DE3917725C2 - Optischer Abtaster - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen optischen Abtaster gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
Bei einem derartigen optischen Abtaster, der in einer optischen Platten
einrichtung usw. verwendet wird, wird bei einer Bewegung einer Objek
tivlinse in der Spurrichtung ein Lichtpunkt auf der Oberfläche eines
lichtempfindlichen Elements bewegt, wobei Versetzungsfehler bei dem
Fokussierfehler-Detektionssignal auftreten können. Um diese zu ver
meiden, wurden verschiedene Arten optischer Systeme vorgeschlagen.
Fig. 4 zeigt verschiedene Arten dieser im Stand der Technik üblichen
optischen Abtastsysteme mit entsprechenden optischen Einrichtungen.
In Fig. 4 ist mit der Bezugsziffer 10 eine Mittellinie bezeichnet, um die
sich die optische Platte dreht, und 20 stellt eine in Radialrichtung ver
laufende Linie auf der Platte dar. Bei dem in (1) gezeigten optischen
System wird ein Strahlteiler 12 anstelle eines Prismas verwendet, und ein
Astigmatismus wird durch eine zylindrische Linse 14 erzeugt. Mit 11 ist
eine Laserlichtquelle bezeichnet. Mit 13 ist ein Spiegel zum Ablenken
eines von dem Strahlteiler kommenden Lichtstrahls in einem rechten
Winkel bezeichnet, um diesen auf eine Aufzeichnungsspur der Platte zu
richten. 15 ist eine Linse zum stärkeren Vergrößern für das empfangene
Licht. 16 ist ein lichtempfindliches Element. Eine Objektivlinse ist zwi
schen dem Spiegel 13 und der Platte angeordnet.
Das in Fig. 4 (2) gezeigte optische System ist ein optisches System, bei
dem ein Halbspiegel 22 als Strahlteiler verwendet wird, und ein neuer
Astigmatismus wird mit Hilfe einer zylindrischen Linse 24 synthetisiert.
Mit der Bezugsziffer 21 ist eine Laserlichtquelle bezeichnet. 23 ist ein
Spiegel zum Ablenken eines von dem Strahlteiler 22 kommenden Licht
strahls unter einem rechten Winkel, um denselben auf eine Aufzeich
nungsspur auf der Platte zu richten. Mit 25 ist eine Linse zum Verstärken
der Vergrößerung für das empfangene Licht bezeichnet. 26 ist ein licht
empfindliches Element. Eine Objektivlinse ist zwischen dem Spiegel 23
und der Platte angeordnet.
Das in Fig. 4 (3) gezeigte optische System ist ein optisches System, bei
dem ein Halbspiegel 32 als Strahlteiler verwendet wird, und die optische
Achse, die diesen Strahlteiler 32 mit einem lichtempfindlichen Element 36
verbindet, ist um einige zehn Grade (beispielsweise 45°) bezüglich der
Objektivlinsen-Bewegungsrichtung bei der Spurverfolgung geneigt. Der
Strahlteiler 32 bildet eine einen Astigmatismus erzeugende Einrichtung.
Mit 31 ist eine Laserlichtquelle bezeichnet. 33 ist ein Spiegel zum Ablen
ken eines von dem Strahlteiler 32 kommenden Lichtstrahls unter einem
rechten Winkel, um denselben auf eine Aufzeichnungsspur auf der Platte
zu richten. Mit 35 ist eine Linse zur Verstärkung der Vergrößerung für
das empfangene Licht bezeichnet. 36 ist ein lichtempfindliches Element.
Eine Objektivlinse ist zwischen dem Spiegel 33 und der Platte angeord
net.
Bei allen den vorstehend beschriebenen optischen Systemen wird beim
Bewegen der Objektivlinse in Spurrichtung, wenn ein Lichtpunkt nicht
längs den beiden Unterteilungslinien bewegt wird, welche die lichtemp
findliche Fläche des lichtempfindlichen Elements in vier Abschnitt unter
teilen, welche senkrecht zueinander sind, wie dies in gebrochenen Linien
in Fig. 5 (2) gezeigt ist, ein Versetzungsfehler in dem Fokussierungs
detektionssignal erzeugt. Daher wird die den Astigmatismus erzeugende
Richtung um einige zehn Grade bezüglich der Objektivlinsenbewegungs
richtung für die Spurverfolgung gedreht, so daß der Lichtpunkt sich längs
einer der Unterteilungslinien auf den vier unterteilten lichtempfindlichen
Elementen bewegt, wie dies in Fig. 5 (1) gezeigt ist, um die vorstehend
beschriebenen Versetzungsfehler zu reduzieren.
