JPS604282A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
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- JPS604282A JPS604282A JP11086183A JP11086183A JPS604282A JP S604282 A JPS604282 A JP S604282A JP 11086183 A JP11086183 A JP 11086183A JP 11086183 A JP11086183 A JP 11086183A JP S604282 A JPS604282 A JP S604282A
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- resonator
- optical axis
- mounting part
- mounting
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、共振器を安置形又は不安定形のいずれか一方
に切替可能なレーザ族ゐ−にＰＡする。
に切替可能なレーザ族ゐ−にＰＡする。
近時、レーザ加工用の高出力レーザ装置の共振器として
、安定形と不安定形の２釉のものが用いられている。第
１図は安定形の共振器（１）を示すもので、この共振器
（１）は励起媒質（２）をはさみ、その一端部に凹面鏡
（３）が、他端部に部分透過出力鏡（４）が配設されて
いる。そして、発生したレーザ光は光軸（５）に沿って
往復しながらす７４幅される。そして、一部のレーザ光
が部分透過出力鏡（４）を透過して矢印（６）方向に取
出される。このような安定形共振器による多重モードの
レーザ光は、大出力が得られ、かつ強度分布が均一であ
るので、焼入れ加工等に適するが、その反面、溶接、切
断には、あまシ適していない。一方、第２図は、不安定
形の共振器（７）を示すもので、この共４）１（器（刀
は励起媒質（８）をはさみ、その一端部に凹面鏡（９）
が、他端部に凸面鏡ｕＯ）が同一の光軸圓上に配設され
ているとともに、この光軸０１）の凸面ｔ！（１０）側
に透孔（１２）を有する円環状の結合鋭０３）が設けら
れている。この結合鏡（１３）は、ドーナツ状のレーザ
光を、光軸（１１）に直交する光軸圓の方向に取出すだ
めのものである。そして、共振器（力の側壁の光軸Ｕ上
には出力透過窓（旧が設けられている。このような不安
定形共振器によるレーザ光は、集束性が良好であるので
、溶接、切断加工等には適しているが、その反面、強度
分布が不均一であるので、表面処理加工には不適である
。
、安定形と不安定形の２釉のものが用いられている。第
１図は安定形の共振器（１）を示すもので、この共振器
（１）は励起媒質（２）をはさみ、その一端部に凹面鏡
（３）が、他端部に部分透過出力鏡（４）が配設されて
いる。そして、発生したレーザ光は光軸（５）に沿って
往復しながらす７４幅される。そして、一部のレーザ光
が部分透過出力鏡（４）を透過して矢印（６）方向に取
出される。このような安定形共振器による多重モードの
レーザ光は、大出力が得られ、かつ強度分布が均一であ
るので、焼入れ加工等に適するが、その反面、溶接、切
断には、あまシ適していない。一方、第２図は、不安定
形の共振器（７）を示すもので、この共４）１（器（刀
は励起媒質（８）をはさみ、その一端部に凹面鏡（９）
が、他端部に凸面鏡ｕＯ）が同一の光軸圓上に配設され
ているとともに、この光軸０１）の凸面ｔ！（１０）側
に透孔（１２）を有する円環状の結合鋭０３）が設けら
れている。この結合鏡（１３）は、ドーナツ状のレーザ
光を、光軸（１１）に直交する光軸圓の方向に取出すだ
