DE4021991A1 - Schleifstein mit innenliegenden schleifflaechen und dessen spuelverfahren - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Schleifstein mit einem scheibenförmigen Träger, dessen Innenumfangsbereich mit einer Schneidkantenschicht versehen ist, und ein Verfahren zum Spülen des Schleifsteins.

Beim Bearbeiten von Scheiben, bei welchem ein Block aus Halbleitermaterial in eine Mehrzahl von Scheiben geschnitten wird, ist es wichtig, die Bearbeitungstoleranz bei dem Schneiden zu verringern und die Parallelität und Flächenrauhigkeit zu gewährleisten. Aus diesem Grund wird das Schneiden mit einem Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen durchgeführt.

Zur Herstellung von Scheiben wird derzeit ein Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen verwendet, der einen aus rostfreiem Stahl oder ähnlichem gefertigten ringförmigen Träger aufweist, dessen Dicke 100-150µm beträgt. Der ringförmige Träger weist einen Innenumfangsbereich auf, der mit einer aus Diamantschleifkörnern mit Hilfe eines galvanisch niedergeschlagenen Bindemittels wie Nickel oder ähnlichem ausgebildeten Schneidkantenschicht versehen ist. Die Dicke und die Breite der Schneidkantenschicht betragen etwa 250-300µm bzw. 2-5µm.

Die Fig. 5 und 6 der Zeichnung zeigen eine Ausführungsform des herkömmlichen Schleifsteins mit innenliegenden Schleifflächen. Der herkömmliche Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen 100 weist einen ringförmigen Träger 101 auf, dessen Innenumfangsbereich mit einer Schneidkantenschicht 102 versehen ist. Um das Abführen des bei dem Bearbeitungsvorgang und dem Spülen des Schleifsteins 100 entstehenden Schleifstaubs zu erleichtern, ist die Schneidkantenschicht 102 so ausgebildet, daß sie in Richtung von ihrem inneren Rand 102a auf ihren äußeren Rand 102b allmählich dünner wird.

Bei der Herstellung der Scheiben ist der Schleifstein 100 mit innenliegenden Schleifflächen an einer Vertikal- Schleifvorrichtung oder ähnlichem angeordnet und ein Schleifmaterial wird während des Bearbeitungsvorgangs gegen die Schneidkantenschicht 102 geblasen. Der Schleifstaub, der beim Schleifen des spröden Halbleitermaterials (nachstehend Werkstück genannt) wie Silizium oder ähnlichem entsteht, besteht aus sehr kleinen oder feinen spitzen Teilchen. Es ist schwierig diese Teilchen, die eine Korngröße von 1µm oder weniger aufweisen, abzuführen. Weitherhin wird das gegen die Schneidkantenschicht 102 geblasene Schleifmaterial bei dem sich mit Hochgeschwindigkeit drehenden Schleifstein 100 in Richtung zu dem Außenumfangsbereich des ringförmigen Trägers getrieben. Dementsprechend muß mit den folgenden Nachteilen gerechnet werden: Der Schleifstein mit dem beschriebenen Aufbau kann nicht eine ausreichende Abführungs- und Spülwirkung gewährleisten. Die Schneidkantenschicht 102, insbesondere deren Innenumfangsbereich 102a, wird mit Schleifstaub zugesetzt, was einen großen Einfluß auf die Schneidwirksamkeit ausübt, wodurch die Schleifleistung reduziert wird. Darüberhinaus wird, da ungünstige Spannungen auf das Werkstück einwirken, die Dicke einer an der Oberfläche des Werkstücks befindlichen, wegen der Schwankungen der Herstellungsqualität entstehenden Rauhigkeitsschicht gesteigert.

