DE3917786A1

DE3917786A1 - Poliervorrichtung

Info

Publication number: DE3917786A1
Application number: DE3917786A
Authority: DE
Inventors: Thomas Linke; Troy W Livingston; Issa R Dandan; Alan W Wilkerson
Original assignee: Buehler Ltd
Current assignee: Buehler Ltd
Priority date: 1988-06-01
Filing date: 1989-05-31
Publication date: 1989-12-14
Also published as: US4873792A; JPH01321162A; JPH0657388B2

Description

Selbstverständlich gehören Polier- oder Schleifvorrichtungen, die einen rotierenden Drehtisch oder eine Gegendruckplatte verwenden, zum allgemein bekannten Stand der Technik. Außer dem sind heute im Handel Poliervorrichtungen erhältlich, bei denen Halter für die Proben, die poliert werden sollen, mit einem vorbestimmten Druck auf einen Drehtisch gedrückt wer den. Diese Halter drehen sich typischerweise während des Betriebs, so daß die Proben automatisch in mehreren Rich tungen bewegt und poliert werden.

Für das Gebiet der Analyse von Mikrostrukturen gibt es solche automatischen Polier- oder Schleifvorrichtungen. Buehler Ltd., Lake Bluff, Illinois verkauft beispielsweise die Euro met (T.M.) Schleif/Polierkombination. Diese Vorrichtung um faßt einen Antriebskopf, der durch eine pneumatische Einrich tung mit einem vorbestimmten Druck gegen eine rotierende Gegendruckplatte gedrückt wird.

Diese Erfindung sieht Verbesserungen vor, so daß Vorrich tungen zum Schleifen oder Polieren von Proben ohne pneu matisch erzeugten Druck automatisch betrieben werden können, wobei eine einfache elektromechanische Einrichtung für einen vorbestimmten Schleif- oder Polierdruck auf den Proben sorgt. Zusätzlich lassen sich die Betriebszeit und der Abschaltzeit punkt automatisch einstellen; die Drehzahlen der jeweils am Schleifen beteiligten Einrichtungen können ebenfalls ge steuert werden.

Diese Erfindung sieht eine Vorrichtung zum Schleifen oder Polieren von Proben mit einer vertikalen Welle vor. Eine Einrichtung zum Drehen der vertikalen Welle ist zusammen mit einer Einrichtung vorgesehen, die dazu dient, einen Halter für die zu polierenden Proben am unteren Ende der vertikalen Welle zu befestigen. Weiter ist eine Einrichtung vorgesehen, die die Proben, die sich in einem solchen Halter befinden, mit einem vorbestimmten Druck gegen eine Polierfläche zu drücken.

Nach dieser Erfindung weist die Druckeinrichtung ein Bela stungsmeßgerät auf. Das Belastungsmeßgerät hält die vertikale Welle an ihrem oberen Ende aufgehängt. Daraus ergibt sich, daß das Belastungsmeßgerät in Abhängigkeit von dem erfaßten Gewicht der Welle und an ihr befestigter Teile ein Signal abgeben kann. So wird das von dem Belastungsmeßgerät erfaßte Gewicht verringert oder nimmt sogar einen negativen Wert an, wenn sich der Druck erhöht, der auf die Proben gegen eine sich drehende Gegendruckplatte ausgeübt wird.

Zusätzlich ist eine elektisch betriebene mechanische Einrich tung vorgesehen, um die Welle in Abhängigkeit von Signalen von der Belastungsmeßeinrichtung in vertikaler Richtung vor- und zurückzubewegen, so daß ein Rückkopplungssystem für die automatische Steuerung des Drucks, der auf die Proben ausge übt wird, bereitgestellt ist. Natürlich braucht nur ein Teil der vertikalen Welle vor- oder zurückbewegt werden, wobei die Welle bevorzugt aus mehreren Teilen zusammengesetzt, sowie ausdehnbar und zusammenschiebbar ist. Gegebenenfalls können jedoch andere Anordnungen in dieser Erfindung verwendet werden, bei denen die Welle insgesamt vor- oder zurückbewegt wird.