めのものである。そして、共振器（力の側壁の光軸Ｕ上
には出力透過窓（旧が設けられている。このような不安
定形共振器によるレーザ光は、集束性が良好であるので
、溶接、切断加工等には適しているが、その反面、強度
分布が不均一であるので、表面処理加工には不適である
。
このように、安定形及び不安定形の共振器には、それぞ
れ、表裏相反する長所・短所をもっているので、加工目
的に応じて、共振器を安定形又は不安定形かのいずれか
に切替る必要があった。しかるに、これら安定形及び不
安定形の共振器は、外部に発振されるレーザ光の光軸が
同一でないので、上記切替のだめの作業がいたずらに煩
雑化し、作業者の負担が大きくなっていた。
れ、表裏相反する長所・短所をもっているので、加工目
的に応じて、共振器を安定形又は不安定形かのいずれか
に切替る必要があった。しかるに、これら安定形及び不
安定形の共振器は、外部に発振されるレーザ光の光軸が
同一でないので、上記切替のだめの作業がいたずらに煩
雑化し、作業者の負担が大きくなっていた。
本発明は、上記事情を勘案してなされたもので、レーザ
光の光軸位置を変えることなく、共振器を安定形又は不
安定形のいずれか一方に迅速かつ容易に切替ることので
きるレーザ装置：′ｔを提イ↓１、することを目的とす
る。
光の光軸位置を変えることなく、共振器を安定形又は不
安定形のいずれか一方に迅速かつ容易に切替ることので
きるレーザ装置：′ｔを提イ↓１、することを目的とす
る。
不安定形共振器において結合鋭を保持する取（−１部に
て安定形共振器用の千面鋭も取付可能とするとともに、
この平面鏡により反射されたレーザ光の光路と上記結合
鏡により反射されたレーザ光の光路が一致するように設
定し、上記反射レーザ光の光路上に安定形共振器用の部
分造過緯又は不安定形共振器用の出力透過窓ケ交換自任
に支持する取付部を設けたものである。
て安定形共振器用の千面鋭も取付可能とするとともに、
この平面鏡により反射されたレーザ光の光路と上記結合
鏡により反射されたレーザ光の光路が一致するように設
定し、上記反射レーザ光の光路上に安定形共振器用の部
分造過緯又は不安定形共振器用の出力透過窓ケ交換自任
に支持する取付部を設けたものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照してｔｆ述する。
第３図は、本実施例のレーザ装置の共振器部分を示して
いる。円筒状の本体叫の内側一端部には、１１ル１の取
付板ｆ１７）が例えば、ばねなどの弾性体（１碍を介し
て取付けられている。そして、この第１の取付板（１７
）の底部に突設された欠片（１７ａ）・・・には、本体
α０に取付けられた複数のマイクロメータ・ヘッドα１
・・・の当接子（１９ａ）・・・が当接していて、これ
らマイクロメータ拳ヘッド（１９）・・・の回動によシ
第１の取付板（１，７）の角度なＮ＋ｒＡ節できるよう
になっている。
いる。円筒状の本体叫の内側一端部には、１１ル１の取
付板ｆ１７）が例えば、ばねなどの弾性体（１碍を介し
て取付けられている。そして、この第１の取付板（１７
）の底部に突設された欠片（１７ａ）・・・には、本体
α０に取付けられた複数のマイクロメータ・ヘッドα１
・・・の当接子（１９ａ）・・・が当接していて、これ
らマイクロメータ拳ヘッド（１９）・・・の回動によシ
第１の取付板（１，７）の角度なＮ＋ｒＡ節できるよう
になっている。
この第１の取付板（１７１の弾性体（１段側とは反対側
には、凹面鏡（２Ｇが固設されている。さらに、第１の
取付板１１７）には冷却パイプ（２ｉ１．（２ａが内設
され、これら冷却パイプ（２１＋、（２Ｉ）を負流する
冷却水によシ凹面’Ｗ ｒＪＱｌを間接的に冷却するよ
うになっている。かくて、上記第１の取付板ｆｔ７）
、弾性体（Ｅ印、冷却パイプ（２υ、Ｑυ及びマイクロ
