DE3936815C2 - Arbeitstisch für einen Reinraum - Google Patents
Arbeitstisch für einen ReinraumInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Arbeitstisch für einen Reinraum,
in dem eine auf die Arbeitsfläche des Arbeitstisches gerichtete
Strömung vorhanden ist, die durch Öffnungen in der Arbeitsfläche
strömt, und von der Unterseite der Arbeitsfläche durch einen
Strömungskanal einer Absaugquelle zugeführt wird.
Ein derartiger Arbeitstisch ist aus der EP 0 139 128 A2 bekannt.
In Reinräumen werden beispielsweise Wafer zur Halbleiterferti
gung unter Reinraumbedingungen gehandhabt. In derartigen
Reinräumen herrscht eine, meist von oben nach unten gerichtete
Reinraumluftströmung vor, die dadurch erzeugt wird, daß die
Raumluft einerseits im Bodenbereich abgesaugt und andererseits
im Deckenbereich zugeführt wird. Die zugeführte Luft ist rein,
d. h. sie ist von Feststoffpartikeln oder von das zu handhabende
Gut schädigende Agentien befreit. Es resultiert im Reinraum
eine turbulenzarme Verdrängungsströmung, wobei eine stete
Umströmung der zu handhabenden Güter mit Reinraumerstluft
erreicht wird. Die Luftführung kann im Kreislauf erfolgen,
d. h. die bodenseitig abgesaugte Luft kann über Filtermittel
und ggf. durch Zumischen von Frischluft erneut dem Raum zuge
führt werden.
Die Luftströmungsgeschwindigkeiten liegen im Bereich von
0,5 m/sec, d. h. es wird eine laminare Strömung erzielt.
Wird ein Arbeitstisch in einem solchen Reinraum aufgestellt,
so stellt die Tischplatte bzw. die obere Arbeitsfläche einen
Widerstand für die nach unten gerichtete Strömung dar. Die
auf die Arbeitsfläche auftreffende Strömung muß zu den Seiten
kanten des Arbeitstisches abgelenkt werden, und diesen um
strömen. Es wurde festgestellt, daß insbesondere im mittigen
Bereich der Arbeitsfläche ein Aufstaugebiet entsteht, das
sich bis in Höhen von 0,5 bis 1 m über der Arbeitsfläche erhebt.
Das Aufstaugebiet verursacht Querströmungen, d. h. die von
oben auf das Aufstaugebiet auftreffende Strömung wird in
Querrichtung abgelenkt, so daß die Gefahr besteht, daß durch
die Querströmungen Kontaminationen vom mittigen Bereich in
Querrichtung über die Arbeitsfläche verteilt werden. Haftet
beispielsweise an einem mittigen Werkstück eine Kontamination
oder wird eine Kontamination von einer am Arbeitstisch arbeiten
den Person auf die Arbeitsfläche abgegeben, so sorgen die
Querströmungen dafür, daß diese Kontaminationen über das gesamte
auf der Arbeitsfläche befindliche Gut verteilt werden können.
Im Aufstaugebiet selbst können Turbulenzen entstehen, die
wiederum für Querkontaminationen sorgen können.
Aus der eingangs erwähnten europäischen Patentanmeldung EP
0 139 128 A2 ist eine Abzugsvorrichtung bekannt, in deren Innenraum
sich ein Arbeitsbereich samt Arbeitsfläche befindet. Bei dieser
Vorrichtung wird ein Luftvorhang im Bereich einer Arbeitsöffnung
geschaffen, um insbesondere das Ausströmen schädlicher Gase
aus dem im wesentlichen geschlossenen Arbeitsbereich in den
Außenbereich zu verhindern. Dazu bläst ein am oberen Teil der
Abzugsvorrichtung angeordneter erster Lüfter Luft durch einen
Filter. Die gefilterte Luft strömt durch den Arbeitsbereich
in Richtung der Arbeitsfläche. Dort strömt sie durch Öffnungen
in der Arbeitsfläche und wird unterhalb der Arbeitsfläche über
einen Strömungskanal mittels einer Absaugquelle abgesaugt. Ein
zweiter Lüfter bläst Luft mit wesentlich höherer Geschwindigkeit
entlang der Arbeitsöffnung und erzeugt so einen Luftvorhang.
