DE3922056A1 - Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden - Google Patents

Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden

Info

Publication number
DE3922056A1
DE3922056A1 DE3922056A DE3922056A DE3922056A1 DE 3922056 A1 DE3922056 A1 DE 3922056A1 DE 3922056 A DE3922056 A DE 3922056A DE 3922056 A DE3922056 A DE 3922056A DE 3922056 A1 DE3922056 A1 DE 3922056A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
inlet
segments
sealing elements
outlet openings
bath
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE3922056A
Other languages
English (en)
Inventor
Des Erfinders Auf Nennung Verzicht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gebrueder Schmid GmbH and Co
Original Assignee
Gebrueder Schmid GmbH and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=6384325&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE3922056(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Gebrueder Schmid GmbH and Co filed Critical Gebrueder Schmid GmbH and Co
Priority to DE3922056A priority Critical patent/DE3922056A1/de
Priority to ES90108159T priority patent/ES2059870T3/es
Priority to DE59007109T priority patent/DE59007109D1/de
Priority to EP90108159A priority patent/EP0406534B1/de
Priority to AT90108159T priority patent/ATE111675T1/de
Priority to CA002019221A priority patent/CA2019221A1/en
Priority to US07/545,390 priority patent/US5154772A/en
Publication of DE3922056A1 publication Critical patent/DE3922056A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0085Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K3/00Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
    • B23K3/06Solder feeding devices; Solder melting pans
    • B23K3/0646Solder baths
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S277/00Seal for a joint or juncture
    • Y10S277/906Seal for article of indefinite length, e.g. strip, sheet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
  • Photographic Developing Apparatuses (AREA)
  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von plat­ tenförmigen Gegenständen in einem flüssigen Medium, wobei die Vorrichtung ein das flüssige Medium enthaltendes Bad umfaßt, welches unterhalb des Flüssigkeitsspiegels angeordnete spaltar­ tige Ein- und/oder Austrittsöffnungen umfaßt, und wobei die Vorrichtung eine Transportvorrichtung zum Fördern der platten­ förmigen Gegenstände entlang eines im wesentlichen ebenen Transportweges durch die Ein- bzw. Austrittsöffnungen und das flüssige Medium im Bad hindurch umfaßt.
Solche Vorrichtungen sind beispielsweise als Ätzmaschinen zur Behandlung von Leiterplatten oder auch als Heißverzinnungs­ anlagen bekannt, bei denen ebenfalls Leiterplatten als platten­ förmige Gegenstände durch ein flüssiges Medium, welches hier von Lot gebildet wird, transportiert werden, um in diesem Fall einen Auftrag des Lotes auf die Leiterbahnen und/oder an den Durchkontaktierungsstellen zu erhalten.
Um eine gleichzeitige Behandlung der Ober- und Unterseiten der plattenförmigen Gegenstände, insbesondere der Leiterplatten, zu erreichen, ist es notwendig, daß die plattenförmigen Gegenstän­ de, in der folgenden Beschreibung und Diskussion verkürzt mit Leiterplatten bezeichnet, unterhalb des Flüssigkeitsspiegels des flüssigen Mediums in dem Behandlungsbad geführt werden.
Wegen der häufig anzutreffenden Empfindlichkeit bei der mecha­ nischen Beanspruchung der Leiterplatten wird der Transportweg der Leiterplatten möglichst in einer Ebene durchgeführt, wes­ halb dann zumindest die Ein- oder die Austrittsöffnung des Ba­ des unterhalb des Flüssigkeitsspiegels des flüssigen Mediums im Badbehälter angeordnet sein muß.
Bei den bisher bekanntgewordenen Vorrichtungen zum Behandeln von Leiterplatten in einem flüssigen Medium wurden die Ein- und Austrittsöffnungen durch Walzenpaare gebildet, die drehbar quer zur Transportrichtung angeordnet sind und zwischen sich nur eine Spaltöffnung freigeben, die der Dicke der Leiterplatte entspricht.