Im besonderen kann die vertikale Welle eine vertikale Gewin destange aufweisen, die an dem Belastungsmeßgerät eingehängt ist. Ein vertikales Element wird zumindest von dem unteren Teil der Gewindestange gehalten und umgibt sie teleskopartig. Typischerweise weist das vertikale Element eine Büchse auf, die zumindest den unteren Teil der Gewindestange umgibt. Das vertikale Element läßt sich bezüglich der Gewindestange mittels eines ersten Antriebsmotors drehen. Es weist zudem ein unteres Ende auf, das die oben beschriebene Befestigungseinrichtung für den Halter trägt.

Ein Mutternelement ist bevorzugt über ein Gewinde an der Stange befestigt, wobei das Mutternelement auch über eine Halteeinrichtung mit dem vertikalen Element verbunden ist. Ein äußerer Teil des Mutternelements befindet sich mit der Gewindestange in relativer Drehbeziehung, so daß der äußere Teil des Mutternelements bei der Drehung fixiert werden kann, wenn sich das vertikal gerichtete Element dreht; dennoch läßt sich das gesamte Mutternelement zusammen mit dem vertikalen Element entlang der Gewindestange in Längsrichtung verschie ben, an der sie über ein Gewinde befestigt ist.

Die bevorzugte Welle dieser Erfindung weist auch eine Ein richtung zum Drehen der Gewindestange in Abhängigkeit von Signalen vom Belastungsmeßgerät auf. So kann die Gewinde stange gedreht werden, um das Mutternelement und das ver tikale Element leicht zurückzuziehen, wenn das Belastungs meßgerät ein Gewicht aufzeichnet, das geringer als erwünscht ist, das also anzeigt, daß der Druck auf den eingespannten Proben gegen eine rotierende Gegendruckplatte zu hoch ist. Wenn das Gewicht, das vom Belastungsmeßgerät aufgezeichnet wird, zu hoch ist, kann die Gewindestange gedreht werden, um das Mutternelement und das vertikale Element nach vorne zu schieben, so daß der Druck zwischen den Proben und einer rotierenden Gegendruckplatte erhöht wird; dies wird durch ein ständig aktives Überwachungssystem während des Schleif- oder Poliervorgangs erreicht, so daß das vertikale Element wie benötigt gehoben oder gesenkt wird, um erwünschte Drücke aufrechtzuerhalten.

Die Einrichtung zur Drehung der Gewindestange ist bevorzugt eine konventionelle Zahnradeinrichtung, die beispielsweise durch von einen Vierquadranten-Gleichstrom-Leichtmotor mit statischem Antrieb betrieben wird. Andererseits ist der erste Antriebsmotor, der für die Drehung des vertikalen Elements bei einer im allgemeinen kontinuierlichen vorbestimmten Drehzahl verwendet wird, bevorzugt ein Wechselstrom-Motor.

Zusätzlich kann die bevorzugte Vorrichtung einen Rahmen auf weisen, wobei das Mutternelement eine äußere Büchse umfaßt. Der Rahmen oder die äußere Büchse bildet einen vertikalen Schlitz, während der jeweils andere Teil einen Vorsprung aufweist, der in dem Schlitz verschiebbar ist. Dies hat zur Folge, daß sich das Mutternelement mit dem vertikalen Element in Längsrichtung bewegt, ohne daß sich die äußere Büchse dreht.

Die Gewindestange oder ihr Motor trägt bevorzugt eine Scheibe mit Umfangsperforation. Eine Sensoreinrichtung ist vorgese hen, damit die Umdrehung der Scheibe durch die Erfassung der sich bewegenden Umfangsperforationen gemessen wird. Eine Um drehungs-Steuereinrichtung kann vorgesehen sein, die in der Lage ist, in Abhängigkeit von Signalen von der Sensoreinrich tung die Drehstellung der Gewindestange wie gewünscht zu steuern. So läßt sich die vertikale Position der zu schlei fenden oder zu polierenden Proben durch ein Rückkopplungs system genau steuern oder überwachen.

Im folgenden wird die Erfindung unter Bezug auf die Zeichnun gen näher erläutert. Dabei zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der Vorrichtung zum Schleifen oder Polieren nach dieser Erfindung,

Fig. 2 eine Schnittansicht entlang der Linie 2-2 aus Fig. 1,

Fig. 3 ein schematisches Flußdiagramm zu den Funktionen der Vorrichtung nach dieser Erfindung.