Diese Luft wird ebenfalls durch Öffnungen in der Arbeitsfläche
über den Strömungskanal mittels einer Absaugqelle abgesaugt.
Zusätzlich strömt im Bereich der Arbeitsöffnung Luft von außen
in den Arbeitsbereich ein, die ebenfalls durch die Öffnungen
in der Arbeitsfläche in den Strömungskanal abgesaugt wird.
Die gesamte, durch den Arbeitsbereich strömende Luft wird im
Absaugbereich, der sich unterhalb der Arbeitsfläche befindet,
im Strömungskanal der Absaugquelle gebündelt zugeführt. Der
Strömungskanal erstreckt sich unterhalb der Arbeitsfläche über
deren gesamten Querschnitt nur über eine kurze Strecke bis zu
einem Tisch, auf dem die Vorrichtung steht. Ein seitlich neben
dem Tisch angeordneter Abführkanal führt die Luft nach einer
seitlichen Ablenkung zunächst nach unten, dann unter erneutem
Ablenken zur Saugquelle zurück. Durch die mehrfache Umlenkung
in Querrichtung entsteht eine Barriere gegenüber der von oben
nach unten über den gesamten Querschnitt der Arbeitsfläche
abströmenden Luft. Zusätzliche Strömungshindernisse stellen
Wirbel dar, die sich an der scharfen Kante des Absatzes ausbilden.
Dies ist von besonderem Nachteil, da dadurch im Arbeitsbereich
ein Aufstaugebiet entsteht, das wiederum Querströmungen nach
sich zieht, die Kontaminationen des Arbeitsbereichs durch
Verwirbelungen verursachen können.
Aus dem DE-GM 19 68 786 ist eine Vorrichtung bekannt, bei der
mit Hilfe einer verschiebbaren, im Querschnitt etwa treppenförmigen
Jalousie, die schmälere obere und breitere untere ebene
Profilteile aufweist, der durch die Arbeitsfläche strömende
Luftstrom mehr oder weniger versperrt oder freigegeben werden
kann.
Aus der JP 63-259340 A. in Patent Abstracts of Japan, Section M,
Vol. 13 (1989), No. 55 (M-795) ist eine zweiteilige Vorrichtung
bekannt, bei der die Luft, die die Arbeitsfläche durchdrungen
hat, durch eine nach unten geneigte Blende seitlich abgelenkt
wird, so daß durch die Querströmung ein Hindernis gegenüber
der von oben nach unten strömenden Luft gebildet wird, die für
ein Aufstaugebiet über der Arbeitsfläche sorgt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher, hier Abhilfe zu
schaffen und einen Arbeitstisch für einen Reinraum der eingangs
genannten Art zu schaffen, bei dem oberhalb der Arbeitsfläche
eine aufstau- und querströmungsfreie Strömung erzielt wird.
Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß sich der
Strömungskanal von der Unterseite der Arbeitsfläche bis in den
Bodenbereich erstreckt, auf dem eine Arbeitsperson steht, so
daß die von oben nach unten gerichtete Strömung des Reinraumes
nach dem Durchströmen der Arbeitsfläche im Strömungskanal
zumindest bis in den bodenseitigen Absaugbereich aufrechterhalten
wird.