Wenn das Zusetzen des Innenumfangsbereichs 102a auftritt, wodurch der Schleifwiderstand steigt, wird die Schneidkantenschicht 102 seitlich so in Schwingungen versetzt, daß die Seitenfläche der Schneidkantenschicht 102 mit dem Werkstück in Berührung kommt. Dementsprechend wird die Schnittfläche des Werkstücks versehentlich angeschliffen, wodurch dessen Parallelität und anfängliche Flächenrauhigkeit zerstört werden. Der ringförmige Träger 101 selbst wird durch eine äußere Kraft, die auf ihn an der Seitenfläche der Schneidkantenschicht 102 einwirkt, allmählich verformt. Dementsprechend wird die Schneidkantenschicht 102 in einen solchen Zustand gebracht, daß sie mit der Schnittfläche des Werkstückes zusätzlich in Berührung gelangt.

Die in der beschriebenen Weise sich verstärkende Verformung des ringförmigen Trägers 101 erhöht die wirksame Dicke der Schneidkantenschicht 102 so, daß die Bearbeitungstoleranz des Werkstückes groß wird. Demzufolge werden die Parallelität und die gewünschte Flächenrauhigkeit der Schnittfläche des Werkstückes beinträchtigt. Weiterhin erhöht sich allmählich die Dicke der wegen der Schwankungen der Herstellungsqualität entstehenden Rauhigkeitsschicht, wodurch die Qualität der geschnittenen Scheiben erheblich vermindert wird.

Die erwähnten Nachteile bei der herkömmlichen Technik treten mit einer Vergrößerung des Werkstücksdurchmessers oder des Blockdurchmessers verstärkt auf. Derzeit versucht die Bedienungsperson solche Nachteile z. B. dadurch zu beherrschen, daß die Verformung des ringförmigen Trägers 101 überwacht wird, um den Schleifstein 100 ausrichten zu können. Eine ausreichende Wirkung kann jedoch nicht erreicht werden. Man muß bei häufigen Ausrichtvorgängen mit den weiteren Nachteilen rechnen, daß die Schneidwirksamkeit selbst verringert wird und die Standzeit des Schleifsteins ebenfalls verringert wird.

Durch die Erfindung wird die Aufgabe gelöst, die Nachteile der herkömmlichen Technik zu vermeiden und einen Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen und ein Spülverfahren für denselben zu schaffen, mit welchen Scheiben mit kleiner Bearbeitungstoleranz und mit gutem Wirkungsgrad geschnitten werden können, wobei die Parallelität und die Flächenrauhigkeit und dgl. der Scheiben auf einer hohen Qualität gehalten werden können, und mit welchen die Standzeit des Schleifsteins verlängert werden kann.

Um das erwähnte Ziel zu erreichen, wird erfindungsgemäß ein Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen geschaffen, der einen ringförmigen Träger, eine Schneidkantenschicht, die an dem Innenumfangsbereich des ringförmigen Trägers angeordnet ist, eine Mehrzahl von in den beiden Seiten der Schneidkantenschicht ausgebildeten konkaven Ausnehmungen und an den beiden Seiten der Schneidkantenschicht angeordnete Schleifkörner aufweist, wobei der Anteil der vorstehenden Teile der Schleifkörner in dem Außenumfangsbereich der Schneidkantenschicht an den beiden Seiten derselben kleiner ist als in dem Innenumfangsbereich derselben.

Nach der Erfindung wird auch ein Verfahren zum Spülen des beschriebenen Schleifsteins geschaffen, bei welchem in den in den beiden Seiten der Schneidkantenschicht ausgebildeten konkaven Ausnehmungen angesammelter Schleifstaub mit Hilfe von auf die Schicht aufgespritzter Schleifflüssigkeit und aufgeblasenem Spülgas weggeblasen wird, wodurch das Abführen des Schleifstaubs erfolgt.

