DE3854533T2

DE3854533T2 - Plattenförmiger Kohlendioxid-Laser.

Info

Publication number: DE3854533T2
Application number: DE3854533T
Authority: DE
Inventors: John Tulip
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1987-01-08
Filing date: 1988-01-05
Publication date: 1996-06-05
Anticipated expiration: 2008-01-06
Also published as: EP0275023B1; JPS63192285A; JPH0770768B2; US4719639A; US4719639B1; CA1294351C; DE3854533D1; JPH0897489A; JP2648463B2; EP0275023A1

Description

Hintergrund und Zusammenfassung der Erfindung

Die Erfindung betrifft Laser und speziell einen Kohlendioxid-Plattenlaser.
Beim Betrieb von Lasern mit massiven Stäben ergeben sich in der Praxis Beschränkungen aufgrund der Wärmegradienten, die zum Abführen der Wärme von dem Stab erforderlich sind. Ein allen Lasermaterialien gemeinsames thermisches Grundproblem ist das Problem der optischen Verzeichnung und Doppelbrechung. Forschungsarbeiten auf dem Gebiet der Wärmeabführung haben zu vielen verschiedenen Konstruktionen und Ausbildungen geführt, die allgemein als Scheiben-, Platten- und Zickzacklaser bekannt sind. Bei diesen Entwicklungen wurde versucht, die Kühifläche eines gegebenen Lasermaterialvolumens zu vergrößern, um höhere Leistungsverteilungsdichten bei einer niedrigeren Innentemperatur zu ermöglichen, und zugleich die Richtung des Wärmeflusses so einzustellen, daß aus dem Wärmefluß resultierende Brechungsgradienten nur eine minimale Auswirkung auf den Laserstrahl haben.
Bei einem Scheibenlaser ist ein massiver Stab in Scheiben segmentiert, die senkrecht oder unter einem Winkel zu der optischen Achse stehen. Die Einzelscheiben werden flächengekühlt, indem man ein geeignetes Kühlfluid durch die Zwischenräume zwischen den Scheiben hindurchpumpt. Bei einer solchen Konstruktion sind die Wärmeflußbahnen zu der optischen Achse im wesentlichen parallel, was im Idealfall zur Folge hat, daß keine radiale Verzeichnung des Laserstrahls stattfindet. Der Scheibenlaser zeigt aber keine wesentliche Verbesserung gegenüber dem Betriebsverhalten von Lasern mit massiven Stäben, und zwar aufgrund von Problemen, die auf Spannungen und optische Verzeichnungen in den Scheiben aufgrund von Randkühleffekten, optische Verluste aufgrund von Oberflächenstreuung und Dämpfung in dem Kühlmittel und mechanische Probleme, die mit dem Halten der Scheiben in einer genau fixierten Position relativ zueinander und zu der optischen Achse des Lasersystems zusammenhängen, zurückgehen.
Rechteckige Plattenlaser bieten eine größere Kühlfläche und im wesentlichen einen eindimensionalen Temperaturgradienten über die Dicke der Platte. Beispielsweise hat ein typischer NdYAG-Laserstab zylindrische Gestalt und ist an der Staboberf läche wassergekühlt. Der NdYAG-Laserstab wird optisch gepumpt unter Verwendung entweder von Krypton- oder Xenon- Entladungslampen, und da Licht von diesen Lampen in dem Stab mehr oder weniger gleichmäßig absorbiert wird, hat die Mitte oder Achse des Stabs die Tendenz, sich zu erwärmen. Der Temperaturgradient von der Mitte zu der Wand des Stabs bewirkt eine Abstufung der optischen Eigenschaft über den Stabdurchmesser. Diese Abstufung führt wiederum zu Schwierigkeiten bei der Konstruktion eines Laserresonators hoher Güte. Eine Lösung dieses Problem des optischen Gradienten liegt in der Verwendung der Plattengeometrie, die in Veröffentlichungen, wie etwa Koechner, tisolid State Laser Engineering", Section 7.3, 5. 390 bis 396; Chun et al., "Resonant-Mode Analysis of Single-Mode Face Pumped Lasers", Applied optics, Vol. 16, Nr. 4, April 1977, 5. 1067 bis 1069; und Jones et al., IEEE J. Quantum Electronics, Vol. 7, 5. 534 bis 535, beschrieben ist. Die Plattengeometrie tendiert dazu, die Wirkung der Wärmegradienten aufzuheben, weil der Laserstrahl sich in der Variationsebene zickzackförmig ausbreitet.