Ganz allgemein ähnelt die hier offenbarte Vorrichtung 10 zum Schleifen oder Polieren von Proben, abgesehen von den hier beschriebenen Unterschieden, in ihrer Konstruktion dem Ecomet IV/Euromet I-Probenvorbereitungs-System von Buehler Ltd.

Wie bei dem Stand der Technik ist eine Basiseinheit 12 mit einer drehbaren Schleif-Gegendruckplatte 14 vorgesehen, gegen die ein Probenhalter 16 konventioneller Bauart eine Gruppe von Proben 18 drückt, damit sie darauf geschliffen oder po liert werden. Der Probenhalter 16 läßt sich durch die Welle 20 im Uhrzeigersinn oder umgekehrt drehen, so daß gegebenen falls durch die gleichzeitige Drehung der Platte 14 und des Probenhalters 16 ein komplexes Schleif- oder Polierschema erzielt werden kann. Schmirgel- oder Poliermaterial befindet sich zur Erleichterung des Schleifens oder Polierens auf der Platte 14, und wie üblich kann auch Wasser oder eine andere Flüssigkeit auf die Oberfläche der Platte 14 aufgetragen werden, um den Vorgang weiter zu erleichtern.

Die Welle 20 wird durch den Kopf 23 angetrieben, der durch den Ständer 24 auf dem Basiselement 12 gehalten werden kann. Der Kopf 23 umfaßt ein Steuerpult 26 mit geeigneten Steuerun gen und Datenanzeigen.

Am unteren Ende der Welle 20 ist ein abnehmbares Spannfutter 22 befestigt, das seinerseits den ausklinkbaren Probenhalter 16 hält. Das Spannfutter 22 kann ebenfalls in konventioneller Bauart gestaltet sein.

Nach dieser Erfindung wird ein Belastungsmeßgerät 28 konven tioneller Bauart an einem Ende 27 des Belastungsmeßgeräts an dem Halterungsteil 30 freitragend gehalten. Das obere Ende 32 der Welle 20 wird dann an dem Belastungsmeßgerät 28 nahe dessen anderem Ende 34 aufgehängt, so daß das Belastungsmeß gerät 28 elektronisch Meßwerte des Gewichts der Welle 20 und mit ihr verbundener Teile bereitstellen kann, wie sie von dem Belastungsmeßgerät 28 zu jedem beliebigen Zeitpunkt erfaßt werden, wobei die Welle 20 wie dargestellt vertikal und an dem Belastungsmeßgerät hängend angeordnet ist. Folglich ver ringert sich das vom Belastungsmeßgerät 28 erfaßte Gewicht der Welle 20 und des Probenhalters 16, wenn der Probenhalter 16, der von der Welle 20 gehalten wird, auf der Platte 14 aufliegt. Entsprechend erhöht sich das Gewicht, wenn der Probenhalter 16 nicht mit der Gegendruckplatte 14 in Kontakt steht, was zur Folge hat, daß die Signale, die von dem Bela stungsmeßgerät 28 zu der elektronischen Steuerung 36 gelan gen, dazu benützt werden können, die Gesamtkraft, die auf den Proben 18 gegen die Platte 14 ausgeübt wird, zu berechnen.

Die Welle 20 umfaßt ein äußeres Büchsenelement 38, das zusam menschiebbar mit einem unteren Teil einer vertikal angeord neten Gewindestange 40 in Beziehung steht, was aus Fig. 2 ersichtlich ist. Das Büchsenelement 38 ist der Teil der Welle 20, der dafür sorgt, daß sie ausklinkbar mit dem Halter 16 an ihrem unteren Ende durch das Spannfutter 22 in Verbindung steht. Das äußere Büchsenelement 38 endet an seinem oberen Ende in einem Drucklager 42, das innerhalb der äußeren Büchse 44 der Mutterneinrichtung positioniert ist, die unter anderem dazu vorgesehen ist, die äußere Büchse 38 bezüglich der Ge windestange sich frei drehen zu lassen. Eine Wellenscheibe 48 liegt über dem Drucklager 42 und dient als Stoßdämpfer und Puffer zur Dämpfung des Stoßes, der erzeugt wird, wenn der Probenhalter 16 gesenkt wird, um mit der Platte 14 in Kontakt zu gelangen. Die Mutter 50 innerhalb der äußeren Büchse 44 steht in Gewindeverbindung mit der Stange 40 und ist an ihrem Umfang an der äußeren Büchse 44 befestigt.

