DE3883766T2

DE3883766T2 - Dichtungsanordnung mit spiralförmiger nute für flüssigkeiten mit hohem dampfdruck.

Info

Publication number: DE3883766T2
Application number: DE88906374T
Authority: DE
Inventors: Donald Amundson; Jon Hamaker; Glenn Pecht; Josef Sedy
Original assignee: John Crane Inc
Current assignee: John Crane Inc
Priority date: 1987-06-10
Filing date: 1988-06-10
Publication date: 1993-12-09
Anticipated expiration: 2008-06-11
Also published as: KR900700801A; EP0363434A1; CA1300186C; JP2728283B2; EP0363434A4; WO1988009891A1; DE3883766D1; US4889348A; EP0363434B1; JPH02503945A

Description

Hintergrund der Erfindung

Diese Erfindung betrifft Dichtungen zur Verhinderung von Leckage eins Fluids um eine Welle, die sich durch ein Gehäuse, wie ein Pumpe, erstreckt. Diese Erfindung ist insbesondere mit einer Dichtung zur Abkapselung von Flüssigkeiten hohen Dampf drucks, solchen wie verflüssigten, leichten Kohlenwasserstoffgasen, und dem Verfahren zum Abdichten solcher Fluide befaßt.
Vor dieser Erfindung sind zwei zueinander beabstandete mechanische Endflächendichtungen für diesen Einsatz verwendet worden. Dieses System war von "nassem", berührenden Typ, das von einer Pufferflüssigkeit gekühlt werden mußte, welche zwischen die zwei beabstandeten mechanischen Dichtungen gepumpt wurde. Das System zur Umwälzung der Pufferflüssigkeit (häufig Öl) umfaßte Pumpen, Kühleinrichtungen und Behälter, die zu einer aufwendigen und teuren Einrichtung führten. Darüber hinaus verblieben die mechanischen Dichtungen, sogar mit ihrem aufwendigen Unterstützungssystem, oft nur einige Tage in Pumpen, die verflüssigte, leichte Kohlenwasserstoffe behandelten.
Es ist bekannt, daß eine Art von mechanischen Endflächendichtungen, bekannt als Trockenlaufgasdichtungen, ohne Ölschmierung einsetzbar sind, wenn eine der Flächen mit einer Reihe von Spiralnuten versehen ist. Dichtungen dieses Typs sind in dem für Josef Sedy erteilten und auf den momentanen Nachfolger übergegangenen US 4,212,475 gezeigt und beschrieben. Der Gegenstand dieses Patents ist durch die Bezugnahme hierauf ergänzt. Dieser letztere Typ von Dichtung ist verwendet worden, um Gaseinschließungsprobleme zu lösen.
Es ist bekannt, zwei oder duale Dichtungsmodule bereitzustellen, die zusammen verwendet werden können, um unter Hochdruck stehende Fluide abzudichten. Dichtungen diesen Typs sind im allgemeinen in dem für Josef Sedy erteilten und auf den jetzigen Nachfolger übergegangenen US 4,290,611 gezeigt und beschrieben. Diese Typen von Dichtungen sind für eine gute Abdichtung zwischen einem Gehäuse und einer Welle geeignet. Allerdings benötigen die in diesen Dichtungen beschriebenen Dichtungssysteme entweder ein unter Druck stehendes Pufferfluid oder bedingte Zwischenverbindungen zu der Pufferkammer oder beides, um eine Dichtung für ein Hochdruckfluid zu erhalten.
Es besteht ein durch die Erfindung zu lösendes Problem, Dichtungen zur Verfügung zu stellen, die weder ein Pufferfluid unter Druck noch bedingte Zwischenverbindungen zu der Pufferkammer oder beides benötigen, gerade um eine Dichtung für ein Hochdruckfluid zu erhalten.
Diese Erfindung stellt eine Endflächendichtungsanordnung bereit, die insbesondere zur Verwendung in einer Vorrichtung geeignet ist, welche Flüssigkeiten mit hohem Dampfdruck, solchen wie verflüssigten, leichten Kohlenwasserstoffen, behandelt. Dies wird zum Teil durch Ignorieren in gewissem Umfang herkömmlichen Wissens ausgeführt, das darin besteht, gegenüberliegende Flächen der Dichtung zu kühlen. Stattdessen ist mit der Dichtung beabsichtigt, Scher- bzw. Druckwärme des abgedichteten Fluids zwischen den Dichtungsflächen einer ersten Stufe oder Moduls zu erzeugen, die eine Phasenänderung des Flüssigkeit belegbar bewirkt, derart, daß eine zweite Trockenlaufgasdichtungsstufe wirksam wird, um das verdampfte Fluid einzuschließen.

