DE3833234A1 - Piezokeramischer wandler - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen piezokeramischen Wandler, der als Sender, Empfänger, Hydrophon oder Schallmeßeinrichtung verwendet werden kann.

Bekannt ist seit langem, daß an den Grenzflächen bestimmter Kristalle bei Deformation elektrische Ladung entsteht. Bei Anlegen von Spannung deformiert der Kristall. Diese beiden Effekte machen sich piezokeramische Wandler als Schall­ empfänger oder Schallsender zu nutze.

Piezoelektrische Wandler sind mit metallisierten Elektroden versehen, über welche einerseits die Piezoelektrizität in Form von elektrischer Ladung von bestimmten polykristallinen Werkstoffen, hervorgerufen durch mechanische Deformation infolge Zug oder Druck, abgegriffen und andererseits die mechanische Deformation in Form von Zug oder Druck, hervor­ gerufen durch Einspeisung von elektrischer Energie, bewirkt wird.

Für die Kalibrierung von Schallmeßeinrichtungen, die mit piezoelektrischen Wandlern arbeiten, ergaben sich bisher Schwierigkeiten dadurch, daß piezoelektrische Wandler nur im zusammengebauten Zustand betreibbar sind. Die Bewertung des Empfangsübertragungsmaßes z.B. bei Unterwasserschall­ messungen, mit sogenanntan Hydrophonen, ist nur durch Dif­ ferenzbildung zur Meßnormalen möglich. Die Dimensionierung und Anpassung eines Ladungsverstärkers an den piezokerami­ schen Wandler ist nach dieser Methode mühsam, da der Sensor durch keine andere Labor-Signalquelle ersetzt werden kann.

Ausgehend von piezoelektrischen Wandlern der genannten Art ist es Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung zu schaffen, mittels deren Hilfe der Nachweis der Prüfbarkeit der be­ nutzen piezoelektrischen Eigengschaften erbracht und in Form von Parametern für die Spezifikation, z.B. bei Hydrophonen zur Verfügung gestellt werden. Dabei soll die Ermittlung der jeweiligen Kenngrößen mit geringem, wirtschaftlichen Prüf­ aufwand sowohl während der Entwicklungsphase, der Herstel­ lungs- und Fertigungsphase, der Qualifikationsphase und der Einsatz- oder Nutzungsphase sichergestellt sein. Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, die Verbesserung der Kenndaten des zugehörigen Ladungsverstärkers und eine Weiterbildung der piezokeramischen Wandler-Geometrie.

Die gestellten Aufgaben werden erfindungsgemäß gelöst von Wandlern mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche. Ausbildungen der Erfindung sind Gegenstände von Unteran­ sprüchen.

Kern der Erfindung ist die Integration von Sender und Empfänger auf einen einzigen Keramikkörper. Piezokeramische Wandler der genannten Art sind zur Durch­ führung absoluter Unterwasser-Schalldruckmessungen geeignet. Sie wandeln den akustischen Schall aufgrund des Piezoeffekts der verwendeten Keramik in eine meßbare, elektrische Größe (Ladung/Spannungssignal). Der piezokeramische Wandler arbei­ tet dabei als Schallempfänger, das heißt als Sensor. Wird umgekehrt die Keramik durch ein Wechselspannungssignal be­ aufschlagt, so besitzt dieselbe Keramik die Eigenschaft, die elektrische Energie in mechanischen Schall zu wandeln. Der piezokeramische Wandler arbeitet dabei als Schallsender, das heißt als Projektor. Diese Umkehr- oder Reziprozitäts­ eigenschaften des piezokeramischen Wandlers sind so nutzbar, daß ein und dieselbe Piezokeramik gleichzeitig als Sender und Empfänger zu arbeiten vermag.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der erfindungs­ gemäßen Ausbildung dargestellt.

Die Darstellungen in der Zeichnung sind in der folgenden Beschreibung näher erläutert.

In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 in schematischer Darstellung den Aufbau eines piezokeramischen Wandlers in Zylinderscheiben­ geometrie,

Fig. 2 einen piezokeramischen Wandler in Zylinderloch­ scheibengeometrie,

Fig. 3 bis 8 in Perspektive weitere Ausführungen mit Kugelkalottengeometrie,

Fig. 9 einen beispielsweisen Meßaufbau unter Einsatz der piezoelektrischen Keramika in einem Schaltbild und

Fig. 10 einem weiteren beispielsweisen Aufbau einer Meßeinrichtung unter Einsatz von piezoelek­ trischen Wandlern zur Ermittlung der Paarig­ keits-Parameter von zwei Hydrophonen.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel eines piezoelektrischen Wandlers ist mit 1 ein Körper zylinder­ scheibenförmiger Geometrie aus Piezokeramik bezeichnet, dessen beide Stirnseiten 2 und 3 als Elektrode dienende, metallisierte elektrisch leitende Schichten 4 und 5 auf­ nehmen.