Bei einem herkömmlichen Kohlendioxid-Laser hat die Entladungsröhre typischerweise einen Durchmesser von 1 cm und wird mit einem Wassermantel gekühlt. Das CO&sub2;-Gas wird dadurch gekühlt, daß es zu gekühlten Außenwänden geleitet wird. Um diese Kühlung zu verstärken, verwenden Hochleistungs-Kohlendioxidlaser strömendes Gas, das Wärme mitführt, während es entlang dem Rand der Röhre strömt. Alternative Geometrien sehen einen Gasstrom quer zu der Entladungsrichtung in einer offfenen Geometrie vor, wie beispielsweise von Locke in "Multi-Kilowatt Industrial CO&sub2; Lasers: A Survey", Industrial Applications of High Power Laser Technology, SPIE vol. 86, 1976, 5. 2 bis 10, beschrieben wird.
Wellenleiter-Gaslaser sind von dem Typ, bei dem Laserlicht sich durch einen Wellenleiter ausbreitet, der außerdem dazu dient, die Laseranregungsentladung einzuschließen. Solche Laser sind beschrieben in der US-PS 4 169 251 von Laakmann; Lachambre et al., "A Transversely RF-excited CO&sub2; Waveguide Laser", Applied Physics Letters, Vol. 32, Nr. 10, 15. Mai 1978, 5. 652 bis 653; Laakmann, "Transverse RF Excitation For Waveguide Lasers", Proceedings of the International Conference on Lasers, 1978, 5. 741 bis 743; Smith, "A Waveguide Gas Laser", Applied Physics Letters, Vol. 19, Nr. 5, 1. Sept. 1971, 5. 132 bis 134; und Bridges et al., "CO&sub2; Waveguide Lasers", Applied Physics Letters, Vol. 20, Nr. 10, 15. Mai 1972, 5. 403 bis 405. Diese Veröffentlichungen beschreiben allgemein den durch HF-Entladung gepumpten CO&sub2; Wellenleiterlaser sowie den mit Gleichstrom gepumpten Wellenleiterlaser. Bei dieser Art von Vorrichtungen ist die Kühlung der Wände des Wellenleiters relativ wirkungsvoll, da die Wellenleiterdimensionen typischerweise nur ein paar Millimeter betragen. Der Laserresonator bei dieser Art von Vorrichtung ist im allgemeinen nicht, wie bei anderen CO&sub2;- Lasern, offen, und das Licht wird im allgemeinen von der Wellenleiterkammer geleitet. Typischerweise ist der Resonator durch Anordnen von Spiegeln an jedem Ende des Wellenleiters mit übertragungskopplung der Laserausgangsleistung aufgebaut, wie beispielsweise von Lovold, Applied Physics Letters, Vol. 40, Nr. 1, 1. Jan. 1982, 5. 13 bis 15, beschrieben wird. Vorteilhaft ist diese Vorrichtungsbauart kompakt, weil der Wellenleiter relativ klein ist. Die Leistung von einem hermetischen Kohlendioxid-Wellenleiterlaser beträgt aber typischerweise nur 0,5 W je cm Entladungslänge.
Auch wenn die Lasergaskühlung und -anregung wirkungsvoll sind, ist doch das Gasvolumen sehr klein, so daß kein merklicher Vorteil hinsichtlich der Nettoleistung resultiert.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe ist die Bereitstellung eines Gasplattenlasers, der eine hohe Laserleistung pro Längeneinheit der Entladung hat, während gleichzeitig ein Laserausgangsstrahl hoher Güte aufrechterhalten wird, der zur Fokussierung auf einen kleinen Fleck geeignet ist.
Die Erfindung ist in den Ansprüchen 1 und 2 definiert, deren Oberbegriffe dem allgemeinen Aufbau des Lasers entsprechen, der von Lovold in Applied Physics Letters, Vol. 40, Nr. 1, 1. Jan. 1982, 5. 13 bis 15, beschrieben ist. Ausführungsformen des Gasplattenlasers gemäß der Erfindung sind in den Unteransprüchen 3 bis 10 angegeben.
Bei der Erfindung ist eine Plattengeometrie mit Gaslasertechniken kombiniert worden, um eine Konstruktion zu erhal ten, die eine hohe Laserleistung pro Entladungslängeneinheit liefert. Außerdem trägt die Leitungskühlung dieser Konstruktion dazu bei, die hohe Laserausgangsleistung zu erzeugen.
Die Geometrie des vorliegenden Gasplattenlasers, bevorzugt eines CO&sub2;-Plattenlasers, weist ein Paar von gekühlten Metallelektroden auf, die parallel und einander gegenüberliegend angeordnet sind, so daß der Abstand zwischen den Elektrodenoberflächen einen Spalt bildet, der typischerweise auf eine Tiefe von ca. 5 mm oder weniger begrenzt ist. Die Elektrodenoberflächen sind hochpoliert, um ein Paar von hochreflektierenden Oberflächen zu bilden. Eine HF-Entladung findet zwischen den Elektroden statt und ist geeignet, eine Laserwirkung zu erzeugen. Die Kühlung der Gase zwischen den Elektroden erfolgt durch Leitung zu den Metalloberflächen der Elektroden und durch Leiten des Gasstroms quer zu der Länge der Elektroden. Anders als bei herkömmlichen CO&sub2;- Lasern mit strömendem Gas reflektieren und leiten die Elektroden der Erfindung das Laserlicht, während es sich entlang dem Spalt ausbreitet, und dienen außerdem dazu, das Gas durch Leitung zu kühlen.