メータ・ヘッドｆ１９１・・・は、第１の取付部（２り
をなしている。一方、本体（１６）の内側他端部には、
第２の数句板（２３）が弾性体（２４）を介して取付け
られている。そして、この第２の取付板ｃ！東の底部に
突設された突片（２３ｇ）・・・には、本体（１ｅに取
付けられた複数のマイクロメータ・ヘッドｃ２５１・・
・の尚接子（２５ａ）・・・が当接していて、これらマ
イクロメータヘッド（ハ）・・・の回動により第２の取
付板（至）の角度を調節できるようになっている。この
第２の取付板面の弾性体Ｈとは反対側には、凸面鏡（４
）が、凹面鏡（２υと対向して凹面鏡（２）と同一の光
軸（２７）を壱するように固設されている。さらに、第
２の取付板ｅ：３）には、冷却パイプ（２Ｂ）、（２８
１が内設され、これら冷却パイプ（ハ）、 （２８）を
頁流する冷却水によシ凸面鋺（澗を間接的に冷却するよ
うになっている。かくて、第２の取付板ｒｌ？ｉ 、弾
性体（２＋１．冷却バイブ（３ＰＪ、（ｉ８１及びマイ
クロメータ・ヘッド（２５１・・・は、第２の取付部０
９）をなしている。さらに、凸面鏡（２（５に近接して
第３の取付板Ｃ３１が、複数の弾性体Ｃ３１）・・・を
介して第２の取付板１１７）が取付けられている本体（
１６）の端部と同一の端部に取付けられている。この第
３の取付板Ｃ（ｔｉｔには透孔（１２）が穿設され、こ
の透孔（３２）を光軸（２７）に沿ったレーザ光が通過
できるようになっている。そして、この第３の数句板（
３０）の麿一部に突設された突片（３０ａ）・・・には
、本体α０に増刊けられた複数のマイクロメータ・ヘッ
ドＣ３３）・・・の当接子（３３ａ）・・・が当接して
いて、これらマイクロメータ・ヘッドＣ３３１・・・の
回動により第３の取付板（３ｔ））の角度を調節できる
ようになっている。この第３の取付板−の弾性体Ｃ３１
）・・・とけ反対側には、鏡面（３勺が光軸（２′０に
対して４５度傾斜している例えばｔｊ司などの金属製の
平面鏡（，３ω（第４図参照）又はψ面（鏝が光軸（２
力に対して４５度傾斜している中心に透孔を有する円筒
状の結合鈍Ｇカ（第５図参照）が着脱自在に増刊けられ
ている。
には、凹面鏡（２Ｇが固設されている。さらに、第１の
取付板１１７）には冷却パイプ（２ｉ１．（２ａが内設
され、これら冷却パイプ（２１＋、（２Ｉ）を負流する
冷却水によシ凹面’Ｗ ｒＪＱｌを間接的に冷却するよ
うになっている。かくて、上記第１の取付板ｆｔ７）
、弾性体（Ｅ印、冷却パイプ（２υ、Ｑυ及びマイクロ
メータ・ヘッドｆ１９１・・・は、第１の取付部（２り
をなしている。一方、本体（１６）の内側他端部には、
第２の数句板（２３）が弾性体（２４）を介して取付け
られている。そして、この第２の取付板ｃ！東の底部に
突設された突片（２３ｇ）・・・には、本体（１ｅに取
付けられた複数のマイクロメータ・ヘッドｃ２５１・・
・の尚接子（２５ａ）・・・が当接していて、これらマ
イクロメータヘッド（ハ）・・・の回動により第２の取
付板（至）の角度を調節できるようになっている。この
第２の取付板面の弾性体Ｈとは反対側には、凸面鏡（４
）が、凹面鏡（２υと対向して凹面鏡（２）と同一の光
軸（２７）を壱するように固設されている。さらに、第
２の取付板ｅ：３）には、冷却パイプ（２Ｂ）、（２８
１が内設され、これら冷却パイプ（ハ）、 （２８）を
頁流する冷却水によシ凸面鋺（澗を間接的に冷却するよ
うになっている。かくて、第２の取付板ｒｌ？ｉ 、弾
性体（２＋１．冷却バイブ（３ＰＪ、（ｉ８１及びマイ
クロメータ・ヘッド（２５１・・・は、第２の取付部０
９）をなしている。さらに、凸面鏡（２（５に近接して
第３の取付板Ｃ３１が、複数の弾性体Ｃ３１）・・・を
介して第２の取付板１１７）が取付けられている本体（
