DE3917725A1 - Optischer abtaster - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen optischen Abtaster bzw. einen
optischen Aufnehmer, bei welchem ein Strahlenteiler mit
einer parallelen, ebenen Platte genutzt wird.
Bei einem optischen Abtaster, der in einer optischen Platten
einrichtung usw. verwendet wird, wird bei einer Bewegung
einer Objektivlinse in der Spurrichtung ein Lichtpunkt auf
der Oberfläche eines lichtempfindlichen Elements bewegt,
wobei Versetzungsfehler bei dem Fokussierfehler-Detektions
signal auftreten können. Um diese zu vermeiden, wurden ver
schiedene Arten optischer Systeme vorgeschlagen. Fig. 4
zeigt verschiedene Arten dieser üblichen optischen Abtast
systeme mit entsprechenden optischen Einrichtungen.
In Fig. 4 ist mit der Bezugsziffer 10 eine Mittellinie be
zeichnet, um die sich die optische Platte dreht, und 20
stellt eine in Radialrichtung verlaufende Linie auf der Plat
te dar. Bei dem in (1) gezeigten optischen System wird ein
Strahlteiler 12 anstelle eines Prismas verwendet, und ein
Astigmatismus wird durch eine zylindrische Linse 14 erzeugt.
Mit 11 ist eine Laserlichtquelle bezeichnet. Mit 13 ist ein
Spiegel zum Beugen eines von dem Strahlteiler kommenden
Lichtstrahls in einem rechten Winkel bezeichnet, um diesen
auf eine Aufzeichnungsspur der Platte zu richten. 15 ist eine
konvexe Linse zum stärkeren Vergrößern für das empfangene
Licht. 16 ist ein lichtempfindliches Element. Eine Objektiv
linse ist zwischen dem Spiegel 13 und der Platte angeordnet.
Das in Fig. 4 (2) gezeigte optische System ist ein opti
sches System, bei dem ein Halbspiegel 22 als Strahlteiler
verwendet wird, und ein neuer Astigmatismus wird mit Hilfe
einer zylindrischen Linse 24 synthetisiert. Mit der Bezugs
ziffer 21 ist eine Laserlichtquelle bezeichnet. 23 ist ein
Spiegel zum Beugen eines von dem Strahlteiler 22 kommenden
Lichtstrahls unter einem rechten Winkel, um denselben auf
eine Aufzeichnungsspur auf der Platte zu richten. Mit 25
ist eine konvexe Linse zum Verstärken der Vergrößerung für
das empfangene Licht bezeichnet. 26 ist ein lichtempfindli
ches Element. Eine Objektivlinse ist zwischen dem Spiegel 23
und der Platte angeordnet.
Das in Fig. 4 (3) gezeigte optische System ist ein optisches
System, bei dem ein Halbspiegel 32 als Strahlteiler verwendet
wird, und die mit 32 verbundene optische Achse wird als Strahl
teiler verwendet und die optische Achse, die diesen Strahl
teiler 32 mit einem lichtempfindlichen Element 36 verbindet,
ist um einige zehn Grade (beispielsweise 45°) bezüglich der
Objektivlinsen-Bewegungsrichtung bei der Spurverfolgung ge
neigt. Der Strahlteiler 32 bildet eine einen Astigmatismus er
zeugende Einrichtung. Mit 31 ist eine Laserlichtquelle be
zeichnet. 23 ist ein Spiegel zum Beugen eines von dem Strahl
teiler 32 kommenden Lichtstrahls und einem rechten Winkel,
um denselben auf eine Aufzeichnungsspur auf der Platte zu
richten. Mit 35 ist eine konvexe Linse zur Verstärkung der
Vergrößerung für das empfangene Licht bezeichnet. 36 ist
ein lichtempfindliches Element. Eine Objektivlinse ist zwi
schen dem Spiegel 33 und der Platte angeordnet.