Da die Vorrichtungen zum Behandeln der Leiterplatten mit einem flüssigen Medium möglichst universell für alle vorkommenden Leiterplattengrößen einsetzbar sein sollen, war es notwendig, die Breite der Walzen und damit auch die Breite der Spaltöff­ nung bei der Ein- oder Austrittsöffnung so breit zu machen, daß die größte zu bearbeitende Leiterplatte ohne Behinderung in das Bad eingefördert bzw. aus dem Bad wieder herausgefördert werden konnte.
Bei wechselnden Breiten der zu behandelnden Leiterplatten blie­ ben dann die Spalte in mehr oder weniger großem Umfang beim Durchtritt einer Platte seitlich hiervon offen, und das flüssi­ ge Medium des Bades ist in mehr oder weniger großem Umfang aus dem Badbehälter ausgetreten und mußte über geeignete Fördervor­ richtungen wieder in das eigentliche Bad zurückgefördert wer­ den. Bei den heute üblichen Leiterplatten, insbesondere bei den Multi-Layer-Platten, kommen Plattenstärken bis zu 10 mm vor, die dann bei relativ geringen Plattenbreiten zu einem großen Verlust an flüssigem Medium in dem eigentlichen Badbehälter führen, der nur durch eine entsprechende Dimensionierung der Rückfördervorrichtungen für das flüssige Medium ausgeglichen werden kann.
Da die Kleinserienfertigung in der Leiterplattenproduktion im­ mer mehr an Bedeutung gewinnt, das heißt also auch die Flexibi­ lität in der Produktion verschiedener Leiterplatten in kurzen Zeitabständen, stellt sich ausgehend von der zuvor geschilder­ ten Problematik die Erfindung die Aufgabe, eine Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen in einem flüssigen Medium vorzuschlagen, bei der die Flüssigkeitsverluste aus dem Bad deutlich verringert sind.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs beschrie­ benen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Ein- und/oder Austrittsöffnungen Abdichtelemente umfassen, welche von einer Schließ- in eine Offenposition beim Durchtritt der plattenför­ migen Gegenstände bewegbar sind und die weiterhin so ausgebil­ det sind, daß der sich in der Offenposition der Abdichtelemente ergebende Spalt in Höhe und Breite dem Querschnitt der durch­ tretenden Gegenstände im wesentlichen anpaßbar ist.
Konstruktiv besonders einfach sind solche Ausführungsformen, bei denen die, in Transportrichtung gesehen, vordere Kante der plattenförmigen Gegenstände, insbesondere der Leiterplatten, durch mechanischen Kontakt mit den Abdichtelementen diese in die Offenposition bewegt. Dies könnte zum Beispiel durch eine mechanische Abtastung der Plattenbreite und eine damit synchron laufende Einstellung der Spaltbreite geschehen. Als besonders günstig hat es sich jedoch erwiesen, wenn die Abdichtelemente eine Vielzahl von um eine gemeinsame Achse quer zur Transport­ richtung verschwenkbare, parallel zueinander angeordnete Dich­ tungssegmente umfassen. Diese Dichtungssegmente ragen in der Schließposition in den Transportweg der Leiterplatten hinein und werden dadurch beim Weitertransport der Leiterplatten von der Plattenkante angehoben und in die Offenposition ver­ schwenkt. Die sich hierbei ergebende Spaltöffnung wird gleich­ zeitig von der Vorderkante der Leiterplatte abgedeckt, so daß es nur in unwesentlichem Umfang zu einem Austritt des flüssigen Mediums aus dem Bad kommt.
Als Gegenlager für die Abdichtelemente und als Bestandteil der Ein- bzw. Austrittsöffnungen empfiehlt es sich, eine, gege­ benenfalls antreibbare, quer zur Transportrichtung angeordnete bzw. Austrittsöffnungen die Leiterplatten unterstützt und gege­ benenfalls aktiv transportiert.
Die verschwenkbaren Dichtungssegmente liegen in ihrer Schließ­ position dichtend an der Walze an.
Um eine geringere Reibung zwischen den Dichtungssegmenten und damit eine leichtere Verschwenkbarkeit der Segmente zu errei­ chen, kann vorgesehen sein, daß die Dichtungssegmente in einem geringen seitlichen Abstand zueinander angeordnet sind. Dabei ist darauf zu achten, daß die Oberflächenspannung der in dem Bad verwendeten flüssigen Medien gegenüber dem für die Dich­ tungssegmente verwendeten Material so groß ist, daß im wesent­ lichen keine Flüssigkeit durch die Spalte aus dem Bad austreten kann.
