DE3924803A1 - Dielektrische keramische zusammensetzung - Google Patents

Dielektrische keramische zusammensetzung

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Harunobu Sano
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine dielektrische keramische Zusammensetzung mit ausgezeichneten elektrischen Eigenschaften.
Als dielektrische keramische Materialien für elektronische Komponenten werden hauptsächlich solche Stoffe, die SrTiO₃-CaTiO₃-PbTiO₃-Bi₂O₃-TiO₂ oder SrTiO₃-MgTiO₃-PbTiO₃-Bi₂O₃-TiO₂ umfassen, wegen ihres niedrigen dielektrischen Verlusts und ihrer relativ hohen Dielektrizitätskonstante verwendet. Solche Zusammensetzungen ermöglichen es, eine kleine Rate der Temperaturänderung der realtiven Dielektrizitätskonstante von weniger als ±10% zu erzielen, wenn ihre Dielektrizitätskonstante kleiner als 1000 ist.
Für eine Zusammensetzung mit einer relativen Dielektrizitätskonstante, die größer als 1000 ist, ist jedoch die Rate der Temperaturänderung der relativen Dielektrizitätskonstante bei Temperaturen im Bereich von -25°C bis 85°C im allgemeinen größer als ±10%. Somit ist es schwierig, eine derartige Zusammensetzung für Anwendungen einzusetzen, bei denen es erforderlich ist, eine kleine Temperaturänderungsrate der Kapazität sowie eine hohe Kapazität auf kleinstem physikalischen Raum zu erhalten. Außerdem ist es für diese Anwendungen wichtig, einen kleinen Verlustfaktor zu haben. Der Verlust-Tangens bei 1 MHza für die obige Zusammensetzung ist größer 2,5%, ausgenommen dann, wenn die Zusammensetzung eine realtive Dielektrizitätskonstante von weniger als 1000 hat. Somit steigt bei anlegen einer Hochfrequenz-Hochspannung an die eine solche Zusammensetzung umfassenden Komponenten der Verlust an elektrischer Energie beträchtlich an.
Mit anderen Worten, es ist mit dem Stand der Technik unmöglich, eine dielektrische keramische Zusammensetzung mit einer relativen Dielektrizitätskonstante von mehr als 1000, einem Verlust-Tangens von nicht mehr als 2,5% und einer Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante von nicht mehr als ±5% zu gewinnen.
Zur Lösung dieser Probleme wurde in der JP-OS 56-51443 vorgeschlagen, eine bestimmte Menge CuO zusammen mit oder ohne ZrO in eine dielektrische keramische Zusammensetzung eines Systems SrTiO₃-CaTiO₃-PbTiO₃-Bi₂O₃-TiO₂ einzuarbeiten. Dies ermöglicht die Überwindung der obigen Nachteile bis zu einem gewissen Grade, jedoch ist der Isolierwiderstand oder der spezifische Widerstand der resultierenden Zusammensetzung bei Temperaturen von mehr als 85°C beträchtlich erniedrigt, so daß die Durchschlagfestigkeit bei einem relativ niedrigen elektrischen Feld auftreten kann.