Mit der erfindungsgemäßen Anordnung erfolgt der Bearbeitungsvorgang mit dem Innenumfangsbereich der Schneidkantenschicht, in welchem die Schleifkörner weiter vorstehen, und der bei dem Schneiden entstehende Schleifstaub wird in die in den beiden Seiten der Schneidkantenschicht ausgebildeten konkaven Ausnehmungen bewegt und dort angesammelt. Dementsprechend kann ein Zusetzen des Innenumfangsbereich der Schneidkantenschicht mit Schleifstaub verhindert werden. Die Schnittfläche des Werkstücks wird mit Hilfe der in dem Außenumfangsbereich der Schneidkantenschicht, in dem die Schleifkörner weniger weit vorstehen, auf einem hinreichenden Parallelitäts- und Flächenrauhigkeitsniveau gehalten und fertiggeschliffen. Demzufolge tritt ein übermäßig großer Schleifwiderstand an der Schneidkantenschicht infolge eines Zusetzens mit Schleifstaub nicht auf. In dieser Weise können eine Verformung der Schneidkantenschicht und des ringförmigen Trägers und eine Vergrößerung der Bearbeitungstoleranzen des Werkstückes von vorneherein verhindert werden. Dementsprechend ist es möglich, die Scheiben wirksam mit kleiner Bearbeitungstoleranz in der Parallelität und der Flächenrauhigkeit abzuschneiden. Weiterhin können, da von dem zum Modifizieren oder Abgleichen der Verformung der Schneidkantenschicht notwendigen häufigen Dressieren abgesehen werden kann, die Standzeit des Innenschleifsteins selbst verlängert und die Herstellungsgeschwindigkeit vergrößert werden.

Weiterhin wird der in den konkaven Ausnehmungen angesammelte Schleifstaub mit Hilfe von auf die Schneidkantenschicht aufgespritzter Schleifflüssigkeit und Spülgas abgeblasen und abgeführt, wobei die Abführwirkungen des Schleifstaubs in den konkaven Ausnehmungen und die Kühlwirkungen beim Schneiden weiter verbessert werden können.

Der erfindungsgemäße Schleifstein wird an einer Vertikal- Schleifvorrichtung oder ähnlichem angeordnet, damit der Bearbeitungsvorgang durchgeführt werden kann.

Das Werkstück wird mit der an dem Innenumfangsbereich des ringförmigen Trägers ausgebildeten Schneidkantenschicht, nämlich mit deren Innenumfangsbereich, geschnitten. Der bei dem Trennen entstehende Schleifstaub wird in Richtung zu der Schneidkantenschicht bewegt, d. h. der Schleifstaub wird zusammen mit der Schleifflüssigkeit, die unmittelbar vor dem Eindringen der Schneidkantenschicht in das Werkstück aufgespritzt wird, zu den an den beiden Seiten der Schicht ausgebildeten konkaven Ausnehmungen bewegt und dort angesammelt. In dieser Weise ist es möglich, den Innenumfangsbereich der Schneidkantenschicht vor einem Zusetzen mit Schleifstaub zu bewahren.

Der Schleifstaub und die Schleifflüssigkeit, die sich in den beidseitig der Schicht ausgebildeten konkaven Ausnehmungen angesammelt haben, werden mittels der Schleifflüssigkeit und des Spülgases unmittelbar, nachdem die Schneidkantenschicht das Werkstück verläßt, abgeblasen und abgeführt.

Weiterhin werden die Schnittflächen des Werkstücks von beiden Außenumfangsbereichen der Schneidkantenschicht geschliffen, in denen der Überstand der Schleifkörner klein ist, wodurch die Schnittflächen des Werkstücks sauber fertiggeschliffen werden können.

Die Erfindung wird mit Hilfe der Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 eine erfindungsgemäße Ausführungsform des Schleifsteins mit innenliegenden Schleifflächen in Draufsicht,

Fig. 2 eine Querschnittsansicht entlang der Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Teilansicht des in Fig. 1 umrahmten Teils III, in vergrößertem Maßstab,

Fig. 4(a) bis 4(d) verschiedene Ausführungsformen der in den Fig. 1 bis 3 dargestellten konkaven Ausnehmungen,

Fig. 5 einen herkömmlichen Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen in Draufsicht, und

Fig. 6 eine Querschnittsansicht entlang der Linie VI-VI in Fig. 5.