Der durch die Leitungskühlung der Gase über die Metallelektroden erzielte Vorteil wird dadurch kompliziert, daß ein phasenkohärenter Einmodenbetrieb eines Laserresonators erforderlich ist. Wenn ein Laserstrahl auf einen durch Beugung begrenzten Punkt fokussiert werden soll, beispielsweise für einen chirurgischen Eingriff, dann muß der Strahl phasenkohärent sein. Alle anderen Strahlen ergeben einen größeren Brennfleck. Typischerweise wird ein Resonator gebildet, indem an jedem Ende der Elektrodengeometrie geeignete Reflektorspiegel angebracht werden. Beispielsweise wird bei einem herkömmlichen CO&sub2;-Laser der Einmodenbetrieb durch Verwendung eines instabilen Resonators oder durch geeignet ausgebildete stabile Resonatoren erzielt, siehe beispielsweise "Properties of an Unstable Confocal Resonator CO&sub2; Laser System", William F. Krupke and Walter R. Sooy, IEEE Journal of Quantum Electronics, Vol. QE-5, Nr. 12, Dezember 1969. Bei einem Wellenleiterlaser sind die beiden Querdimensionen des Wellenleiters auf typischerweise weniger als ca. 3 mm begrenzt, und ebene Spiegel sind an jedem Ende der Wellenleiterkammer angeordnet, um einen Einmodenbetrieb zu ergeben. Bei dem Wellenleiter-Laser ist der Schwingungsmode nicht durch den Resonator, sondern durch den Wellenleiterhohlraum bestimmt.
Im Gegensatz dazu leitet die CO&sub2;-Plattengeometrie den Laserstrahl zwar in einer Ebene, ist aber in der anderen Ebene offen, so daß der Strahl weder geleitet noch begrenzt wird. Anders als bei dem Wellenleiter-Laser ist die Ausbreitungsrichtung des Strahls durch die Resonatorspiegel und nicht durch die Lasergeometrie bestimmt. Die Dicke einer Festkörperplatte ist typischerweise 1 cm, so daß sich der Strahl zickzackförmig entlang der Platte unter vielen verschiedenen Winkeln zu der Achse ausbreiten kann, und jeder Winkel entspricht einem Ausbreitungsmoden. In einer solchen Festkörperplatte ist der Strahl also ein Multimodenstrahl und nicht phasenkohärent. Bei diesem CO&sub2;-Plattenlaser ist die Dicke der Entladungsplatte typischerweise 2 mm, und unter diesen Bedingungen wird ein einziger streiferider Winkel der Zickzackausbreitung des Laserstrahls entlang der Achse der Entladung bevorzugt, so daß in der geführten Ebene ein einziger Ausbreitungsmode dominiert. In der ungeführten Ebene ist der Laserstrahl auf die Entladungsplatte durch Reflexion an den Resonatorspiegeln begrenzt, die an jedem Ende der Elektroden angeordnet sind.
Es wurde entdeckt, daß in dem Fall, in dem die Elektroden eine Breite von mehr als 1 cm haben&sub1; der Betrieb des Gasplattenlasers mit einem instabilen Resonator eine Einmoden- Ausgangsleistung ergibt. Beispielsweise ergeben ein totalreflektierender sphärischer Konkavspiegel und ein totalreflektierender sphärischer Konvexspiegel, die an gegenüberliegenden Enden der Elektroden mit einem Abstand von 30 cm angeordnet sind, einen Einmodenbetrieb. Wenn ferner die Elektroden beabstandet voneinander gehalten werden, um einen Spalt von 2 mm zu erhalten, und die Distanz zwischen dem Rand der Elektrode und dem Konvexspiegel ebenfalls auf ca. 2 mm gehalten wird, dann tritt ein Strahl von 2 mm² aus, der in einiger Entfernung von dem Laser kreisförmig wird, d. h. man erhält einen Einmodenbetrieb.
Durch die Erfindung wird somit ein Gaspiattenlaser angegeben, der mehr Gaslaserleistung je Entladungslängeneinheit als andere leitungsgekühlte Gaslaserkonstruktionen erzeugt. Außerdem wird durch die Erfindung ein Laserresonator angegeben, der aus einer Gasplattenentladung einen Einmoden-Laserstrahl erzeugt. Für Anwendungsfälle, wie etwa einen chirurgischen Eingriff, wobei die Größe des Lasers wichtig ist, ist das ein deutlicher Vorteil.