Beim gezeigten Ausführungsbeispiel ist eine der elektrisch leitenden Schichten in elektrisch (galvanisch) voneinander getrennte Segmente 4 a und 4 b unterteilt auf ein und dem­ selben, aus Piezokeramik bestehenden, homogenen Körper 1 aufgebracht. Entsprechend dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1, stellt das Elektrodensegment 4 a hier eine Sende­ elektrode und das Segment 4 b eine Empfangselektrode dar. Die elektrisch leitende Schicht 5 bedeckt die zweite Stirn­ seite des Körpers 1 und dient als gemeinsame Gegenelektrode.

Durch das Anlegen eines Wechselspannungssignals an die Sende- und gemeinsame Elektrode entsteht ein elektrisches Wechselfeld, das den piezokeramischen Wandler in seiner Polarisationsrichtung Z zur mechanischen Wechseldeformation anregt.

Dabei entstehen mechanische Spannungen in allen drei Achsen. Die dadurch generierte elektrische Ladung wird über der Empfangs- und gemeinsamen Elektrode 5 in Form eines Wechsel­ spannungs-Ausgangssignals abgegriffen.

Dabei besteht die mathematische Beziehung

Uin_≈=Uout_≈×K

wobei K den Reziprozitätsfaktor darstellt.

Im folgenden soll unter dem Ausdruck "Segmentierung" bzw. unter dem Ausdruck "Segment" die Unterteilung der elektrisch leitenden Beschichtung des piezoelektrischen Trägerkörpers 1 in galvanisch elektrisch voneinander getrennte Abschnitte verstanden werden. Die piezoelektrischen Wandler sind aus­ schließlich mit metallisierten Schichten versehen, die hier mit 4 bzw. 5 bezeichnet sind.

Gemäß Fig. 2 ist die Segmentierung an einem aus Piezo­ keramik gebildeten zylinderlochscheibenförmigen Körper 1 a dargestellt. Dabei trägt die zylinderförmige Bohrungsfläche zwei elektrisch getrennte, leitende Schichten 8 und 9 als Elektroden. Die elektrisch leitende Beschichtung 10 auf der Umfangsfläche des Zylinderscheibenkörpers stellt die gemein­ same Gegenelektrode der mit 8 und 9 bezeichneten Elektroden dar.

Bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 3 bis 8 sind als piezoelektrische Körper kugelförmige Halbschalen 13, 14 vor­ gesehen, wobei jede der Halbschalen einen piezoelektrischen Wandler darstellt.

Die äußere und innere Schalenfläche 15 bzw. 16 der Halb­ schalen 13 bzw. 14 ist beschichtet mit elektrisch leitenden, metallischen Auflagen, wobei die Aufbringung der Beschich­ tung in bekannter Weise bewirkt wurde.

Fig. 3 zeigt nicht der Erfindung entsprechende piezoelek­ trische Wandler aus Piezokeramika mit Halbkugelgeometrie mit nicht segmentierten Elektroden. Zwei keramische Piezo­ halbkugeln 13, 14 werden zu einer piezokeramischen Kugel zusammengefügt. Sind die Innenflächen (Elektroden 11, 12) zusammengeschaltet und davon getrennt die Außenflächen­ elektroden 15, 16, so kann die Wandler-Kugelschale über ihre Elektroden entweder als Sender (Projektor) oder als Empfänger (Hydrophon) betrieben werden.

Wie aus Fig. 4 ersichtlich, ist bei dieser Ausführung die elektrisch leitende Beschichtung gemäß der Erfindung in elektrisch voneinander getrennte Segmente unterteilt. Die Halbschale 13 bildet hierbei insgesamt einen piezoelektri­ schen Wandler. Den zweiten Wandler bildet die Halbschale 14. Bei der Ausbildung des Wandlers nach Fig. 4 ist eine der Halbschalen mit einer zentralen Bohrung 20 versehen und auf der Innenseite 21 und 23 eine elektrisch leitende Beschich­ tung aufgebracht. Die elektrisch leitende Beschichtung der Schaleninnenseite ist segmentiert in einen zur Bohrung 20 konzentrischen Innenbereich 23 und einen dazu konzentrischen Außenbereich 21.

Hierbei kann nach dem Reziprozitätsgesetz der Wandler ent­ sprechend als Sender oder als Empfänger, sowohl getrennt oder als Sender und Empfänger gleichzeitig betrieben werden.

In den Fig. 5 bis 8 sind weitere Ausführungsbeispiele für segmentierte, elektrisch leitende Beschichtungen zur Bildung von Elektroden mit Sende- und/oder Empfangseigenschaften, die gleichzeitig auf einer Piezokeramik benutzt werden. Es sind dabei drei-fach, fünf-fach, sieben-fach und neun- fach Segmentierungen vorgesehen. Eine Einschränkung der Segmentierung auf die in der Zeichnung angegebene Anzahl von Segmenten ist nicht gegeben.

In Fig. 9 ist ein Meßaufbau zur Ermittlung des Reziprozi­ tätsverhaltens eines piezoelektrischen Wandlers während der Entwicklungs- oder Fertigungsphase dargestellt.

Hierbei ist mit 30 ein Verstärker bezeichnet, der an ein hier nicht dargestelltes Hydrophon zur Unterwasser-Schall­ messung unter Verwendung eines auf piezoelektrischer Basis arbeitenden Wandlers 31 mit einem Sendesegment 32 und einem Empfangssegment 33, wie z.B. in einer Ausbildung gemäß Fig. 4, bezeichnet.