Zusammenfassung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung ist auf eine Dichtungsanordnung mit Spiralnut gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren zum Abdichten einer Welle gemäß Anspruch 10 gerichtete die bzw. das für eine Vorrichtung geeignet ist, welche verflüssigte, leichte Kohlenwasserstoffe oder andere Flüssigkeiten hohen Dampfdrucks behandelt. Dies wird durch die Verwendung einer Dichtungsanordnung erreicht, die ein inneres Dichtungsmodul und ein äußeres Dichtungsmodul aufweist, welche jeweils auf der Welle und im Gehäuse montiert sind. Jedes Dichtungsmodul umfaßt einen an dem Gehäuse befestigten Hauptring und einen an der Welle befestigten Gegenring. Die Ringe weisen gegenüberliegende, radial verlaufende Flächen auf, wobei einer der Ringe eine Vielzahl von pumpenden Spiralnuten besitzt, welche sich von einem Umfang davon erstrecken. Die Nuten von wenigstens dem Ring des inneren Moduls besitzen eine Tiefe, die geringer ist als ehemals für Trockenlaufgasdichtungen als optimal betrachtet, nicht mehr als etwa 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches). Die Tiefe der Nuten des zweiten oder äußeren Moduls ist größer als die Tiefe der Nuten des inneren Moduls. Die Nutentiefe des äußeren Moduls ist nicht größer als etwa 51 x 10&supmin;&sup4; mm (200 Mikro-Inches).
In einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die Nutentiefe der Nuten des inneren Moduls etwa 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro-Inches) und die Nutentiefe der Nuten des äußeren Moduls etwa 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches).

Kurzbeschreibung der Figuren

Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht im Schnitt längs einer vertikalen Mittellinie eines Bereiches der bevorzugten Ausführung der Erfindung.
Fig. 2 stellt eine Endansicht eines Segments eines der Dichtungsringe der bevorzugten Ausführung der Erfindung dar.