Der Wechselstrom-Motor 52 weist ein Kegelrad 54 auf, das an dem Tellerrad 56 eingreift, wobei das letztere an dem äußeren Büchsenelement 38 befestigt ist. So bewirkt der Betrieb des Motors 52 die Drehung des äußeren Büchsenelements 32 sowie des Spannfutters 22 und des Probenhalters 16. Die Wellen scheibe 48 und die Mutter drehen sich jedoch nicht, wenn der Motor 52 in Betrieb ist, da sie durch das Drucklager 42 von der rotierenden Büchse 38 getrennt sind.

An der äußeren Büchse 44 ist ein vorspringender Stift 58 befestigt, der in den Schlitz 60 des Rahmenelements 62 der Vorrichtung paßt. So wird verhindert, daß sich die äußere Büchse 44 und die Mutter 50 drehen.

Die Gewindestange 40 trägt ein Zahnrad 70, das in das Zahnrad 72 eingreift, das seinerseits von einem Vierquadranten- Gleichstrom-Leichtmotor 74 mit statischem Antrieb angetrieben wird. Der Motor 74 kann dazu verwendet werden, die vertikalen Stellungen der nach oben und unten bewegbaren Teile der Welle 20 sowie des Halters 16 zu steuern. Der Motor 74 wird auch dazu verwendet, den gewünschten Druck zwischen der Platte 14 und den Proben 18 im Halter 16 anzulegen. Dreht der Motor 74 das Zahnrad 72, dann wird die Gewindestange 40 entsprechend gedreht. Wegen der Rückhaltewirkung des Stiftes 58 und des vertikalen Schlitzes 60 können sich die Mutter 50 und die äußere Büchse 44 nicht drehen. Dementsprechend treibt die Drehung der Welle 40 die Mutter 50 nach oben oder unten. Entsprechend treibt dies das Drucklager 42, die Büchse 38 und die anderen zugehörigen Teile nach oben oder unten, wobei der Flansch 76 am oberen Ende der äußeren Büchse 38 durch den nach innen vorspringenden Flansch 78 innerhalb des Muttern elements 46 gehalten wird.

Der untere Teil der äußeren Büchse 38 ist durch eine Keil welle gebildet, die drehfest mit dem Tellerrad 56 verbunden ist. Das Tellerrad 56 ist an dem Büchsenelement 80 befestigt, das seinerseits mittels gleitender Keilnutanordnungen 82 an dem äußeren Büchsenelement 38 befestigt ist. So gleitet die Büchse 38 bezüglich der Büchse 80 und dem Tellerrad 56, wenn die Mutter 50 durch die Drehung der Gewindestange 40 nach oben und unten getrieben wird. Das rotierende Tellerrad 56 wird durch das Lager 84 gestützt und in Position gehalten.

Weitere Lager 86, 88 stützen die gegenüberliegenden Enden der Gewindestange 40, um ihre Drehung zu erleichtern.

Dies hat zur Folge, daß der Motor 52 in der Lage ist, die äußere Büchse 38 und jeden daran befestigten Probenhalter 16 ohne Drehung der Gewindestange 40 frei zu drehen. Wenn der Probenhalter 16 gehoben oder gesenkt, oder der Druck der Proben 18 gegen die Platte 14 erhöht oder vermindert werden soll, dreht der Motor 74 die jeweils verbundenen Zahnräder 72, 70, damit die Gewindestange 40 gedreht wird. Dies über trägt die vertikale Bewegung auf die Mutter 50, die die äußere Welle 38 und die Probe 18 unabhängig von der Drehzahl der äußeren Büchse 38 in eine entsprechende vertikale Bewe gung bringt. Die Kraft zwischen den Proben 18 und der Platte 14 läßt sich von der jeweiligen elektronischen Anzeige von dem Belastungsmeßgerät 28 ablesen, wobei die Daten von der elektronischen Steuerung 36 zur Steuerung des Motors 74 verarbeitet werden können, so daß die ausgeübte Kraft auf einem gewünschten Niveau bleibt.