Der in Fig. 1 dargestellte Schleifstein 1 weist einen ringförmigen Träger 2 auf. Der Innenumfangsbereich des ringförmigen Trägers 2 ist mit einer diesen beidseitig umgreifenden Schneidkantenschicht 3 versehen. Diese Schicht 3 weist auf ihren beiden Seiten 3a und 3b beidseitig des Trägers 2 eine Mehrzahl von konkaven Ausnehmungen 4 auf, die entlang eines mit dem ringförmigen Träger 2 konzentrischen Kreises angeordnet sind. Die entgegengesetzten Seiten 3a und 3b der Schneidkantenschicht 3 und deren stirnseitige Innenfläche sind mit Schleifkörnern 5 versehen, wobei der Anteil der herausragenden Schleifkörner 5 in dem Außenumfangsbereich 3c der Schneidkantenschicht 3 kleiner ist als in dem Innenumfangsbereich 3d derselben.

Die Schneidkantenschicht 3 ist aus einem galvanisch oder elektrostatisch aufgetragenen Bindemittel 6 und aus Schleifkörnern gestaltet, die aus Diamantteilchen bestehen. An den beiden entgegengesetzten Seiten 3a und 3b der Schneidkantenschicht 3 in deren Außenumfangsbereich 3c ist je eine Nickelplattierschicht 7 vorhanden, die einen Teil der Schneidkantenschicht 3 bildet, um den vorstehenden Anteil der Schleifkörner zu reduzieren.

Das Vorhandensein der Nickelplattierschichten 7 ist nicht auf die entgegengesetzten Seiten 3a und 3b des Außenumfangsbereichs 3c der Schicht 3 beschränkt. Die Innenrandlinie jeder Nickelplattierschicht 7 kann außerhalb der in Fig. 3 dargestellten strichpunktierten Kreislinie 8 liegen, wobei zwischen der Kreislinie 8 und der Innenrandlinie der Nickelplattierschicht 7 ein kleiner Abstand bleibt. Die mit dem ringförmigen Träger konzentrische Kreislinie 8 ist die Umhüllende der auf den beiden Seiten 3a und 3b vorhandenen konkaven Ausnehmungen 4. Es ist nicht besonders definiert, wo die kreisförmigen Außenrandlinien der beiden Nickelplattierschichten 7 liegen sollen. Beispielsweise kann, wie in Fig. 2 dargestellt, die Nickelplattierschicht 7 über den Außenumfangsbereich 3c der Schneidkantenschicht 3 an dem ringförmigen Träger radial nach außen hinausreichen.

Weiterhin ist auch eine solche Ausführungsform möglich, bei welcher Teilchen, die feiner als die Schleifkörner 5 sind, mit der Nickelplattierschicht 7 vermischt, in einer Mischung mit den Schleifkörnern 5 durch Elektrobeschichtung aufgetragen sind und zusammen mit den Schleifkörnern 5, die aus der Nickelplattierschicht 7 herausragen, als Schleifmittel verwendet werden.

Weiterhin hat beim Schleifen mit dem Innenumfangsbereich 3d der Schneidkantenschicht 3 die Rauhigkeitsschicht der geschliffenen Oberfläche des Werkstücks eine Dicke von mehreren zehn µm. Um diese Rauhigkeitsschicht des Werkstücks zu entfernen und dadurch das Werkstück zu glätten, ist der die Nickelplattierschicht 7 und die Schleifkörner 5 enthaltende Außenumfangsbereich 3c dicker als der Innenumfangsbereich 3d der Schneidkantenschicht 3, wodurch der Schleifwirkungsgrad weiter erhöht werden kann.

