JPH03208384A - 気体レーザ装置 - Google Patents
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野コ
この発明はマイクロ波放電を利用してレーザ励起を行う
気体レーザ装置に関するものである。
気体レーザ装置に関するものである。
［従来の技術］
第７図は、例えば特開昭 ６３−１８６４８３号公報に
記載された従来の気体レーザ装置を示す斜視図である。
記載された従来の気体レーザ装置を示す斜視図である。
図において、（Ｉ）はマイクロ波を発生するマグネトロ
ン、（２）はマグネトロン（１）で発生したマイクロ波
を伝送する導波管、（３）はこの導波管の巾を広げるホ
ーン導波管、（４）はマイクロ波結合窓、（５）はレー
ザ発振用のミラー、（６）はレーザビームである。
ン、（２）はマグネトロン（１）で発生したマイクロ波
を伝送する導波管、（３）はこの導波管の巾を広げるホ
ーン導波管、（４）はマイクロ波結合窓、（５）はレー
ザ発振用のミラー、（６）はレーザビームである。
第８図は第７図Ｂ −Ｂ線断面図であり、レーザヘッド
部（６）を拡大して詳細に示している。第８図に示され
るように、 レーザヘッド部（６）はマイクロ波回路の
一種であるリッジ導波管型のマイクロ波空洞の構造を持
つ。第８図において、（６１）はマイクロ波結合窓（４
）に続く空洞壁、（６２） 、 （６３）はこの空洞壁
（６１）の新面の中央部に形成されたりンジ、（６４）
は一方のリッジ（６２）に形成された溝であり、（６５
）はマイクロ波回路の一部を構成する導電体壁であって
、溝（６４）の壁面が使用される。（６６）はこの導電
体壁（６５）に対向して設けられた、例えばアルミナな
どの誘電体であり、（６７）はこの誘電体（６６）が溝
（６４）を覆うことにより導電体壁（６５）と誘電体（
６６）との間に形成される放電空間であって、この放電
空間（６７）に、例えばＣ０２レーザガスなどのレーザ
体が封入される。また、（６８）はりッジ（６２） 、
（６３）に形成された冷却水路である。
部（６）を拡大して詳細に示している。第８図に示され
るように、 レーザヘッド部（６）はマイクロ波回路の
一種であるリッジ導波管型のマイクロ波空洞の構造を持
つ。第８図において、（６１）はマイクロ波結合窓（４
）に続く空洞壁、（６２） 、 （６３）はこの空洞壁
（６１）の新面の中央部に形成されたりンジ、（６４）
は一方のリッジ（６２）に形成された溝であり、（６５
）はマイクロ波回路の一部を構成する導電体壁であって
、溝（６４）の壁面が使用される。（６６）はこの導電
体壁（６５）に対向して設けられた、例えばアルミナな
どの誘電体であり、（６７）はこの誘電体（６６）が溝
（６４）を覆うことにより導電体壁（６５）と誘電体（
６６）との間に形成される放電空間であって、この放電
空間（６７）に、例えばＣ０２レーザガスなどのレーザ
体が封入される。また、（６８）はりッジ（６２） 、
（６３）に形成された冷却水路である。
以上のように構成された従来の気体レーザ装置において
、マグネトロン（１）で発生されたマイクロ波は導波管
（２）を通ってホーン導波管（３）で広げられ、ホーン
導波管（３）の終端の壁面（４）に設けられたマイクロ
波結合窓（４１）でインピーダンスマツチングをとるこ
とにより効率よくレーザヘッド部（６）に結合される。
、マグネトロン（１）で発生されたマイクロ波は導波管
（２）を通ってホーン導波管（３）で広げられ、ホーン
導波管（３）の終端の壁面（４）に設けられたマイクロ
波結合窓（４１）でインピーダンスマツチングをとるこ
とにより効率よくレーザヘッド部（６）に結合される。
レーザヘッド部（６）は第８図に示されるようにリッジ
空洞状になっているためマイクロ波はりッジ（６２）
、 （６３）の間に集中する。
空洞状になっているためマイクロ波はりッジ（６２）
、 （６３）の間に集中する。
この集中したマイクロ波の強い電界によって放電空間（
６７）に封入されたレーザ気体が放電破壊してプラズマ
を発生し、レーザ媒質が励起される。ここで、冷却水路
（６８）に冷却水を流し、放電プラズマを冷却すると共
に、レーザ気体の圧力などの放電条件を適切に選ぶこと
によってレーザ励起条件が得られ、第７図中のミラー（
５）及び図示のないもう一枚のミラーによりレーザ共振
器を形成することでレーザ発振光を得ることができる。
６７）に封入されたレーザ気体が放電破壊してプラズマ
を発生し、レーザ媒質が励起される。ここで、冷却水路