Bei allen den vorstehend beschriebenen optischen Systemen
wird beim Bewegen der Objektivlinse in Spurrichtung, wenn
ein Lichtpunkt nicht längs den beiden Teilungslinsen bewegt
wird, welche die lichtempfindliche Fläche des lichtempfind
lichen Element in vier Abschnitte unterteilt, welche senk
recht zueinander sind, wie dies in gebrochenen Linien in
Fig. 5 (2) gezeigt ist, ein Versetzungsfehler in dem Fo
kussierungsdetektionssignal erzeugt. Daher wird die den
Astigmatismus erzeugende Richtung um einige zehn Grade be
züglich der Objektivlinsenbewegungsrichtung für die Spur
verfolgung gedreht, so daß der Lichtpunkt sich längs einer
der Unterteilungslinien auf den vier unterteilten licht
empfindlichen Elementen bewegt, wie dies in Fig. 5 (1) ge
zeigt ist, um die vorstehend beschriebenen Versetzungsfehler
zu reduzieren.
Bei dem in Fig. 4 (1) gezeigten optischen System ist es er
forderlich, einen Strahlteiler mit einem teuren Prisma zu ver
wenden, wodurch die Kosten für den optischen Abtaster steigen.
Bei dem optischen System, das in Fig. 4 (2) gezeigt ist, ist
es nicht möglich, die Erzeugungsrichtung und die Vergrößerung
des Astigmatismus frei zu wählen, da der Astigmatismus durch
die Verknüpfung des Strahlteilers mit der zylindrischen Linse
erzeugt wird, so daß bei dieser Auslegung sich die Schwierig
keit ergibt, daß die Auslegungsfreiheit beschränkt ist. Bei
dem optischen System, das in Fig. 4 (3) gezeigt ist, ist es
erforderlich, die optische Achse auf komplizierte Weise zu
beugen bzw. abzulenken. Daher ist es schwierig, eine Herstel
lungsgenauigkeit sicherzustellen, so daß hierbei die Neigung
besteht, daß man ein schwaches Leistungsvermögen hat. Da
ferner bei den optischen Systemen, die in den Fig. 4 (2) und
4 (3) gezeigt sind, Fokussierfehler durch den Astigmatismus
des Strahlteilers erzeugt werden, sind zur Erzielung einer
vorbestimmten Fokussierungsfehler-Detektionscharakteristik
die Stärke des Astigmatismus (Bereich des Astigmatismus),
d.h. die Dicke und das Material des Strahlteilers Beschrän
kungen unterworfen. Ferner ist bei allen vorstehend genannten
optischen Systemen ein weiteres Teil, wie eine konvexe Linse,
erforderlich, um einen vorbestimmten Wert für die Vergrößerung
auf der Lichtaufnahmeseite zu erhalten.
Die Erfindung zielt darauf ab, unter Überwindung der zuvor
geschilderten Schwierigkeiten, einen hochleistungsfähigen
optischen Abtaster bereitzustellen, bei dem Versetzungs
fehler, die in einem Fokussierfehlersignal infolge der Be
wegung des Lichtpunktes auf der Oberfläche des lichtempfind
lichen Elements in Verbindung mit der Bewegung der Objektiv
linse in der Spurrichtung erzeugt werden, mit Hilfe eines
billigen optischen Strahlteilersystem eliminiert sind, wobei
es zusätzlich auf einfache Weise ermöglicht wird, eine be
liebige Vergrößerung bzw. Verstärkung des aufgenommenen Lich
tes sowie eine Adjustierung mit Hilfe eines einfachen opti
schen Systemes zu erreichen.
Ein optischer Abtaster nach der Erfindung, bei dem ein Strahl
teiler mit einer parallelen ebenen Platte zwischen einem abzu
tastenden Objekt und einem lichtempfindlichen Element ange
ordnet ist, zeichnet sich dadurch aus, daß eine Korrekturlinse
mit zwei anisotrop gekrümmten Flächen zwischen dem Strahl
teiler mit einer parallelen, ebenen Platte und dem vorstehend
angegebenen lichtempfindlichen Element angeordnet ist, und
daß die anisotrop gekrümmten, vorstehend genannten Flächen
derart ausgebildet sind, daß der Astigmatismus ausgeglichen
wird, der durch den Umstand erzeugt wird, daß derLichtstrahl
durch den Strahlteiler geht und hierdurch gleichzeitig
ein neuer Astigmatismus erzeugt wird, der eine beliebige
Stärke in einer anderen Richtung hat.