Der sich von der Unterseite der Arbeitsfläche in Richtung Boden
des Reinraumes weg erstreckende Strömungskanal sorgt dafür,
daß die durch die Öffnungen in der Arbeitsfläche hindurchtretende
Luft in der ursprünglichen Richtung, also von oben nach unten
gerichtet unbehindert weiterströmt und erst im bodenseitigen
Bereich zur Absaugquelle
abgelenkt wird. Ein auf der Arbeitsfläche gehandhabtes Gut
kann dann stetig umströmt werden und die Strömung geht sofort
nach Durchtreten der Öffnungen wieder in eine geradlinig von
oben nach unten gerichtete laminare Strömung über. Der Strö
mungskanal, der beispielsweise bei einem quaderförmigen Tisch
den gesamten quaderförmigen Bereich unterhalb der Arbeitsfläche
umgrenzt, ermöglicht eine Fortsetzung der oberhalb der Ar
beitsfläche bestehenden geradlinig von oben nach unten gerichte
ten Strömung, stellt also strömungstechnisch unterhalb der
Arbeitsfläche keinen Strömungswiderstand dar, so daß von diesem
Strömungsbereich unterhalb der Arbeitsfläche keine Rückstau
wirkung bis auf den Bereich oberhalb der Arbeitsfläche ausgeübt
wird. Eine Ablenkung des Stromes im bodenseitigen Bereich des
Strömungskanales hat dann keine Rückstauwirkung mehr bis auf
die Oberseite der Arbeitsfläche, so daß kein Aufstaugebiet mehr
oberhalb der Arbeitsfläche vorhanden ist. Dadurch sind dann
auch Querströmungen ausgeschlossen, d. h. Querströmungen vom
mittigen Bereich zur Seitenkante des Tisches, wodurch dann
auch die zuvor erwähnten Querkontaminationen ausgeschlossen
sind.
Die nun erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung der Anordnung
eines Strömungskanals an der Unterseite der Arbeitstischplatte
mit der Möglichkeit der Ausbildung einer laminaren Strömung
in der ursprünglichen und gewünschten Richtung ermöglicht,
auch bei kompliziert geformten Gerätschaften oder zu handhaben
den Gut auf der Oberseite der Arbeitsfläche ein Abbau des
Aufstaubereiches bis auf wenige Zentimeter über der Arbeits
fläche, ohne aufwendige Steuerungsmittel oder ein kompliziertes
Lochbild.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
weist auf der Seite des Arbeitstisches, an der eine Arbeits
person sitzend arbeiten soll, der Strömungskanal eine seitliche
Einbuchtung auf, so daß zumindest teilweise die Beine der
Arbeitsperson unter die Arbeitsfläche gebracht werden können.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß der Arbeitstisch auch für
sitzende Tätigkeiten geeignet ist. Die Einbuchtung führt zwar
auf der Seite, an der diese Einbuchtung vorhanden ist, zu
einer Verengung des Strömungskanales, die Hauptströmungsrichtung
im Strömungskanal unterhalb des Arbeitstisches wird jedoch
nicht verändert, die Verengung führt allenfalls zu einer
Erhöhung der Strömungsgeschwindigkeit in diesem Bereich.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
weist die Einbuchtung einen von der der Arbeitsperson zuge
wandten Außenkante des Arbeitstisches Richtung Mitte nach
unten geneigten ersten Abschnitt auf, der etwa über den Ober
schenkeln einer Arbeitsperson zum Liegen kommt, an den sich
ein zweiter, zumindest stark geneigter Abschnitt anschließt.
Die Ausbildung der Einbuchtung als erster geneigter Abschnitt
im Bereich über den Oberschenkeln der sitzenden Person und
dem anschließend zweiten stark geneigten Abschnitt führt im
Bereich der Einbuchtung zu einer trichterartigen Ausbildung
des Strömungskanales, der eine sanfte Bündelung der Strömungs
linien im Strömungskanal ermöglicht, ohne daß Turbulenzen
entstehen und ohne daß die von der Unterseite der Arbeitsfläche
Richtung Boden gerichtete Strömung derart beeinflußt wird,
daß Rückstaumöglichkeiten gebildet werden. Die Ausbildung des
ersten Abschnitts als geneigten Abschnitt schafft eine sanfte
Ablenkfläche der von oben nach unten gerichteten Strömung,
stellt somit keine Prallfläche dar, wie dies bei einem horizon
tal ausgebildeten Abschnitt der Fall wäre.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
geht der Strömungskanal von der Unterseite in einer ersten
sanften Krümmung in den ersten geneigten Abschnitt und dieser
wiederum in einer zweiten sanften Krümmung in den zweiten
Abschnitt über.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß keine Abrißwirbel oder
Turbulenzen erzeugende Kanten oder Ecken vorhanden sind, so
daß im gesamten Strömungskanal auch im Bereich der Einbuchtung
eine gleichmäßige laminare Strömung vorherrscht.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist der Strömungs
kanal in Längs- und/oder Querrichtung der Arbeitsfläche in
einzelne Strömungskanalsegmente aufgeteilt.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß es möglich ist, falls auf
der Arbeitsfläche an bestimmten Orten fest angeordnete Gerät
schaften vorhanden sind, in dem darunterliegenden Strömungs
kanalsegment entsprechende Strömungsbedingungen zu schaffen.