Aus diesem Grunde ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine dielektrische keramische Zusammensetzung verfügbar zu machen, die sämtliche der folgenden Erfordernisse erfüllt:
  • (1) Die realtive Dielektrizitätskonstante liegt im Bereich von 1200 bis 2000;
  • (2) der dielektrische Verlustfaktor, tan δ, bei 1 MHz ist nicht größer als 2,5%;
  • (3) die Temperaturänderungsrate der Dielektrizitätskonstante liegt im Bereich von ±5% bei Temperaturen im Bereich von -25°C bis 85°C;
  • (4) der Isolierwiderstand ist nicht kleiner als 10¹¹Ω · cm; und
  • (5) die dielektrische Durchschlagsspannung ist nicht kleiner als 12 kV/mm.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine dielektrische keramische Zusammensetzung für Anwendungen verfügbar zu machen, bei denen es erforderlich ist, ein großes Verhältnis der Kapazität zur Größe und eine große Durchschlagfestigkeit zu haben.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden diese und andere Ziele dadurch erreicht, daß MnO₂ und wenigstens ein aus der aus Zinnoxid und den Oxiden der Seltenerdelemente bestehende Gruppe ausgewähltes Oxid in eine Basis-Zusammensetzung eines Systems
SrTiO₃-CaTiO₃-PbTiO₃-Bi₂O₃-TiO₂
zusätzlich zu CuO eingearbeitet wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine dielektrische keramische Zusammensetzung verfügbar gemacht, die im wesentlichen, bezogen auf das Gewicht, aus 22,7 bis 47,0% SrTiO₃, 12,3 bis 22,0% CaTiO₃, 26,8 bis 42,0% PbTiO₃, 4,2 bis 25,8% Bi₂O₃, 2,0 bis 10,2% TiO₂, 0,05 bis 0,5% CuO, 0,05 bis 0,4% MnO₂ und wenigstens einem aus der aus SnO₂ und den Oxiden der Seltenerdelemente bestehenden Gruppe ausgewählten Oxid besteht, wobei der Gehalt des SnO₂ im Bereich von 0,4 bis 2,2% liegt, der Gehalt der Oxide der Seltenerdelemente im Bereich von 0,02 bis 0,4% liegt, das Stoffmengenverhältnis ("atomare Molverhältnis") der Elemente Sr, Ca, Pb und Bi zu den Elementen Ti und Sn, d. h. (Sr, Ca, Pb, Bi)/(Ti, Sn) im Bereich von 0,96 bis 0,99 liegt.
Die Gründe dafür, daß die Gehalte der betreffenden Komponenten in der dielektrischen keramischen Zusammensetzung der vorliegenden Erfindung auf Werte in den jeweils im Vorstehenden genannten Bereichen beschränkt sind, sind folgende.
Wenn der Gehalt an SrTiO₃ kleiner als 22,7 Gew.-% ist, wird die relative Dielektrizitätskonstante kleiner als 1200, und die Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante wird größer als ±5%. Wenn der Gehalt an SrTiO₃ 47,0 Gew.-% überschreitet, wird die Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante größer als ±5%. Aus diesen Gründen ist der Gehalt an SrTiO₃ auf Werte im Bereich von 22,7 bis 47,0 Gew.-‰ beschränkt.
Wenn der Gehalt an CaTiO₃ kleiner als 12,3 Gew.-% ist, wird die relative Dielektrizitätskonstante größer als 2000, der Verlust-Tangens bei 1 MHz wird größer als 2,5, und die Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante wird größer als ±5%. Wenn der Gehalt an CaTiO₃ 22,0 Gew.-% überschreitet, wird die relative Dielektrizitätskonstante kleiner als 1200. Deshalb ist der Gehalt an CaTiO₃ auf Werte im Bereich von 12,3 bis 22,0 Gew.-% beschränkt.
Wenn der Gehalt an PbTiO₃ kleiner als 26,8 Gew.-% ist, wird die relative Dielektrizitätskonstante kleiner als 1200. Wenn der Gehalt an PbTiO₃ 42,0 Gew.-% überschreitet, wird der Tangens des dielektrischen Verlusts bei 1 MHz größer als 2,5, und die Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante wird größer als ±5%. Deshalb ist der Gehalt an PbTiO₃ auf Werte im Bereich von 26,8 bis 42,0 Gew.-% beschränkt.
Wenn der Gehalt an Bi₂O₃ kleiner als 4,2 Gew.-% ist, wird die Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante größer als ±0,5%. Wenn dessen Gehalt 25,8 Gew.-% überschreitet, wird die relative Dielektrizitätskonstante kleiner als 1200, und der Verlust-Tangens bei 1 MHz wird größer als 2,5%. Deshalb ist der Gehalt an Bi₂O₃ auf Werte im Bereich von 4,2 bis 25,8 Gew.-% beschränkt.
Wenn der Gehalt an TiO₂ kleiner als 2,0 Gew.-% ist, ist es schwierig, eine stabile Sinterkeramik zu erzeugen. Wenn der Gehalt an TiO₂ 10,2 Gew.-% überschreitet, wird der Verlust-Tangens bei 1 MHz größer als 2,5%. Deshalb ist der Gehalt an TiO₃ auf Werte im Bereich von 2,0 bis 10,2 Gew.-% beschränkt.
