DE3917725A1 - Optischer abtaster - Google Patents

Optischer abtaster

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Description

Die Erfindung betrifft einen optischen Abtaster bzw. einen optischen Aufnehmer, bei welchem ein Strahlenteiler mit einer parallelen, ebenen Platte genutzt wird.
Bei einem optischen Abtaster, der in einer optischen Platten­ einrichtung usw. verwendet wird, wird bei einer Bewegung einer Objektivlinse in der Spurrichtung ein Lichtpunkt auf der Oberfläche eines lichtempfindlichen Elements bewegt, wobei Versetzungsfehler bei dem Fokussierfehler-Detektions­ signal auftreten können. Um diese zu vermeiden, wurden ver­ schiedene Arten optischer Systeme vorgeschlagen. Fig. 4 zeigt verschiedene Arten dieser üblichen optischen Abtast­ systeme mit entsprechenden optischen Einrichtungen.
In Fig. 4 ist mit der Bezugsziffer 10 eine Mittellinie be­ zeichnet, um die sich die optische Platte dreht, und 20 stellt eine in Radialrichtung verlaufende Linie auf der Plat­ te dar. Bei dem in (1) gezeigten optischen System wird ein Strahlteiler 12 anstelle eines Prismas verwendet, und ein Astigmatismus wird durch eine zylindrische Linse 14 erzeugt. Mit 11 ist eine Laserlichtquelle bezeichnet. Mit 13 ist ein Spiegel zum Beugen eines von dem Strahlteiler kommenden Lichtstrahls in einem rechten Winkel bezeichnet, um diesen auf eine Aufzeichnungsspur der Platte zu richten. 15 ist eine konvexe Linse zum stärkeren Vergrößern für das empfangene Licht. 16 ist ein lichtempfindliches Element. Eine Objektiv­ linse ist zwischen dem Spiegel 13 und der Platte angeordnet.
Das in Fig. 4 (2) gezeigte optische System ist ein opti­ sches System, bei dem ein Halbspiegel 22 als Strahlteiler verwendet wird, und ein neuer Astigmatismus wird mit Hilfe einer zylindrischen Linse 24 synthetisiert. Mit der Bezugs­ ziffer 21 ist eine Laserlichtquelle bezeichnet. 23 ist ein Spiegel zum Beugen eines von dem Strahlteiler 22 kommenden Lichtstrahls unter einem rechten Winkel, um denselben auf eine Aufzeichnungsspur auf der Platte zu richten. Mit 25 ist eine konvexe Linse zum Verstärken der Vergrößerung für das empfangene Licht bezeichnet. 26 ist ein lichtempfindli­ ches Element. Eine Objektivlinse ist zwischen dem Spiegel 23 und der Platte angeordnet.
Das in Fig. 4 (3) gezeigte optische System ist ein optisches System, bei dem ein Halbspiegel 32 als Strahlteiler verwendet wird, und die mit 32 verbundene optische Achse wird als Strahl­ teiler verwendet und die optische Achse, die diesen Strahl­ teiler 32 mit einem lichtempfindlichen Element 36 verbindet, ist um einige zehn Grade (beispielsweise 45°) bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungsrichtung bei der Spurverfolgung ge­ neigt. Der Strahlteiler 32 bildet eine einen Astigmatismus er­ zeugende Einrichtung. Mit 31 ist eine Laserlichtquelle be­ zeichnet. 23 ist ein Spiegel zum Beugen eines von dem Strahl­ teiler 32 kommenden Lichtstrahls und einem rechten Winkel, um denselben auf eine Aufzeichnungsspur auf der Platte zu richten. Mit 35 ist eine konvexe Linse zur Verstärkung der Vergrößerung für das empfangene Licht bezeichnet. 36 ist ein lichtempfindliches Element. Eine Objektivlinse ist zwi­ schen dem Spiegel 33 und der Platte angeordnet.