Die konkaven Ausnehmungen 4 können in mehreren Reihen ausgebildet werden, die an dem Träger entlang konzentrischer unterschiedliche Durchmesser aufweisender Kreise verlaufen. In diesem Fall kann sich die Plattierschicht 7 bis zwischen die auf den äußeren Kreisen liegenden Ausnehmungen, jedoch nicht zwischen die auf dem innersten Kreis liegenden Ausnehmungen erstrecken. Die Gestalt der konkaven Ausnehmungen 4 ist nicht auf einen Kreis beschränkt; die Ausnehmungen 4 können stattdessen als Ellipse, Trapez, Parallelogramm, Quadrat, längliches Rechteck oder dergl., wie es in den Fig. 4(a) bis 4(d) dargestellt ist, oder als deren Kombination, ausgebildet werden. Weiterhin können die Abmessung oder die Größe der konkaven Ausnehmungen 4, die Anzahl der Reihen, entlang denen die konkaven Ausnehmungen 4 ausgebildet sind, die Anzahl der konkaven Ausnehmungen 4 in einer Reihe, oder ähnliches frei gewählt werden. Die konkaven Ausnehmungen 4 können einander benachbart oder miteinander zusammenhängend ausgebildet sein. Jedoch ist es im Hinblick auf die mechanische Festigkeit vorteilhaft, wenn die konkaven Ausnehmungen 4 an beiden Seiten der Schneidkantenschicht 3 die gleiche Form und Abmessung aufweisen und an miteinander übereinstimmenden Stellen der entgegengesetzten Seiten 3a und 3b angeordnet sind.

Bei dem den beschriebenen Aufbau aufweisenden Schleifstein 1 erhöht die Nickelplattierschicht 7 die mechanische Festigkeit des Innenumfangsbereichs des ringförmigen Trägers 2. Durch die bei Montage in eine Vertikal-Bearbeitungsvorrichtung auf den Schleifstein 1 aufgebrachte Spannkraft erhöht sich die Steifigkeit gegen die Umfangsbelastung, die im Innenumfangsbereich des ringförmigen Trägers 2 auftritt. Demzufolge erhöht sich die Steifigkeit der Schneidkantenschicht 3, so daß ein lagestabiler Bearbeitungsvorgang ermöglicht wird. Darüber hinaus hält ein Teil des Bindemittels der Schneidkantenschicht 3 zwischen den entlang eines konzentrischen Kreises in dem ringförmigen Träger 2 ausgebildeten Ausnehmungen den Innenumfangsbereich gegen eine von außen einwirkende Kraft zusammen, wie beispielsweise die Bearbeitungskraft, die auf den Innenumfangsbereich 3d einwirkt. Demgemäß werden ein Rattern beim Bearbeitungsvorgang und die Verformung des ringförmigen Trägers 2 verhindert, so daß die Bearbeitungstoleranz verbessert wird.

Der Bearbeitungsvorgang wird mit dem vorlaufenden Bereich der an dem Innenumfangsbereich des ringförmigen Trägers 2 ausgebildeten Schneidkantenschicht 3, d. h. mit dem Innenumfangsbereich 3d durchgeführt, in dem der Anteil der herausragenden Teile der Schleifkörner 5 groß ist. Der bei dem Schleifen entstehende Schleifstaub wird, zusammen mit der auf die Schneidkantenschicht 3 aufgespritzten Schleifflüssigkeit, zu den in den beiden Seiten 3a und 3b der Schneidkantenschicht 3 ausgebildeten konkaven Ausnehmungen 4 bewegt und dort angesammelt. Dieses Bewegen der Schleifkörner erfolgt durch den Spalt an dem Innenumfangsbereich 3d zwischen dem Bindemittel 6 und der geschliffenen Fläche des Werkstücks, d. i. den durch die Größe oder die Menge der herausragenden Teile der Schleifkörner 5 bestimmten Spalt, der entsteht, während sich ein Teil des Innenumfangsbereiches 3d in dem Werkstück befindet. In dieser Weise ist es möglich, das Zusetzen des Innenumfangsbereichs, der den Schleifvorgang durchführt, zu verhindern. Weiterhin kann, da der Spalt zwischen dem die Nickelplattierschicht 7 aufweisenden Außenumfangsbereich 3c und der geschliffenen Fläche des Werkstücks kleiner ist als zwischen dem Innenumfangsbereich 3d und der geschliffenen Fläche des Werkstücks, das Eintreten von Schleifstaub in den Spalt zwischen dem Außenumfangsbereich und der Schlifffläche des Werkstücks verhindert werden, so daß die Schlifffläche des Werkstücks nicht beschädigt wird.