（６８）に冷却水を流し、放電プラズマを冷却すると共
に、レーザ気体の圧力などの放電条件を適切に選ぶこと
によってレーザ励起条件が得られ、第７図中のミラー（
５）及び図示のないもう一枚のミラーによりレーザ共振
器を形成することでレーザ発振光を得ることができる。
また、このリッジ空洞のようにマイクロ波回路が誘電体
（６６）とプラズマの境界に垂直な電界成分を有するマ
イクロ波モードを形成する場合、誘電体（６６）と導電
体壁（６５）は対向して設置されているので導電体壁（
６５）にも垂直な電界成分を有することになり、プラズ
マを貫く電界ができる。この時、導電性を持つプラズマ
か発生しても、マイクロ波入射窓である誘電体（６６）
に対向してプラズマよりも数桁導電性の高い導電体壁（
６５）があるために、入射マイクロ波の終端電流はこの
導電体壁（６５）を流れ、導電体壁（６５）近傍の電界
は強制的に導電体壁（６５）の表面に垂直にされ、プラ
ズマを貫く電界が維持される。このためマイクロ波がプ
ラズマ中に浸透し、プラズマを貫く電流が流れ、電流の
連続性から空間的に−様な放電プラズマが得られ、レー
ザ発振が行われる。
（６６）とプラズマの境界に垂直な電界成分を有するマ
イクロ波モードを形成する場合、誘電体（６６）と導電
体壁（６５）は対向して設置されているので導電体壁（
６５）にも垂直な電界成分を有することになり、プラズ
マを貫く電界ができる。この時、導電性を持つプラズマ
か発生しても、マイクロ波入射窓である誘電体（６６）
に対向してプラズマよりも数桁導電性の高い導電体壁（
６５）があるために、入射マイクロ波の終端電流はこの
導電体壁（６５）を流れ、導電体壁（６５）近傍の電界
は強制的に導電体壁（６５）の表面に垂直にされ、プラ
ズマを貫く電界が維持される。このためマイクロ波がプ
ラズマ中に浸透し、プラズマを貫く電流が流れ、電流の
連続性から空間的に−様な放電プラズマが得られ、レー
ザ発振が行われる。
宏
［発明が解墾しようとする課題］
上記のように従来の気体レーザ装置では、偏平な放電空
間（６７）でプラズマを発生させてレーザ媒質を励起し
、通常のレーザ発振器ミラ一対でレーザ発振を行わせる
ため、レーザ出力が偏平なビーム、さらにはマルチモー
ドとなって、集束性の悪いものしか得られなかった。こ
のため、高集束性が要求される加工用のレーザとしての
適用が難しいという問題点があった。この発明はと記の
ような問題点を解決するためになされたもので、マイク
ロ波放電を利用してレーザ励起を行うものにおいて、集
束性の良いレーザビームを効率良く発生できる気体レー
ザ装置を得ることを目的とする。
間（６７）でプラズマを発生させてレーザ媒質を励起し
、通常のレーザ発振器ミラ一対でレーザ発振を行わせる
ため、レーザ出力が偏平なビーム、さらにはマルチモー
ドとなって、集束性の悪いものしか得られなかった。こ
のため、高集束性が要求される加工用のレーザとしての
適用が難しいという問題点があった。この発明はと記の
ような問題点を解決するためになされたもので、マイク
ロ波放電を利用してレーザ励起を行うものにおいて、集
束性の良いレーザビームを効率良く発生できる気体レー
ザ装置を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明に係る気体レーザ装置は、マイクロ波回路の一
部を構成する導電体壁と、この導電体壁に対向して設け
られた誘電体との間に上記導電体壁に溝を設け、レーザ
光軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法が異る空間を形成
して放電空間とし、この放電空間断面の寸法の長い方の
１次元については、全反射ミラーと出口全反射ミラーに
より不安定型共振器を構成し、この出口全反射ミラー側
の上記寸法の長い方の一端部からレーザビームを取り出
すようにすると共に、レーザモード領域の端部と出口全
反射ミラーの端部の距離が、放電空間断面の短い方の寸
法とほぼ一致するようにした。
部を構成する導電体壁と、この導電体壁に対向して設け
られた誘電体との間に上記導電体壁に溝を設け、レーザ
光軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法が異る空間を形成
して放電空間とし、この放電空間断面の寸法の長い方の
１次元については、全反射ミラーと出口全反射ミラーに
より不安定型共振器を構成し、この出口全反射ミラー側
の上記寸法の長い方の一端部からレーザビームを取り出