Beschreibung einer bevorzugten Ausführung

Fig. 1 zeigt eine mit 10 bezeichnete Dichtung, die in Übereinstimmung mit der bevorzugten Ausführung der Erfindung ausgestaltet ist. Die Dichtung ist entworfen, um verflüssigte, leichte Kohlenwasserstoffe und andere Flüssigkeiten hohen Dampfdruckes, solchen wie Flüssig-Erdgas (LNG), Flüssiggas (LPG) mit Methan, Ethylen, Ethan, Propan, Butan und Pentan, in einem Pumpengehäuse einzuschließen. Das Gehäuse ist mit 12 bezeichnet, das das Pumpeninnere 14 einschließt. Eine Welle 16 erstreckt sich durch eine Öffnung 18 in dem Gehäuse 12 hin zu der Atmosphäre 20.
Allgemein gesprochen weist die Dichtung 10 eine Tandemanordnung von mechanischen Endflächendichtungen mit Spiralnut auf, die jeweils Bereiche umfassen, welche im Gehäuse und auf der Welle montiert sind. Die Dichtungen sind allgemein von dem Typ, der in dem oben zitierten US 4,212,475 gezeigt ist. Die Tandemdichtungen umfassen ein stromaufwärtiges oder inneres Dichtungsmodul 22 und ein stromabwärtiges oder äußeres Dichtungsmodul 24, welche eine ringförmige Kammer 25 zwischen sich definieren. Jedes Dichtungsmodul weist ein Paar ringförmiger Ringe auf, die Hauptringe 26A, 26B mit radial verlaufenden Flächen 28A, 28B und Gegenringe 30A, 30B mit radial verlaufenden, den Flächen 28A, 28B der Hauptringe gegenüberliegenden Flächen 32A, 32B umfassen. Die Hauptringe 26A, 26B sind an dem Gehäuse durch eine Aufnahmeeinrichtung befestigt. In gleicher Weise sind die Gegenringe 30A, 30B zur Drehung mit der Welle durch eine Laufbuchseneinrichtung befestigt.
Die gezeigte Dichtung wird einem Fluid ausgesetzt, das an dem radial äußeren Durchmesser der Dichtungskomponenten abzudichten ist. Das Prinzip der Erfindung kann jedoch auch auf Dichtungen übertragen werden, die den hohen Druck an dem radial inneren Durchmesser der relativ drehenden Dichtungsflächen aufweist.
Die Laufbuchseneinrichtung umfaßt eine Wellenbuchse 34, die auf der Welle 16 befestigt und gegen Rotation durch einen Antriebskeil 36 gesichert ist. Die Buchse 34 ist an der Welle befestigt, um eine auswärts gerichtete Axialbewegung der Buchse durch geeignete Einrichtungen (nicht gezeigt) zu verhindern. Ein O-Ring ist auch an diesem Flansch positioniert, um zwischen der Buchse und der Welle abzudichten. Das innere Dichtungsmodul 22 umfaßt eine Stütze 38, die durch einen ringförmigen Federkeil 40 positioniert ist, welcher wiederum durch einen Klemmring 42 gehalten ist. Eine Kopfschraube 44 verbindet den Klemmring 42 und die Gegenringstütze 38, um den Keil 40 gegen die Buchse 34 mit Druck zu beaufschlagen. Ein Stift 46 verbindet den Gegenring 30A mit der Gegenringstütze 38. O- Ringe sind, wie gezeigt, an der Gegenringstütze vorgesehen.
Die Laufbuchseneinrichtung umfaßt weiterhin eine Abstandsbuchse 48, die einen Stützflansch 50 besitzt, welcher einen Stift 46 trägt, um auf den Gegenring 30B des nach außen gerichteten Dichtungsmoduls 24 einzuwirken und dieses anzutreiben. Wiederum sind O-Ringe auf dem Flansch 50, wie gezeigt, vorgesehen. Die Abstandsbuchse 48 erstreckt sich hin zu der dem inneren Durchmesser des Gegenrings 30A benachbarten Oberfläche 32A und steht mit dieser in Eingriff. So sind die Gegenringe 30A, 30B und ihre entsprechenden Stützen 38 und 50 zwischen dem Keil 40 und einer Schulter 52 an der Wellenbuchse 34 fest angebracht.
Die Aufnahmeeinrichtung umfaßt nach innen und nach außen gerichtete Aufnahmen 54 und 56, die über Kopf schrauben 57 befestigt sind. Die nach innen gerichtete Aufnahme 54 faßt den nach innen gerichteten Hauptring 26A ein. Die nach außen gerichtete Aufnahme 56 faßt gleichsam den nach außen gerichteten Hauptring 26B ein. Jede Aufnahme trägt mehrere Federn 58 und Scheiben 60, welche die Hauptringe mit den Gegenringen in Eingriff zwingen. Die Scheiben 60 und Federn 58 erlauben den Hauptringen 26A und 26B, sich axial auf der Welle zu bewegen. O-Ringdichtungen 61 sehen eine zweite Dichtung zwischen den Scheiben 60 und den Aufnahmen 54 und 56 vor.
Eine Stopfbüchsenplatte 62 ist mit dem Gehäuse 12 verbunden. Die Platte ist an dem Gehäuse über Schrauben (nicht dargestellt) befestigt. Die Stopfbüchsenplatte weist einen Flansch 64 auf, der auf die äußere Endfläche der Aufnahme 56 einwirkt.
Die Aufnahme ist mit dem Flansch über Kopf schrauben 66 verbunden. Geeignete O-Ringe sind, wie gezeigt, vorgesehen, um die Stopfbüchsenplatte gegen das Gehäuse 12 und die Aufnahmen 54, 56 abzudichten. Ein Entlüftungskanal 68 kommuniziert mit einer Öffnung 70 in der Aufnahme 56 und Kammer 25. Der Kanal 68 ist mit einem Fackelrohr oder einer anderen Verbrennungseinrichtung zur Entsorgung der kontrollierten Gasmenge, welche über die rotierenden Flächen des äußeren Dichtungsmoduls 24 hindurchtreten, verbindbar. Solches Gas kann zum Beispiel zur Erwärmung von Gebäuden, welchen die die Dichtung umfassende Vorrichtung zugeordnet ist, verwendet oder zu anderen Zwecken eingesetzt werden.