Kurze Erläuterung der Zeichnungen

Die Zeichnungen veranschaulichen die derzeit beste Art der Durchführung der Erfindung. Die Zeichnungen zeigen in:
Fig. 1 eine schematische Querschnittsansicht eines Kohlendioxid-Plattenlasersystems, das gemäß den Prinzipien der Erfindung aufgebaut ist; und
Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf eine Resonatorkonstruktion für den Laser von Fig. 1, die verwendet wird, um einen Einmodenbetrieb zu erhalten.

Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform

Es wird nun auf die Zeichnungen Bezug genommen; dabei zeigt Fig. 1 einen hermetischen Kohlendioxid-Plattenlaser, der allgemein mit 1 bezeichnet und gemäß den Prinzipien der Erfindung aufgebaut ist. Der Laser 1 umfaßt ein Paar von gegenüberliegenden langgestreckten, voneinander beabstandeten, elektrisch leitfähigen Elektrodenelementen 2 und 3, die jeweils eine plane Oberfläche 4 bzw. 5 haben, die parallel zueinander und im Abstand voneinander angeordnet sind. Die Oberflächen 4 und 5 sind hochpoliert bzw. hochverspiegelt, um eine optisch reflexionsfähige Konstruktion zu bilden, oder sie sind mit einem hochreflexionsfähigen Material beschichtet. Der Abstand zwischen den Oberflächen 4 und 5 bildet einen langgestreckten Spalt 6., in dem eine Laseranregungsentladung erzeugt wird. Der Spalt 6 kann Dimensionen mit einer Tiefe von ca. 1 mm bis ca. 5 mm, einer Breite von ca. 2 mm und einer Länge von ca. 5 cm haben. Der Laserentladungsspalt 6 ist zwar in Fig. 1 mit Rechteckquerschnitt dargestellt, aber es können ebenso andere Querschnittskonfigurationen, wie etwa quadratische Querschnitte verwendet werden. Der Abstand zwischen den Elektrodenoberflächen 4 und 5 sollte zur Reflexion und zum Leiten von Laserlicht geeignet sein, und typischerweise sollte dieser Abstand auf ca. 3 mm oder weniger begrenzt sein. Beispielsweise kann der Spalt 6 eine Tiefe von ca, 2,25 mm, eine Breite von ca. 3 cm (was der Breite der Oberflächen 4, 5 entsprechen würde) und eine Länge von ca. 30 cm haben.
Die Elektrodenelemente 2 und 3 können aus irgendeinem elektrisch leitfähigen Metall, wie z.B. Aluminium bestehen, oder sie können aus einem Dielektrikum, wie etwa Aluminiumoxid bestehen. Im Fall von dielektrischen Elektroden muß hinter dem Dielektrikum eine elektrisch leitfähige Oberfläche angebracht sein. Die Elektroden 2 und 3 sind voneinander mit Hilfe von isolierenden Abstandselementen 7 und 8 getrennt. Die Elektroden 2 und 3 können an den Abstandselementen 7 und 8 entweder mechanisch oder mit irgendeinem geeigneten Verbindungsmaterial befestigt sein. Die Anordnung aus den Elektroden 2, 3 und den Abstandselementen 7, 8 ist an einer Basis 9 eines U-förmigen Gehäuses angebracht, das die Seiten der Anordnung durch ein Paar von gegenüberstehenden aufrechten Seitenwänden 10 und 11 umschließt. Die Basis 9 und die Seitenwände 10, 11 bestehen bevorzugt aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit und Festigkeit, wie etwa Kupfer. Um die Wärmeabführung zu verstärken, ist an der Verbindung zwischen der Basis 9 und den Seitenwänden 10, 11 ein Paar von Kanälen 12, 13 ausgebildet. Zur Unterstützung der Wärmeabführung kann Kühlwasser durch die Kanäle 12, 13 gepumpt werden. Das U-förmige Gehäuse ist mit einer Abdeckung 14 verschlossen, und ein Keramikisolator 15 ist zwischen der Abdeckung 14 und der Elektrode 2 angeordnet.