すようにすると共に、レーザモード領域の端部と出口全
反射ミラーの端部の距離が、放電空間断面の短い方の寸
法とほぼ一致するようにした。
また、レーザモード領域を溝の短い辺を形成する壁より
１ｍ以上離した。さらにまた、誘電体を介して溝に相対
する導電体壁部分にリッジを形成し、このリッジの少な
くとも先端部の巾を溝の巾より狭く形成し、放電空間中
でプラズマの発生する領域とレーザモード領域とがほぼ
一致するようにした。
１ｍ以上離した。さらにまた、誘電体を介して溝に相対
する導電体壁部分にリッジを形成し、このリッジの少な
くとも先端部の巾を溝の巾より狭く形成し、放電空間中
でプラズマの発生する領域とレーザモード領域とがほぼ
一致するようにした。
［作用コ
この発明においては、全反射ミラーと出口全反射ミラー
とを用い放電空間断面における寸法の長い方の１次元に
ついては不安定型共振器を構成し、出口全反射ミラーの
端部からレーザビームが８射されるようにし、レーザモ
ード領域の最外部と出口全反射ミラ一端部の距離が放電
空間断面の短い方の寸法とほぼ一致するように構成して
いるから、出射されるレーザビームは縦と横の径がほぼ
一致したビームとなる。
とを用い放電空間断面における寸法の長い方の１次元に
ついては不安定型共振器を構成し、出口全反射ミラーの
端部からレーザビームが８射されるようにし、レーザモ
ード領域の最外部と出口全反射ミラ一端部の距離が放電
空間断面の短い方の寸法とほぼ一致するように構成して
いるから、出射されるレーザビームは縦と横の径がほぼ
一致したビームとなる。
また、レーザモード領域を溝の短い辺を形成する壁より
１ｗＩｎ以上離したのでレーザビームが溝の短い辺を形
成する壁に当たることなく、また、放電が発生し難く励
起媒質がない短い辺を形成する壁よりＩＷ１以内の領域
をレーザビームが通過しないので損失が増加しない。さ
らにまた、リッジによりプラズマが発生する。すなわち
励起媒質が生じる領域とレーザモード領域とがほぼ一致
するようにしたので、励起媒質から効率良くレーザエネ
ルギーを引き出すことができる。
１ｗＩｎ以上離したのでレーザビームが溝の短い辺を形
成する壁に当たることなく、また、放電が発生し難く励
起媒質がない短い辺を形成する壁よりＩＷ１以内の領域
をレーザビームが通過しないので損失が増加しない。さ
らにまた、リッジによりプラズマが発生する。すなわち
励起媒質が生じる領域とレーザモード領域とがほぼ一致
するようにしたので、励起媒質から効率良くレーザエネ
ルギーを引き出すことができる。
［実施例］
１！１図（ａ）はこの発明の一実施例における共振器を
示す斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に示す共振器
の不安定型共振器側の概要を示す平面図、第１図（ｃ）
は第１図（ａ）に示す共振器の光導波路共振器側の概要
を示す側面図である。
示す斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に示す共振器
の不安定型共振器側の概要を示す平面図、第１図（ｃ）
は第１図（ａ）に示す共振器の光導波路共振器側の概要
を示す側面図である。
第１図（ａ） 、 （ｂ）及び（ｃ）において、（５０
）は全反射ミラーで、凹面鏡であり第４図のレーザ発振
用のミラー（５）に相当する。（５１）は出口全反射ミ
ラーで凹面鏡である。（６７）は放電空間で、Ｉ！５図
における放電空間（６７）に相当する。この放電空間（
６７）は、レーザ光軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法
（Ａ及びＢ）が異なる偏平なスラブ状に形成されており
、寸法Ｂはレーザ波長に対し光導波路の寸法としである
。
）は全反射ミラーで、凹面鏡であり第４図のレーザ発振
用のミラー（５）に相当する。（５１）は出口全反射ミ
ラーで凹面鏡である。（６７）は放電空間で、Ｉ！５図
における放電空間（６７）に相当する。この放電空間（
６７）は、レーザ光軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法
（Ａ及びＢ）が異なる偏平なスラブ状に形成されており
、寸法Ｂはレーザ波長に対し光導波路の寸法としである
。
以上のように構成された共振器は、放電空間断面におけ
る寸法の長い方の１次元については、つまり図示のＡ方
向についてはミラー（５０）、（５１，）を組み合せた
負ブランチの不安定型共振器となっており、放電空間断
