DE3835825C1 - - Google Patents
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Applications Claiming Priority (1)
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DE19883835825 DE3835825C1 ( ) | 1988-10-21 | 1988-10-21 |
Publications (1)
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Family
ID=6365587
Family Applications (1)
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Country Status (2)
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Citations (2)
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US3966433A (en) * | 1974-04-24 | 1976-06-29 | Molitor Victor D | Purifier |
JPS623008A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-09 | 大陽酸素株式会社 | アルゴンの超精製装置、並びに精製方法 |
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1988
- 1988-10-21 DE DE19883835825 patent/DE3835825C1/de not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-10-16 EP EP89119154A patent/EP0364916A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2366202B1 (de) * | 1973-02-14 | 1980-06-12 | Daimler Benz Ag | Reinigungsverfahren fuer Wasserstoff |
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Also Published As
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EP0364916A1 (de) | 1990-04-25 |
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