Bei allen den vorstehend beschriebenen optischen Systemen wird beim Bewegen der Objektivlinse in Spurrichtung, wenn ein Lichtpunkt nicht längs den beiden Teilungslinsen bewegt wird, welche die lichtempfindliche Fläche des lichtempfind­ lichen Element in vier Abschnitte unterteilt, welche senk­ recht zueinander sind, wie dies in gebrochenen Linien in Fig. 5 (2) gezeigt ist, ein Versetzungsfehler in dem Fo­ kussierungsdetektionssignal erzeugt. Daher wird die den Astigmatismus erzeugende Richtung um einige zehn Grade be­ züglich der Objektivlinsenbewegungsrichtung für die Spur­ verfolgung gedreht, so daß der Lichtpunkt sich längs einer der Unterteilungslinien auf den vier unterteilten licht­ empfindlichen Elementen bewegt, wie dies in Fig. 5 (1) ge­ zeigt ist, um die vorstehend beschriebenen Versetzungsfehler zu reduzieren.
Bei dem in Fig. 4 (1) gezeigten optischen System ist es er­ forderlich, einen Strahlteiler mit einem teuren Prisma zu ver­ wenden, wodurch die Kosten für den optischen Abtaster steigen. Bei dem optischen System, das in Fig. 4 (2) gezeigt ist, ist es nicht möglich, die Erzeugungsrichtung und die Vergrößerung des Astigmatismus frei zu wählen, da der Astigmatismus durch die Verknüpfung des Strahlteilers mit der zylindrischen Linse erzeugt wird, so daß bei dieser Auslegung sich die Schwierig­ keit ergibt, daß die Auslegungsfreiheit beschränkt ist. Bei dem optischen System, das in Fig. 4 (3) gezeigt ist, ist es erforderlich, die optische Achse auf komplizierte Weise zu beugen bzw. abzulenken. Daher ist es schwierig, eine Herstel­ lungsgenauigkeit sicherzustellen, so daß hierbei die Neigung besteht, daß man ein schwaches Leistungsvermögen hat. Da ferner bei den optischen Systemen, die in den Fig. 4 (2) und 4 (3) gezeigt sind, Fokussierfehler durch den Astigmatismus des Strahlteilers erzeugt werden, sind zur Erzielung einer vorbestimmten Fokussierungsfehler-Detektionscharakteristik die Stärke des Astigmatismus (Bereich des Astigmatismus), d.h. die Dicke und das Material des Strahlteilers Beschrän­ kungen unterworfen. Ferner ist bei allen vorstehend genannten optischen Systemen ein weiteres Teil, wie eine konvexe Linse, erforderlich, um einen vorbestimmten Wert für die Vergrößerung auf der Lichtaufnahmeseite zu erhalten.
Die Erfindung zielt darauf ab, unter Überwindung der zuvor geschilderten Schwierigkeiten, einen hochleistungsfähigen optischen Abtaster bereitzustellen, bei dem Versetzungs­ fehler, die in einem Fokussierfehlersignal infolge der Be­ wegung des Lichtpunktes auf der Oberfläche des lichtempfind­ lichen Elements in Verbindung mit der Bewegung der Objektiv­ linse in der Spurrichtung erzeugt werden, mit Hilfe eines billigen optischen Strahlteilersystem eliminiert sind, wobei es zusätzlich auf einfache Weise ermöglicht wird, eine be­ liebige Vergrößerung bzw. Verstärkung des aufgenommenen Lich­ tes sowie eine Adjustierung mit Hilfe eines einfachen opti­ schen Systemes zu erreichen.
Ein optischer Abtaster nach der Erfindung, bei dem ein Strahl­ teiler mit einer parallelen ebenen Platte zwischen einem abzu­ tastenden Objekt und einem lichtempfindlichen Element ange­ ordnet ist, zeichnet sich dadurch aus, daß eine Korrekturlinse mit zwei anisotrop gekrümmten Flächen zwischen dem Strahl­ teiler mit einer parallelen, ebenen Platte und dem vorstehend angegebenen lichtempfindlichen Element angeordnet ist, und daß die anisotrop gekrümmten, vorstehend genannten Flächen derart ausgebildet sind, daß der Astigmatismus ausgeglichen wird, der durch den Umstand erzeugt wird, daß derLichtstrahl durch den Strahlteiler geht und hierdurch gleichzeitig ein neuer Astigmatismus erzeugt wird, der eine beliebige Stärke in einer anderen Richtung hat.