Wenn der Gehalt an CuO kleiner als 0,05 Gew.-% ist, wird der Verlust-Tangens bei 1 MHz größer als 2,5%, und die Temperaturänderungsrate der relativen Dielektrizitätskonstante wird größer als ±0,5%. Wenn der Gehalt an CuO 0,5 Gew.-% überschreitet, wird der Isolierwiderstand bei 85°C kleiner als 10¹¹Ω · cm, und die dielektrische Durchschlags-Gleichspannung wird kleiner als 12 kV/mm. Deshalb ist der Gehalt an CuO auf Werte im Bereich von 0,05 bis 0,5 Gew.-% beschränkt.
Mangandioxid (MnO₂) wird in die Zusammensetzung eingearbeitet, um ohne beträchtliche Erniedrigung des Isolierwiderstandes bei hohen Temperaturen den dielektrischen Tangens bei hohen Frequenzen zu erniedrigen. Wenn der Gehalt an MnO₂ kleiner als 0,05 Gew.-% ist, wird der Verlust-Tangens bei 1 MHz größer als 2,5%, und der Isolierwiderstand bei 85°C wird kleiner als 10¹¹Ω · cm. Wenn dessen Gehalt 0,4 Gew.-% überschreitet, wird der Isolierwiderstand bei 85°C kleiner als 10¹¹Ω · cm, und die dielektrische Durchschlags-Gleichspannung wird kleiner als 12 kV/mm. Deshalb ist der Gehalt an MnO₂ auf Werte im Bereich von 0,05 bis 0,4 Gew.-% beschränkt.
Die Einarbeitung von CuO in die dielektrische Zusammensetzung bedingt eine Erniedrigung des Isolierwiderstandes bei hohen Temperaturen. Zur Lösung dieses Problems wird wenigstens ein aus der aus Zinnoxid und den Oxiden der Seltenerdelemente bestehenden Gruppe ausgewähltes Oxid in die Zusammensetzung eingearbeitet. Der Gehalt an SnO₂ ist aus folgenden Gründen auf den Bereich von 0,4 bis 2,2 Gew.-% beschränkt. Wenn der Gehalt an SnO₂ kleiner als 0,4 Gew.-% ist, wird der Isolierwiderstand bei 85°C kleiner als 10¹¹Ω · cm. Wenn der Gehalt an SnO₂ 2,2 Gew.-% überschreitet, wird die relative Dielektrizitätskonstante beträchtlich erniedrigt und kleiner als 500.
Wenn der Gehalt der Oxide der Seltenerdelemente (SE), ausgedrückt als SE₂O₃, kleiner als 0,02 Gew.-% ist, wird der Isolierwiderstand bei 85°C kleiner als 10¹¹Ω · cm, und die dielektrische Durchschlags-Gleichspannung wird kleiner als 12 kV/mm. Wenn deren Gehalt 0,4 Gew.-% überschreitet, wird die relative Dielektrizitätskonstante kleiner als 1200.
In der dielektrischen keramischen Zusammensetzung ist das Stoffmengenverhältnis der Elemente der Gruppe A (Sr, Ca, Pb und Bi) zu den Elementen der Gruppe B (Ti und Sn), d. h. A/B, aus den folgenden Gründen auf Werte im Bereich von 0,96 bis 0,99 beschränkt. Wenn das Stoffmengenverhältnis A/B kleiner als 0,96 ist, wird der Isolierwiderstand bei 85°C kleiner als 10¹¹Ω · cm, und die dielektrische Durchschlags-Gleichspannung wird kleiner als 12 kV/mm. Wenn das Stoffmengenverhältnis A/B größer als 0,99 ist, wird die relative Dielektrizitätskonstante kleiner als 1200, und der Verlust-Tangens bei 1 MHz wird größer als 2,5%.
Die Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus den folgenden Beispielen im einzelnen deutlich.
Beispiel 1
Unter Verwendung von SrCO₃, CaCO₃, Pb₃O₄, TiO₂, SnO₂, Bi₂O₃, CuO, MnCO₃, La₂O₃, Nd₂O₃, Sm₂O₃, Y₂O₃, Er₂O₃ und Gd₂O₃ als Rohstoffen wurden Test-Probekörper in folgender Weise hergestellt. Die Rohstoffe wurden eingewogen, so daß das Produkt ihres Vermischens eine in Tabelle 1 aufgeführte Zusammensetzung hatte. Die resultierende Mischung wurde in ein Polyethylengefäß mit Aluminiumoxid-Kugeln gefüllt und dann nach dem Naßverfahren 16 h gemahlen. Die erhaltene Aufschlämmung wurde entwässert, getrocknet, in einer Brennkapsel 2 h bei 950°C calciniert und dann zerkleinert, wodurch ein calciniertes Pulver hergestellt wurde.