面における寸法の短い方の１次元については、つまり図
示のＢ方向については、先導波路共振器となっている。
る寸法の長い方の１次元については、つまり図示のＡ方
向についてはミラー（５０）、（５１，）を組み合せた
負ブランチの不安定型共振器となっており、放電空間断
面における寸法の短い方の１次元については、つまり図
示のＢ方向については、先導波路共振器となっている。
さらに、負ブランチの不安定型振器は、放電空間新面の
寸法が長い方の一端部（６７１）からのみレーザビーム
（８）を取り出すために、レーザ光軸を放電空間の中心
軸よりずらしである。即ち、ミラー（５０）及び（５１
）の少なくとも一方は放電空間の中心軸に対し傾けて配
置しである。また、ミラー（５１）にはレーザビーム取
り出し部（５１１）が設けである。このレーザビーム取
り出し部（５１１）は、この実施例ではミラー（５１）
の一部を切欠いて直線状のアパーチャを形成したもので
ある。
寸法が長い方の一端部（６７１）からのみレーザビーム
（８）を取り出すために、レーザ光軸を放電空間の中心
軸よりずらしである。即ち、ミラー（５０）及び（５１
）の少なくとも一方は放電空間の中心軸に対し傾けて配
置しである。また、ミラー（５１）にはレーザビーム取
り出し部（５１１）が設けである。このレーザビーム取
り出し部（５１１）は、この実施例ではミラー（５１）
の一部を切欠いて直線状のアパーチャを形成したもので
ある。
なお１図においてＰＬｏはミラー（５１）から取り出さ
れるレーザ光強度分布を示しており、Ｒアはミラー（５
０）の曲率半径、ＲＰはミラー（５１）の曲率半径であ
る。また、ａ及びｂはミラーの有効長さすなわちミラー
に光が当たる長さを示している。
れるレーザ光強度分布を示しており、Ｒアはミラー（５
０）の曲率半径、ＲＰはミラー（５１）の曲率半径であ
る。また、ａ及びｂはミラーの有効長さすなわちミラー
に光が当たる長さを示している。
次に不安定型共振器により形成されるレーザモード領域
について説明する。
について説明する。
第１図（ｂ）において、出口全反射ミラー（５１）の端
部Ｅで反射された光は全反射ミラー（５０）のＦで反射
され、線ｆを通ってＧ−＋Ｈから線りとなって外部へ放
射される。この線ｆ、ｈが全反射ミラー（５０）と出口
全反射ミラー（５１）で構成される不安定型共振器のモ
ード領域の最外部になる。すなわち、不安定型共振器内
の光は線ｆとｈの間だけに存在する。また、出口全反射
ミラー（５１）の端部（５１１）と線りの間の光がレー
ザビーム（８）となって出射される。
部Ｅで反射された光は全反射ミラー（５０）のＦで反射
され、線ｆを通ってＧ−＋Ｈから線りとなって外部へ放
射される。この線ｆ、ｈが全反射ミラー（５０）と出口
全反射ミラー（５１）で構成される不安定型共振器のモ
ード領域の最外部になる。すなわち、不安定型共振器内
の光は線ｆとｈの間だけに存在する。また、出口全反射
ミラー（５１）の端部（５１１）と線りの間の光がレー
ザビーム（８）となって出射される。
ここで、モード領域の最外部線りと出口全反射ミラー（
５１）の端部（５１１）の距離、すなわちレーザビーム
（８）の巾ｂ −ａを放電空間断面における短い方の寸
法Ｂにほぼ一致させており、こうすることによりレーザ
ビーム（８）は対称となり、遠方では発散角がほぼ対称
の円形ビームとなって、すなわち集束性の良いビームが
得られる。
５１）の端部（５１１）の距離、すなわちレーザビーム
（８）の巾ｂ −ａを放電空間断面における短い方の寸
法Ｂにほぼ一致させており、こうすることによりレーザ
ビーム（８）は対称となり、遠方では発散角がほぼ対称
の円形ビームとなって、すなわち集束性の良いビームが
得られる。
一方、放電空間（６７）の端の部分、すなわち放電空間
（６７）を形成する溝の壁（６７２）、（６７３）に近
い部分は、マイクロ波電界が弱く放電し難い。従って、
この部分はレーザ励起媒質がほとんど存在しない。
（６７）を形成する溝の壁（６７２）、（６７３）に近
い部分は、マイクロ波電界が弱く放電し難い。従って、
この部分はレーザ励起媒質がほとんど存在しない。
反対に、レーザ光が吸収されたりする恐れがある。
ここでは、レーザモード領域がこの放電空間（６７）の
端の部分を含まないよう壁（６７２）、（８７３）から
１−以上離れるようにして、レーザ光が吸取されたり、
また壁（６７２）、（６７３）に触れたりして損失する
のを抑えている。
端の部分を含まないよう壁（６７２）、（８７３）から