Der Astigmatismus wird durch den Umstand erzeugt, daß der
Lichtstrahl durch die parallele ebene Platte des Strahlteilers
geht. Dieser Astigmatismus wird einmal durch eine anisotrop
gekrümmte Fläche der Korrekturlinse eliminiert, und ein neuer
Astigmatismus wird durch die andere anisotrop gekrümmte Flä
che der vorstehend genannten Art erzeugt. Eine Versetzung
des Fokussierfehler-Detektionssignales läßt sich dadurch
vermeiden, daß die Richtung dieses neuen Astigmatismus um
über 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungsrichtung zur
Spurverfolgung geneigt wird.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung er
geben sich aus der nachstehenden Beschreibung einer bevor
zugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügte
Zeichnung. Darin zeigt:
Fig. 1 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung
der Auslegung des optischen Systems, wobei
eine bevorzugte Ausführungsform des optischen
Abtasters nach der Erfindung dargestellt ist,
Fig. 2 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung
des optischen Systems in dem Teil, in dem die
Objektivlinse vorgesehen ist, die bei der in
Fig. 1 gezeigten Ausführungsform verwendet wird,
Fig. 3(A), 3(B) und 3(C) jeweils Querschnittsansichten zur
Verdeutlichung des Grundkonzepts des Zustands
des Lichtstrahles vor an und hinter der Korrek
turlinse bei der vorstehend beschriebenen be
vorzugten Ausführungsform,
Fig. 4 schematische Ansichten zur Verdeutlichung der
Auslegung des optischen Systems gemäß unter
schiedlichen Beispielen von üblichen optischen
Abtastern, und
Fig. 5 (1) und 5 (2) Vorderansichten zur Verdeutlichung von
Beispielen der Bewegung des Lichtpunktes auf
der Oberfläche des lichtempfindlichen Elements
in dem optischen Abtaster.
Nachstehend wird eine bevorzugte Ausführungsform des op
tischen Abtasters nach der Erfindung unter Bezugnahme auf
die Fig. 1 bis 3(C) erläutert.
In den Fig. 1 und 2 wird ein Laserstrahl, der von einer La
serlichtquelle 1 abgegeben wird, mit Hilfe eines Beugungsgit
ters 2 in einen Lichtstrahl 0-ter Ordnung und einen Licht
strahl 1-ter Ordnung geteilt. Ein durch das Beugungsgitter 2
übertragener Lichtstrahl wird durch einen Strahlteiler 3
der Halbspiegelbauart reflektiert und auf eine optische Plat
te 6, die ein abzutastendes Objekt darstellt, mit Hilfe ei
ner Objektivlinse 5 und mittels eines total reflektierenden
Spiegels 4 zur Beugung bzw. Ablenkung des Lichtweges fokus
siert. Der durch die optische Platte 6 reflektierte Licht
strahl geht durch die Objektivlinse 5 und den Spiegel 4 in
umgekehrter Richtung und erreicht eine Korrekturlinse 7, nach
dem er durch den Strahlteiler 3 gegangen ist. Der Lichtstrahl,
der durch die Korrekturlinse 7 gegangen ist, trifft auf ein
lichtempfindliches Element 8 auf.
Die Achse X-X, die den Strahlteiler 3 und das lichtempfind
liche Element 8 enthält, ist etwa senkrecht zur Bewegungs
richtung zur Spurverfolgung T-T der Objektivlinse 5. Der total
reflektierende Spiegel 4 beugt bzw. lenkt die optische Achse
X-X ab, die parallel zur Oberfläche der optischen Platte 6
ist, und zwar unter einem rechten Winkel, so daß man eine op
tische Achse Z-Z erhält, und hierdurch wird die Höhe des Ab
tasters unterdrückt. Wenn folglich es nicht erforderlich ist,
die Höhe des Abtasters zu unterdrücken, kann der Spiegel 4
weggelassen werden, so daß die optischen Achsen X-X und Z-Z
miteinander übereinstimmen.
Auch ist es möglich, eine Kollimatorlinse zwischen dem Strahl
teiler 3 und der Objektivlinse 5 anzuordnen, und eine Objektiv
linse mit unendlicher Vergrößerung zu verwenden.