Bei einer der bevorzugten Ausführungsformen werden die Dich­ tungssegmente in ihrer Verschwenkbewegung in Richtung zur Schließposition hin, beispielsweise durch Federelemente, vorge­ spannt.
Zusätzlich oder alternativ hierzu kann die Schwenkachse der Dichtungssegmente in einem Abstand zum Schwerpunkt der Segmente angeordnet sein, so daß sich allein von dieser Anordnung her die Dichtungssegmente selbsttätig in Richtung zur Schließposi­ tion bewegen, wenn die spezifische Dichte des Segmentmaterials größer ist als die der in dem Bad enthaltenen Flüssigkeit.
Selbstverständlich kann die Schließwirkung der Dichtungssegmen­ te durch das Anbringen von Gewichten im Abstand zur Schwenkach­ se verstärkt werden. Alternativ hierzu wäre beispielsweise bei den Dichtungssegmenten, die an der Austrittsöffnung angeordnet sind, eine Hohlkammer vorstellbar, die an einem Ende der Seg­ mente einen Auftrieb in dem Medium bewirkt und damit ebenfalls zu einer Vergrößerung der Rückstellkraft der Dichtungssegmente in Richtung zur Schließposition hin führt.
Diese und weitere Vorteile der Erfindung sind im folgenden an­ hand der Zeichnung noch näher erläutert. Es zeigen im einzelnen:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und
Fig. 2 eine perspektivische Detailansicht einer Eintrittsöffnung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
Fig. 1 zeigt eine als Ganzes mit dem Bezugszeichen 10 gekenn­ zeichnete Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegen­ ständen in einem flüssigen Medium oder einer sogenannten Bad­ station, bei der plattenförmige Gegenstände 12, im folgenden kurz Leiterplatten genannt, über eine Transportvorrichtung 14 in einen Badbehälter 16 eingefördert werden. Die Transportebe­ ne, die durch die Transportvorrichtung 14 für die Leiterplatten 12 definiert wird, ist mit dem Bezugszeichen 18 gekennzeichnet (strichpunktierte Linie in Fig. 1 bzw. Flächendarstellung in Fig. 2).
Die Transportvorrichtung 14 besteht aus einer Vielzahl von Wal­ zenpaaren 20, 21, welche zum Teil angetrieben sind und zum Teil als Schleppwalzen mit den geförderten Leiterplatten mitlaufen.
Ein Eingangsbereich 22 der Badstation, der in Fig. 2 zusätzlich im Detail dargestellt ist, umfaßt Führungswalzen 28, 24, die übereinander angeordnet sind und den in die Badstation einlau­ fenden Leiterplatten 12 eine definierte Führung in Richtung zu einer Eintrittsöffnung 26 geben.
Die Eintrittsöffnung 26 umfaßt eine Walze 28, welche quer zur Transportrichtung und unterhalb der Transportebene 18 angeord­ net ist und die als Gegenlager für ein Abdichtelement 80 dient. Das Abdichtelement 30 umfaßt eine Vielzahl von Abdicht­ segmenten 32, welche um eine Achse 34 in einer zur Transport­ ebene 18 senkrechten Ebene verschwenkbar sind. Die Achse 34 ist dabei parallel zur Drehachse 36 der Walze 28 angeordnet.
Dadurch, daß die Dichtungssegmente 32 außerhalb ihres Schwer­ punktes drehbar von der Achse 34 gehalten sind, bewegen sich die dichtenden Enden 38 der Segmente 32 selbsttätig in Richtung zur darunterliegenden Walze 28 und bilden so eine Abdichtung der Eintrittsöffnung 26.
Der Flüssigkeitsspiegel im Badbehälter 16 ist mit dem Bezugs­ zeichen 40 gekennzeichnet und liegt oberhalb der Transportebene 18 und kann von dieser bis in etwa zu einem Abstand angehoben werden, der dem Durchmesser der Transportwalzen 20 bzw. Füh­ rungswalzen 28 entspricht.