Gegebenenfalls kann die Scheibe 64 auch mit dem Ausgang des Motors 74 verbunden sein. Umfangsperforationen 66 können auf der Scheibe 64 vorgesehen sein, so daß der konventionelle optische Sensor 68 bei Betrieb des Motors 74 die Perfora tionen, die ihn durchlaufen, zählen kann. Durch diese Ein richtung kann dem elektronischen Steuersystem 38 des Kopfes 23 die direkt erfaßte Drehstellung der Gewindestange 40 und damit des Spannfutters 22 zugeführt werden.

Fig. 3 zeigt ein Flußdiagramm zu den Funktionen des Kopfes 23. Die elektronischen Vorrichtungen, die zur Durchführung dieser Funktionen benötigt werden, sind allgemein üblich und gehören durchaus zu den Routineaufgaben des Entwicklungsinge nieurs der Elektrotechnik.

Wie oben gezeigt, kann die elektronische Steuerung 36 Einga bedaten von manuellen Steuerungen am Steuerpult 26 zur Ein stellung der Betriebsdauer, des erwünschten Drucks zwischen den Proben 18 und der Platte 14 sowie Aus- und Ein-Befehle empfangen. Die elektronische Steuerung 36 empfängt auch kon tinuierlich Daten von der Meßdose 85 des Belastungsmeßgeräts 28. Entsprechend betreibt die elektronische Steuerung 36 den Gleichstrommotor 74 in Abhängigkeit von diesen Befehlen, um die Proben 18 vorwärts in Kontakt mit der Platte 14 zu bringen und die erwünschte Last einzustellen. Dann weist die elektronische Steuerung 36 die elektronische Steuerung 94 an, den Betrieb des Wechselstrommotors 52 zu beginnen. Die Dreh richtung der Welle 20 und des Halters 16 läßt sich durch die Steuerung 90 einstellen, die Drehzahl durch die Steuerung 92. Der elektronischen Steuerung 94 kann außerdem die Rückkopp lung vom Sensor 68 zur Steuerung der Drehzahl bereitgestellt werden.

Dementsprechend wirken die Motoren 52 und 74 zusammen bei der Ausführung des erwünschten Schleif- und Poliervorgangs, wobei durch die Meßdose 85 und gegebenenfalls durch den optischen Sensor 68 Rückkopplungsdaten zur Verfügung gestellt werden.

Der Kopf 22 dieser Erfindung kann also im wesentlichen auto matisch arbeiten, ohne daß eine Druckluftquelle nötig wäre. Ein Belastungsmeßgerät wird subtraktiv verwendet, so daß die erfaßte Gewichtsverringerung gemessen werden kann, die durch den zwischen den Proben und der Platte angelegten Druck entsteht; der Druck kann durch das Rückkopplungssystem, das in dieser Erfindung verwendet wird, automatisch auf die erwünschten Werte eingestellt werden. Zusätzlich kann gegebe nenfalls die Drehzahl ebenso überwacht und über einen Rück kopplungsmechanismus gesteuert werden. Auf diese Weise wird es möglich, daß der Bediener der Vorrichtung weniger Aufmerk samkeit auf den eigentlichen Polier- oder Schleifvorgang verwenden muß.