Die Korrekturlinse 7 der vorstehend genannten Art ist aus
einem Glasmaterial oder einem Kunststoffmaterial herge
stellt und hat anisotrop gekrümmte Flächen R 1 und R 2 auf
der Seite des Strahlteilers 3 und der Seite des lichtem
pfindlichen Elements 8 jeweils. Eine der anisotrop gekümm
ten Flächen R 1 der vorstehend genannten Art ist eine torische
oder zylindrische Fläche, die einen Astigmatismus mit -δ m
in einer solchen Richtung erzeugt, daß der Astigmatismus von
δ m kompensiert wird, der durch den Umstand erzeugt wird, daß
der Lichtstrahl durch den Strahlteiler 3 geht. Die andere an
isotrop gekrümmte Fläche R 2 ist eine torische oder trochoid
förmige Fläche, um einen Astigmatismus δ c in einer beliebigen
Richtung (im Prinzip vorzugsweise unter 45°) zu erzeugen und
zugleich die Vergrößerung des Bildes auf der Oberfläche des
lichtempfindlichen Elements 8 auf einen vorbestimmten Wert
einzustellen. Die anisotrop gekrümmten Flächen R 1 und R 2 kön
nen von vorne und hinten ausgetauscht werden.
Nachstehend wird die Arbeitsweise dieser bevorzugten Ausfüh
rungsweise näher erläutert.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist der Querschnitt des Lichtstrahls
vor der Korrekturlinse 7 mit A bezeichnet. Der Querschnitt des
Lichtstrahls an dem Mittelpunkt zwischen den vorderen und hin
teren, anisotrop gekrümmten Flächen R 1 und R 2 ist mit B be
zeichnet, und der Querschnitt des Lichtstrahls hinter der an
isotropen gekrümmten Fläche R 2 ist mit C bezeichnet.
Da der Strahlteiler 3 eine parallele Planeplatte ist, die
schräg angeordnet ist, wird ein Astigmatismus von δ m im fo
kussierten Lichtstrahl erzeugt, der durch den Strahlteiler 3
gegangen ist. Die Richtung der Erzeugung dieses Astigmatis
mus ist eindeutig in Abhängigkeit von der Neigungsrichtung
des Strahlteilers 3 bestimmt. Beispielsweise wird sie in der
Richtung erzeugt, die in Fig. 3(A) angedeutet ist. Um hierbei
die Versetzungsfehler infolge der Verschiebung des Licht
punktes zu eliminieren, wenn die Objektivlinse 5 in Spur
richtung bewegt wird, ist die Richtung des Astigmatismus
von δ m um etwa 45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungs
richtung zur Spurverfolgung geneigt.
Die Fläche R 1 der Korrekturlinse 7 ist eine torische oder
zylindrische Fläche, die eine anisotrope Krümmung derart
hat, daß ein Astigmatismus in umgekehrter Richtung erzeugt
wird, um den Astigmatismus von m auszugleichen, und daher
wird der Lichtstrahl, der durch diese Fläche gegangen ist,
sphärisch zu einer Welle fokussiert, die keinen Astigmatis
mus enthält, wie dies aus Fig. 3(B) zu ersehen ist.
Andererseits ist die Fläche R 2 der Korrekturlinse 7 eine to
rische oder trochoidförmige Fläche mit einer Achse der Aniso
tropie in einer beliebigen Richtung R, welche einen neuen
Astigmatismus in Abhängigkeit von der Stärke der Anisotropie
bei der Krümmung der Fläche R 2 der vorstehend genannten Art
erzeugt. Die Stärke dieses Astigmatismus ist derart be
stimmt, daß sie für die Detektionsfokussierfehler des Abta
sters notwendig und ausreichend ist. Die vorstehend genannte
Fläche R 2 wirkt als eine Vergrößerungslinse in Abhängigkeit
von der mittleren Krümmung derselben, und die Vergrößerung
des Bildes auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Ele
ments 8 wird derart eingestellt, daß man einen vorbestimmten
Wert hat, der für die Montage und die Adjustierung des Ab
tasters erwünscht ist. Meist beträgt die Vergrößerung bei
allgemeinen Abtastern für Kompaktplatten 10 bis 20 in Ab
hängigkeit von der Punktgröße auf der lichtaufnehmenden Flä
che usw. Die Richtung des neuen Astigmatismus ist um etwa
45° bezüglich der Objektivlinsen-Bewegungsrichtung für die
Abtastung geneigt. Auf diese Weise ist es möglich, Versetzungs
fehler in dem Fokussierfehlerdetektionssignal zu verhindern.