１６）の端部と同一の端部に取付けられている。この第
３の取付板Ｃ（ｔｉｔには透孔（１２）が穿設され、こ
の透孔（３２）を光軸（２７）に沿ったレーザ光が通過
できるようになっている。そして、この第３の数句板（
３０）の麿一部に突設された突片（３０ａ）・・・には
、本体α０に増刊けられた複数のマイクロメータ・ヘッ
ドＣ３３）・・・の当接子（３３ａ）・・・が当接して
いて、これらマイクロメータ・ヘッドＣ３３１・・・の
回動により第３の取付板（３ｔ））の角度を調節できる
ようになっている。この第３の取付板−の弾性体Ｃ３１
）・・・とけ反対側には、鏡面（３勺が光軸（２′０に
対して４５度傾斜している例えばｔｊ司などの金属製の
平面鏡（，３ω（第４図参照）又はψ面（鏝が光軸（２
力に対して４５度傾斜している中心に透孔を有する円筒
状の結合鈍Ｇカ（第５図参照）が着脱自在に増刊けられ
ている。
ここで、平面鏡０■と結合鏡（３７）とは、これらによ
り反射されたレーザ光がいずれも光軸（至）（光軸（２
７）に直交する。）を通るように光軸（２ηと交差する
同一平面上に設定される。そして、第３の取付板（１３
■には、冷却バイブ（３９１，Ｃｔｌが内設され、これ
ら冷却パイプ（３１，Ｃａｌを貫流する冷却水により平
面鏡（３０又は結合鏡Ｃ３７）を間接的に冷却するよう
になっている。
り反射されたレーザ光がいずれも光軸（至）（光軸（２
７）に直交する。）を通るように光軸（２ηと交差する
同一平面上に設定される。そして、第３の取付板（１３
■には、冷却バイブ（３９１，Ｃｔｌが内設され、これ
ら冷却パイプ（３１，Ｃａｌを貫流する冷却水により平
面鏡（３０又は結合鏡Ｃ３７）を間接的に冷却するよう
になっている。
かくて、第３のＪ＋Ｖ付板Ｃ３０） 、弾性体ｃ３１）
・・・、冷却バイブＯ！１．（至）及びマイクロメータ
・ヘッド（晒・・・け、第３の取付部（ｌ＋＊をなして
いる。しかして、光軸（至）っまシ反射レーザ光の光路
が交差する本体（国部分には、レーザ光を外部に取出す
ための円孔（４υが穿設されている。そして、本体１１
Ｇ）の外側には、第４の取付部（４２１が円孔（４１）
と同軸に取付けられている。この第４の取付部（４りは
、円孔（４１）とにぼ同径の中空部を有する円筒状の取
付体（４東と、本体ＵＱとこの取付体０３とを密封する
Ｏリング（４４１と、取付体（４３中に内設され冷却水
が貫流する冷却パイプ（４！Ｊｌとがらなっている。し
かして、取付体（４３）の内部には、段差（４３ａ）が
形成されている。そして、；Ｐ；３の取付部−に取付け
られたものが平面鏡（う９である場合は、例えばＺｎ５
ｅなどからなる円板状の部分透過出力鏡（４ω（第４図
参照）が、結合鏡（３゛ｏである場合は、円板状の出力
透過窓（４７） （第５図参照）が、取付体（４３）に
嵌合されＯリング（佃を介して圧着リング（４９）にょ
シ段差（４′５に係止されている。さらに、本体（１６
）内部の、第１の取付部（２２１と第３の取付部（４１
との間には、励起媒質部（５Ｉｌｌｌが充填されている
。
・・・、冷却バイブＯ！１．（至）及びマイクロメータ
・ヘッド（晒・・・け、第３の取付部（ｌ＋＊をなして
いる。しかして、光軸（至）っまシ反射レーザ光の光路
が交差する本体（国部分には、レーザ光を外部に取出す
ための円孔（４υが穿設されている。そして、本体１１
Ｇ）の外側には、第４の取付部（４２１が円孔（４１）
と同軸に取付けられている。この第４の取付部（４りは
、円孔（４１）とにぼ同径の中空部を有する円筒状の取
付体（４東と、本体ＵＱとこの取付体０３とを密封する
Ｏリング（４４１と、取付体（４３中に内設され冷却水
が貫流する冷却パイプ（４！Ｊｌとがらなっている。し
かして、取付体（４３）の内部には、段差（４３ａ）が
形成されている。そして、；Ｐ；３の取付部−に取付け