Bei dem in Fig. 4 (1) gezeigten optischen System ist es erforderlich,
einen Strahlteiler mit einem teuren Prisma zu verwenden, wodurch die
Kosten für den optischen Abtaster steigen. Bei dem optischen System,
das in Fig. 4 (2) gezeigt ist, ist es nicht möglich, die Erzeugungsrichtung
und die Vergrößerung des Astigmatismus frei zu wählen, da der Astigma
tismus durch die Verknüpfung des Strahlteilers mit der zylindrischen
Linse erzeugt wird, so daß bei dieser Auslegung sich die Schwierigkeit
ergibt, daß die Auslegungsfreiheit beschränkt ist. Bei dem optischen
System, das in Fig. 4 (3) gezeigt ist, ist es erforderlich, die optische
Achse auf komplizierte Weise zu beugen bzw. abzulenken. Daher ist es
schwierig, eine Herstellungsgenauigkeit sicherzustellen, so daß hierbei die
Neigung besteht, daß man ein schwaches Leistungsvermögen hat. Da
ferner bei den optischen Systemen, die in den Fig. 4 (2) und 4 (3) gezeigt
sind, Fokussierfehler durch den Astigmatismus des Strahlteilers erzeugt
werden, sind zur Erzielung einer vorbestimmten Fokussierungsfehler-
Detektionscharakteristik die Stärke des Astigmatismus (Bereich des
Astigmatismus), d. h. die Dicke und das Material des Strahlteilers, Be
schränkungen unterworfen. Ferner ist bei allen vorstehend genannten
optischen Systemen ein weiteres Teil, wie eine konvexe Linse, erforder
lich, um einen vorbestimmten Wert für die Vergrößerung auf der Licht
aufnahmeseite zu erhalten.
Ein optischer Abtaster der gattungsgemäßen Art, der im wesentlichen
dem unter Bezugnahme auf Fig. 4 (2) beschriebenen optischen Abtaster
des Stands der Technik entspricht, ist aus der US 4 731 527 bekannt.
Der in dieser Druckschrift vorgeschlagene optische Abtaster unterschei
det sich von dem in Fig. 4 (2) dargestellten im wesentlichen nur darin,
daß die zwischen der Planparallelplatte und dem optischen Sensor
vorgesehene Linse auf ihrer dem optischen Sensor zugewandten Seite
eine konkav gekrümmte Fläche aufweist.
Der mittels dieser einzigen gekrümmten Fläche erzeugte Astigmatismus
hängt somit notwendigerweise vom Astigmatismus des Strahlteilers ab.
Daher ist bei der Gestaltung der gekrümmten Fläche der Linse sowohl die
Richtung als auch die Stärke des Astigmatismus des Strahlteilers zu
berücksichtigen. Die gekrümmte Fläche der Linse muß somit zwei Para
metern entsprechen, was hinsichtlich der Gestaltung der Linse große
Schwierigkeiten mit sich bringt und großen Aufwand bei der Herstellung
erfordert.
Aus der US 4 412 723 ist es bekannt, bei Verwendung eines Strahlteilers
zur gleichzeitigen Erzeugung zweier getrennter Bilder eines Gegenstands,
nämlich eines reflektierten Bilds und eines transmittierten Bilds, eine
dünne Sammellinse hinter dem Strahlteiler im Weg des transmittierten
Lichts vorzusehen, um Astigmatimus und andere Abbildungsfehler im
transmittierten Bild zu korrigieren, die durch den Stahlteiler hervorgerufen
werden.