１−以上離れるようにして、レーザ光が吸取されたり、
また壁（６７２）、（６７３）に触れたりして損失する
のを抑えている。
第２図はこの発明の他の実施例を示す断面図であり、第
５図に代わるものである。ここでは、溝（６４）に誘電
体（６６）を介して相対する導電体壁部分にリッジを形
成し、このリッジの少なくとも先端部（６３１）の巾を
溝の巾より狭く形成してい４゜この先端部（６３］）の
巾を変えることで、放電する巾を変えることができる。
５図に代わるものである。ここでは、溝（６４）に誘電
体（６６）を介して相対する導電体壁部分にリッジを形
成し、このリッジの少なくとも先端部（６３１）の巾を
溝の巾より狭く形成してい４゜この先端部（６３］）の
巾を変えることで、放電する巾を変えることができる。
レーザモード領域と放電が生じる領域が一致するように
、リッジ先端部（６３１，）の巾を適当に設定すること
でレーザ発振効率を良好に保つことができる。
、リッジ先端部（６３１，）の巾を適当に設定すること
でレーザ発振効率を良好に保つことができる。
一例として、溝の中２４＋ｎｍでリッジ先端部（６３２
）の巾を２０ｍとすることで、放電が生じる領域の巾を
２０ｍｗｉにすることができた。ここで、レーザモード
領域の巾が２０ｍとなるように全反射ミラー （５０）
と出口全反射ミラー（５１）の曲率、寸法等を設計した
。ミラー間隔４３０ｍｍで拡大率、すなわち全反射ミラ
ー（５０）の焦点距離（叉は曲率半径）と出口全反射ミ
ラー（５１）の焦点距離（又は曲率半径）の比を１．１
：１として出口全反射ミラー（５１）の有効長さａを１
８ｍ＋＋とすることでレーザモード領域の巾を約２０■
゛！することができる。この共振器を用いて効率１５％
以上のレーザ発振を達成することができた。
）の巾を２０ｍとすることで、放電が生じる領域の巾を
２０ｍｗｉにすることができた。ここで、レーザモード
領域の巾が２０ｍとなるように全反射ミラー （５０）
と出口全反射ミラー（５１）の曲率、寸法等を設計した
。ミラー間隔４３０ｍｍで拡大率、すなわち全反射ミラ
ー（５０）の焦点距離（叉は曲率半径）と出口全反射ミ
ラー（５１）の焦点距離（又は曲率半径）の比を１．１
：１として出口全反射ミラー（５１）の有効長さａを１
８ｍ＋＋とすることでレーザモード領域の巾を約２０■
゛！することができる。この共振器を用いて効率１５％
以上のレーザ発振を達成することができた。
上記実施例では、不安定型共振器として負ブランチのも
のについて説明したが、第３図に示すように全反射ミラ
ー（１５０）を凹面鏡、出口全反射ミラー（１５］）を
凸面鏡とした正ブランチの不安定型共振器としても全く
同様の効果を示すのは言うまでもない。
のについて説明したが、第３図に示すように全反射ミラ
ー（１５０）を凹面鏡、出口全反射ミラー（１５］）を
凸面鏡とした正ブランチの不安定型共振器としても全く
同様の効果を示すのは言うまでもない。
［発明の効果］
この発明は以上説明したとおり、マイクロ波回路の一部
を構成する導電体壁と、この導電体壁に対向して設けら
れた誘電体との間に上記導電体壁に溝を設け、レーザ光
軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法が異なる空間を形成
して放電空間とし、この放電空間断面の寸法の長い方の
１次元につし１ては、全反射ミラーと出口全反射ミラー
により不安定型共振器を構成し、この出口全反射ミラー
側の上記寸法の長い方の一端部からレーザビームを取り
出すようにすると共に、レーザモード領域の最外部と出
口全反射ミラーの端部の距離２５（、放電空間断面の短
い方の寸法とほぼ一致するようにしたので、集束性の良
いビームを発生する気体レーザ装置が得られる効果があ
る。また、レーザモード領域を溝の短い辺を形成する壁
より１ｍ以上離したから損失の少ない、効率の良１．％
気体レーザ装置が得られる効果がある。さらにまた、誘
電体を介して溝に相対する導電体壁部分にリッジを形成
し、このリッジの少なくとも先端部の巾を溝の巾より狭
く形成し、放電空間中でプラズマの発生する領域とレー
ザモード領域とがほぼ一致するようにしたので、非常に
効率の良０気体レーザ装置カく得られる効果がある。
を構成する導電体壁と、この導電体壁に対向して設けら
れた誘電体との間に上記導電体壁に溝を設け、レーザ光
軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法が異なる空間を形成
して放電空間とし、この放電空間断面の寸法の長い方の