D. h., sind auf einer mit eine gleichmäßigen Lochbild versehenen
Arbeitsplatte an gewissen Stellen fest angeordnete Bauelemente,
die in einem relativ großen Bereich sämtliche Öffnungen bzw.
Löcher in der Arbeitsfläche abdecken, so kann der unmittelbar
darunterliegende Bereich bzw. Segment des Strömungskanals
entsprechend strömungstechnisch angepaßt werden.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
mündet der Strömungskanal bodenseitig in einen Doppelboden
eines Reinraumes, wobei der Doppelboden mit einer Absaugquelle
verbunden ist.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß beispielsweise in Reinräumen
mit bereits vorhandenen Doppelböden ein Arbeitstisch einfach
installiert werden kann, wobei dann in dem Doppelboden nur
eine so große Öffnung vorgesehen werden muß, wie dies dem
Querschnitt des Strömungskanals im Bodenbereich des Arbeits
tisches entspricht. Es braucht dann der Arbeitstisch lediglich
auf diese Öffnung passend aufgestellt werden.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist der Strömungs
kanal bodenseitig mit einem Sauglüfter verbunden.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß unabhängig von weiteren
baulichen Gegebenheiten im Strömungsraum eine Absaugquelle
direkt mit dem Strömungskanal verbunden ist, wobei diese
Absaugquelle bzw. der Sauglüfter eine individuelle Steuerung
der Strömungsverhältnisse im Strömungskanal ermöglicht. Dadurch
ist es dann beispielsweise auch möglich, bei verschiedenartigen
zu handhabenden Gerätschaften auf dem Arbeitstisch durch
verschiedene Saugleistungen des Sauglüfters die entsprechend
günstigen Strömungsverhältnisse im Strömungskanal zu schaffen.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist der Arbeits
tisch im Strömungskreislauf einer reinen Werkbank integriert,
bei der die bodenseitig vom Strömungskanal abgesaugte Luft
über einen Rückströmkanal und Filtermittel mittels eines Lüfters
dem Reinraum deckenseitig wieder zugeführt wird.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß der Arbeitstisch integraler
Bestandteil eines Reinraumwerktisches mit Umwälzluftführung
ist, in dem die auf die Arbeitsfläche auftreffende Strömungs
menge exakt über den Kreislauf, d. h. auch in Abhängigkeit der
abgesaugten Menge gesteuert werden kann.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
sind die Öffnungen kreisförmig und regelmäßig verteilt in der
Arbeitsfläche angeordnet.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß eine einfach, d. h. kosten
günstig herstellbare Arbeitstischplatte geschaffen werden
kann, die ohne besondere Aufwendungen mit den Löchern versehen
werden kann.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
weisen die Öffnungen eine solche Größe bzw. solche Anordnung
auf, daß 25 bis 55% der Arbeitsfläche als Freifläche vorliegen.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß eine relativ große Quer
schnittsdurchtrittsfläche durch die Arbeitsfläche vorhanden
ist, so daß die Arbeitsfläche selbst schon zur Verringerung
des Strömungswiderstandes der auf sie auftreffenden Reinluft
beiträgt.
Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nach
stehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils
angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen
und in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der
vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand
der beiliegenden
Zeichnungen näher beschrieben und erläutert. Es zeigt
Fig. 1 schematisch im Querschnitt die Strömungsverhältnisse
bei einem Arbeitstisch nach dem Stande der Technik;
Fig. 2 einen der Fig. 1 entsprechenden Querschnitt eines
erfindungsgemäßen Arbeitstisches;
Fig. 3 einen Längsschnitt eines in einem Reinraum instal
lierten Arbeitstisches von Fig. 2;
Fig. 4 eine dem Schnitt von Fig. 3 entsprechende Darstel
lung eines weiteren Ausführungsbeispieles, und
Fig. 5 perspektivisch, stark schematisiert und teilweise
aufgebrochen eine Ansicht eines weiteren erfin
dungsgemäßen Ausführungsbeispiels eines Arbeits
tisches.