Ferner schließt an das Sendesegment 32 des Wandlers 31 die Sendesignalleitung 34 und an das Empfangssegment 33 die Empfangssignalleitung 35 an. Während die Sendesignalleitung 34 an einen Speicher-Oszilloskop 38 anschließt, ist die Empfangssignalleitung 35 an den Hydrophon-Verstärker 30 und gleichzeitig an das Analyse-System 39 gelegt.

Die Sendesignalleitung 34 führt außer zum Speicher-Oszil­ loskop 38 zu einem Funktionsgenerator 36 und zum Analyse- System 39.

Das Sendesegment 32 des Wandlers 31 wird mit dem Sendesignal beaufschlagt und wandelt dieses in Körperschall um. Das Empfangssegment empfängt ein vom Körperschall gewandel­ tes Empfangssignal.

Der in Fig. 9 gezeigte Meßaufbau dient zur Ermittelung der Kenngrößen während der Entwicklungs- oder Fertigungsphase. Die dargestellte Betriebs- und Prüfmethode eignet sich be­ sonders gut zur Ermittlung von bestimmten Hydrophon-Kenn­ größen, da störende Übertragungsschalldruck-Beeinflussungen, wie sie bei der Luftschallrohr- oder Wassertank- oder Pistofonmethode auftreten können, ausgeschlossen werden können.

Die in Fig. 9 aufgezeigte Prüf- und Meßmethode geht haupt­ sächlich von der physikalischen Kenntnis aus, daß das Rezi­ prozitätsverhalten im Kleinspannungssignalbereich und in bestimmten Frequenzbereichen linear ist, das heißt die elektrische Feldstärke und die Deformation verhalten sich proportional zueinander.

Der Meßaufbau gemäß dem Anwendungsbeispiel nach Fig. 10 dient zur Ermittlung der Paarigkeit (Gleichlauf) von zwei Hydrophonen, nach der synchronen Reziprozitätsmethode. Die beiden Hydrophone sind hier mit A bzw. B bezeichnet. Entsprechend der Erfindung enthält jedes der Hydrophone A bzw. B zwei piezoelektrische Wandler A 1 bzw. B 1 mit je einem Empfangssegment B 2 bzw. A 2 und einem Sendesegment B 3 bzw. A 3. Die beiden Hydrophone A bzw. B sind über die Empfangssignalleitung 50′ bzw. 50 und die Sendesignallei­ tung 51′ bzw. 51 über einen Funktionsgenerator 54 mittels der Übertragungsleitungen 52′ bzw. 52 aneinanderangeschlos­ sen. Die Empfangssignalleitungen 50 führen zu einem Analyse­ system 53, das mit einem Grafikplotter anschließt. Die Empfangssignalleitungen 50′ bzw. 50 führen jeweils zum Empfangssegment B 2 bzw. A 2 und die Sendesignalleitungen 51′ bzw. 51 zum Sendesegment B 3 bzw. A 3 des piezoelektrischen Wandlers A 1 bzw. B 1.

Claims (6)

1. Nach dem piezoelektrischen Effekt arbeitende Wandler als Drucksender und Druckempfänger nach dem Reziprozi­ tätsprinzip, dadurch gekennzeich­ net, daß die metallisierten Elektroden eines nach dem piezoelektrisch Effekt arbeitenden Wandlers in min­ destens zwei Segmente oder Abschnitte unterteilt und elektrisch, galvanisch voneinander getrennt angeordnet sind (segmentiert).

2. Piezokeramischer Wandler mit gegenüberliegenden Elektro­ den (4 a, 4 b, 5), gekennzeichnet durch eine Segmentierung mindestens einer Elektrodenseite in Sender (4 a) und Empfänger (4 b).

3. Wandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekenn­ zeichnet durch einen scheibenförmigen Keramikkörper (1) mit einer Sendeelektrode (4 a) und einer Empfangselektrode (4 b) auf einer Stirnseite (2) und einer gemeinsamen Elek­ trode (5) auf der anderen Stirnseite (3).

4. Wandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sendeelektrode (4 a) und die Empfangselektrode (4 b) halb­ kreisförmig sind und aneinanderliegen und daß die gemein­ same Elektrode (5) kreisförmig ist.

5. Wandler nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen Keramikkörper (1 a) in der Form eines Zylin­ ders mit Längsbohrung mit Sendeelektrode (8) und Empfangselektrode (9) auf der Bohrungsfläche und einer gemeinsamen Gegenelektrode (10) auf der Umfangsfläche.

6. Wandler nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, gekennzeichnet durch Kugelkalottenforn der Keramik (13, 14) und der Elektroden (11, 12, 15, 16), wobei die Innenflächen­ elektroden die Form von Kugelzonen (21, 23) oder Kugel­ zweiecken haben oder Abschnitte derselbigen bilden, wo­ bei insbesondere eine Elektrode als Kugelzone ausgebil­ det ist, die von mehreren Kugelzweieckabschnitten um­ geben ist.