Fig. 2 zeigt einen Bereich einer Gegenoberfläche auf entweder dem Gegenring oder dem Hauptring. Zum Zwecke der Beschreibung ist die Fläche 32A des Gegenrings 30A gezeigt. Die Fläche hat eine Vielzahl von pumpenden Spiralnuten 72, die sich von dem äußeren Umfang teilweise über die Breite der Fläche 32A erstrecken. Die nicht spiralförmige Oberfläche 73 definiert eine Dichtungssperre, die eine kontaktierende statische Dichtung vorsieht, wenn die Dichtungsflächen relativ zueinander nicht rotieren. Fläche 32B ist gleichsam ausgestaltet. Es ist herausgefunden worden, daß die Tiefe der Nuten an den innenseitigen und außenseitigen Dichtungsmodulen zur Abdichtung gegen Flüssigkeiten hohen Dampfdrucks, solchen wie leichten Kohlenwasserstoffen, für eine akzeptable Leistung kritisch ist. Insbesondere ist herausgefunden worden, daß die Nutentiefe des inneren Dichtungsmoduls im wesentlichen kleiner sein sollte als diejenige, welche für Trockenlaufgasdichtungen wie in dem zuvor erwähnten US 4,212,475 bevorzugt ist, und nicht 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches) überschreiten sollte. Die Nutentiefe der Nuten des äußeren Moduls sollte größer sein als die Nutentiefe des inneren Moduls und sollte 51 x 10&supmin;&sup4; mm (200 Mikro-Inches) nicht überschreiten.
Wenn die Welle nicht rotiert, wird mit Druck beaufschlagtes Fluid durch Kontakt zwischen den Ringen an der Dichtungssperre 73 zurückgehalten. Wenn die Welle beginnt, zu rotieren, pumpen die Nuten 72 Fluid zwischen die Dichtungsflächen, wodurch die Hauptringe veranlaßt werden, sich geringfügig axial auf der Welle zu bewegen. Ein Bereich der Flüssigkeit dringt in den resultierenden Zwischenraum, in welchem es einem hohen Scherdruck ausgesetzt wird, welcher die Temperatur der Flüssigkeit erhöht und einen Übergang von der Flüssig- zu der Gasphase verursacht. Das äußere Dichtungsmodul stellt eine zweite Barriere längs der Welle dar, so daß austretendes Gas gezwungen wird, durch den Kanal 68 auszuströmen, in welchem es wie zuvor beschrieben entsorgt werden kann. Es ist auch beabsichtigt, daß bei ausreichend geringer Leckage keine Verbrennungsvorrichtung erforderlicht wäre. Leckage über die äußere Dichtung ist minimal und wird als unwesentlich betrachtet.
Eine besondere Ausführung, die herausgefunden wurde, um verbesserte Resultate abzugeben, weist eine innere Dichtungsmodulring-Nuttiefe von 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro-Inches) und eine äußere Modulring-Nutdichtung von 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches) auf. Eine solche Dichtung ist in einer LNG-Fabrikpumpe vorteilhaft gewesen, welche bei 2800 kN/m² (400 psig) Überdruck, 3600 UpM, 52ºC (125ºF), 71 mm (2-7/8 Inch) Wellendurchmesser mit einem Fluid von 50,5 Molekulargewicht und einem Dampfdruck von 2700 kN/m² (390 psig) Überdruck bei 73ºC (161ºF) betrieben wird. Es ist verständlich, daß diese Dimensionen etwas mit der inneren Modulnutentiefe variieren können, welche so groß wie 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches) ist, und der äußeren Modulnutentiefe, welche so groß wie 51 x 10&supmin;&sup4; mm (200 Mikro-Inches) ist. Die bevorzugte Nutentiefe des inneren Moduls sollte nicht mehr als etwa 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro- Inches) betragen, und die bevorzugte Nutentiefe des äußeren Moduls sollte nicht größer als etwa 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro- Inches) sein.
Mit einer solchen Anordnung wird die Nutentiefe des ersten Dichtungsmoduls gegenüber derjenigen in vormaligen Trockenlaufgasdichtungen reduziert. Dies vermindert den Durchfluß von Flüssigkeit über die erste Moduldichtungsübergangsfläche, wobei der auf die Flüssigkeit aufgebrachte Scherdruck erhöht wird. Die erste Dichtung arbeitet als eine Einrichtung zur Änderung der Flüssig- in die Gasphase. Es ist beabsichtigt, daß dieses Modul nicht in einer Konfiguration einer Trockenlaufgasdichtung ausgestaltet sein muß, sondern könnte in jedem Schereigenschaften verleihenden Element zwischen dem Gehäuse und der Welle enthalten sein. Es ist erwiesen, daß die große Scheraktion Druck verursacht, der auf das erste Dichtungsmodul aufgebracht ist, um eine Temperaturerhöhung zu erzeugen, die wiederum eine Phasenänderung des abgedichteten Fluids von flüssig in gasförmig nach sich zieht. Das erste Modul wirkt so als eine Wärmeaufbringungskomponente.
Gas, welches durch das erste Dichtungsmodul hindurch entweicht, wird durch den Kanal 78 zur weiteren Verwendung oder zu einer Fackel weitergeleitet. Das zweite Dichtungsmodul 24 wirkt als eine Trockenlaufgasdichtung, wie hinreichend in dem zuvor erwähnten US 4,212,475 beschrieben, um Leckage durch die Stopfbüchsenplatte 62 zu verhindern. Der Netz- bzw. Auffangeffekt der Tandemanordnung bewirkt, daß das innenseitige Dichtungsmodul die Flüssigkeit mittels Wärmezuführung auf die Menge, welche über die Flächen 28A, 32A hindurchpassieren, einschließt und diese in Gas konvertiert, und daß das äußere Dichtungsmodul gegen Entweichung der Gasphase des Fluids dichtend wirkt.