Anderseits ist, da der Anteil der vorstehenden Teile der Schleifkörner 5 in dem Außenumfangsbereich 3c der Schneidkantenschicht 3 an den gegenüberliegenden Seiten 3a und 3b kleiner ist als in dem Innenumfangsbereich 3d, ein übermäßiges Abschleifen der Werkstücksfläche verhindert, so daß die geschliffene Fläche des Werkstückes auf einem ausreichenden Parallelitäts- und Flächenrauhigkeitsniveau gehalten wird. Außerdem wirkt keine äußere Kraft aufgrund eines nachteiligen Schleifwiderstands auf die Schneidkantenschicht 3 ein, so daß die Verformung der Schneidkantenschicht 3 und des ringförmigen Trägers 2 und die Vergrößerung der Dicke einer unebenen Oberflächenschicht an dem Werkstück, die wegen einer Änderung in der Herstellungsqualität vorkommen könnte, von vorneherein verhindert werden können. Demgemäß werden bei dem erfindungsgemäßen Schleifstein, gegenüber dem herkömmlichen Schleifstein das Abreißen der Schleifkörner 5, das wegen eines übermäßigen Schleifwiderstands vorkommen könnte, und der Abrieb des Bindemittels 6 verhindert. Weiterhin kann von einem die Verformung der Schneidkantenschicht ausgleichenden oder korrigierenden häufigen Dressieren des Schleifsteins 1 abgesehen werden, wodurch die Standzeit des Schleifsteins 1 verlängert wird.

Ferner wird zum Spülen der erfindungsgemäßen Trennscheibe 1 mit innenliegenden Schleifflächen das nachstehende Spülverfahren angewendet.

Bei dem Bearbeitungsvorgang mit dem Schleifstein 1 werden die Schleifflüssigkeit und das Spülgas mit hoher Geschwindigkeit auf die Schneidkantenschicht 3 aufgespritzt bzw. aufgeblasen, wodurch der in den konkaven Ausnehmungen 4 angesammelte Schleifstaub zusammen mit der Schleifflüssigkeit abgeblasen und abgeführt wird. Wenn das Spülgas in einer schrägen Richtung auf die beiden Seitenflächen der die konkaven Ausnehmungen 4 aufweisenden Schneidkantenschicht geblasen wird, wird das Abführen des Schleifstaubs noch besser sichergestellt. Wie schon beschrieben, wird der bei dem Schleifen entstehende Schleifstaub - während der Innenumfangsbereich 3d, der das Schleifen durchführt, sich in dem Werkstück befindet - durch den Spalt zwischen dem Bindemittel 6 und der geschliffenen Fläche des Werkstücks zu den konkaven Ausnehmungen 4 bewegt und dort angesammelt. Unmittelbar nachdem der Innenumfangsbereich 3d das Werkstück verläßt, werden die Schleifflüssigkeit und das Spülgas mit hoher Geschwindigkeit gleichzeitig und im wesentlichen gleichsinnig auf die Schneidkantenschicht gespritzt bzw. geblasen, wodurch die aufgespritzte Schleifflüssigkeit und das Spülgas aus den konkaven Ausnehmungen abgeführt werden. Dementsprechend werden die in dem Innenumfangsbereich 3d ausgebildeten konkaven Ausnehmungen 4 in der Gegend der Berührungsstelle zwischen dem Werkstück und den konkaven Ausnehmungen 4 mit der Schleifflüssigkeit wieder gefüllt, damit das Schleifen des Werkstücks fortgesetzt werden kann.