Ein in Fig. 1 dargestellter Arbeitstisch 3 nach dem Stande
der Technik weist eine auf hier nicht näher bezeichneten Füßen
stehende Arbeitsfläche 4 auf, die mit Öffnungen 7 versehen
ist. Auf der Unterseite der Arbeitsfläche 4 ist ein Kasten 6
angeordnet, der einen seitlichen, hier näher bezeichneten
Stutzen aufweist, der mit einer Absaugquelle verbunden ist.
Der Arbeitstisch 3 ist in einem Reinraum 11 aufgenommen, in
dem eine von oben nach unten gerichtete laminare Strömung 5
herrscht.
Die durch die Öffnungen 7 durchdringende Luftmenge wird alsbald
durch den Kasten 6 stark umgelenkt, und seitlich über den
Stutzen abgeführt. Die starke Umlenkung in dem relativ niederen
Kasten 6 führt dazu, daß sich auf der Arbeitsfläche 4 ein
Aufstaugebiet 8 bildet, das sich bis zu einer Höhe von 0,5
bis 1 m über der Arbeitsfläche 4 erhebt. Im Aufstaugebiet 8
herrschen starke Verwirbelungen und Turbulenzen. Durch das
Aufstaugebiet 8 bilden sich Querströmungen 9, die dazu führen,
daß Kontaminationen in Querrichtung über die ganze Arbeits
fläche 4 verteilt werden.
In Fig. 2 ist stark schematisch ein erstes Ausführungsbeispiel
eines erfindungsgemäßen Arbeitstisches 10 dargestellt, der
ebenfalls in einem Reinraum 11 steht. Die von oben nach unten
gerichtete Strömung 25 erfolgt mit einer Strömungsgeschwindig
keit von etwa 0,5 m/sec.
An der Unterseite 18 der Arbeitsfläche 16 ist ein Strömungskanal
20 angeordnet.
Der Strömungskanal 20 ist derart ausgebildet, daß er die gesamte
Unterseite 18 der Arbeitsfläche 16 umrundet, d. h. bei einem
rechteckförmigen Tisch weist er an der Unterseite einen ent
sprechend rechteckförmigen Querschnitt auf. Die hier nicht näher
bezeichneten Strömungskanalwände können aus Blechen bestehen,
die sich zwischen den Tischbeinen erstrecken.
Soll der Arbeitstisch 10 für einen stehenden Arbeitsplatz
dienen, so können die den Strömungskanal 20 bildenden Seiten
bleche sich nach unten bis an den Boden 23 heran erstrecken,
auf dem der Arbeitstisch 10 steht. Der Strömungskanal 20 ist
unten offen und ist mit einer Absaugquelle 24 verbunden, die
im Bodenbereich 22 des Bodens 23 unmittelbar oder abseits
dieses Bodens 23 angeordnet sein kann und mit diesem strömungs
technisch verbunden ist. Der Boden 23 weist dann eine der
Querschnittsfläche des Arbeitstisches 10 entsprechende Öffnung auf, die
mit den vertikalen Seitenwänden des Strömungskanals 20 fluchtet,
d. h. es resultiert von der Unterseite 18 der Arbeitsfläche 16
in Richtung Boden 23 gesehen, über etwa 3/4 der Höhe des Arbeitstisches 10
eine ungestörte, von oben nach unten gerichtete laminare Strö
mung, die erst im Bodenbereich 22 umgelenkt wird. Dies führt,
im Gegensatz zu der Strömungsführung nach Fig. 1 dazu, daß
kein Rückstau im Bereich der Tischplatte 12 vorhanden ist,
somit auch keine Aufstaugebiete oberhalb der Arbeitsfläche
16 gebildet werden.
In der in Fig. 3 dargestellten Ausbildung eines Arbeitstisches
10 ist dessen Rückwand 30 als rechteckige Platte ausgebildet,
die sich seitlich zwischen den Tischbeinen erstreckt. In
vertikaler Richtung erstreckt sich die Rückwand 30 von der Unter
seite 18 der Tischplatte 12 bis an den Boden 23.