Claims

1. Vorrichtung zum Schleifen und Polieren von Proben mit einer vertikalen Welle, einer Einrichtung zur Drehung der vertikalen Welle, einer Einrichtung zur Befestigung eines Halters für die zu polierenden Proben am unteren Ende der vertikalen Welle sowie einer Einrichtung, um die Proben, die an einem solchen Halter befestigt sind, mit einer vorbe stimmten Kraft gegen eine Polierfläche zu drücken, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckeinrichtung ein Belastungsmeßgerät aufweist, wobei das Belastungsmeßgerät die vertikale Welle am oberen Ende der Welle hält, wodurch das Belastungsmeßgerät in Ab hängigkeit von dem erfaßten Gewicht der Welle und daran befestigter Teile ein Signal abgeben kann, sowie ferner eine elektrisch betriebene Einrichtung aufweist, um die Welle in Abhängigkeit von Signalen von dem Belastungsmeßgerät in vertikaler Richtung vor- und zurückzubewegen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vertikale Welle eine Gewindestange aufweist, die an dem Belastungsmeßgerät aufgehängt ist, daß ein vertikal gerichtetes Element vorgesehen ist, das zumin dest an einem unteren Teil der Gewindestange in zusammen schiebbarer Beziehung befestigt ist und sie umgibt, wobei das vertikale Element durch einen ersten Antriebsmotor bezüglich der Gewindestange drehbar ist und ein unteres Ende aufweist, das die Befestigungseinrichtung für den Halter trägt, daß ferner ein Mutternelement vorgesehen ist, das über ein Gewin de an der Gewindestange befestigt ist und mit dem vertikalen Element in Drehverbindung steht, wobei ein äußerer Teil des Mutternelements in relativer Drehverbindung mit der Gewinde stange steht, und wobei der äußere Teil des Mutternelements gegen Drehung fixiert, aber in Längsrichtung verschiebbar ist, und
daß die Vorrichtung auch eine Einrichtung zur Drehung der Gewindestange in Abhängigkeit von Signalen von dem Bela stungsmeßgerät aufweist, um das vertikale Element in Längsbe wegung zu heben oder zu senken.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das vertikale Element eine Büchse ist, die zumindest den unteren Teil der Gewindestange umgibt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Drehung der Gewindestange durch einen Vierquadranten-Gleichstrom-Leichtmotor mit statischem Antrieb betrieben wird.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Antriebsmotor ein Wechselstrommotor ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen Rahmen umfaßt, wobei das Muttern element eine äußere Büchse umfaßt, wobei der Rahmen oder die äußere Büchse einen vertikalen Schlitz aufweist, und das andere dieser beiden Teile einen in dem Schlitz verschieb baren Vorsprung aufweist, wodurch das Mutternelement sich mit dem vertikalen Element in Längsrichtung bewegt, ohne daß sich die äußere Büchse dreht.

7. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß auf der rotierenden Einrichtung eine Scheibe mit Umfangs perforation befestigt ist, und daß
eine Sensoreinrichtung zur Messung der Umdrehung der Scheibe durch das Erfassen der sich bewegenden Umfangsperforationen vorgesehen ist, sowie
eine Einrichtung zur Steuerung der Drehung vorgesehen ist, die in der Lage ist, in Abhängigkeit von den Signalen von der Sensoreinrichtung die Drehzahl der Gewindestange zu steuern.

8. Vorrichtung zum Schleifen und Polieren von Proben mit einer vertikalen Welle, einer Einrichtung zur Drehung der vertikalen Welle, einer Einrichtung zur Befestigung eines Halters für die zu polierenden Proben am unteren Ende der vertikalen Welle sowie einer Einrichtung, um die Proben, die an einem solchen Halter befestigt sind, mit einer vorbe stimmten Kraft gegen eine Polierfläche zu drücken, dadurch gekennzeichnet,
daß die Druckeinrichtung ein Belastungsmeßgerät aufweist, wobei das Belastungsmeßgerät die vertikale Welle am oberen Ende der Welle hält, wodurch das Belastungsmeßgerät in Abhängigkeit von dem erfaßten Gewicht der Welle und daran befestigter Teile ein Signal abgeben kann, sowie
daß eine elektrisch betriebene Einrichtung vorgesehen ist, um die Welle in Abhängigkeit von Signalen von dem Belastungs meßgerät in vertikaler Richtung vor- und zurückbewegen, wobei die elektrisch betriebene mechanische Einrichtung als Teil der an dem Belastungsmeßgerät aufgehängten Welle eine vertikale Gewindestange aufweist,
daß ein vertikal gerichtetes Element vorgesehen ist, das Teil der vertikalen Welle ist, und das zumindest an einem unteren Teil der Gewindestange in zusammenschiebbarer Beziehung be festigt ist, und wobei das vertikale Element durch einen ersten Antriebsmotor bezüglich der Gewindestange drehbar ist und ein unteres Ende aufweist,
das die Befestigungseinrichtung für den Halter trägt, daß ein Mutternelement vorgesehen ist, das über ein Gewinde an der Gewindestange befestigt ist und mit dem vertikalen Element in Drehverbindung steht, wobei ein äußerer Teil des Mutternelements in relativer Drehverbindung mit der Gewinde stange steht, und wobei der äußere Teil des Mutternelements gegen Drehung fixiert und in Längsrichtung verschiebbar ist,
daß die Welleneinrichtung auch eine Einrichtung zur Drehung der Gewindestange in Abhängigkeit von Signalen von dem Bela stungsmeßgerät aufweist, um das vertikale Element in Längsbe wegung zu heben oder zu senken, wobei die Einrichtung zur Drehung der Gewindestange durch einen Vierquadranten-Gleich strom-Leichtmotor mit statischem Antrieb betrieben wird, und
daß die Vorrichtung einen Rahmen umfaßt, wobei das Muttern element eine äußere Büchse umfaßt, und der Rahmen oder die äußere Büchse einen vertikalen Schlitz aufweist, und daß das andere dieser beiden Teile einen in dem Schlitz verschiebba ren Vorsprung aufweist, wodurch das Mutternelement sich mit dem vertikalen Element in Längsrichtung bewegt, ohne daß sich die äußere Büchse dreht.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das vertikale Element eine Büchse ist, die zumindest den unteren Teil der Gewindestange umgibt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Antriebsmotor ein Wechselstrommotor ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß der Motor mit statischem Antrieb eine Scheibe mit Umfangsperforation hält, und
daß eine Sensoreinrichtung zur Messung der Umdrehung der Scheibe durch das Erfassen der sich bewegenden Umfangsperfo rationen vorgesehen ist sowie
eine Einrichtung zur Steuerung der Drehung, die in der Lage ist, in Abhängigkeit von den Signalen von der Sensoreinrich tung die Drehzahl der Gewindestange zu steuern.