Claims

1. Dichtungsanordnung mit Spriralnut zum Abdichten einer drehbaren, sich durch ein Gehäuse (12) hindurch erstreckenden Welle (16) gegen Leckage dicht gekapselter Flüssigkeit, die innere und äußere Module (22, 24) umfaßt, welche voneinander beabstandet sind, wobei das innere Modul (22) einen an dem Gehäuse (12) dichtend befestigten Hauptring (26A) und einen an der Welle (16) angebrachten Gegenring (30A) umfaßt, wobei die Ringe (26A, 30A) gegenüberliegende, radial verlaufende Flächen (28A, 32A) aufweisen und einer von diesen eine Vielzahl von pumpenden Spriralnuten (72), welche sich von einem Umfang der Fläche nach innen erstrecken, aufweist, und wobei das äußere Modul (24) auch einen an dem Gehäuse (12) dichtend befestigten Hauptring (26B) und einen an der Welle (16) angebrachten Gegenring (30B) umfaßt, wobei die Ringe (26B, 30B) gegenüberliegende, radial verlaufende Flächen (28B, 32B) aufweisen und einer von diesen eine Vielzahl von pumpenden Spriralnuten, welche sich von einem Umfang der Fläche nach innen erstrecken, aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe der Nuten des äußeren Moduls (24) die Nutentiefe der Nuten des inneren Moduls (22) übersteigt, derart, daß die Nuten (72) des inneren Moduls (22) die Flüssigkeit zwingen, in eine Gasphase überzugehen, und derart, daß das äußere Modul (24) als eine Trockenlauf-Gasdichtung wirkt.

2. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Entlüftungskanal (68) mit der ringförmigen Kammer (25) zwischen den Modulen (22, 24) in Fluidkontakt steht und mit einer Verbrennungseinrichtung verbindbar ist.

3. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nuten des inneren Dichtungsmoduls eine Tiefe von 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches) nicht übersteigen.

4. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nuten des inneren Dichtungsmoduls eine Tiefe von nicht mehr als etwa 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro-Inches) beträgt.

5. Dichtungsanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe des äußeren Dichtungsmoduls nicht mehr als etwa 51 x 10&supmin;&sup4; mm (200 Mikro-Inches) beträgt.

6. Dichtungsanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe des äußeren Dichtungsmoduls bis zu etwa 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches) beträgt.

7. Dichtungsanordnung nach an 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe des äußeren Dichtungsmoduls bis zu etwa 51 x 10&supmin;&sup4; mm (200 Mikro-Inches) beträgt.

8. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe des inneren Dichtungsmoduls etwa 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro-Inches) beträgt und die Nutentiefe des äußeren Dichtungsmodul ungefähr 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro- Inches) beträgt.

9. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe des inneren Dichtungsmoduls ungefähr die Hälfte von derjenigen des äußeren Dichtungsmodul ist.

10. Verfahren zum Abdichten einer sich durch ein Gehäuse (12) hindurch erstreckenden Welle (16) gegen Leckage dicht gekapselter Flüssigkeit, das umfaßt:

Bereitstellen eines inneren Dichtungsmoduls (22), das an der Welle (16) und dem Gehäuse (12) zum Abdichten der dicht gekapselten Flüssigkeit montiert ist, wobei das innere Dichtungsmodul (22) eine Dichtung umfaßt, welche einen an dem Gehäuse (12) befestigten Hauptring (26A) und einen an der Welle (16) angebrachten Gegenring (30A) umfaßt, wobei die Ringe (26A, 30A) gegenüberliegende, radial verlaufende Flächen (28A, 32A) aufweisen und einer von diesen eine Vielzahl von pumpenden Spriralnuten (72), welche sich von einem Umfang davon erstrecken, aufweist, wobei die pumpenden Spiralnuten (72) des inneren Dichtungsmoduls (22) eine erste vorbestimmte Nutentiefe besitzen;

Bereitstellen eines äußeren Dichtungsmoduls (24), das an der Welle (16) und dem Gehäuse (12) von dem inneren Modul (22) gesehen nach außen hin angebracht ist, wobei das äußere Dichtungsmodul (24) eine Dichtung umfaßt, welche einen an dem Gehäuse (12) befestigten Hauptring (26B) und einen an der Welle (16) angebrachten Gegenring (30B) umfaßt, wobei die Ringe gegenüberliegende, radial verlaufende Flächen (28A, 32A) aufweisen und einer von diesen eine Vielzahl von pumpenden Spriralnuten, welche sich von einem Umfang davon erstrecken, aufweist, wobei die pumpenden Spiralnuten des äußeren Dichtungsmoduls (24) eine zweite vorbestimmte Nutentiefe besitzen, die größer ist als die erste vorbestimmte Nutentiefe wobei die pumpenden Spiralnuten (72) des inneren Moduls (22) die Flüssigkeit zwingen, in eine Gasphase überzugehen, und das äußere Modul (24) als eine Trockenlauf-Gasdichtung wirkt.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe der pumpenden Spiralnuten (72) des inneren Moduls (22) nicht mehr als 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro-Inches) beträgt.

12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe der pumpenden Spiralnuten des äußeren Moduls (24) nicht mehr als 51 x 10&supmin;&sup4; mm (200 Mikro-Inches) beträgt.

13. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Nutentiefe der pumpenden Spiralnuten (72) des inneren Moduls (22) ungefähr 13 x 10&supmin;&sup4; mm (50 Mikro-Inches) beträgt und

die Nutentiefe der pumpenden Spiralnuten des äußeren Moduls (24) ungefähr 26 x 10&supmin;&sup4; mm (100 Mikro-Inches) beträgt.

14. Verfahren nach Anspruch 10, weiter dadurch gekennzeichnet, daß die pumpenden Spiralnuten (72) des inneren Moduls (22) die Flüssigkeit zwingen, durch Beaufschlagung der Flüssigkeit mit Wärme in eine Gasphase überzugehen.

15. Verfahren nach Anspruch 14, weiter dadurch gekennzeichnet, daß die Wärme durch Scheren der Flüssigkeit erzeugt wird.

16. Verfahren nach Anspruch 10, weiter gekennzeichnet durch Verbrauchen von Gas, das entlang der pumpenden Spiralnuten (72) des inneren Moduls (22) entweicht.