DK155299B - Apparat til slibning eller polering af emner - Google Patents
Apparat til slibning eller polering af emner Download PDFInfo
- Publication number
- DK155299B DK155299B DK180586A DK180586A DK155299B DK 155299 B DK155299 B DK 155299B DK 180586 A DK180586 A DK 180586A DK 180586 A DK180586 A DK 180586A DK 155299 B DK155299 B DK 155299B
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- grinding
- polishing
- compressive force
- depth
- blank
- Prior art date
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 4
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 241000252073 Anguilliformes Species 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000005088 metallography Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
i
DK 155299 B
Opfindelsen angår et apparat til slibning eller polering af emner, navnlig metallografiske prøver, ved hvilket emnet trykkef mod en slibe- eller polereskive under indvirkning af en til emnet overført 5 trykkraft.
Ved slibning (herunder lapning) eller polering under anvendelse af et sådant apparat opnås der en aftagning, d.v.s. der fjernes materiale fra den overflade af prøven, der berører slibe- eller polere-10 skiven.
Det er navnlig indenfor metallografien hensigten, at der skal opnås en fjernelse af et overfladelag af en forud fastsat tykkelse eller med andre ord en forud fastsat aftagningsdybde, eller dog en aftag-15 ningsdybde inden for en forud fastsat størrelsesorden.
For at opnå dette har man hidtil i almindelighed brugt procestiden som parameter, d.v.s. slibningen eller poleringen afbrydes efter forløbet af en vis procestid, som er fastlagt empirisk. Denne metode 20 er dog forbundet med en betydelig usikkerhed, idet f.eks. en variation i de skærende egenskaber af en slibesten vil give en anden aftagning pr. tidsenhed end den, der er lagt til grund for fastsættelsen af procestiden.
25 Det vil derfor være en fordel at kunne foretage en direkte måling af aftagningsdybden. En sådan måling vil kunne opnås ved hjælp af et optisk målesystem af tilsvarende art som de systemer, der på moderne værktøjsmaskiner anvendes til måling af afstande i /im-området.
Sådanne systemer er ganske vist meget nøjagtige, men de er alt for 30 kostbare til anvendelse ved almindelig metallografisk slibning og polering, og de ville ikke give nogen indikation af slibe- eller poleretrykket, hvorfor dette, som jo også er en vigtig parameter i processen, måtte måles separat.
35 Opfindelsen går ud på at tilvejebringe et apparat af den angivne art, ved hvilket slibe- eller poleretrykket og aftagningsdybden kan måles under ét med meget lave omkostninger til måleudstyr.
Med henblik herpå består det for opfindelsen ejendommelige i, at 2
DK 155299 B
apparatet i en kraftoverføringsbane for trykkraften indeholder et elastisk deformerbart overføringsled, og at der ved den fra emnet bortvendende ende af kraftoverføringsbanen findes et aktiv|ringsor-gan, som er indrettet til ved påbegyndelsen af slibningen eller 5 poleringen at spænde det elastiske deformerbare led, indtil en ønsket trykkraft er opnået, og derefter at fastlåses, hvorhos apparatet omfatter iøvrigt kendte organer til afføling af den elastiske deformation af overføringsleddet og ændringer af denne deformation under slibningens eller poleringens forløb, samt til 10 udfra de ved afføl ingen fundne værdier at bestemme både trykkraften og aftagningsdybden.
Da trykkraften ved apparatet ifølge opfindelsen overføres fra et fastlåst punkt gennem det elastisk deformerbare overføringsled, vil 15 trykkraften under slibningen falde, efterhånden som aftagningen skrider frem (hvilket som regel er fordelagtigt), og forskellen mellem trykkraften i et givet øjeblik og værdien af trykkraften ved slibningens eller poleringens begyndelse vil derfor være et mål for aftagningen. Derfor giver øjebliksværdien af den elastiske 20 deformation af overføringsorganerne i ethvert stadium af processen et mål for både trykkraften og aftagningsdybden. Den elastiske deformation af et legeme kan som bekendt måles ved hjælp af simple og billige transducere, såsom strain-gauges eller kapacitive transducere, og med simpelt elektronisk udstyr kan måleresultaterne 25 behandles og udnyttes til aflæsning og/eller processtyring.
Det elektroniske udstyr kan omfatte en microprocessor, i hvilken der kan indlæses parametre til styring af processen efter et ønsket program.
