen des Überzugs und des überzogenen Substrats mit dem nicht-überzogenen Substrat bei Frequenzänderungen.
25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß beim Vergleichen die Pha­ sendifferenzen zwischen den Wirbelströmen detektiert wer­ den.
26. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß beim Erzeugen eine Fre­ quenz erzeugt wird, die zwischen etwa 10 kHz bis 10 MHz wobbelt.
27. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die verglichenen Wirbel­ ströme angezeigt werden.
28. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß eine Übergangsfrequenz be­ rechnet wird und die Dicke aus der Übergangsfrequenz ermit­ telt wird.
29. Verfahren nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß beim Berechnen das Verfah­ ren kleinster Quadrate angewendet wird.
30. Verfahren nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß beim Berechnen das Verfah­ ren maximaler Wahrscheinlichkeit angewendet wird.
31. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß beim Berechnen die erste Ableitung eines Signals berechnet wird, das die vergli­ chenen Leitfähigkeitsänderungen darstellt, die zweite Ab­ leitung berechnet wird und das Verhältnis der ersten zur zweiten Ableitung berechnet wird.
32. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phaseneinstellung für eine maximale Empfindlichkeit durchgeführt wird.
33. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kalibrierung unter Verwendung eines Substrats mit einem Überzug bekannter Dicke durchgeführt wird.
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GB (1) GB2239525A (de)
IT (1) IT1244183B (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4310893A1 (de) * 1993-04-02 1994-10-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Prüfsonde zum zerstörungsfreien Prüfen der Oberflächen elektrisch leitfähiger Werkstoffe
DE4310894A1 (de) * 1993-04-02 1994-10-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Prüfsonde zum zerstörungsfreien Untersuchen von Oberflächen elektrisch leitfähiger Werkstoffe
DE19620053C1 (de) * 1996-05-18 1997-08-07 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum zerstörungsfreien Untersuchen der Oberflächenschicht elektrisch leitfähiger Werkstücke
DE19951015C1 (de) * 1999-10-22 2001-01-25 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Charakterisierung von Metallelektroden keramischer Sensorelemente
DE19628220B4 (de) * 1996-07-05 2011-06-16 Westinghouse Electric Sweden Ab Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke einer oder mehrerer übereinanderliegender Schichten auf einem Substrat
WO2019211278A1 (de) * 2018-05-03 2019-11-07 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur vermessung von elektrodenfilmen