Der Astigmatismus wird durch den Umstand erzeugt, daß der Lichtstrahl durch die parallele ebene Platte des Strahlteilers geht. Dieser Astigmatismus wird einmal durch eine anisotrop gekrümmte Fläche der Korrekturlinse eliminiert, und ein neuer Astigmatismus wird durch die andere anisotrop gekrümmte Flä­ che der vorstehend genannten Art erzeugt. Eine Versetzung des Fokussierfehler-Detektionssignales läßt sich dadurch vermeiden, daß die Richtung dieses neuen Astigmatismus um über 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungsrichtung zur Spurverfolgung geneigt wird.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung er­ geben sich aus der nachstehenden Beschreibung einer bevor­ zugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung. Darin zeigt:
Fig. 1 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung der Auslegung des optischen Systems, wobei eine bevorzugte Ausführungsform des optischen Abtasters nach der Erfindung dargestellt ist,
Fig. 2 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung des optischen Systems in dem Teil, in dem die Objektivlinse vorgesehen ist, die bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform verwendet wird,
Fig. 3(A), 3(B) und 3(C) jeweils Querschnittsansichten zur Verdeutlichung des Grundkonzepts des Zustands des Lichtstrahles vor an und hinter der Korrek­ turlinse bei der vorstehend beschriebenen be­ vorzugten Ausführungsform,
Fig. 4 schematische Ansichten zur Verdeutlichung der Auslegung des optischen Systems gemäß unter­ schiedlichen Beispielen von üblichen optischen Abtastern, und
Fig. 5 (1) und 5 (2) Vorderansichten zur Verdeutlichung von Beispielen der Bewegung des Lichtpunktes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements in dem optischen Abtaster.
Nachstehend wird eine bevorzugte Ausführungsform des op­ tischen Abtasters nach der Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3(C) erläutert.
In den Fig. 1 und 2 wird ein Laserstrahl, der von einer La­ serlichtquelle 1 abgegeben wird, mit Hilfe eines Beugungsgit­ ters 2 in einen Lichtstrahl 0-ter Ordnung und einen Licht­ strahl 1-ter Ordnung geteilt. Ein durch das Beugungsgitter 2 übertragener Lichtstrahl wird durch einen Strahlteiler 3 der Halbspiegelbauart reflektiert und auf eine optische Plat­ te 6, die ein abzutastendes Objekt darstellt, mit Hilfe ei­ ner Objektivlinse 5 und mittels eines total reflektierenden Spiegels 4 zur Beugung bzw. Ablenkung des Lichtweges fokus­ siert. Der durch die optische Platte 6 reflektierte Licht­ strahl geht durch die Objektivlinse 5 und den Spiegel 4 in umgekehrter Richtung und erreicht eine Korrekturlinse 7, nach­ dem er durch den Strahlteiler 3 gegangen ist. Der Lichtstrahl, der durch die Korrekturlinse 7 gegangen ist, trifft auf ein lichtempfindliches Element 8 auf.
Die Achse X-X, die den Strahlteiler 3 und das lichtempfind­ liche Element 8 enthält, ist etwa senkrecht zur Bewegungs­ richtung zur Spurverfolgung T-T der Objektivlinse 5. Der total reflektierende Spiegel 4 beugt bzw. lenkt die optische Achse X-X ab, die parallel zur Oberfläche der optischen Platte 6 ist, und zwar unter einem rechten Winkel, so daß man eine op­ tische Achse Z-Z erhält, und hierdurch wird die Höhe des Ab­ tasters unterdrückt. Wenn folglich es nicht erforderlich ist, die Höhe des Abtasters zu unterdrücken, kann der Spiegel 4 weggelassen werden, so daß die optischen Achsen X-X und Z-Z miteinander übereinstimmen.
Auch ist es möglich, eine Kollimatorlinse zwischen dem Strahl­ teiler 3 und der Objektivlinse 5 anzuordnen, und eine Objektiv­ linse mit unendlicher Vergrößerung zu verwenden.