Direkt anschließend an den Einlaufbereich können Zulaufdüsen 42 angeordnet sein, die die eintretenden Leiterplatten 12 mit fri­ schem Medium bespülen.
Die Grundform der Dichtungssegmente 82 kann den räumlichen Ge­ gebenheiten angepaßt werden und ist in den dargestellten Aus­ führungsformen als abgeschrägter Quader gezeigt. Die Abschrä­ gung hat den Vorteil, daß bei der Verschwenkbewegung der Dich­ tungssegmente 32 oberhalb der Transportebene nicht allzuviel Raum für die Ausweichbewegung der Segmente in die Offenstellung benötigt wird.
Die Dichtungssegmente können an ihren auf der Walze 28 auflie­ genden Enden 38 mit zusätzlichen Gewichten versehen sein, so daß die Segmente selbst aus einem relativ leichten Material hergestellt werden können und trotzdem, selbst bei einem Medium mit einem größeren spezifischen Gewicht, eine gute Abdichtwir­ kung erzielt wird. Bevorzugt wird jedoch ein Material für die Segmente 32, das von Haus aus eine Dichte aufweist, die um den Faktor 1,5 bis 2 größer ist als die Dichte des Mediums.
Auf der Auslaufseite der Badstation 16 ist eine Austrittsöff­ nung 44 angeordnet, welche im Prinzip analog zu der Eintritts­ öffnung 26 aufgebaut und ausgebildet ist. Eine Walze 46 bildet hier das Gegenlager für ein Abdichtelement 48, das sich aus Dichtungssegmenten 50 zusammensetzt, welche mit ihrem ver­ schwenkbaren Ende dichtend auf der Walze 46 aufliegen. Die Wal­ ze 46 grenzt mit ihrer Umfangsfläche unterhalb der Transport­ ebene 18 an die Wandung des Badbehälters 16 an und bildet im Bereich der Austrittsöffnung 44 zusammen mit dem Abdichtelement 48 den oberen Abschluß des Badbehälters 16. Eine entsprechende Anordnung und Auslegung der Eintrittsöffnung 26, bei der die Walze 28 in dichtendem Kontakt mit der Wandung des Badbehälters 16 steht, sorgt auf seiten der Eintrittsöffnung 26 dafür, daß dort ein Flüssigkeitsspiegel 40 bis über die Transportebene 18 hinaus aufrechterhalten werden kann.
Kurz vor der Austrittsöffnung 44 ist im Badbehälter 16 eine weitere Düse 52 angeordnet, über die sich eine definierte Zir­ kulation des flüssigen Mediums im Badbehälter 16 im Auslaufbe­ reich des Badbehälters herstellen läßt, so daß eine Spülung der die Behandlungsvorrichtung verlassenden Leiterplatten 12 er­ folgt.
Wie am besten aus Fig. 2 zu ersehen ist, werden die Abdichtseg­ mente 32 (bzw. 50) durch eine sich in Transportrichtung (Pfeil A) bewegende Leiterplatte 12 aus ihrer Ruheposition, die gleichzeitig die Schließposition der Ein- und Austrittsöff­ nungen darstellt, in eine Offenposition bewegt. Die Verschwen­ kung der Abdichtsegmente 32, 50 erfolgt mechanisch durch das Einfahren der Leiterplatte 12 mit ihrer Vorderkante in die Ein- bzw. Austrittsöffnung 26, 44, wobei nur entsprechend der Breite der Leiterplatte eine Spaltöffnung freigegeben wird. Die rest­ lichen Segmente 32, 50 verbleiben in ihrer Ruhestellung und verhindern so ein übermäßiges Austreten der Flüssigkeit aus dem Badbehälter 16. Eine zufriedenstellende Abdichtwirkung wird beispielsweise mit Segmentbreiten (in Richtung quer zur Trans­ portrichtung gesehen) von ca. 1 cm erzielt. Mit der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung wird gleichzeitig neben einer optimalen Spaltbreite auch die optimale Spalthöhe eingestellt, da während dem Ein- bzw. Austreten der Leiterplatten 12 in bzw. aus dem Badbehälter 16 eine Spaltöffnung in der Höhe nur insofern frei­ gegeben wird, als dies dem Querschnitt der Leiterplatte 12 ent­ spricht.