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2043347A1 (en) * 1990-05-30 1991-12-01 Yukio Kohmura Method and system for inspection of electroconductive film using eddy current and process and system for production of optical fibres using method and system
US5200704A (en) * 1991-02-28 1993-04-06 Westinghouse Electric Corp. System and method including a buried flexible sheet target impregnated with ferromagnetic particles and eddy current probe for determining proximity of a non-conductive underground structure
DE69222207T2 (de) * 1991-03-13 1998-03-05 Westinghouse Electric Corp Verfahren zur Feststellung des Verformungmasses in einem Material, in Reaktion auf eine zusammendrückende Kraft
EP0543648A1 (de) * 1991-11-21 1993-05-26 Kaisei Engineer Co., Ltd. Inspektionsvorrichtung und Methode unter Verwendung elektromagnetischer Induktion
EP0576714B1 (de) * 1992-07-03 1995-03-15 Norbert Dr. Nix Vorrichtung zur Messung einer Schichtdicke
US5508610A (en) * 1992-12-03 1996-04-16 Georgia Tech Research Corporation Electrical conductivity tester and methods thereof for accurately measuring time-varying and steady state conductivity using phase shift detection
US5416411A (en) * 1993-01-08 1995-05-16 Lockheed Fort Worth Company System and method for measuring the thickness of a ferromagnetic layer
EP0629450B1 (de) * 1993-05-07 2000-06-28 Nordson Corporation Pulverbeschichtungssystem und Pulverbeschichtungsdicke-Sensor
JPH06323934A (ja) * 1993-05-12 1994-11-25 Techno Excel Kk センサ
JP2564460B2 (ja) * 1993-05-13 1996-12-18 テクノエクセル株式会社 センサ
US5514337A (en) * 1994-01-11 1996-05-07 American Research Corporation Of Virginia Chemical sensor using eddy current or resonant electromagnetic circuit detection
US5660672A (en) * 1995-04-10 1997-08-26 International Business Machines Corporation In-situ monitoring of conductive films on semiconductor wafers
US5559428A (en) * 1995-04-10 1996-09-24 International Business Machines Corporation In-situ monitoring of the change in thickness of films
FR2743148B1 (fr) * 1995-12-29 1998-02-27 Framatome Sa Dispositif et procede de controle de tubes par courants de foucault
US5644221A (en) * 1996-03-19 1997-07-01 International Business Machines Corporation Endpoint detection for chemical mechanical polishing using frequency or amplitude mode
US5898302A (en) * 1997-11-25 1999-04-27 Cleveland State University Residual stress measurements in metal objects using four coils
FI103918B1 (fi) 1998-02-26 1999-10-15 Valmet Automation Inc Menetelmä ja laite liikkuvan rainan ominaisuuksien mittaamiseksi
CA2297199C (en) * 1998-05-12 2006-07-18 Kawasaki Steel Corporation Method and device for displaying signal generated by measurement probe
SE515544C2 (sv) * 1998-11-26 2001-08-27 Westinghouse Atom Ab Förfarande och anordning för bestämning av hydridinnehåll
US6369566B1 (en) * 1999-09-27 2002-04-09 Framatone Anp Inc. Method for measuring crud thickness on nuclear fuel rods
AU2279901A (en) 1999-12-20 2001-07-03 Henry Moncrieff O'connor Method for generating and displaying complex data utilizing color-coded signals
EP1244907A1 (de) * 1999-12-23 2002-10-02 KLA-Tencor Corporation Vor-ort-überwachung für metallisationsprozesse unter verwendung von wirbelstrommessungen und optischen messungen
TWI241398B (en) * 2000-03-28 2005-10-11 Toshiba Corp Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium
ES2170678B1 (es) * 2000-06-30 2003-09-16 Azkoyen Medios De Pago Sa Metodo y aparato de obtencion de caracteristicas fisicas de monedas para su identificacion.
JP2002198334A (ja) * 2000-10-16 2002-07-12 Ulvac Japan Ltd 基板研磨装置
TW541425B (en) * 2000-10-20 2003-07-11 Ebara Corp Frequency measuring device, polishing device using the same and eddy current sensor
US6788050B2 (en) * 2002-12-23 2004-09-07 Lam Research Corp. System, method and apparatus for thin-film substrate signal separation using eddy current
JP4451111B2 (ja) * 2003-10-20 2010-04-14 株式会社荏原製作所 渦電流センサ
DE102005051536A1 (de) * 2005-04-27 2006-11-09 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Berührungslos arbeitender Wirbelstromsensor und Verfahren zur Detektion von Messobjekten
DE102005040858B4 (de) * 2005-08-29 2009-02-19 Gabriel Daalmans Vorrichtung zum Erfassen von elektromagnetischen Eigenschaften eines Prüfgegenstands
DE102005040857B3 (de) * 2005-08-29 2007-02-01 Siemens Ag Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften eines beschichteten Substrats
DE102005041089B3 (de) * 2005-08-30 2007-01-04 Siemens Ag Vorrichtung zum Erfassen von Wirbelströmen in einem elektrisch leitfähigen Prüfgegenstand
DE102006025356A1 (de) * 2006-05-31 2007-12-06 Siemens Ag Verfahren zum Bestimmen der Schichtdicke einer elektrisch leitfähigen Beschichtung auf einem elektrisch leitfähigen Substrat
FR2904111B1 (fr) * 2006-07-20 2009-03-06 Snecma Sa Procede de controle non destructif d'une piece de turboreacteur comportant au moins une couche de revetement en aluminiure de nickel allie de platine (nialpt)
JP4802081B2 (ja) * 2006-10-31 2011-10-26 公益財団法人鉄道総合技術研究所 厚さ測定装置及び厚さ測定プログラム
JP5495493B2 (ja) * 2008-02-07 2014-05-21 株式会社東京精密 膜厚測定装置、及び膜厚測定方法
FI20085456L (fi) * 2008-05-15 2009-11-16 Valtion Teknillinen Menetelmä ja laitteisto sähköisen koodin tunnistamiseksi
CN102080949B (zh) * 2009-12-01 2013-11-06 无锡华润上华半导体有限公司 硅外延膜厚测量方法及装置
US9194687B1 (en) 2010-02-04 2015-11-24 Textron Innovations Inc. System and method for measuring non-conductive coating thickness using eddy currents
CN101788260B (zh) * 2010-03-18 2011-12-28 清华大学 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法
CN102087245B (zh) * 2010-12-04 2012-09-19 南昌航空大学 基于非晶合金的电磁检测传感器
TWI467167B (zh) * 2011-12-29 2015-01-01 Ind Tech Res Inst 自激振盪電磁耦合量測裝置
US9222917B2 (en) * 2012-07-25 2015-12-29 General Electric Company Broadband eddy current probe
CN103344174B (zh) * 2013-07-12 2016-03-09 爱德森（厦门）电子有限公司 一种不均匀导电材料表面覆盖层厚度的涡流测厚方法
CN103698606B (zh) * 2013-12-13 2016-05-04 华南理工大学 一种监测绝缘子表面污秽电导率的方法
CN103852000B (zh) * 2014-03-24 2016-05-25 电子科技大学 多层导电涂层厚度的涡流检测方法和装置
CN104482852A (zh) * 2014-09-28 2015-04-01 山东中科普锐检测技术有限公司 一种基于移动显示终端的涡流型涂层测厚仪电路
CN104502446B (zh) * 2014-11-27 2018-10-16 北京华清燃气轮机与煤气化联合循环工程技术有限公司 基于无损检测技术预测高温合金涂层服役状况的方法
TWI636233B (zh) * 2014-12-12 2018-09-21 美商通用電機股份有限公司 用於測量物件厚度的方法及裝置
CN105486214B (zh) * 2015-12-14 2018-06-29 南京泰祺瑞新材料科技有限公司 一种用于测量热处理渗层厚度的方法
CN105674868A (zh) * 2016-01-27 2016-06-15 系新电子技术（苏州）有限公司 一种管道内璧涂层厚度检测系统
NL2016652B1 (en) * 2016-04-21 2017-11-16 Innovative Mechanical Engineering Tech B V Electrospinning device and method.
JP6659527B2 (ja) * 2016-12-14 2020-03-04 株式会社東芝 物性値評価装置及び方法
CN107917733B (zh) * 2017-11-15 2019-10-01 中国矿业大学 一种基于模型的导电结构厚度与电导率涡流检测方法
JP6860715B2 (ja) * 2020-02-05 2021-04-21 株式会社東芝 物性値評価装置及び方法
WO2023221128A1 (zh) * 2022-05-20 2023-11-23 华为技术有限公司 测量导电膜的厚度的装置和传感器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2061708A1 (de) * 1969-12-19 1971-07-01 Centre Scient Tech Batiment Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke eines Überzuges
DE2840783A1 (de) * 1977-09-19 1979-03-29 Studsvik Energiteknik Ab Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von messgroessen auf elektromagnetischem wege
DE3335080C2 (de) * 1982-09-30 1986-01-30 Sumitomo Metal Industries, Ltd., Osaka Für ein Zirkoniumslegierungsrohr vorgesehenes Verfahren zur Messung der Dicke eines Zirkonium-Futterrohres und eine Vorrichtung für diese Methode
DE2855912C2 (de) * 1978-12-23 1988-08-18 Nix, Norbert, Dr., 5000 Köln Einrichtung zur Messung der Dicke von festen Überzügen auf einem Grundmaterial