Diese Druckschrift gibt jedoch keinen Hinweis auf optische Systeme, die
einen Astigmatismus gewünschter Richtung und Stärke gezielt herstellen
können.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen optischen Abtaster anzugeben,
der einfacher und preisgünstiger herstellbar ist, mehr Freiheit bei der
Gestaltung der Linsenform zur Herbeiführung der optimalen Richtung und
Stärke des Astigmatismus bietet und bei dem Versetzungsfehler, die in
einem Fokussierfehlersignal infolge der Bewegung des Lichtpunkts auf
der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements in Verbindung mit der
Bewegung der Objektivlinse in der Spurrichtung erzeugt werden, mit Hilfe
eines billigen optischen Strahlteilersystems eliminiert werden, wobei es
zusätzlich auf einfache Weise möglich ist, eine beliebige Vergrößerung
bzw. Verstärkung des aufgenommenen Lichts sowie eine einfache
Adjustierung zu erreichen.
Diese Aufgabe wird durch einen optischen Abtaster gemäß Anspruch 1
gelöst.
Der Astigmatismus wird durch den Umstand erzeugt, daß der Lichtstrahl
durch die Planparallelplatte des Strahlteilers geht. Dieser Astigmatismus
wird einmal durch die dem Strahlteiler zugewandte torische oder zylind
rische Fläche der Korrekturlinse eliminiert, und ein neuer Astigmatismus
wird durch die dem optischen Sensor zugewandte torische Fläche der
Linse erzeugt. Eine Versetzung des Fokussierfehler-Detektionssignales
läßt sich dadurch vermeiden, daß die Richtung dieses neuen Astigmatis
mus um über 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungsrichtung zur
Spurverfolgung geneigt wird.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich
aus der nachstehenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform
unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung. Darin zeigt:
Fig. 1 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung der Ausle
gung des optischen Systems, wobei eine bevorzugte Aus
führungsform des optischen Abtasters nach der Erfindung
dargestellt ist,
Fig. 2 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung des optischen
Systems in dem Teil, in dem die Objektivlinse vorgesehen
ist, die bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform ver
wendet wird,
Fig. 3(A), 3(B) und 3(C) jeweils Querschnittsansichten zur Verdeutlichung
des Grundkonzepts des Zustands des Lichtstrahles vor, an
und hinter der Korrekturlinse bei der vorstehend beschriebe
nen bevorzugten Ausführungsform,
Fig. 4 schematische Ansichten zur Verdeutlichung der Auslegung
des optischen Systems gemäß unterschiedlichen Beispielen
von üblichen optischen Abtastern, und
Fig. 5(1) und 5(2) Vorderansichten zur Verdeutlichung von Beispielen
der Bewegung des Lichtpunktes auf der Oberfläche des
lichtempfindlichen Elements in dem optischen Abtaster.
Nachstehend wird eine bevorzugte Ausführungsform des optischen
Abtasters nach der Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3(C)
erläutert.
In den Fig. 1 und 2 wird ein Laserstrahl, der von einer Laserlichtquelle 1
abgegeben wird, mit Hilfe eines Beugungsgitters 2 in einen Lichtstrahl 0-
ter Ordnung und einen Lichtstrahl 1-ter Ordnung geteilt. Ein durch das
Beugungsgitter 2 übertragener Lichtstrahl wird durch einen Strahlteiler 3
der Halbspiegelbauart reflektiert und auf eine optische Platte 6, die ein
abzutastendes Objekt darstellt, mit Hilfe einer Objektivlinse 5 und mittels
eines total reflektierenden Spiegels 4 zur Beugung bzw. Ablenkung des
Lichtweges fokussiert. Der durch die optische Platte 6 reflektierte Licht
strahl geht durch die Objektivlinse 5 und den Spiegel 4 in umgekehrter
Richtung und erreicht eine Korrekturlinse 7, nachdem er durch den
Strahlteiler 3 gegangen ist. Der Lichtstrahl, der durch die Korrekturlinse 7
gegangen ist, trifft auf ein lichtempfindliches Element 8 auf.
Die Achse X-X, die den Strahlteiler 3 und das lichtempfindliche Element 8
enthält, ist etwa senkrecht zur Bewegungsrichtung zur Spurverfolgung T-
T der Objektivlinse 5. Der total reflektierende Spiegel 4 beugt bzw. lenkt
die optische Achse X-X ab, die parallel zur Oberfläche der optischen
Platte 6 ist, und zwar unter einem rechten Winkel, so daß man eine
optische Achse Z-Z- erhält, und hierdurch wird die Höhe des Abtasters
begrenzt. Wenn folglich es nicht erforderlich ist, die Höhe des Abtasters
zu begrenzen, kann der Spiegel 4 weggelassen werden, so daß die
optischen Achsen X-X und Z-Z miteinander übereinstimmen.