Die Korrekturlinse 7 der vorstehend genannten Art ist aus einem Glasmaterial oder einem Kunststoffmaterial herge­ stellt und hat anisotrop gekrümmte Flächen R 1 und R 2 auf der Seite des Strahlteilers 3 und der Seite des lichtem­ pfindlichen Elements 8 jeweils. Eine der anisotrop gekümm­ ten Flächen R 1 der vorstehend genannten Art ist eine torische oder zylindrische Fläche, die einen Astigmatismus mit -δ m in einer solchen Richtung erzeugt, daß der Astigmatismus von δ m kompensiert wird, der durch den Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahlteiler 3 geht. Die andere an­ isotrop gekrümmte Fläche R 2 ist eine torische oder trochoid­ förmige Fläche, um einen Astigmatismus δ c in einer beliebigen Richtung (im Prinzip vorzugsweise unter 45°) zu erzeugen und zugleich die Vergrößerung des Bildes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements 8 auf einen vorbestimmten Wert einzustellen. Die anisotrop gekrümmten Flächen R 1 und R 2 kön­ nen von vorne und hinten ausgetauscht werden.
Nachstehend wird die Arbeitsweise dieser bevorzugten Ausfüh­ rungsweise näher erläutert.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist der Querschnitt des Lichtstrahls vor der Korrekturlinse 7 mit A bezeichnet. Der Querschnitt des Lichtstrahls an dem Mittelpunkt zwischen den vorderen und hin­ teren, anisotrop gekrümmten Flächen R 1 und R 2 ist mit B be­ zeichnet, und der Querschnitt des Lichtstrahls hinter der an­ isotropen gekrümmten Fläche R 2 ist mit C bezeichnet.
Da der Strahlteiler 3 eine parallele Planeplatte ist, die schräg angeordnet ist, wird ein Astigmatismus von δ m im fo­ kussierten Lichtstrahl erzeugt, der durch den Strahlteiler 3 gegangen ist. Die Richtung der Erzeugung dieses Astigmatis­ mus ist eindeutig in Abhängigkeit von der Neigungsrichtung des Strahlteilers 3 bestimmt. Beispielsweise wird sie in der Richtung erzeugt, die in Fig. 3(A) angedeutet ist. Um hierbei die Versetzungsfehler infolge der Verschiebung des Licht­ punktes zu eliminieren, wenn die Objektivlinse 5 in Spur­ richtung bewegt wird, ist die Richtung des Astigmatismus von δ m um etwa 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungs­ richtung zur Spurverfolgung geneigt.
Die Fläche R 1 der Korrekturlinse 7 ist eine torische oder zylindrische Fläche, die eine anisotrope Krümmung derart hat, daß ein Astigmatismus in umgekehrter Richtung erzeugt wird, um den Astigmatismus von m auszugleichen, und daher wird der Lichtstrahl, der durch diese Fläche gegangen ist, sphärisch zu einer Welle fokussiert, die keinen Astigmatis­ mus enthält, wie dies aus Fig. 3(B) zu ersehen ist.
Andererseits ist die Fläche R 2 der Korrekturlinse 7 eine to­ rische oder trochoidförmige Fläche mit einer Achse der Aniso­ tropie in einer beliebigen Richtung R, welche einen neuen Astigmatismus in Abhängigkeit von der Stärke der Anisotropie bei der Krümmung der Fläche R 2 der vorstehend genannten Art erzeugt. Die Stärke dieses Astigmatismus ist derart be­ stimmt, daß sie für die Detektionsfokussierfehler des Abta­ sters notwendig und ausreichend ist. Die vorstehend genannte Fläche R 2 wirkt als eine Vergrößerungslinse in Abhängigkeit von der mittleren Krümmung derselben, und die Vergrößerung des Bildes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Ele­ ments 8 wird derart eingestellt, daß man einen vorbestimmten Wert hat, der für die Montage und die Adjustierung des Ab­ tasters erwünscht ist. Meist beträgt die Vergrößerung bei allgemeinen Abtastern für Kompaktplatten 10 bis 20 in Ab­ hängigkeit von der Punktgröße auf der lichtaufnehmenden Flä­ che usw. Die Richtung des neuen Astigmatismus ist um etwa 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungsrichtung für die Abtastung geneigt. Auf diese Weise ist es möglich, Versetzungs­ fehler in dem Fokussierfehlerdetektionssignal zu verhindern.