Die linke Seitenwand 31 bzw. die rechte Seitenwand 32 (siehe
auch Fig. 2) erstreckt sich ebenfalls jeweils in seitlicher
Richtung zwischen den Tischbeinen und von der Unterseite 18
bis zum Boden 23.
Die Vorderwand 33 des Strömungskanales 20, die der Seite des
Arbeitstisches 10 zugewandt ist, an der eine Person auf einem
Stuhl 44 am Arbeitstisch 10 arbeiten soll, weist einen von
Richtung Außenkante des Arbeitstisches 10 in Richtung Mitte gesehen,
ersten geneigten Abschnitt 34 auf, der in einer sanften Krümmung
35 von der Unterseite 18 der Tischplatte 12 vorspringt. Am
tiefsten Ende geht der erste geneigte Abschnitt 34 in einer
weiteren sanften Krümmung 36 in einen zweiten, steiler geneigten
Abschnitt 37 auf, der am Boden 23 endet.
Der erste geneigte Abschnitt 34 ist dabei derart ausgebildet,
daß er sich soweit in die Tischmitte hinein erstreckt, daß
die Oberschenkel einer auf dem Stuhl 44 sitzenden Person
zumindest teilweise unter den Arbeitstisch 10 gebracht werden
können, so daß eine auf dem Stuhl 44 sitzende Arbeitsperson
bequem am Arbeitstisch 10 arbeiten kann.
Die unteren Enden der Rückwand 30, der Seitenwände 31 bzw. 32
sowie des zweiten geneigten Abschnittes 37 umgrenzen eine
rechteckförmige Öffnung im Boden 23.
Der Boden 23 des Reinraumes 11 ist als sogenannter Reinraum
doppelboden ausgebildet, der mit einem vertikal verlaufenden
Grauraum 28 verbunden ist, der über eine Reinraumwand 26 vom
Reinraum 11 abgetrennt ist. Der Doppelboden 23 dient somit
als Absaugquelle 24, so daß diejenigen Teile der Strömung 25,
die durch die Öffnungen 14 in der Tischplatte 12 hindurchge
treten sind, vom Strömungskanal 20, wie dies in Fig. 3 durch
einen Pfeil 38 angezeigt ist, im wesentlichen in einer senkrecht
nach unten gerichteten laminaren Strömung zum Grauraum 28
geführt werden. Lediglich im Bereich der durch die geneigten
Abschnitte 34 und 37 gebildeten Einbuchtung 42 findet eine
gewisse seitliche Umlenkung der Strömung statt, die jedoch
allenfalls im engeren trichterförmigen Bereich zu einer rasche
ren Strömung führt, die jedoch keine Rückstauwirkung bis auf
den Bereich oberhalb der Arbeitsfläche 16 führt.
Sollte kein Reinraumdoppelboden vorhanden sein, so kann bei
spielsweise durch eine bodenseitige Öffnung in der Rückwand
30 die Luft abgesaugt werden, wie dies in Fig. 3 durch einen
Pfeil 40 angedeutet ist.
Bei einem in Fig. 4 dargestellten weiteren Ausführungsbeispiel
eines Arbeitstisches 50 ist dieser als
integraler Bestandteil einer reinen Werkbank mit einem Luft
kreislauf integriert.
Der Arbeitstisch 50 ist, was die Seitenwände bzw. die Vorderwand
betrifft, gleich ausgebildet, wie der in Fig. 3 beschriebene
Arbeitstisch 10.
Im Gegensatz zu dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel
ist in der Rückwand 54 im Bereich des Bodens 52 eine Öffnung
56 vorgesehen, die mit einem Rückstromkanal 58 verbunden ist.
Der Rückstromkanal 58 ist an seinem oberen Endbereich mit
einem Lüfter 60 versehen, der als Absaugquelle fungiert.
Der Lüfter 60 saugt außer der Luft im Rückstromkanal 58 ferner
noch Außenluft an, wie dies durch einen Pfeil 72 angedeutet
ist, und transportiert diese durch einen Filter 62, wie dies
durch einen Pfeil 71 angedeutet ist, in den Reinraum 11. Die
aus dem Filter 62 austretende laminare Strömung 65, die vertikal
von oben nach unten gerichtet ist, tritt durch die Öffnungen
14 des Arbeitstisches 50 hindurch, strömt entsprechend den
Strömungslinien 68 zur Öffnung 56, wie dies durch einen Pfeil
69 angezeigt ist und strömt dann anschließend aufwärts im
Rückstromkanal 58, wie es durch den Pfeil 70 angedeutet ist.