Auch ist es möglich, eine Kollimatorlinse zwischen dem Strahlteiler 3 und
der Objektivlinse 5 anzuordnen und eine Objektivlinse mit unendlicher
Vergrößerung zu verwenden.
Die Korrekturlinse 7 der vorstehend genannten Art ist aus einem Glasma
terial oder einem Kunststoffmaterial hergestellt und hat gekrümmte
Flächen R1 und R2 auf der Seite des Strahlteilers 3 bzw. der Seite des
lichtempfindlichen Elements 8. Die Fläche R1 ist eine torische oder
zylindrische Fläche, die einen Astigmatismus mit -δ m in einer solchen
Richtung erzeugt, daß der Astigmatismus von δ m kompensiert wird, der
durch den Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahl
teiler 3 geht. Die andere Fläche R2 ist eine torische oder trochoidförmige
Fläche, um einen Astigmatismus δc in einer beliebigen Richtung (im
Prinzip vorzugsweise unter 45°) zu erzeugen und zugleich die Vergröße
rung des Bildes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements 8 auf
einen vorbestimmten Wert einzustellen. Die Flächen R1 und R2 können
von vorne und hinten ausgetauscht werden.
Nachstehend wird die Arbeitsweise dieser bevorzugten Ausführungs
weise näher erläutert.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist der Querschnitt des Lichtstrahls vor der
Korrekturlinse 7 mit A bezeichnet. Der Querschnitt des Lichtstrahls an
dem Mittelpunkt zwischen den vorderen und hinteren Flächen R1 und R2
ist mit B bezeichnet, und der Querschnitt des Lichtstrahls hinter der
Fläche R2 ist mit C bezeichnet.
Da der Strahlteiler 3 eine Planparallelplatte ist, die schräg angeordnet ist,
wird ein Astigmatismus von am im fokussierten Lichtstrahl erzeugt, der
durch den Strahlteiler 3 gegangen ist. Die Richtung der Erzeugung dieses
Astigmatismus ist eindeutig in Abhängigkeit von der Neigungsrichtung
des Strahlteilers 3 bestimmt. Beispielsweise wird sie in der Richtung
erzeugt, die in Fig. 3(A) angedeutet ist. Um hierbei die Versetzungsfehler
infolge der Verschiebung des Lichtpunktes zu eliminieren, wenn die
Objektivlinse 5 in Spurrichtung bewegt wird, ist die Richtung des Astig
matismus von δm um etwa 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungs
richtung zur Spurverfolgung geneigt.
Die Fläche R1 der Korrekturlinse 7 ist eine torische oder zylindrische
Fläche, die eine Krümmung derart hat, daß ein Astigmatismus in umge
kehrter Richtung erzeugt wird, um den Astigmatismus von δm auszuglei
chen, und daher wird der Lichtstrahl, der durch diese Fläche gegangen
ist, sphärisch zu einer Welle fokussiert, die keinen Astigmatismus enthält,
wie dies aus Fig. 3(B) zu ersehen ist.
Andererseits ist die Fläche R2 der Korrekturlinse 7 eine torische oder
trochoidförmige Fläche mit einer Achse der Anisotropie in einer beliebigen
Richtung θ, welche einen neuen Astigmatismus in Abhängigkeit von der
Krümmung der Fläche R2 erzeugt. Die Stärke dieses Astigmatismus ist
derart bestimmt, daß sie für die Detektion von Fokussierfehlern des
Abtasters notwendig und ausreichend ist. Die vorstehend genannte
Fläche R2 wirkt als eine Vergrößerungslinse in Abhängigkeit von der
mittleren Krümmung derselben, und die Vergrößerung des Bildes auf der
Oberfläche des lichtempfindlichen Elements 8 wird derart eingestellt, daß
man einen vorbestimmten Wert hat, der für die Montage und die Adju
stierung des Abtasters erwünscht ist. Meist beträgt die Vergrößerung bei
allgemeinen Abtastern für Kompaktplatten 10 bis 20 in Abhängigkeit von
der Punktgröße auf der lichtaufnehmenden Fläche usw. Die Richtung des
neuen Astigmatismus ist um etwa 45° bezüglich der Objektivlinsen-
Bewegungsrichtung für die Abtastung geneigt. Auf diese Weise ist es
möglich, Versetzungsfehler in dem Fokussierfehler-Detektionssignal zu
verhindern.