Die nur noch unwesentlichen Anteile der austretenden Badflüs­ sigkeit werden in einem Auffangbecken (nicht dargestellt) auf­ gefangen und über eine Umwälzvorrichtung dem Badbehälter 16 er­ neut zugeführt. Dies bedeutet keinen größeren Aufwand, da eine Umwälzung der Badflüssigkeit im Badbehälter 16 in jedem Fall erforderlich ist.
Selbstverständlich ist vorstellbar, daß die Transportebene 18 gegenüber der Horizontalen leicht geneigt sein kann, so daß entweder nur die Eintrittsöffnung 26 oder die Austrittsöffnung 44 unterhalb des Flüssigkeitsspiegels 40 zu liegen kommt. In diesen Fällen ist jeweils nur im Bereich der Eintrittsöffnung (26) bzw. der Austrittsöffnung 44 eine Abdichtung in der erfin­ dungsgemäßen Weise erforderlich. Bevorzugt werden jedoch solche Vorrichtungen, bei denen die Transportebene im wesentlichen ho­ rizontal verläuft, da sich so eine einfache Eingliederung in restliche Produktionsprozesse und Behandlungsvorrichtungen, wie sie für die Herstellung von Leiterplatten benötigt werden, vor­ nehmen läßt.
Das flüssige Medium in dem Badbehälter 16 kann beispielsweise eine Ätzlösung sein, mit der überschüssige Kupferanteile von der Oberfläche der Leiterplatten abgeätzt werden, es kann je­ doch gänzlich andere Medien, wie zum Beispiel Flußmittel, ent­ halten oder aber flüssiges Lot, wie zum Beispiel bei einer Heißverzinnungsanlage.
Das Material, aus dem die Segmente 32, 50 hergestellt sind, richtet sich zum einen nach der Betriebstemperatur der Badsta­ tionen 10 und zum anderen natürlich nach der spezifischen Dich­ te des verwendeten flüssigen Mediums. Im Falle einer Heißver­ zinnungsanlage, wo das flüssige Medium eine relativ hohe Dichte aufweist, kann es empfehlenswert sein, die Dichtungssegmente 32, 50 in Richtung der Schließstellung vorzuspannen.
Bei der Ausgestaltung der Abdichtsegmente 32, 50 ist weiterhin wichtig, daß diese an der mit den Leiterplatten in Berührung kommenden Oberfläche eine möglichst geringe Oberflächenrau­ igkeit aufweisen, so daß Beschädigungen der durch die Ein­ tritts- bzw. Austrittsöffnung hindurchgleitenden Leiterplatten 12 an der Oberfläche möglichst vermieden werden.
In vielen Fällen, in denen flüssige Medien zum Einsatz gelan­ gen, kann als Material für die Abdichtsegmente 32, 50 ein ent­ sprechend ausgewählter Kunststoff verwendet werden. Hier beob­ achtet man häufig eine spezifische Dichte zwischen 1,5 und 2,0, so daß das Eigengewicht der Segmente für das selbsttätige Ver­ schwenken der Segmente in die Ruheposition und damit für die Abdichtwirkung ausreichend ist.