Bei der in den Figuren bevorzugten gezeigten Ausführungsform
ist die optische Achse S-S der Korrekturlinse um R bezüg
lich der optischen Achse X-X geneigt. Dies dient zum Zwecke
der Eliminierung des Einflusses der Koma, die durch den Strahl
teiler 3 erzeugt wird und in den Fällen, bei denen die Ein
flüsse der Koma auf die Charakteristika nicht vernachlässigt
werden können, kann man diese Anordnung entsprechend anwen
den.
Da bei der vorstehend beschriebenen bevorzugten Ausführungs
form die Funktion zur Kompensation des Astigmatismus, der
durch den Strahlteiler erzeugt wird, und die Funktion der Ein
stellung der Vergrößerung des Bildes auf der Oberfläche des
lichtempfindlichen Elements auf einen vorbestimmten Wert durch
Erzeugung eines neuen Astigmatismus in einer beliebigen Rich
tung in einer einzigen Linse vereinigt sind, bringt die Er
findung eine Anzahl von Vorteilen mit sich.
- (1) Da die Stärke und die Richtung des Astigmatismus beliebig unter Verwendung der anisotrop gekrümmten Flächen gewählt wer den kann, die torisch und/oder trochoidförmig sind, läßt sich die Auslegungsfreiheit beträchtlich erweitern, und es ist möglich, ein optimales optisches System zu verwirklichen.
- (2) Da der Strahlteiler und die optische Achse, die das licht empfindliche Element hiermit verbindet, frei gewählt werden können, erhält man eine erweiterte Auslegungsfreiheit für die Formgestaltung des optischen Kopfs und es ist möglich, ein ein faches optisches System darzustellen.
- (3) Da die Anzahl der optischen Elemente verringert werden kann, ist es einfach, die Präzision einzuhalten, und die Bedienbar keit für die Adjustierung ist ebenfalls wesentlich verbessert.
- (4) Da es möglich ist, auf einfache Weise den Astigmatismus der durch den Strahlteiler erzeugt wird, mit Hilfe der Kor rekturlinse zu eliminieren, ist es möglich, beliebiges Mate rial, eine beliebige Dicke, usw. für den Spiegel zu wählen, ohne daß hierdurch die Fokussierfehler-Detektionscharakte ristika beeinflußt werden.
Ferner ist es möglich, daß beide Flächen R 1 und R 2 der Korrek
turlinse torisch ausgebildet sind. In diesem Fall kann die Krüm
mung, die man durch Syntherisierung der mittleren Krümmungen
der beiden Flächen erhält, als ein Faktor betrachtet werden,
der die Verstärkung der Abbildung einer Verstärkungslinse be
stimmt.
Die beiden Flächen R 1 und R 2 der Korrekturlinse können wechsel
seitig von vorne und hinten ausgetauscht werden. Daher ändert
sich natürlich die optimale Krümmung mehr oder weniger, was
auf den Umstand zurückzuführen ist, daß die Positionen der bei
den Flächen in der optischen Achsrichtung wechselseitig von
vorne und hinten ausgetauscht werden.
Ein Polarisierungsspiegel oder ein Prisma kann als ein Strahl
teiler (Isolator) verwendet werden, und anstelle hiervon kann
ein Halbspiegel oder ein Halbprisma der nicht-polarisierenden
Bauart verwendet werden.
Da bei der Erfindung die Funktion zur Kompensation des Astigma
tismus, der durch den Strahlteiler erzeugt wird, und die Funk
tion der Einstellung der Vergrößerung der Abbildung auf der
Oberfläche des lichtempfindlichen Elements auf einen vorbe
stimmten Wert durch die Erzeugung eines neuen Astigmatismus in
einer beliebigen Richtung in einer einzigen Linse vereinigt
sind, läßt sich die Stärke und die Richtung des Astigmatismus
beliebig unter Anwendung der anisotrop gekrümmten Flächen wäh
len. Daher erweitert sich die Auslegungsfreiheit beträchtlich.
Auch ist es möglich, daß man auf diese Weise ein optimales
optisches System erhält. Da ferner der Strahlteiler und die
optische Achse, die das lichtempfindliche Element hiermit
verbindet, frei wählbar sind, hat man eine ausgezeichnete
Auslegungsfreiheit für die Formgestaltung des optischen
Kopfs, und es wird eine einfache Auslegung des optischen Sy
stems ermöglicht. Da ferner die Anzahl der optischen Elemen
te sich reduzieren läßt, läßt sich in einfacher Weise die
Präzision einhalten, und man erhält eine gute Bedienbarkeit
für die Adjustierung des Systems.