Der Entladungsspalt 6 ist mit einem gewünschten Lasergas gefüllt. Als spezielles Beispiel kann das Lasergas ein übliches CO&sub2;-Lasergasgemisch sein, und zwar 65 % Hehum, 22 % Stickstoff und 13 % Kohlendioxid nach Molanteilen. Es versteht sich jedoch, daß auch andere Lasergase und -gasgemische eingesetzt werden können. Typische Lasergas drücke liegen zwischen ca. 10 inbar und ca. 400 mbar, wobei ca. 200 mbar bevorzugt werden.
Ein Hochfrequenzgenerator 16, wie etwa ein Vakuumröhren HF-Generator von 1 kW und 72 MHz, ist zwischen die Elektroden 2 und 3 geschaltet, um die geeignete Betriebsfrequenzentladung in das Lasergas zu liefern, die ausreicht, um die Besetzung der Energieniveaus des gewünschten Laserübergangs umzukehren. Die von dem HF-Generator erzeugte Entladung hat eine Frequenz zwischen ca. 10 MHz und ca. 200 MHz und wird durch ein Leistungsanpaßnetzwerk 17 aus herkömmlichen Schaltkreisen angelegt, wie es üblich ist. Es versteht sich, daß nach Wunsch alle geeigneten Leistungsanpaßschaltkreise verwendet werden können. Der HF-Strom von dem Netzwerk 17 geht durch ein Kabel 18 zu den Elektroden 2 und 3. Das Kabel 18 ist gegenüber der Seitenwand 10 mittels einer geeigneten isolierenden elektrischen Durchführung 19 isoliert.
Wenn die Elektroden 2 und 3 eine Breite haben, die größer als ca. 1 cm ist, ist ein Resonator vom instabilen Typ erforderlich, damit der phasenkohärente Einmodenbetrieb erzeugt wird. Unter Bezugnahme auf Fig. 2 ist eine Elektrode 2 gezeigt, deren Breite größer als 1 cm ist und die ein Paar von ausgefluchteten Reflektoren 22 und 23 an ihren gegenüberliegenden Enden, d. h. an den gegenüberliegenden Enden des Spalts 6, trägt. Genauer gesagt, es kann der Reflektor 23 einen Konkavspiegel, bevorzugt mit einer sphärischen Krümmung von 20 m, aufweisen, während der Reflektor 22 einen Konvexspiegel, bevorzugt mit einer sphärischen Krümmung von 19 m, aufweisen kann. Wenn die Spiegel 22 und 23 in einem Abstand von ca. 30 cm angeordnet sind, resultiert daraus ein Einmodenbetrieb. Wenn beispielsweise die Elektroden 2 und 3 so angeordnet sind, daß der Spalt 6 einen Wert von 2 mm hat, und wenn der Abstand zwischen dem Rand der Elektroden 2 und 3 und dem Konvexspiegel 22 ebenfalls ca. 2 mm beträgt, dann tritt ein quadratischer Laserstrahl, der durch einen Pfeil 24 dargestellt ist, mit einem Querschnitt von 2 mm² aus, und zwar infolge der Lichtbeugung über eine Kante des Spiegels 22. Im Fernfeld in einiger Distanz von dem Laser 1 wird dieser quadrätische Strahl 24 zu einem kreisförmigen Gaußschen Strahl erster Ordnung, d. h. zu einem Einmoden-Ausgangs strahl. Bei einem HF-Generator von 1 kW und 72 MHz und einer Entladungslänge von 30 cm ist eine Ausgangsleistung von ungefähr 100 W erzielbar. Dagegen erzeugt ein herkömmlicher hermetischer Entladungsröhren-CO&sub2;-Laser oder Wellenleiter- Laser typischerweise nur eine Laserausgangsleistung von 15 W bei gleicher Länge.
Durch die Erfindung wird also eine Laserkonstruktion angegeben, die mehr Ausgangsleistung pro Längeneinheit der Entladung als andere hermetische CO&sub2;-Laser oder Wellenleiter Laser erzeugt.