In einem in Fig. 5 dargestellten weiteren Ausführungsbeispiel
eines Arbeitstisches 90 ist dieser, wie in
Zusammenhang mit Fig. 3 beschrieben, mit einem Reinraumdoppel
boden 105 verbunden.
Die Tischplatte 92, die eine Arbeitsfläche 96 bildet, ist mit kreisrunden Öffnungen 94 verbunden,
die einen Durchmesser von etwa 5 mm aufweisen, wobei die
Öffnungen 94 untereinander einen Abstand von etwa 8 mm auf
weisen.
Der unterhalb der Tischplatte 92 angeordnete Strömungskanal
100 weist eine rechteckförmige vertikal stehende Rückwand 102
auf, die gleichermaßen ausgebildet ist, wie in Zusammenhang
mit Fig. 3 beschrieben. Der Strömungskanal 100 weist ferner
zwei hier nicht näher dargestellte vertikale Seitenwände auf.
Die Vorderwand 103 ist ebenfalls wie die in Zusammenhang mit
Fig. 3 und 4 beschriebene Vorderwand mit einer Einbuchtung
versehen, die zur Aufnahme des Beinbereichs einer am Arbeits
tisch 90 sitzenden Person dient.
Der Strömungskanal 100 ist durch eine etwa mittig verlaufende
Querwand 107 und zwei Längswände 109 in sechs Segmente
aufgeteilt, wobei in der Darstellung von Fig. 5 lediglich die
vier Segmente 111 bis 114 zu erkennen sind.
Die Querwand 107 ist dabei derart ausgebildet, daß von seit
licher Richtung her gesehen, zwei etwa trichterförmige Abschnit
te ausgebildet werden, wobei der Abschnitt, der mit der Vorder
wand versehen ist, stärker trichterförmig ausgebildet ist.
Auf der Tischplatte 92 ist eine Gerätschaft 115 angeordnet,
die Wafer 116 trägt.
Aus den Strömungspfeilen 120 ist ersichtlich, daß die von
oben nach unten gerichtete Strömung im Reinraum 11 ohne Ausbil
dung von Aufstaugebieten die Wafer 116 umströmt und unmittelbar
in die benachbart angeordneten Öffnungen 94 eintritt. Die
Volumina der durch die einzelnen Segmente 111-114 abgesaugte
Luft können dabei unabhängig voneinander den entsprechenden Ein
satzfällen angepaßt werden. Die Absaugleistung ist der Anström
geschwindigkeit der Luft sowie der Arbeitsfläche angepaßt.
Claims (10)
1. Arbeitstisch für einen Reinraum (11), in dem eine auf die
Arbeitsfläche (16, 96) des Arbeitstisches (10, 50, 90)
gerichtete Strömung (25, 65, 120) vorhanden ist, die durch
Öffnungen (14, 94) in der Arbeitsfläche (16, 96) strömt,
und von der Unterseite (18) der Arbeitsfläche (16, 96)
durch einen Strömungskanal (20, 100) einer Absaugquelle
(24, 61) zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß sich
der Strömungskanal (20, 100) von der Unterseite (18) der
Arbeitsfläche (16, 96) bis in den Bodenbereich (22)
erstreckt, auf dem eine Arbeitsperson steht, so daß die
von oben nach unten gerichtete Strömung (25, 65, 120) des
Reinraumes (11) nach dem Durchströmen der Arbeitsfläche
(16, 96) im Strömungskanal (20, 100) zumindest bis in den
bodenseitigen Absaugbereich aufrechterhalten wird.
2. Arbeitstisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß auf der Seite des Arbeitstisches (10, 50, 90), an
der eine Arbeitsperson sitzend arbeiten soll, der
Strömungskanal (20, 100) eine seitliche Einbuchtung
(42) aufweist, so daß zumindest teilweise die Beine
der Arbeitsperson unter die Arbeitsfläche (16, 96)
gebracht werden können.