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2916694A (en) * 1956-03-02 1959-12-08 Gen Motors Corp Coating thickness gage
GB943970A (en) * 1961-04-21 1963-12-11 Kelvin & Hughes Ltd Electromagnetic testing of materials
US3407352A (en) * 1965-06-07 1968-10-22 Western Electric Co Method of and apparatus for monitoring the thickness of a non-conductive coating on a conductive base
US3441840A (en) * 1967-03-31 1969-04-29 Martin Marietta Corp Electronic thickness meter having direct readout of coating thickness
GB1228274A (de) * 1969-04-16 1971-04-15
DE2259597C2 (de) * 1972-12-06 1974-04-25 Bp Benzin Und Petroleum Ag, 2000 Hamburg Vorrichtung zur Messung der Dicke von Fahrbahndecken
US3878457A (en) * 1973-11-16 1975-04-15 Wayne E Rodgers Thin film thickness measuring apparatus using an unbalanced inductive bridge
DE2410047A1 (de) * 1974-03-02 1975-09-11 Nix Steingroeve Elektro Physik Elektromagnetischer schichtdickenmesser mit umschaltbarer mess-frequenz
SU564585A1 (ru) * 1974-03-14 1977-07-05 Belikov Evgenij G Вихретоковый способ контрол качества покрытий
FR2324003A1 (fr) * 1975-09-09 1977-04-08 Commissariat Energie Atomique Procede de controle non destructif par courants de foucault et dispositif correspondant, utilisant une excitation multifrequence et permettant l'elimination de certains parametres
DE2923066C3 (de) * 1979-06-07 1982-01-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Verfahren zur Schichtdickenmessung von elektrisch nicht leitenden Schichten auf elektrisch leitenden Material nach dem Wirbelstromverfahren
US4467281A (en) * 1980-02-29 1984-08-21 Electric Power Research Institute, Inc. Multi frequency eddy current test apparatus with intermediate frequency processing
NZ205098A (en) * 1982-08-06 1997-01-29 Australian Wire Ind Pty Wire, conductive coating on magnetic substrate: thickness determination
JPS6012265A (ja) * 1983-07-01 1985-01-22 Nippon Kokan Kk <Nkk> 凝固層厚さの測定方法
FR2572175A1 (fr) * 1984-10-24 1986-04-25 Stein Heurtey Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur
JPH068723B2 (ja) * 1986-04-04 1994-02-02 株式会社神戸製鋼所 ライナ被覆管の厚み測定方法
US4893079A (en) * 1988-08-29 1990-01-09 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method and apparatus for correcting eddy current signal voltage for temperature effects