Zusammenfassend gibt die Erfindung einen optischen Abtaster
unter Verwendung eines Strahlteilers mit einer parallelen,
ebenen Platte an, bei dem der Astigmatismus, der durch den
Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahltei
ler geht, mit Hilfe einer Korrekturlinse ausgeglichen wird,
die anisotrop gekrümmte Flächen hat.
Claims (5)
1. Optischer Abtaster, bei dem ein Strahlteiler mit einer
parallelen ebenen Platte zwischen einem abzutastenden Objekt
(6) und einem lichtempfindlichen Element (8) angeordnet ist,
ein von einer Lichtquelle kommender Lichtstrahl durch den
Strahlteiler auf das Objekt projiziert wird, und ein Licht
strahl, der vom Objekt reflektiert wird, der durch den Strahl
teiler gegangen ist, auf das lichtempfindliche Element (8)
gerichtet wird, dadurch gekennzeichnet, daß er
ferner aufweist:
eine Korrekturlinse (7), die anisotrop gekrümmte Flä chen (R 1, R 2) hat, und die zwischen dem Strahlteiler (3) mit der parallelen ebenen Platte und dem lichtempfindlichen Ele ment (8) angeordnet ist,
wobei die anisotrop gekrümmten Flächen (R 1, R 2) der art ausgebildet sind, daß der Astigmatismus (m), der durch den Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahl teiler (3) geht, kompensiert wird und zugleich ein neuer Astigmatismus (c) erzeugt wird, der eine beliebige Stärke in einer anderen Richtung hat.
eine Korrekturlinse (7), die anisotrop gekrümmte Flä chen (R 1, R 2) hat, und die zwischen dem Strahlteiler (3) mit der parallelen ebenen Platte und dem lichtempfindlichen Ele ment (8) angeordnet ist,
wobei die anisotrop gekrümmten Flächen (R 1, R 2) der art ausgebildet sind, daß der Astigmatismus (m), der durch den Umstand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahl teiler (3) geht, kompensiert wird und zugleich ein neuer Astigmatismus (c) erzeugt wird, der eine beliebige Stärke in einer anderen Richtung hat.
2. Optischer Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine der anisotrop gekrümmten Flächen (R 1)
auf der Seite des Strahlteilers (3) mit der parallelen ebenen
Platte der Korrekturlinse (7) eine torische oder zylindrische
Fläche ist, die einen Astigmatismus in einer solchen Rich
tung erzeugt, daß der Astigmatismus (δ m), der durch den Um
stand erzeugt wird, daß der Lichtstrahl durch den Strahlteiler
(3) mit der parallelen ebenen Platte geht, kompensiert wird.
3. Optischer Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine der anisotrop gekrümmten Flächen (R 2)
auf der Seite des lichtempfindlichen Elements (8) der Korrek
turlinse (7) eine torische oder trochoidförmige Fläche hat,
welche einen Astigmatismus (δ c) in einer beliebigen Richtung
erzeugt und zugleich die Vergrößerung der Abbildung auf der
Oberfläche des lichtempfindlichen Elements (8) auf einen
vorbestimmten Wert einstellt.
4. Optischer Abtaster nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Richtung des Astigmatismus, welcher durch
die anisotrop gekrümmte Fläche (R 2) auf der Seite des licht
empfindlichen Elements (8) der Korrekturlinse (7) erzeugt
wird, um etwa 45° bezüglich der Richtung des Astigmatismus
(δ m) geneigt ist, der durch die anisotrop gekrümmte Fläche
(R 1) auf der Seite des Strahlteilers (3) mit der parallelen
Platte der Korrekturlinse (7) erzeugt wird.
5. Optischer Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein total reflektierender Spiegel (4) zwi
schen dem abzutastenden Objekt (6) und dem lichtempfindli
chen Element angeordnet ist, und daß die optische Achse
(X-X) einschließlich des Strahlteilers (3) mit der parallelen
ebenen Platte und des lichtempfindlichen Elements (8) um
einen rechten Winkel zur Bildung einer optischen Achse (Z-Z)
abgelenkt wird.
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Family Applications (1)
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