30 Ønsker man f.eks. i et givet punkt af processen at formindske trykkraften ud over den formindskelse, der kommer af sig selv, kan microprocessoren indstilles til at omstille aktiveringsorganet således, at den ønskede mindre trykkraft fremkommer, at fastholde 35 den værdi af aftagningsdybden, som var målt umiddelbart inden omstillingen, og efter omstillingen at tælle videre fra den fastholdte værdi i overensstemmelse med den formindskede værdi af trykkraften.
En anden mulighed, der ofte vil være fordelagtig, er at indlæse den 3
DK 155299 B
ønskede aftagningsdybde som styreparameter for processen, således at processen afsluttes, når den ønskede aftagningsdybde er opnået. I forbindelse hermed kan det forekomme ved en slibesten, tat denne efter en indledende afretning ikke bevarer sine slibeegenskaber så 5 længe, at den ønskede aftagningsdybde opnås inden et fastsat tidsmaksimum. Den elektroniske automatik kan da være indrettet til at afbryde slibeprocessen, igangsætte en afretning og fortsætte slibeprocessen, idet værdien af aftagningsdybden også i dette tilfælde fastholdes under den midlertidige afbrydelse og tælles videre op, 10 når processen fortsættes.
Da en mekanisk maskine ikke kan opbygges uden visse tolerancer, og da de anvendte slibe-polereskiver ikke vil kunne rotere uden en vis skævhed, er det nødvendigt at finde en middelværdi for den udgangs-15 position, hvorfra aftagningsdybden beregnes. Ligeledes vil der ske en middelværdidanne!se under processen, som indgår i beregningen af aftagningsdybden. Middel værdidannelsen kan ske over en enkelt omdrejning eller flere, afhængigt af det underlag (slibe-polere-skive), der anvendes. Perioden for middel værdidannelsen kan ske rent 20 elektronisk eller ved hjælp af et særligt vinkelsignal fra en roterende del.
Opfindelsen skal i det følgende forklares nærmere under henvisning til tegningen, hvor 25 fig. 1 skematisk viser en udførelsesform for et apparat ifølge opfindelsen, for de mekaniske deles vedkommende set fra siden og delvis i diametral snit, og fig. 2 en enkelthed af apparatet i større målestok.
30 På en slibe-polereskive 1 er anbragt en metal1ografisk prøve 2, som påvirkes af tryksko 3, jfr. iøvrigt fig. 2, med en kraft P, der overføres fra en roterende aksel 16.
Prøven 2 styres af en medbringerplade 15, der igennem fire stag 21 35 er i fast forbindelse med et prøveholderhoved 4, som roterer sammen med akslen 16. Rotation sker ved hjælp af en el-motor 5.
Akslen 16 kan også bevæges vertikalt, hvilket skal ske for at anbringe prøven 2 i medbringerpladen 15, og for at give den fornødne 4
DK 155299 B
kraft P. Dette sker ved hjælp af en gearmotor 12, som gennem et tandhjul 13 påvirker en tandstang 14, idet gearmotoren 12 er fast forankret til maskinens stativ. Når en bevægelse nedad af {>røvehol-derhovedet 4 ønskes, startes gearmotoren 12, og tandstangen 14 5 bevæges nedad. Denne bevægelse overføres til en bjælke 11 gennem en drejelig forbindelse. Bjælken 11 er forbundet med en drejelig bjælke 8 gennem en fjedrende bjælke 9. På bjælken 9 er anbragt to strain-gauges (halvbroer) ID. Bjælken 8 påvirker akslen 16 gennem en konsol 17.
10
Gearmotoren 12 er selvspærrende, og ved stop låses tandstangen 14 i den opnåede position.
Ved hjælp af en induktiv sensor 7 og en roterende tandskive 6 kan 15 akslen 16 og dermed prøveholderhovedet 4's vinkeldrejning aflæses.
Gearmotoren 12, strain-gaugerne 10 og sensoren 7 er forbundet til en elektronisk styring, der omfatter en comparator med Schmi«trigger 22, en differentialforstærker 23, en analog/digital-converter 24, en 20 microprocessor 25, en trykreguleringsenhed 26 og et display 27 til aflæsning af tryk og aftagningsdybde.
Ved processens begyndelse er prøvens overflade 18, men efterhånden som processen skrider frem, fjernes der materiale, angivet skraveret 25 19, og der afsluttes med en ny overflade 20.