12. Vorrichtung zum Schleifen oder Polieren von Proben mit einer vertikalen Welle, einer Einrichtung zur Drehung der vertikalen Welle, einer Einrichtung zur Befestigung eines Halters für die zu polierenden Proben am unteren Ende der vertikalen Welle sowie einer Einrichtung, um die Proben, die an einem solchen Halter befestigt sind, mit einer vorbe stimmten Kraft gegen die Polierfläche zu drücken, dadurch gekennzeichnet,
daß die vertikale Welle eine vertikale Gewindestange und ein vertikal gerichtetes Element aufweist, das zumindest an einem unteren Teil der Gewindestange in zusammenschiebbarer Bezie hung befestigt ist und sie umgibt, wobei das vertikale Element durch einen ersten Antriebsmotor bezüglich der Gewindestange drehbar ist und ein unteres Ende aufweist,
das die Befestigungseinrichtung für den Halter trägt, sowie ein Mutternelement aufweist, das über ein Gewinde an der Ge windestange befestigt ist und mit dem vertikalen Element in Drehverbindung steht, wobei ein äußerer Teil des Mutternele ments in relativer Drehverbindung mit der Gewindestange steht, und wobei der äußere Teil des Mutternelements gegen Drehung fixiert,
aber in Längsrichtung verschiebbar ist, und
daß die Vorrichtung auch eine Einrichtung aufweist, um das vertikale Element in Längsbewegung zu heben oder zu senken.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das vertikale Element eine Büchse ist, die zumindest den unteren Teil der Gewindestange umgibt.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Drehung der Gewindestange durch einen Vierquadranten-Gleichstrom-Leichtmotor mit statischem Antrieb betrieben wird.

15. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Antriebsmotor ein Wechselstrommotor ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen Rahmen umfaßt, wobei das Muttern element eine äußere Büchse umfaßt, und der Rahmen oder die äußere Büchse einen vertikalen Schlitz bildet, und das andere dieser beiden Teile einen in dem Schlitz verschiebbaren Vor sprung aufweist, wodurch das Mutternelement sich mit dem ver tikalen Element in Längsrichtung bewegt, ohne daß sich die äußere Büchse dreht.

17. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der Motor mit statischem Antrieb eine Scheibe mit Umfangsperforation hält, und
daß eine Sensoreinrichtung zur Messung der Umdrehung der Scheibe durch das Erfassen der sich bewegenden Umfangs perforationen vorgesehen ist sowie
eine Einrichtung zur Steuerung der Drehung vorgesehen ist, die in der Lage ist, in Abhängigkeit von den Signalen von der Sensoreinrichtung die Drehzahl der Gewindestange zu steuern.