られたものが平面鏡（う９である場合は、例えばＺｎ５
ｅなどからなる円板状の部分透過出力鏡（４ω（第４図
参照）が、結合鏡（３゛ｏである場合は、円板状の出力
透過窓（４７） （第５図参照）が、取付体（４３）に
嵌合されＯリング（佃を介して圧着リング（４９）にょ
シ段差（４′５に係止されている。さらに、本体（１６
）内部の、第１の取付部（２２１と第３の取付部（４１
との間には、励起媒質部（５Ｉｌｌｌが充填されている
。
つぎに１本実施例のレーザ装置σの使い方について述べ
る。まず、たとえば表面焼入れなどの表面処理を行う場
合には、第３の取付部Ｉ１１に平面鏡ｃ３勺を取付ける
とともに、第４の取付部（４４に部分透過出力鏡■を取
付は安定形の共振器に設定する。そして、マイクロメー
タ・ヘッド←０・・・、（ハ）・・・を操作することに
より、レーザ光が光軸（２７） 、（至）を通るように
安定形共振器としてのアラインメントを行う。
る。まず、たとえば表面焼入れなどの表面処理を行う場
合には、第３の取付部Ｉ１１に平面鏡ｃ３勺を取付ける
とともに、第４の取付部（４４に部分透過出力鏡■を取
付は安定形の共振器に設定する。そして、マイクロメー
タ・ヘッド←０・・・、（ハ）・・・を操作することに
より、レーザ光が光軸（２７） 、（至）を通るように
安定形共振器としてのアラインメントを行う。
かくて、この場合、励起部（！Ｊ（ｌｌにて発生したレ
ーザ光は、平ｑ＋鏡Ｏωによシ全反射を受けることにょ
シ、凹面鏡０（２）と部分透過出力鏡（’１ｌｉｌとの
間を光軸（２７）、０１に沿って往存し、励起媒質部（
５０）によシ増幅された強度分布が均一なレーザ光の一
部は、部分透過出力鏡（４６）より外部にとり出され、
所定の表面処理加工に使用される。一方、たとえば溶接
又は切断加工を行う場合は、Δド面鏡（３５１を結合鏡
Ｇ７）と取替えるとともに、部分旋過出力ｉ１ ｒ、４
ｆｉ）を出力透過窓（４７）と取替え、不安定形の共振
器に設定する。そして、マイクロメータ・ヘッドθ訃・
・、 （２５）・・・、（３東・・・を操作して、レー
ザ光が光軸（２７）、（１８）を通るように不安定形共
振器としてのアラインメントを行う。かくて、この場合
、励起部４１部５０＋にて発生したレーザ光は、結合鏡
Ｇ７）の中空部及び透孔（３２１を通過し、凹面鏡（２
ｏ）と凸面鏡００との間を光軸０７）に沿って往復し、
励起媒質部６０）にニジ増幅きれたレーザ光の一部は、
鏡面０６）にて全反射され、ドーナツ状のレーザ光とな
って出力透過窓（４７）よυ外部に取り出され、所定の
溶接又は切断加工に使用される。
ーザ光は、平ｑ＋鏡Ｏωによシ全反射を受けることにょ
シ、凹面鏡０（２）と部分透過出力鏡（’１ｌｉｌとの
間を光軸（２７）、０１に沿って往存し、励起媒質部（
５０）によシ増幅された強度分布が均一なレーザ光の一
部は、部分透過出力鏡（４６）より外部にとり出され、
所定の表面処理加工に使用される。一方、たとえば溶接
又は切断加工を行う場合は、Δド面鏡（３５１を結合鏡
Ｇ７）と取替えるとともに、部分旋過出力ｉ１ ｒ、４
ｆｉ）を出力透過窓（４７）と取替え、不安定形の共振
器に設定する。そして、マイクロメータ・ヘッドθ訃・
・、 （２５）・・・、（３東・・・を操作して、レー
ザ光が光軸（２７）、（１８）を通るように不安定形共
振器としてのアラインメントを行う。かくて、この場合
、励起部４１部５０＋にて発生したレーザ光は、結合鏡
Ｇ７）の中空部及び透孔（３２１を通過し、凹面鏡（２
ｏ）と凸面鏡００との間を光軸０７）に沿って往復し、
励起媒質部６０）にニジ増幅きれたレーザ光の一部は、
鏡面０６）にて全反射され、ドーナツ状のレーザ光とな
って出力透過窓（４７）よυ外部に取り出され、所定の
溶接又は切断加工に使用される。
このように、本芙施例のレーザ装置は、光軸位置を変更