Das calcinierte Pulver wurde zusammen mit Aluminiumoxid-Kugeln und einer geeigneten Menge eines organischen Bindemittels in ein Polyethylengefäß gefüllt, 16 h naßvermischt, durch Abdampfen getrocknet, durch ein Sieb von 0,25 mm (60 mesh) hindurchgeführt und unter einem Druck von 1962 bar (2000 kg/cm²) zu Scheiben mit einem Durchmesser von 12 mm und einer Dicke von 1 mm geformt.
Die resultierenden grünen Compacts wurden 2 h an der Luft bei Temperaturen im Bereich von 1120°C bis 1200°C gebrannt, wodurch Keramik-Scheiben erhalten wurden.
Jede Keramik-Scheibe wurde auf ihren gegenüberliegenden Seiten durch Auftragen von Silber-Paste und 30 min Brennen derselben bei 800°C mit Silber-Elektroden versehen, wodurch Probekörper für die Messung der elektrischen Eigenschaften hergestellt wurden. Von jedem der Probekörper wurden die realtive Dielektrizitätskonstante (∈), der dielektrische Verlust-Faktor (tan δ), die Temperaturänderungsrate der Kapazität und der Isolierwiderstand bei 85°C gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt.
Die relative Dielektrizitätskonstante und der dielektrische Tangens wurden mittels eines Impedanz-Analysators bei 1 kHz, 1 Vr · m · s, und bei 1 MHz, 1 Vr · m · s, gemessen. Der maximale und der minimale Wert der Temperaturänderungsrate der Kapazität (TCR) wurden aus den durch die Formel
TCR = [(C - C₂₀)/C₂₀] · 100%
gegebenen Werten bestimmt, in der C₂₀ die bei 20°C gemessene Kapazität ist und C die bei Temperaturen im Bereich von -25°C bis +85°C gemessene Kapazität ist. Die Durchschlags-Gleichspannung (BDV) wurde als die Spannung bestimmt, bei der ein Durchschlag stattfand.
In den Tabellen 1 und 2 sind die mit einem Sternchen (*) bezeichneten Proben diejenigen mit einer Zusammensetzung außerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung, während die anderen Proben solche sind, die unter die vorleigende Erfindung fallen.
Wie den Ergebnissen in Tabelle 2 zu entnehmen ist, erfüllt die dielektrische Zusammensetzung der vorliegenden Erfindung alle der nachstehenden Forderungen:
  • (1) Relative Dielektrizitätskonstante im Bereich von 1200 bis 2000;
  • (2) niedriger dielektrischer Verlustfaktor, tan δ, bei 1 MHz von nicht mehr als 2,5%;
  • (3) kleine Temperaturänderungsrate der Dielektrizitätskonstante von weniger als ±5% bei Temperaturen im Bereich von -25°C bis 85°C;
  • (4) hoher Isolierwiderstand bei 85°C von nicht weniger als 10¹¹Ω · cm; und
  • (5) hohe Durchschlagsfestigkeit von nicht weniger als 12 kV/mm.
Tabelle 1
Tabelle 2

Claims (1)

  1. Dielektrische keramische Zusammensetzung, im wesentlichen bestehend, bezogen auf das Gewicht, aus 22,7 bis 47,0% SrTiO₃, 12,3 bis 22,0% CaTiO₃, 26,8 bis 42,0% PbTiO₃, 4,2 bis 25,8% Bi₂O₃, 2,0 bis 10,2% TiO₂, 0,05 bis 0,5% CuO, 0,05 bis 0,4% MnO₂ und wenigstens einem aus der aus SnO₂ und den Oxiden der Seltenerdelemente bestehenden Gruppe ausgewählten Oxid, wobei der Gehalt des SnO₂ im Bereich von 0,4 bis 2,2% liegt, der Gehalt der Oxide der Seltenerdelemente im Bereich von 0,02 bis 0,4% liegt, das Stoffmengenverhältnis ("atomare Molverhältnis") einer Gruppe von Elementen (Sr, Ca, Pb und Bi) zu einer anderen Gruppe von Elementen (Ti und Sn), d. h. [(Sr, Ca, Pb, Bi)/(Ti, Sn)] im Bereich von 0,96 bis 0,99 liegt.
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