3. Arbeitstisch nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einbuchtung (42) des Strömungskanals (20, 100)
einen von der der Arbeitsperson zugewandten Außenkante
des Arbeitstisches (10, 50, 90) in Richtung Mitte nach
unten geneigten ersten Abschnitt (34) aufweist, der
etwa über den Oberschenkeln einer Arbeitsperson zum
Liegen kommen, an den sich ein zweiter, zumindest stark
geneigter Abschnitt (37) anschließt.
4. Arbeitstisch nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strömungskanal (20, 100) von der Unterseite
(18) in einer ersten sanften Krümmung (35) in den ersten
geneigten Abschnitt (34) und dieser wiederum in einer
zweiten sanften Krümmung (36) in den zweiten Abschnitt
(37) übergeht.
5. Arbeitstisch nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß der Strömungskanal (100) in Längs-
und/oder Querrichtung der Arbeitsfläche (96) in einzelne
Strömungskanalsegmente (111-114) unterteilt ist.
6. Arbeitstisch nach einem oder mehreren der Ansprüche 1
bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungskanal
(20, 100) bodenseitig in einen Doppelboden (23, 105)
des Reinraumes (11) mündet, wobei der Doppelboden (23,
105) mit einer Absaugquelle verbunden ist.
7. Arbeitstisch nach einem oder mehreren der Ansprüche 1
bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungskanal (20, 100)
bodenseitig mit einem Sauglüfter verbunden ist.
8. Arbeitstisch nach einem oder mehreren der Ansprüche 1
bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Arbeitstisch
(50) im Strömungskreislauf einer reinen Werkbank inte
griert ist, bei der die bodenseitig vom Strömungskanal
abgesaugte Luft über einen Rückströmkanal (58) und
Filtermittel (62) mittels eines Lüfters (60) dem Reinraum
(11) deckenseitig wieder zugeführt wird.
9. Arbeitstisch nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die Öffnungen (14, 94) kreisförmig
sind und regelmäßig verteilt in der Arbeitsfläche (16,
96) angeordnet sind.
10. Arbeitstisch nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Öffnungen (14, 94) eine solche Größe bzw. eine
solche Anordnung aufweisen, daß 25 bis 55% der Ar
beitsfläche (16, 96) als Freifläche vorliegen.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
DE3936815A DE3936815C2 (de) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Arbeitstisch für einen Reinraum |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE3936815A DE3936815C2 (de) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Arbeitstisch für einen Reinraum |
Publications (2)
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DE3936815A1 DE3936815A1 (de) | 1991-05-08 |
DE3936815C2 true DE3936815C2 (de) | 1995-06-14 |
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ID=6392911
Family Applications (1)
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DE3936815A Expired - Fee Related DE3936815C2 (de) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Arbeitstisch für einen Reinraum |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19712975A1 (de) * | 1997-03-27 | 1998-10-01 | Gwe Ges Fuer Wasseraufbereitun | Verfahren zur Optimierung der Luftführung in einer Reinluft-Kabine |
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DE4234729C2 (de) * | 1992-10-15 | 1994-10-06 | K Mueller & Partner Ingenieurg | Präpariereinrichtung zur Verwendung in der Anatomie |
US6960244B2 (en) * | 2001-12-17 | 2005-11-01 | American Safe Air, Inc. | System and method for removing contaminates from the air in a mail-sorting room |
NL2000530C2 (nl) * | 2007-03-08 | 2008-09-09 | Martin Van Schaik | Gebouw voorzien van een werkplek, alsmede systeem en werkwijze voor het stofarm houden van de werkplek. |
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JPH0649279B2 (ja) * | 1983-08-24 | 1994-06-29 | 株式会社日立製作所 | 清浄作業台 |
-
1989
- 1989-11-06 DE DE3936815A patent/DE3936815C2/de not_active Expired - Fee Related
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DE19712975A1 (de) * | 1997-03-27 | 1998-10-01 | Gwe Ges Fuer Wasseraufbereitun | Verfahren zur Optimierung der Luftführung in einer Reinluft-Kabine |
Also Published As
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DE3936815A1 (de) | 1991-05-08 |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
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