Bei der in den Figuren bevorzugten gezeigten Ausführungsform ist die optische Achse S-S der Korrekturlinse um R bezüg­ lich der optischen Achse X-X geneigt. Dies dient zum Zwecke der Eliminierung des Einflusses der Koma, die durch den Strahl­ teiler 3 erzeugt wird und in den Fällen, bei denen die Ein­ flüsse der Koma auf die Charakteristika nicht vernachlässigt werden können, kann man diese Anordnung entsprechend anwen­ den.
Da bei der vorstehend beschriebenen bevorzugten Ausführungs­ form die Funktion zur Kompensation des Astigmatismus, der durch den Strahlteiler erzeugt wird, und die Funktion der Ein­ stellung der Vergrößerung des Bildes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements auf einen vorbestimmten Wert durch Erzeugung eines neuen Astigmatismus in einer beliebigen Rich­ tung in einer einzigen Linse vereinigt sind, bringt die Er­ findung eine Anzahl von Vorteilen mit sich.
  • (1) Da die Stärke und die Richtung des Astigmatismus beliebig unter Verwendung der anisotrop gekrümmten Flächen gewählt wer­ den kann, die torisch und/oder trochoidförmig sind, läßt sich die Auslegungsfreiheit beträchtlich erweitern, und es ist möglich, ein optimales optisches System zu verwirklichen.
  • (2) Da der Strahlteiler und die optische Achse, die das licht­ empfindliche Element hiermit verbindet, frei gewählt werden können, erhält man eine erweiterte Auslegungsfreiheit für die Formgestaltung des optischen Kopfs und es ist möglich, ein ein­ faches optisches System darzustellen.
  • (3) Da die Anzahl der optischen Elemente verringert werden kann, ist es einfach, die Präzision einzuhalten, und die Bedienbar­ keit für die Adjustierung ist ebenfalls wesentlich verbessert.
  • (4) Da es möglich ist, auf einfache Weise den Astigmatismus der durch den Strahlteiler erzeugt wird, mit Hilfe der Kor­ rekturlinse zu eliminieren, ist es möglich, beliebiges Mate­ rial, eine beliebige Dicke, usw. für den Spiegel zu wählen, ohne daß hierdurch die Fokussierfehler-Detektionscharakte­ ristika beeinflußt werden.
Ferner ist es möglich, daß beide Flächen R 1 und R 2 der Korrek­ turlinse torisch ausgebildet sind. In diesem Fall kann die Krüm­ mung, die man durch Syntherisierung der mittleren Krümmungen der beiden Flächen erhält, als ein Faktor betrachtet werden, der die Verstärkung der Abbildung einer Verstärkungslinse be­ stimmt.
Die beiden Flächen R 1 und R 2 der Korrekturlinse können wechsel­ seitig von vorne und hinten ausgetauscht werden. Daher ändert sich natürlich die optimale Krümmung mehr oder weniger, was auf den Umstand zurückzuführen ist, daß die Positionen der bei­ den Flächen in der optischen Achsrichtung wechselseitig von vorne und hinten ausgetauscht werden.
Ein Polarisierungsspiegel oder ein Prisma kann als ein Strahl­ teiler (Isolator) verwendet werden, und anstelle hiervon kann ein Halbspiegel oder ein Halbprisma der nicht-polarisierenden Bauart verwendet werden.