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2061708A1 (de) * 1969-12-19 1971-07-01 Centre Scient Tech Batiment Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke eines Überzuges
DE2840783A1 (de) * 1977-09-19 1979-03-29 Studsvik Energiteknik Ab Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von messgroessen auf elektromagnetischem wege
DE2855912C2 (de) * 1978-12-23 1988-08-18 Nix, Norbert, Dr., 5000 Köln Einrichtung zur Messung der Dicke von festen Überzügen auf einem Grundmaterial
DE3335080C2 (de) * 1982-09-30 1986-01-30 Sumitomo Metal Industries, Ltd., Osaka Für ein Zirkoniumslegierungsrohr vorgesehenes Verfahren zur Messung der Dicke eines Zirkonium-Futterrohres und eine Vorrichtung für diese Methode

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4310893A1 (de) * 1993-04-02 1994-10-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Prüfsonde zum zerstörungsfreien Prüfen der Oberflächen elektrisch leitfähiger Werkstoffe
DE4310894A1 (de) * 1993-04-02 1994-10-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Prüfsonde zum zerstörungsfreien Untersuchen von Oberflächen elektrisch leitfähiger Werkstoffe
DE19620053C1 (de) * 1996-05-18 1997-08-07 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum zerstörungsfreien Untersuchen der Oberflächenschicht elektrisch leitfähiger Werkstücke
DE19628220B4 (de) * 1996-07-05 2011-06-16 Westinghouse Electric Sweden Ab Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke einer oder mehrerer übereinanderliegender Schichten auf einem Substrat
DE19951015C1 (de) * 1999-10-22 2001-01-25 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Charakterisierung von Metallelektroden keramischer Sensorelemente
WO2019211278A1 (de) * 2018-05-03 2019-11-07 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur vermessung von elektrodenfilmen

Also Published As

Publication number Publication date
FR2656086A1 (fr) 1991-06-21
JPH03189503A (ja) 1991-08-19
US5017869A (en) 1991-05-21
CN1052548A (zh) 1991-06-26
IT9022375A1 (it) 1991-06-15
IT9022375A0 (it) 1990-12-13
CA2021600A1 (en) 1991-06-15
GB2239525A (en) 1991-07-03
IT1244183B (it) 1994-07-08
GB9026555D0 (en) 1991-01-23

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