Når der af en prøve 2 ønskes fjernet et forudindstillet antal øm 19, foregår det således, jfr. fig. 1: 30 Prøven 2 anbragt i^edbringerpladen 15 i det roterende prøveholder-hoved 4 bevæges af gearmotoren 12 ned mod den roterende slibe- eller polereskive 1.
Når det ønskede tryk er opnået, afbrydes strømmen til gearmotoren 35 12, hvorved den nederste fjederarm 11 ikke længere kan bevæge sig.
Derefter venter microprocessoren på signal fra den induktive positionsføler 7. Når signalet kommer, startes A/D-converteren, og spændingen fra strain-gauge-differential forstærkeren, der nu er blevet et udtryk for prøven 2' s vertikale position, indlæses af
DK 155299 B
s microprocessoren. ålt imedens prøveholderhovedet 4 roterer, indlæses nye værdier, og når prøveholderhovedet har roteret præcis 360°, hvilket aflæses af positionsføleren 7, beregnes middelværdien. Denne værdi er nu et udtryk for prøvens vertikale udgangsposition. Der 5 foretages nu den ene middel værdi beregning efter den anden, og når differencen mellem den sidst foretagne beregning og udgangspositionen er lig med den specificerede aftagning, standses slibe-polere-processen.
10 Årsagen til, at de målte værdier først kan bruges efter en middel værdidannelse over 360°, er den, at de mekaniske tolerancer bevirker, at prøvens vertikale position bliver en funktion af dens horisontale position.
15 Endvidere afhænger måleprincippet af, ora det er en slibesten eller en polereskive, der køres på. Ved slibestenen er det kun nødvendigt at middelværdidanne over 350°, idet stenen er afrettet (neddrejet) på maskinen, hvorved prøvens vertikale position er uafhængig af slibestenens rotation. Ved polereskiven foretages ikke en sådan 20 afretning, hvorved prøvepositionen, udover prøveholderhovedets rotation, også bliver afhængig af polereskivens rotation. Der må derfor middelværdidannes over et langt større antal prøveholderro-tationer, således at bidraget fra selve polereskiven bliver medtaget i middel værdiberegningen.
25
Som det fremgår af ovenstående, er der overensstemmelse mellem aftagningshastigheden og middelværdidannelsestiden, idet beregningen af udgangspositionen nødvendigvis skal foregå hurtigt på en skive med stor aftagningshastighed, medens den gerne må tage lidt længere 30 tid på en polereskive med meget lille aftagningshastighed.
Til nærmere belysning af processen skal der nedenfor angives nogle eksempelvise talværdier: 35 Trykket pr. prøve kan variere fra 50-60N ved slibning og grov polering til 3N ved fin polering.
Under processen, hvor bjælken 11 er låst, vil trykket falde, efterhånden som materialet på prøven 19 fjernes. Dette trykfald er ikke 6
DK 155299 B
stort, men det har principielt en gunstig indvirkning, da et trykfald mod slutningen af processen ofte ønskes.
Trykfaldet er afhængigt af fjederkarakteristikken af den fjedrende 5 bjælke 9. Typisk vil være et trykfald på ca. 3N pr. 0,1 mm nedadgående bevægelse af prøven 2. Dette vil ved en materialefjernelse 19 på 0,2 mm give en trykreduktion på ca. 12% ved et udgangstryk på 50N.
10 Den mængde materiale, der fjernes fra prøven vil normalt være i størrelsesordenen fra 0,1 til 0,5 mm. Aftagningen vil være med en tolerance på ±5pm til ±10μπι afhængig af maskinens mekaniske og elektroniske opbygning.
15 20 25 t 30 35
Claims (3)
1. Apparat til slibning eller polering af emner, navnlig^metallo-grafiske prøver, ved hvilket emnet trykkes mod en slibe- eller 5 polereskive under indvirkning af en til emnet overført trykkraft, kendetegnet ved, at apparatet i en kraftoverføringsbane for trykkraften indeholder et elastisk deformerbart overføringsled, og at der ved den fra emnet bortvendende ende af kraftoverførings-banen findes et aktiveringsorgan, som er indrettet til ved påbegyn-10 del sen af slibningen eller poleringen at spænde det elastiske deformerbare led, indtil en ønsket trykkraft er opnået, og derefter at fastlåses, hvorhos apparatet omfatter iøvrigt kendte organer til afføling af den elastiske deformation af overføringsleddet og ændringer af denne deformation under slibningens eller poleringens 15 forløb, samt til udfra de ved afføl ingen fundne værdier at bestemme både trykkraften og aftagningsdybden.