Bei der in den Figuren bevorzugten gezeigten Ausführungsform ist die
optische Achse S-S der Korrekturlinse um ø bezüglich der optischen
Achse X-X geneigt. Dies dient zum Zwecke der Eliminierung des Ein
flusses der Koma, die durch den Strahlteiler 3 erzeugt wird, und in den
Fällen, bei denen die Einflüsse der Koma auf die Charakteristika nicht
vernachlässigt werden können, kann man diese Anordnung entsprechend
anwenden.
Da bei der vorstehend beschriebenen bevorzugten Ausführungsform die
Funktion zur Kompensation des Astigmatismus, der durch den Strahlteiler
erzeugt wird, und die Funktion der Einstellung der Vergrößerung des
Bildes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements auf einen
vorbestimmten Wert durch Erzeugung eines neuen Astigmatismus in
einer beliebigen Richtung in einer einzigen Linse vereinigt sind, bringt die
Erfindung eine Anzahl von Vorteilen mit sich.
- 1. Da die Stärke und die Richtung des Astigmatismus beliebig unter Verwendung der gekrümmten Flächen gewählt werden kann, die torisch und/oder trochoidförmig sind, läßt sich die Auslegungsfreiheit beträcht lich erweitern, und es ist möglich, ein optimales optisches System zu verwirklichen.
- 2. Da der Strahlteiler und die optische Achse, die das lichtempfindliche Element hiermit verbindet, frei gewählt werden können, erhält man eine erweiterte Auslegungsfreiheit für die Formgestaltung des optischen Kopfs, und es ist möglich, ein einfaches optisches System darzustellen.
- 3. Da die Anzahl der optischen Elemente verringert werden kann, ist es einfach, die Präzision einzuhalten, und die Bedienbarkeit für die Adjustie rung ist ebenfalls wesentlich verbessert.
- 4. Da es möglich ist, auf einfache Weise den Astigmatismus, der durch den Strahlteiler erzeugt wird, mit Hilfe der Korrekturlinse zu eliminieren, ist es möglich, beliebiges Material, eine beliebige Dicke, usw. für den Spiegel zu wählen, ohne daß hierdurch die Fokussierfehler-Detektions charakteristika beeinflußt werden.
Ferner ist es möglich, daß beide Flächen R1 und R2 der Korrekturlinse
torisch ausgebildet sind. In diesem Fall kann die Krümmung, die man
durch Synthetisierung der mittleren Krümmungen der beiden Flächen
erhält, als ein Faktor betrachtet werden, der die Verstärkung der Ab
bildung einer Verstärkungslinse bestimmt.
Die beiden Flächen R1 und R2 der Korrekturlinse können wechselseitig
von vorne und hinten ausgetauscht werden. Daher ändert sich natürlich
die optimale Krümmung mehr oder weniger, was auf den Umstand
zurückzuführen ist, daß die Positionen der beiden Flächen in der opti
schen Achsrichtung wechselseitig von vorne und hinten ausgetauscht
werden.
Ein Polarisierungsspiegel oder ein Prisma kann als ein Strahlteiler (Isola
tor) verwendet werden, und anstelle hiervon kann ein Halbspiegel oder
ein Halbprisma der nicht-polarisierenden Bauart verwendet werden.
Da bei der Erfindung die Funktion zur Kompensation des Astigmatismus,
der durch den Strahlteiler erzeugt wird, und die Funktion der Einstellung
der Vergrößerung der Abbildung auf der Oberfläche des lichtempfindli
chen Elements auf einen vorbestimmten Wert durch die Erzeugung eines
neuen Astigmatismus in einer beliebigen Richtung in einer einzigen Linse
vereinigt sind, läßt sich die Stärke und die Richtung des Astigmatismus
beliebig unter Anwendung der gekrümmten Flächen wählen. Daher
erweitert sich die Auslegungsfreiheit beträchtlich. Auch ist es möglich,
daß man auf diese Weise ein optimales optisches System erhält. Da
ferner der Strahlteiler und die optische Achse, die das lichtempfindliche
Element hiermit verbindet, frei wählbar sind, hat man eine ausgezeich
nete Auslegungsfreiheit für die Formgestaltung des optischen Kopfs, und
es wird eine einfache Auslegung des optischen Systems ermöglicht. Da
ferner die Anzahl der optischen Elemente sich reduzieren läßt, läßt sich in
einfacher Weise die Präzision einhalten, und man erhält eine gute Bedien
barkeit für die Adjustierung des Systems.