Claims (7)

1. Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen in einem flüssigen Medium, wobei die Vorrichtung ein das flüssige Medium enthaltendes Bad mit unterhalb des Flüs­ sigkeitsspiegels angeordneten spaltartigen Ein- und/oder Austrittsöffnungen umfaßt, und wobei die Vorrichtung eine Transportvorrichtung umfaßt, zum Fördern der plattenförmi­ gen Gegenstände entlang eines im wesentlichen ebenen Transportweges durch die Ein- und/oder Austrittsöffnungen und das flüssige Medium im Bad hindurch, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein- und/oder Aus­ trittsöffnungen (26; 44) Abdichtelemente (30; 48) umfas­ sen, welche von einer Schließ- in eine Offenstellung beim Durchtritt der plattenförmigen Gegenstände (12) bewegbar sind und die weiterhin so ausgebildet sind, daß der sich in der Offenstellung der Abdichtelemente (30; 48) ergeben­ de Spalt in Höhe und Breite dem Querschnitt der durchtre­ tenden Gegenstände (12) im wesentlichen anpaßbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtelemente (30; 48) eine Vielzahl um eine gemein­ same Achse (34) verschwenkbarer, parallel zueinander ange­ ordneter Dichtungssegmente (32; 50) umfassen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Ein- bzw. Austrittsöffnungen (26; 44) eine, gegebenenfalls antreibbare, Walze (28; 46) als Gegenlager für die Abdichtelemente (30; 48) umfassen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die verschwenkbaren Abdichtelemente (30; 48) in der Schließstellung dichtend an der Walze (28; 46) anliegen.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die verschwenkbaren Dich­ tungssegmente (32; 50) in einem geringen seitlichen Ab­ stand zueinander angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtelemente (30; 48) in Richtung zur Schließstellung vorgespannt sind.
7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwenkachse (34) der Dichtungssegmente (32; 50) in einem Abstand zum Schwer­ punkt der Segmente (32; 50) angeordnet ist.
DE3922056A 1989-07-05 1989-07-05 Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden Withdrawn DE3922056A1 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3922056A DE3922056A1 (de) 1989-07-05 1989-07-05 Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden
ES90108159T ES2059870T3 (es) 1989-07-05 1990-04-28 Dispositivo para el tratamiento de objetos en forma de placa.
DE59007109T DE59007109D1 (de) 1989-07-05 1990-04-28 Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen.
EP90108159A EP0406534B1 (de) 1989-07-05 1990-04-28 Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen
AT90108159T ATE111675T1 (de) 1989-07-05 1990-04-28 Vorrichtung zum behandeln von plattenförmigen gegenständen.
CA002019221A CA2019221A1 (en) 1989-07-05 1990-06-18 Apparatus for treating plate-shaped articles
US07/545,390 US5154772A (en) 1989-07-05 1990-06-27 Apparatus for treating plate-shaped articles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3922056A DE3922056A1 (de) 1989-07-05 1989-07-05 Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3922056A1 true DE3922056A1 (de) 1991-01-17

Family

ID=6384325

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3922056A Withdrawn DE3922056A1 (de) 1989-07-05 1989-07-05 Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden
DE59007109T Expired - Fee Related DE59007109D1 (de) 1989-07-05 1990-04-28 Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59007109T Expired - Fee Related DE59007109D1 (de) 1989-07-05 1990-04-28 Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5154772A (de)
EP (1) EP0406534B1 (de)
AT (1) ATE111675T1 (de)
CA (1) CA2019221A1 (de)
DE (2) DE3922056A1 (de)
ES (1) ES2059870T3 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19519211B4 (de) * 1995-05-25 2010-05-12 Höllmüller Maschinenbau GmbH Verfahren zur Behandlung von Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten, sowie Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4121079A1 (de) * 1991-06-26 1993-01-07 Schmid Gmbh & Co Geb Vorrichtung zum behandeln von plattenfoermigen gegenstaenden
US5720813A (en) 1995-06-07 1998-02-24 Eamon P. McDonald Thin sheet handling system
DE19813528A1 (de) * 1998-03-26 1999-10-07 Siemens Sa Vorrichtung zur Behandlung von plattenförmigen Werkstücken, insbesondere Leiterplatten