2. Apparat ifølge krav 1, ved hvilket emnet under slibningen eller poleringen holdes i en roterende prøveholder, kendetegnet 20 ved, at apparatet indeholder organer til middelværdidannelse af måleresultatet over en enkelt omdrejning eller et antal omdrejninger af prøveholderen.
3. Apparat ifølge krav 1 eller 2, kendetegnet ved, at 25 organerne til bestemmelse af trykkraften og aftagningsdybden omfatter en microprocessor, i hvilken der kan indlæses parametre til styring af processen efter et ønsket program. 30 35
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DK180586A DK155299B (da) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | Apparat til slibning eller polering af emner |
| JP62092965A JPS62251071A (ja) | 1986-04-18 | 1987-04-15 | ワ−クピ−スを研削または研磨するための装置 |
| EP87105575A EP0246448A3 (en) | 1986-04-18 | 1987-04-15 | Apparatus for the grinding or polishing of workpieces |
| US07/040,535 US4771578A (en) | 1986-04-18 | 1987-04-17 | Apparatus for the grinding or polishing of workpieces |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DK180586A DK155299B (da) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | Apparat til slibning eller polering af emner |
| DK180586 | 1986-04-18 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DK180586D0 DK180586D0 (da) | 1986-04-18 |
| DK180586A DK180586A (da) | 1987-10-19 |
| DK155299B true DK155299B (da) | 1989-03-20 |
Family
ID=8108182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DK180586A DK155299B (da) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | Apparat til slibning eller polering af emner |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4771578A (da) |
| EP (1) | EP0246448A3 (da) |
| JP (1) | JPS62251071A (da) |
| DK (1) | DK155299B (da) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4895033A (en) * | 1987-12-21 | 1990-01-23 | Voss Jorgen T | Sample holder for use in the grinding or polishing of samples |
| US5010692A (en) * | 1987-12-22 | 1991-04-30 | Sintobrator, Ltd. | Polishing device |
| US4873792A (en) * | 1988-06-01 | 1989-10-17 | Buehler, Ltd. | Polishing apparatus |
| US5083401A (en) * | 1988-08-08 | 1992-01-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of polishing |
| JPH04193443A (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-13 | Brother Ind Ltd | 工作機械用補助装置 |
| US5214884A (en) * | 1991-04-23 | 1993-06-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ball polishing apparatus and method for the same |
| US5800254A (en) * | 1996-04-01 | 1998-09-01 | Buehler Ltd. | Automatic apparatus for grinding and polishing samples |
| US5718619A (en) * | 1996-10-09 | 1998-02-17 | Cmi International, Inc. | Abrasive machining assembly |
| JPH11138426A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-25 | Tokyo Electron Ltd | 研磨装置 |
| US6083082A (en) * | 1999-08-30 | 2000-07-04 | Lam Research Corporation | Spindle assembly for force controlled polishing |
| US6257957B1 (en) | 1999-12-01 | 2001-07-10 | Gerber Coburn Optical Inc. | Tactile feedback system |
| JP3663348B2 (ja) | 2000-09-26 | 2005-06-22 | Towa株式会社 | 研磨装置及び研磨方法 |
| KR100825562B1 (ko) * | 2006-12-19 | 2008-04-25 | 주식회사 포스코 | 시편 가공 장치 |
| CN101708590B (zh) * | 2009-11-26 | 2012-02-22 | 上海大学 | 金相试样自动磨抛机 |
| CN101758448B (zh) * | 2009-12-30 | 2011-07-27 | 东南大学 | 电化学电极抛光装置 |
| CN102059634B (zh) * | 2010-11-24 | 2012-10-31 | 山东建筑大学 | 全工位智能化金相试样制备装置 |
| CN102756327A (zh) * | 2012-07-21 | 2012-10-31 | 深圳市华测检测技术股份有限公司 | 便携式半自动研磨抛光设备 |
| CN103586772B (zh) * | 2012-08-16 | 2016-01-06 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 压力检测装置 |