Zusammenfassend gibt die Erfindung einen optischen Abtaster unter
Verwendung eines Strahlteilers mit einer Planparallelplatte an, bei dem
der Astigmatismus, der durch den Umstand erzeugt wird, daß der Licht
strahl durch den Strahlteiler geht, mit Hilfe einer Korrekturlinse ausgegli
chen wird, die gekrümmte Flächen hat.
Claims (3)
1. Optischer Abtaster,
mit einer Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines Lichtstrahles für die optische Abtastung eines Objektes (6),
einem den Lichtstrahl der Lichtquelle (1) zu dem Objekt (6) hin lenkenden Strahlenteiler (3) in Form einer Planparallelplatte,
einem optischen Sensor (8) zur Detektion des von dem Objekt (6) reflektierten und danach von dem Strahlenteiler (3) durchgelassenen Lichtstrahles und
einer einen Astigmatismus in einer Richtung erzeugenden Linse (7) zwischen dem Strahlenteiler (3) und dem optischen Sensor, die auf ihrer dem optischen Sensor (8) zugewandten Seite eine torische Fläche (R2) aufweist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Linse (7) auf ihrer dem Strahlenteiler (3) zugewandten Seite eine torische oder zylindrische Fläche (R1) aufweist, die den vom Strahlenteiler (3) erzeugten Astigmatismus kompensiert, und
daß die Linse (7) mit ihrer dem optischen Sensor (8) zugewandten torischen Fläche (R2) einen vom Astigmatismus des Strahlenteilers (3) unabhängigen Astigmatismus erzeugt.
mit einer Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines Lichtstrahles für die optische Abtastung eines Objektes (6),
einem den Lichtstrahl der Lichtquelle (1) zu dem Objekt (6) hin lenkenden Strahlenteiler (3) in Form einer Planparallelplatte,
einem optischen Sensor (8) zur Detektion des von dem Objekt (6) reflektierten und danach von dem Strahlenteiler (3) durchgelassenen Lichtstrahles und
einer einen Astigmatismus in einer Richtung erzeugenden Linse (7) zwischen dem Strahlenteiler (3) und dem optischen Sensor, die auf ihrer dem optischen Sensor (8) zugewandten Seite eine torische Fläche (R2) aufweist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Linse (7) auf ihrer dem Strahlenteiler (3) zugewandten Seite eine torische oder zylindrische Fläche (R1) aufweist, die den vom Strahlenteiler (3) erzeugten Astigmatismus kompensiert, und
daß die Linse (7) mit ihrer dem optischen Sensor (8) zugewandten torischen Fläche (R2) einen vom Astigmatismus des Strahlenteilers (3) unabhängigen Astigmatismus erzeugt.
2. Optischer Abtaster nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Richtung des Astigmatismus, der von der torischen Fläche
(R2) auf der dem optischen Sensor (8) zugewandten Seite der Linse
(7) erzeugt wird, um etwa 45° bezüglich der Richtung des Astigma
tismus geneigt ist, den die torische oder zylindrische Fläche (R1) auf
der dem Strahlenteiler (3) zugewandten Seite der Linse (7) zur Kom
pensation des Astigmatismus des Strahlteilers (3) erzeugt.
3. Optischer Abtaster nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlenteiler (3) die Linse (7) und der optische Sensor (8)
auf einer gemeinsamen optischen Achse (X-X) liegen und daß zwi
schen dem abzutastenden Objekt (6) und dem Strahlenteiler (3) ein
total reflektierender Spiegel (4) angeordnet ist, der die optische
Achse (X-X) unter einem rechten Winkel zu einer optischen Achse (Z-
Z) ablenkt.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP63133230A JPH0677332B2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 光ピックアップ |
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