１次元につし１ては、全反射ミラーと出口全反射ミラー
により不安定型共振器を構成し、この出口全反射ミラー
側の上記寸法の長い方の一端部からレーザビームを取り
出すようにすると共に、レーザモード領域の最外部と出
口全反射ミラーの端部の距離２５（、放電空間断面の短
い方の寸法とほぼ一致するようにしたので、集束性の良
いビームを発生する気体レーザ装置が得られる効果があ
る。また、レーザモード領域を溝の短い辺を形成する壁
より１ｍ以上離したから損失の少ない、効率の良１．％
気体レーザ装置が得られる効果がある。さらにまた、誘
電体を介して溝に相対する導電体壁部分にリッジを形成
し、このリッジの少なくとも先端部の巾を溝の巾より狭
く形成し、放電空間中でプラズマの発生する領域とレー
ザモード領域とがほぼ一致するようにしたので、非常に
効率の良０気体レーザ装置カく得られる効果がある。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例における共振器を示
す斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に示す共振器の
不安定型共振器側の概要を示す平面図、第１図（ｃ）は
第１図（ａ）に示す共振器の光導波路共振器側の概要を
示す側面図、第２図はこの発明の他の実施例を示す断面
図、第３図（ａ）はこの発明のなお、 示す。
す斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に示す共振器の
不安定型共振器側の概要を示す平面図、第１図（ｃ）は
第１図（ａ）に示す共振器の光導波路共振器側の概要を
示す側面図、第２図はこの発明の他の実施例を示す断面
図、第３図（ａ）はこの発明のなお、 示す。
Claims (3)
- （１）マイクロ波回路中のマイクロ波によりプラズマを
発生しレーザ励起を行うものにおいて、上記マイクロ波
回路の一部を構成する導電体壁と、この導電体壁に対向
して設けられた誘電体との間に上記導電体壁に溝を設け
、レーザ光軸方向に垂直な断面の縦と横の寸法が異なる
空間を形成し、この空間に上記プラズマを発生するレー
ザ気体を封入すると共に上記マイクロ波回路により、上
記誘電体と上記プラズマとの境界に垂直な電界成分を有
するマイクロ波モードを形成して、上記プラズマを発生
させる気体レーザ装置において、上記放電空間断面にお
ける寸法の長い方の１次元については、全反射ミラーと
出口全反射ミラーにより不安定型共振器を構成し、この
出口反射ミラー側の上記寸法の長い方の一端部からレー
ザビームを取り出すようにすると共に、上記全反射ミラ
ーと出口全反射ミラーにより形成されるレーザモード領
域の最外部と上記出口全反射ミラーの端部の距離が、上
記放電空間断面における短い方の寸法とほぼ一致するよ
うにしたことを特徴とする気体レーザ装置。 - （２）上記放電空間断面における寸法の長い方の１次元
については、全反射ミラーと出口全反射ミラーにより不
安定型共振器を構成すると共に、この不安定型共振器に
よるレーザモード領域を、上記溝の短い辺を形成する壁
より１ｍｍ以上離したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の気体レーザ装置。 - （３）上記放電空間断面における寸法の長い方の１次元
については、全反射ミラーと出口全反射ミラーにより不
安定型共振器を構成し、この出口反射ミラー側の上記寸
法の長い方の一端部からレーザビームを取り出すように
すると共に、上記誘電体を介して上記溝に相対する導電
体壁部分にリッジを形成し、このリッジの少なくとも先
端部の巾を溝の巾より狭く形成し、上記プラズマが発生
する領域と、上記全反射ミラーと出口反射ミラーにより
形成されるレーザモード領域とがほぼ一致するようにし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の気体レ
ーザ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP285990A JPH03208384A (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | 気体レーザ装置 |
| US07/564,517 US5048048A (en) | 1989-08-11 | 1990-08-09 | Gas laser device |