することなく、わずかな″Ｆ１１Ｘ品交換だけで、安定
形共振器又は不安定形共」最器のいずれか一方に１加工
目的に応じて、迅速かつｆ７ｊｍ単に切替ることかでき
る。したがって、安定形及び不安定形のレーザ光の特長
を生かした各種レーザ加工を行うことができるとともに
、作朶者の９和、が大幅に軽減する。
することなく、わずかな″Ｆ１１Ｘ品交換だけで、安定
形共振器又は不安定形共」最器のいずれか一方に１加工
目的に応じて、迅速かつｆ７ｊｍ単に切替ることかでき
る。したがって、安定形及び不安定形のレーザ光の特長
を生かした各種レーザ加工を行うことができるとともに
、作朶者の９和、が大幅に軽減する。
なお、上記実施例においては、第４の取付部（４のは、
本体α０に固定されているが、８（３６図に示すように
１角度調節自在な構造とすることにより、アライメント
をより１η１便かつ正確に行うことができる。すなわち
、数句体（４３１と透孔（５１）を有する第４の数句板
（５２）に固定し、この第４の取付板（５２）を本体（
１Ｇ）にベローズ（５３）を介して取着する。そして、
第４の取付板（５２）に取付けられたマイクロメータ・
ヘッド（５４）・・・の当接子（５４ａ）・・・を本体
（１６１に突設された突片（５５）に当１妾させ、これ
らマイクロメータ・ヘッド（５４）・・・の回動によシ
第４の取付板（５２）つまり第４の取付部（４望の角度
調整が可能となる。また、弾性体（＋８）、（２（イ）
、 ｅｌｌ 、 （３１）としてベローズを用いてもよ
い。てらに、上記実施例においては、部分透過出力鏡（
４Ｇ）又は出力透過窓（４７）を保持する第４の取付部
（４２１は、本体（１（ａの側壁に設けているが ９４
’＋ ７図に示すように、凹面鏡（氾が増刊けられてい
る第１の取付部（２４と四−の端部に設けてもよい。こ
の場合、第３の取付部（４［１）け、平面鏡Ｃ（ω又は
結合鏡（３カにより反射されたレーザ光が光軸間を通っ
て上記一端部に設けられている第４の数句部（４随に入
光する位置に配設する。そして、凸面％％ ｃ２１ｉ）
が取付けられている第２の数句部（２９）は、第３の取
付部（４０）背後における光軸（２７）上に配設し、不
安定形の共振器に設定した場合、ドーナツ状のレーザ光
が結合鏡Ｃ３７）によυ光軸（２）を通って出力透過窓
＜４’０に入力するようにする。この場合、勤起媒質部
（、ｉｏｌを光軸（２７）及び光軸１：２の両方ともが
通るように設けることにょシ、より強いレーザ光を得る
ことができる。
本体α０に固定されているが、８（３６図に示すように
１角度調節自在な構造とすることにより、アライメント
をより１η１便かつ正確に行うことができる。すなわち
、数句体（４３１と透孔（５１）を有する第４の数句板
（５２）に固定し、この第４の取付板（５２）を本体（
１Ｇ）にベローズ（５３）を介して取着する。そして、
第４の取付板（５２）に取付けられたマイクロメータ・
ヘッド（５４）・・・の当接子（５４ａ）・・・を本体
（１６１に突設された突片（５５）に当１妾させ、これ
らマイクロメータ・ヘッド（５４）・・・の回動によシ
第４の取付板（５２）つまり第４の取付部（４望の角度
調整が可能となる。また、弾性体（＋８）、（２（イ）
、 ｅｌｌ 、 （３１）としてベローズを用いてもよ
い。てらに、上記実施例においては、部分透過出力鏡（
４Ｇ）又は出力透過窓（４７）を保持する第４の取付部
（４２１は、本体（１（ａの側壁に設けているが ９４
’＋ ７図に示すように、凹面鏡（氾が増刊けられてい
る第１の取付部（２４と四−の端部に設けてもよい。こ
の場合、第３の取付部（４［１）け、平面鏡Ｃ（ω又は
結合鏡（３カにより反射されたレーザ光が光軸間を通っ
て上記一端部に設けられている第４の数句部（４随に入
光する位置に配設する。そして、凸面％％ ｃ２１ｉ）