Claims

1. Gasplattenlaser, umfassend

- erste und zweite langgestreckte Elektroden (2, 3) die jeweils eine plane lichtreflektierende Oberfläche (4, 5) aufweist, die so angeordnet sind, daß sie dazwischen einen Gasentladungsspalt (6) bilden, wobei ein Lasergas in dem Spalt (6) vorgesehen ist;

- eine Einrichtung (16-18) zum Anlegen eines Hochfrequenzstromes zwischen der ersten und der zweiten Elektrode (2, 3), um in dem Lasergas eine Lasererregungsentladung auszubilden und dadurch ein Laserausgangssignal zu erzeugen,

dadurch gekennzeichnet,

daß die Elektroden (2, 3) derart angeordnet sind, daß sie einen Lichtleiter nur in einer Ebene senkrecht zu der planen Oberfläche (4, 5) bilden,

und daß Laserresonatorspiegel (22, 23), die einen instabilen Resonator bilden, an gegenüberliegenden Enden des Entladungsspaltes (6) positioniert sind.

2. Gasplattenlaser, umfassend

- erste und zweite langgestreckte Elektroden (2, 3) die jeweils eine plane lichtreflektierende Oberfläche (4, 5) aufweisen, die so angeordnet sind, daß sie dazwischen einen Gasentladungsspalt (6) bilden, wobei ein Lasergas in dem Spalt (6) vorgesehen ist;

dadurch gekennzeichnet,

daß die Elektroden (2, 3) derart angeordnet sind, daß sie einen Lichtleiter nur in einer Ebene senkrecht zu der planen Oberfläche (4, 5) zu bilden,

und daß total reflektierende Laserresonatorspiegel (22, 23), die einen instabilen Resonator bilden, an gegenüberliegenden Enden des Entladungsspaltes (6) positioniert sind, wobei Licht, das aus dem Entladungsspalt (6) austritt, über eine Kante von einem der Spiegel (22) gebeugt wird.

3, Gasplattenlaser nach Anspruch 1 oder 2,

weiterhin dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Elektroden (2, 3) ein Vielfaches der Tiefe des Spaltes (6) ist.

4, Gasplattenlaser nach Anspruch 1, 2 oder 3,

bei dem die Tiefe des Spaltes (6) 3 mm oder weniger beträgt und die Breite der Elektroden (2, 3) 1 cm oder mehr beträgt.

5. Gasplattenlaser nach Anspruch 1, 3 oder 4,

bei dem die Spiegel (22, 23) total reflektierend sind.

6. Gasplattenlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei dem die Elektroden (3, 2) für eine überwiegende Leitungskühlung der Entladung (6) sorgen.

7. Gasplattenlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei dem das Lasergas sich unter einem Druck im Bereich von etwa 10 mbar bis 400 mbar befindet.

8. Gasplattenlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei dem das Lasergas aus einer Mischung aus He, CO&sub2; und N&sub2; besteht.

9. Gasplattenlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei dem der Hochfrequenzstrom mit einer Frequenz in einem Bereich von etwa 10 MHz bis 200 MHz angelegt wird.

10. Gaspiattenlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei dem die Elektroden (2, 3) aus einem dielektrischen Material bestehen, die eine dahinter angeordnete leitende Oberfläche aufweisen.