| CN104330294B (zh) * | 2014-10-28 | 2016-10-19 | 山东科技大学 | 一种金相试样制备仪 |
| CN105834872B (zh) * | 2016-04-05 | 2017-10-24 | 西南石油大学 | 一种金相试样抛光机 |
| CN106217217B (zh) * | 2016-08-10 | 2018-06-01 | 江苏大学 | 一种恒压力并自动校正消除划痕的精密金相研磨抛光装置 |
| CN108535070A (zh) * | 2018-05-10 | 2018-09-14 | 江苏大学 | 一种激光打孔微孔截面和内壁质量分析制样装置及方法 |
| CN112223067A (zh) * | 2020-07-29 | 2021-01-15 | 莱州市蔚仪试验器械制造有限公司 | 增加试样磨削量控制的多用途磨抛机 |
| CN115078049B (zh) * | 2022-08-19 | 2022-11-04 | 深圳市聚鑫视科技有限公司 | 一种金相样品自动制样研磨方法及系统 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3100954A (en) * | 1962-03-20 | 1963-08-20 | Lella Paul Di | Grinding machine |
| US3224148A (en) * | 1963-08-05 | 1965-12-21 | George A Mitchell | Method and apparatus for producing a reflective rotating shutter |
| GB1327387A (en) * | 1969-12-11 | 1973-08-22 | Cav Ltd | Lapping honing or the like machine |
| DE2950881C2 (de) * | 1979-12-18 | 1983-06-01 | Fa. Peter Wolters, 2370 Rendsburg | Steuereinrichtung für den Bearbeitungsdruck an Läpp-, Hon- und Schleißmaschinen |
| US4545153A (en) * | 1983-12-12 | 1985-10-08 | Charlton Associates | Force sensor for controlling polishing pad pressure |
-
1986
- 1986-04-18 DK DK180586A patent/DK155299B/da not_active Application Discontinuation
-
1987
- 1987-04-15 JP JP62092965A patent/JPS62251071A/ja active Pending
- 1987-04-15 EP EP87105575A patent/EP0246448A3/en not_active Withdrawn
- 1987-04-17 US US07/040,535 patent/US4771578A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0246448A2 (en) | 1987-11-25 |
| JPS62251071A (ja) | 1987-10-31 |
| US4771578A (en) | 1988-09-20 |
| EP0246448A3 (en) | 1989-07-05 |
| DK180586A (da) | 1987-10-19 |
| DK180586D0 (da) | 1986-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DK155299B (da) | Apparat til slibning eller polering af emner | |
| JP5675778B2 (ja) | 表面形状の測定方法および装置 | |
| US4802285A (en) | Method and apparatus for ascertaining the radial location of a new wheel profile to be produced by a reprofiling operation | |
| SE449311B (sv) | Styrkoppling ingaende i en anordning for atdragning av ett festelement till dess streckgrens | |
| US3902283A (en) | Gem grinder with approach control means | |
| GB2207371A (en) | Apparatus and methods for automatically determining the radius described by a tool tip mounted for a rotary machining operation | |
| US10180381B2 (en) | Rotary rheometer | |
| US4090403A (en) | Apparatus for judging the useful life of tools | |
| GB2481476A (en) | Centring method for optical elements | |
| US20020020256A1 (en) | Cutter head adjustment device | |
| JP6193862B2 (ja) | 眼科用レンズのトリミング・プロセス | |
| US5212657A (en) | Kinetofrictional force testing apparatus | |
| US4475393A (en) | Method and device for positioning workpieces to be balanced | |
| US4420910A (en) | Control device for a grinding machine | |
| JPH03104561A (ja) | 研削条件制御方法 | |
| US3762104A (en) | Control device on machine tools | |
| CN114473672A (zh) | 一种非标零件精密端面磨削系统、磨削方法及存储介质 | |
| TWI223802B (en) | Method for determining an unbalanced disk in disk drive system using slewing amplitude of compact disk | |
| SU1116913A1 (ru) | Устройство дл шлифовани микрокристаллов | |
| JP2001252868A (ja) | レンズの加工方法および加工装置 | |
| JPH0890409A (ja) | 研削装置 | |
| JPS63174873A (ja) | 工具の刃面位置検出方法および検出装置 | |
| JPS63114877A (ja) | 数値制御研削盤における砥石の加工装置 | |
| JPH09295256A (ja) | コイルスプリング端面研削システム | |
| SU854695A1 (ru) | Доводочна головка |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PHB | Application deemed withdrawn due to non-payment or other reasons |