| DE69005393T DE69005393T2 (de) | 1989-08-11 | 1990-08-10 | Gas-Laser-Vorrichtung. |
| EP90115394A EP0412555B1 (en) | 1989-08-11 | 1990-08-10 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP285990A JPH03208384A (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | 気体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03208384A true JPH03208384A (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=11541108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP285990A Pending JPH03208384A (ja) | 1989-08-11 | 1990-01-10 | 気体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03208384A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0637381A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | 導波路型レーザ発振器 |
| JP2010535418A (ja) * | 2007-07-31 | 2010-11-18 | コヒーレント・インク | レーザーミラーにおける熱変形の補償 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63186483A (ja) * | 1987-01-28 | 1988-08-02 | Mitsubishi Electric Corp | 気体レ−ザ装置 |
| JPS63192285A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-08-09 | ジョン チューリップ | スラブ状気体レーザ |
| JPS6468984A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Excimer laser device |
| JPS6469067A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Carbon dioxide gas laser equipment |
-
1990
- 1990-01-10 JP JP285990A patent/JPH03208384A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192285A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-08-09 | ジョン チューリップ | スラブ状気体レーザ |
| JPS63186483A (ja) * | 1987-01-28 | 1988-08-02 | Mitsubishi Electric Corp | 気体レ−ザ装置 |
| JPS6468984A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Excimer laser device |
| JPS6469067A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Carbon dioxide gas laser equipment |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0637381A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | 導波路型レーザ発振器 |
| JP2010535418A (ja) * | 2007-07-31 | 2010-11-18 | コヒーレント・インク | レーザーミラーにおける熱変形の補償 |
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