Nach dem erfindungsgemäßen Spülverfahren wird der Spalt zwischen dem Innenumfangsbereich 3d und der geschliffenen Fläche des Werkstücks hinreichend mit Schleifflüssigkeit versorgt, um die Kühlwirkung zu steigern. Überdies wird das Abführen des Schleifstaubs aus den konkaven Ausnehmungen 4 weiter begünstigt. Dementsprechend kann bei der Schleifsteinkonstruktion die Größe jeder der konkaven Ausnehmungen 4 klein sein, so daß die konkaven Ausnehmungen 4 näher am Innenumfang der Schneidkantenschicht 3 angeordnet werden können. Infolgedessen ist es möglich, die Nickelplattierschichten 7 bis zu einer näher am Innenumfang der Schneidkantenschicht 3 liegenden Stelle auszubilden. Auf diese Weise kann die Steifigkeit der Schneidkantenschicht weiter erhöht werden.

Claims (11)

1. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen, mit einem ringförmigen Träger (2), einer Schneidkantenschicht (3), die an dem Innenumfangsbereich des ringförmigen Trägers (2) angeordnet ist, einer Mehrzahl von in den beiden Seiten der Schneidkantenschicht (3) ausgebildeten konkaven Ausnehmungen (4) und Schleifkörnern (5), die an den beiden Seiten der Schneidkantenschicht (3) angeordnet sind, wobei der Anteil der vorstehenden Teile der Schleifkörner (5) in dem Außenumfangsbereich (3c) der Schneidkantenschicht (3) an beiden Seiten (3a bzw. 3b) derselben kleiner ist als in dem Innenumfangsbereich (3d) derselben.

2. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die konkaven Ausnehmungen (4) in dem ringförmigen Träger (2) entlang wenigstens eines zu dem ringförmigen Träger (2) konzentrischen Kreises ausgebildet sind.

3. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Außenumfangsbereich (3c) der Schneidkantenschicht (3) an deren beiden Seiten (3a bzw. 3b) Nickelplattierschichten (7) aufweist.

4. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Rand jeder Nickelplattierschicht (7) außerhalb des die konkaven Ausnehmungen (4) einhüllenden Kreises liegt, wobei zwischen der Kreislinie und dem Innenrand der Nickelplattierschicht (7) ein Abstand gehalten ist.

5. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Nickelplattierschicht (7) sich über den Außenumfang des Außenumfangsbereichs (3c) radial hinausstreckt.

6. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in das Material der Nickelplattierschicht (7) Teilchen, die feiner sind als die Schleifkörner (5) eingemischt sind.

7. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Außenumfangsbereich (3c) der Schneidkantenschicht (3) dicker als der Innenumfangsbereich (3d) der Schneidkantenschicht (3) ist.

8. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die konkaven Ausnehmungen (4) in dem Träger (2) in mehreren Reihen entlang mehreren zu dem ringförmigen Träger (2) konzentrischen Kreisen ausgebildet sind, wobei die konzentrischen Kreise unterschiedliche Durchmesser aufweisen.

9. Schleifstein mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die konkaven Ausnehmungen (4) an miteinander übereinstimmenden Stellen der Seitenflächen der Schneidkantenschicht (3) ausgebildet sind und die gleiche Form und Abmessung aufweisen.

10. Verfahren zum Spülen des Schleifsteins mit innenliegenden Schleifflächen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der sich in den in den beiden Seiten (3a bzw. 3b) der Schneidkantenschicht (3) ausgebildeten konkaven Ausnehmungen (4) angesammelte Schleifstaub mit Hilfe von auf die Schneidkantenschicht (3) aufgespritzter Schleifflüssigkeit und aufgeblasenem Spülgas weggeblasen und dadurch abgeführt wird.

11. Spülverfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Spülgas auf jede der beiden Seitenflächen der Schneidkantenschicht (3) schräg aufgeblasen wird.