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2457128A (en) * 1945-09-18 1948-12-28 Standard Telephones Cables Ltd Water barrier
US2540006A (en) * 1948-05-05 1951-01-30 Horace J Heffelfinger Machine for coating metal on metal pipes or tubing
US2647297A (en) * 1948-07-10 1953-08-04 American Viscose Corp Cockled fibrous product of the nonwoven fabric type and method of making it
US2851373A (en) * 1955-11-21 1958-09-09 Bruning Charles Co Inc Developing electrostatic latent images on photo-conductive insulating material
US3350248A (en) * 1964-08-27 1967-10-31 Pittsburgh Plate Glass Co Glass prepolishing method and apparatus
US3402696A (en) * 1966-03-11 1968-09-24 Pennsalt Chemicals Corp Industrial process and apparatus
US3554641A (en) * 1968-08-08 1971-01-12 Movielab Inc Apparatus and process for the liquid gate printing of a photographic film
SE374565B (de) * 1972-08-30 1975-03-10 Wennberg Ab C J
DE2420824C2 (de) * 1974-04-30 1976-01-08 Werner & Pfleiderer, 7000 Stuttgart Zwischen zwei hintereinander angeordneten Behandlungszonen zum Behandeln von ebenen, metallischen Tafeln oder Bändern mit verschiedenartigen Flüssigkeiten angeordnete Vorrichtung zum Ver-' hindern des Überlaufes der einen Flüssigkeit in die benachbarte Behandlungszone
US4245584A (en) * 1979-02-09 1981-01-20 Kolosov Ivan A Apparatus for applying paste upon blank strips for cerment electrodes of alkaline storage batteries
DE3001726C2 (de) * 1980-01-18 1984-08-09 Gebr. Schmid GmbH & Co, 7290 Freudenstadt Vorrichtung zum Behandeln einer Leiterplatte
DE3022146A1 (de) * 1980-06-13 1981-12-24 Gebr. Schmid GmbH & Co, 7290 Freudenstadt Vorrichtung zum absaugen plattenfoermiger gegenstaende
JPS59123560A (ja) * 1982-12-28 1984-07-17 Kansai Paint Co Ltd 塗装装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19519211B4 (de) * 1995-05-25 2010-05-12 Höllmüller Maschinenbau GmbH Verfahren zur Behandlung von Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten, sowie Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Also Published As

Publication number Publication date
ES2059870T3 (es) 1994-11-16
CA2019221A1 (en) 1991-01-05
EP0406534B1 (de) 1994-09-14
EP0406534A3 (en) 1992-04-22
US5154772A (en) 1992-10-13
EP0406534A2 (de) 1991-01-09
ATE111675T1 (de) 1994-09-15
DE59007109D1 (de) 1994-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT395024B (de) Anordnung zum elektrolytischen auftrag eines metalles auf plattenfoermige gegenstaende
DE69104200T2 (de) Photographischer entwicklungstank.
DE3223471A1 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen dampfphasenbehandlung von werkstuecken
DD299263A5 (de) Vorrichtung zur lasermarkierung auf der oberflaeche von kaese oder delikatnahrungsmitteln
EP0520323B1 (de) Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen
DE2924126A1 (de) Anlage zum materialtransport in einer fertigungsstrasse
EP0406534B1 (de) Vorrichtung zum Behandeln von plattenförmigen Gegenständen
EP0302057B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur oberflächenbehandlung von bändern mit flüssigkeiten
DE68915798T2 (de) Filmentwicklungseinsatz und Tank.
EP0694019B1 (de) Vorrichtung zum ablösen eines produktes von einem endlos umlaufenden band
EP0091509B1 (de) Vorrichtung zum Entwickeln von Mikrofilmen
DE2430165C2 (de) Vorrichtung zur Abdeckung eines Abschnitts von Gegenständen
DE3242810A1 (de) Vorrichtung zur behandlung von blattphotomaterial mit fluessigkeiten
DE3530322C2 (de)
EP3603828A1 (de) Hochdruckreinigungsvorrichtung für verschmutzte bauteile
DE2425190C2 (de) Transportwalzenpaar in einer Durchlauf-Entwicklungseinrichtung für Filmmaterial
DE69516439T2 (de) Entwicklungsgerät
DE4036838C2 (de)
DE2648400A1 (de) Transfervorrichtung fuer werkstuecke
DE3434301C2 (de) Anlage zum Behandeln von Fäkalien
DE3429637C2 (de) Beizanlage
DE1597705C (de) Sprühvorrichtung zum Behandeln von lichtempfindlichem Film
EP0252907A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur oberflächenbehandlung von bändern mit flüssigkeiten
DE2549023A1 (de) Einrichtung fuer das mechanische ein- und ausfahren von haengeschienen fuer blattfoermiges gut in bzw. aus behandlungsgeraeten
DD288348A5 (de) Strahlmaschine

Legal Events

Date Code Title Description
8141 Disposal/no request for examination