が取付けられている第２の数句部（２９）は、第３の取
付部（４０）背後における光軸（２７）上に配設し、不
安定形の共振器に設定した場合、ドーナツ状のレーザ光
が結合鏡Ｃ３７）によυ光軸（２）を通って出力透過窓
＜４’０に入力するようにする。この場合、勤起媒質部
（、ｉｏｌを光軸（２７）及び光軸１：２の両方ともが
通るように設けることにょシ、より強いレーザ光を得る
ことができる。
本発明のレーザ装置は、光軸位置を変更するとと々く、
わずかな部品交換だけで、安定形共振器又は不安定形共
振器のいずれか一力に、加工目的に応じて、迅速かつ１
ハｊ便に切’ｊＹ Ａることかできるすぐれた互換性を
有している。したがって、安定形及び不安定形のレー′
ザ光の年１゛長を生かして溶接。
わずかな部品交換だけで、安定形共振器又は不安定形共
振器のいずれか一力に、加工目的に応じて、迅速かつ１
ハｊ便に切’ｊＹ Ａることかできるすぐれた互換性を
有している。したがって、安定形及び不安定形のレー′
ザ光の年１゛長を生かして溶接。
切断加工２表面処理等の各ガレーザ加工を能率的に行う
ことができる柔軟性及び汎用性に富むレーザ装置を得る
ことができる。
ことができる柔軟性及び汎用性に富むレーザ装置を得る
ことができる。
第１図は従来の安定形共振器の＋１．一式図、か２図は
従来の不安定形共振器の模式図、第３図は本発明の一実
施例のレーザ装置の共４ノｅ器の構造断面図、第４図は
第３図の共振器を安定形に設定したときの模式図、第５
図は第３図の共振器を不安定形に設定したときの模式図
、第６図は犯３図の共振器の第４の取付部の変形例を示
す断面図、第７図は本発明の他の実施例のレーザ装置の
共振器の説明図である。 （２＠：凹面鏡、 （２２１：第１の取付部、ＣＧ）：
凸面鏡、 （２ｉ’ｌｌ ：第２の取付部、ｔ３４’ｒ
、Ｃ３Ｇ） ： ｆｄ 面、 ｃ’＋ｓ ：平面鏡、Ｃ
３７） ：結合鋭、 （４１ｊｌ ：第３の取付部、（
４り：第４の数句部、 （４６１：部分透過出力鏡、（４７１：出力透過窓。 代理人 弁理士 則 近 宸 佑 （ほか１名）
従来の不安定形共振器の模式図、第３図は本発明の一実
施例のレーザ装置の共４ノｅ器の構造断面図、第４図は
第３図の共振器を安定形に設定したときの模式図、第５
図は第３図の共振器を不安定形に設定したときの模式図
、第６図は犯３図の共振器の第４の取付部の変形例を示
す断面図、第７図は本発明の他の実施例のレーザ装置の
共振器の説明図である。 （２＠：凹面鏡、 （２２１：第１の取付部、ＣＧ）：
凸面鏡、 （２ｉ’ｌｌ ：第２の取付部、ｔ３４’ｒ
、Ｃ３Ｇ） ： ｆｄ 面、 ｃ’＋ｓ ：平面鏡、Ｃ
３７） ：結合鋭、 （４１ｊｌ ：第３の取付部、（
４り：第４の数句部、 （４６１：部分透過出力鏡、（４７１：出力透過窓。 代理人 弁理士 則 近 宸 佑 （ほか１名）
Claims (1)
- 凹ＩＩＬＩ鏡が取付けられる第１の取付部と、上記凹面
説に対向して凸面鏡が取付けられる第２の取付部と、上
記第１の取付部と上記第２の取付部との間に設けられ上
記凹面鏡と上記凸面鏡間でレーザ光を往復させる孔が穿
設されるとともに平面鏡又は中心に透孔を有する結合鏡
がそれらの鏡面を上記凹面鏡と上記凸面鏡との間を往復
するレーザ光と交差するほぼ同一平面上に配置して着脱
自在に取付けられる第３の取付部と、上記結合鏡又は上
記平面鏡にて反射したレーザ光の光路に設けられ上記結
合鏡にて反射したレーザ光を外部に出光する出力透過窓
又は上記平角１鋭にて反射したレーザ光のうち一部を外
部に出光するとともに残部を上記平面鏡を介して上記凹
面鏡との間で往復させる部分透過鏡が着脱自在に取付け
られる第４の取付部と、上記第１の取付部と上記第３の
取付部との間に設けられレーザ光を増幅する励起媒質部
とを具備することを特徴とするレーザ族＆Ｗ、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11086183A JPS604282A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11086183A JPS604282A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604282A true JPS604282A (ja) | 1985-01-10 |
Family
ID=14546529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11086183A Pending JPS604282A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604282A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366981A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 不安定型レ−ザ発振器 |
| JPS6375061U (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-19 | ||
| JPS63105368U (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-08 | ||
| JPS63192285A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-08-09 | ジョン チューリップ | スラブ状気体レーザ |
| EP0986148A2 (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-15 | Excitation Inc. | Laser |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP11086183A patent/JPS604282A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366981A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 不安定型レ−ザ発振器 |
| JPS6375061U (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-19 | ||
| JPS63105368U (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-08 | ||
| JPS63192285A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-08-09 | ジョン チューリップ | スラブ状気体レーザ |
| EP0986148A2 (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-15 | Excitation Inc. | Laser |
| EP0986148A3 (en) * | 1998-09-04 | 2000-05-17 | Excitation Inc. | Laser |
| US6144687A (en) * | 1998-09-04 | 2000-11-07 | Excitation Llc | Laser |
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