Da bei der Erfindung die Funktion zur Kompensation des Astigma­ tismus, der durch den Strahlteiler erzeugt wird, und die Funk­ tion der Einstellung der Vergrößerung der Abbildung auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements auf einen vorbe­ stimmten Wert durch die Erzeugung eines neuen Astigmatismus in einer beliebigen Richtung in einer einzigen Linse vereinigt sind, läßt sich die Stärke und die Richtung des Astigmatismus beliebig unter Anwendung der anisotrop gekrümmten Flächen wäh­ len. Daher erweitert sich die Auslegungsfreiheit beträchtlich. Auch ist es möglich, daß man auf diese Weise ein optimales optisches System erhält. Da ferner der Strahlteiler und die optische Achse, die das lichtempfindliche Element hiermit verbindet, frei wählbar sind, hat man eine ausgezeichnete Auslegungsfreiheit für die Formgestaltung des optischen Kopfs, und es wird eine einfache Auslegung des optischen Sy­ stems ermöglicht. Da ferner die Anzahl der optischen Elemen­ te sich reduzieren läßt, läßt sich in einfacher Weise die Präzision einhalten, und man erhält eine gute Bedienbarkeit für die Adjustierung des Systems.
Zusammenfassend gibt die Erfindung einen optischen Abtaster unter Verwendung eines Strahlteilers mit einer parallelen, ebenen Platte an, bei dem der Astigmatismus, der durch den Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahltei­ ler geht, mit Hilfe einer Korrekturlinse ausgeglichen wird, die anisotrop gekrümmte Flächen hat.

Claims (5)

1. Optischer Abtaster, bei dem ein Strahlteiler mit einer parallelen ebenen Platte zwischen einem abzutastenden Objekt (6) und einem lichtempfindlichen Element (8) angeordnet ist, ein von einer Lichtquelle kommender Lichtstrahl durch den Strahlteiler auf das Objekt projiziert wird, und ein Licht­ strahl, der vom Objekt reflektiert wird, der durch den Strahl­ teiler gegangen ist, auf das lichtempfindliche Element (8) gerichtet wird, dadurch gekennzeichnet, daß er ferner aufweist:
eine Korrekturlinse (7), die anisotrop gekrümmte Flä­ chen (R 1, R 2) hat, und die zwischen dem Strahlteiler (3) mit der parallelen ebenen Platte und dem lichtempfindlichen Ele­ ment (8) angeordnet ist,
wobei die anisotrop gekrümmten Flächen (R 1, R 2) der­ art ausgebildet sind, daß der Astigmatismus (m), der durch den Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahl­ teiler (3) geht, kompensiert wird und zugleich ein neuer Astigmatismus (c) erzeugt wird, der eine beliebige Stärke in einer anderen Richtung hat.
2. Optischer Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine der anisotrop gekrümmten Flächen (R 1) auf der Seite des Strahlteilers (3) mit der parallelen ebenen Platte der Korrekturlinse (7) eine torische oder zylindrische Fläche ist, die einen Astigmatismus in einer solchen Rich­ tung erzeugt, daß der Astigmatismus (δ m), der durch den Um­ stand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahlteiler (3) mit der parallelen ebenen Platte geht, kompensiert wird.
3. Optischer Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine der anisotrop gekrümmten Flächen (R 2) auf der Seite des lichtempfindlichen Elements (8) der Korrek­ turlinse (7) eine torische oder trochoidförmige Fläche hat, welche einen Astigmatismus (δ c) in einer beliebigen Richtung erzeugt und zugleich die Vergrößerung der Abbildung auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements (8) auf einen vorbestimmten Wert einstellt.
4. Optischer Abtaster nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Richtung des Astigmatismus, welcher durch die anisotrop gekrümmte Fläche (R 2) auf der Seite des licht­ empfindlichen Elements (8) der Korrekturlinse (7) erzeugt wird, um etwa 45° bezüglich der Richtung des Astigmatismus (δ m) geneigt ist, der durch die anisotrop gekrümmte Fläche (R 1) auf der Seite des Strahlteilers (3) mit der parallelen Platte der Korrekturlinse (7) erzeugt wird.
5. Optischer Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein total reflektierender Spiegel (4) zwi­ schen dem abzutastenden Objekt (6) und dem lichtempfindli­ chen Element angeordnet ist, und daß die optische Achse (X-X) einschließlich des Strahlteilers (3) mit der parallelen ebenen Platte und des lichtempfindlichen Elements (8) um einen rechten Winkel zur Bildung einer optischen Achse (Z-Z) abgelenkt wird.
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