DE3821957C2 - - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Dünnfilm-Magnetkopf und ein Verfahren zum Her­ stellen von Dünnfilm-Magnetköpfen mit einer Vielzahl von Umwandlungselementen zur Verwendung in einem Magnetband- Transport, und betrifft insbesondere ein Verfahren zum Herstellen von Dünnfilm-Magnetköpfen, in welchen die Länge der Wandler­ spalte bzw. Aufnehmerspalte (transducing gaps) der Spuren gleichförmig mit hoher Verläßlichkeit gebildet sind.

Ein Dünnfilm-Magnetkopf mit einer Vielzahl von Wandler­ elementen wird gebildet durch Bilden einer Vielzahl von Umwandlungselementen mit Hilfe eines bekannten Dünnfilm- Bearbeitungsverfahrens, z.B. Sputtern, Abscheiden oder Photoätzen auf einem Ferritblock, und Befestigen eines anderen Ferritblocks mit einer den Elementen gegenüberlie­ genden Oberfläche, die äußerst glatt gearbeitet ist, an einem Ferritblock mit einem Klebstoff.

In einem solchen Dünnfilm-Magnetkopf, der durch ein solches Verfahren hergestellt wird, werden die Schritte des Bildens einer Vielzahl von Spuren auf einem Magnetkopf eingesetzt, und nicht nur das Bilden von Wandlerspalten entsprechend den Spuren, sondern das ledigliche Verbinden zweier Ferritblöcke mit einem Klebstoff, um gleichzeitig die jeweiligen Wandlerspalte zu bilden. Somit können die Spaltlängen der Wandlerspalte entsprechend den jeweiligen Spuren nach dem Verbinden unregel­ mäßig werden. Es ist zu verstehen, daß eine solche Unregel­ mäßigkeit der Wandlerspalte die elektromagnetischen Wandler­ eigenschaften nicht nur der Dünnfilm-Magnetköpfe, sondern aller Magnetköpfe nachteilig beeinflußt.

Beispielsweise sind ein Verfahren zum Herstellen eines "Read- While-Write" Bandkopfes und der so hergestellte Magnetkopf in der US-PS 40 44 392 offenbart. Der in diesem US-Patent offenbarte Magnetkopf ist so aufgebaut, daß eine Vielzahl von Schreibelementen und eine Vielzahl von Leseelementen auf zwei entgegengesetzten Ferritblöcken ausgerichtet sind und zwei Magnetschichten und ein zwischen den beiden Magnet­ schichten sandwichartig aufgenommener Mittelabschnitt da­ zwischen angeordnet sind. Die Isolationsanschlüsse, die aus Aluminiumoxid gemacht sind, sind in der Nähe der rechten und linken Enden der Ferritblöcke mit der Vielzahl von Schreib­ elementen angeordnet, und in der Mitte der Elemente ist ein Isolationsspalt-Abstandshalter, der leicht dicker als die Elemente gebildet ist, an der Spitze des Ferritblocks ange­ ordnet, und die Dicke bestimmt die Schreibspalt-Abmessung, d.h. die Wandlerspaltlänge. Es sind Schlitze an den Seiten des Mittelabschnitts geschnitten, die den Ferritblöcken mit den Schreibelementen gegenüberliegen, welche mit Glas darin gefüllt sind, um Schreibspuren zu definieren. Solch eine Magnetkopf-Struktur wird durch zwei Bolzen mit einem linken Endteil und einem rechten Endteil einstückig festgeklemmt. Die resultierende Struktur wird mit Hilfe von Kapillarwir­ kung mit einem Epoxy-Zement geringer Viskosität gefüllt, der auf den Spalt aufgebracht wird, um die Struktur zu versiegeln und zu stabilisieren. In dem in diesem US-Patent offenbarten Verfahren ist die Steuerung des Festklemmens mit den beiden Bolzen schwierig, wenn die zwei Ferritblöcke und der Mittel­ abschnitt zusammengesetzt werden. Wenn die Ferritblöcke und der Mittelabschnitt mit Hilfe einer Kraft von gewisser Stärke festgeklemmt werden, so daß der Isolationsspalt-Abstandshalter gleichförmig festgeklemmt ist, können die Wandlerspaltlängen der Spuren theoretisch im wesentlichen gleichförmig einge­ stellt werden, aber da die Spalte zwischen den Isolationsan­ schlüssen und dem Mittelabschnitt durch das Festklemmen sehr klein werden, ist die Steuerung des Anhebens der Bindungs­ stärke durch Zufuhr von genügender Menge Klebstoff in die Spalte durch Kapillarwirkung schwierig. Wenn die genügende Menge von Klebstoff den kleinen Spalten zwischen den Isola­ tionsanschlüssen und dem Mittelabschnitt nicht zugeführt werden können, fließt der Klebstoff in den äußeren Bereich der ursprünglich gebundenen Oberfläche, mit dem Ergebnis, daß die Bindungsstärke wesentlich verringert wird. Ferrit­ blöcke oder der Mittelabschnitt werden auf die Medium- Zufuhrfläche durch einen Druck angehoben, der aufgrund des übergeflossenen Klebstoffs erzeugt wird, der durch thermi­ sches Schwellen oder Schrumpfen ausgehärtet bzw. gealtert wird, oder um die Feuchtigkeit in der anschwellenden Umge­ bung zu absorbieren, mit dem Ergebnis, daß sich schrittweise Unterschiede in der Größenordnung von Mikrons teilweise auf den Medium-Zufuhrflächen der Ferritblöcke oder dem Mittelab­ schnitt bilden können. Es ist offensichtlich, daß solche schrittweisen Unterschiede ernste Defekte beim Betreiben der Magnetköpfe hervorrufen können, d.h., beim Aufzeichnen und Abspielen von Daten. Wenn beispielsweise der Mittelabschnitt auf den Ferritblock angehoben wird, auf dem die Elemente gebildet sind, ist der Abstand zwischen dem Medium und dem Wandlerspalt direkt betroffen, so daß die elektromagnetische Umwandlungskennlinie deutlich vermindert ist. Wenn der Mittel­ abschnitt auf den Ferritblock gepreßt wird, werden die auf dem Ferritblock gebildeten Elemente der Nähe der Medium- Zufuhrfläche ausgesetzt, mit dem Ergebnis, daß sie eventuell abgenutzt werden durch Vorschieben bzw. Zuführen des Aufzeich­ nungsmediums, so daß die ursprünglichen Eigenschaften nicht eingehalten werden können, und die Verläßlichkeit sinkt.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Dünnfilm-Magnetkopf von hoher Verläßlichkeit und ein Verfahren zum Herstellen desselben zu schaffen, welche die Probleme des Standes der Technik vermeiden, wobei ein solcher Kopf die Wandlerspaltlängen der Spuren gleichförmig bildet und nicht durch den Einfluß von Alterungsprozessen eines Klebstoffs beeinträchtigt wird.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht dar­ in, einen Dünnfilm-Magnetkopf zu schaffen, der mehrere Spuren hat, die aus einem ersten Ferritblock gebildet werden, der eine Vielzahl von Wandlerelementen aufweist, die auf einer vorbestimmten Oberfläche dessen gebildet sind und einen zweiten Ferritblock, der an der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks so angebunden werden soll, daß jede Bin­ dungsfläche des ersten und zweiten Ferritblocks mit einer Isolations-Filmschicht gebildet ist, und eine Vielzahl von Vertiefungen bzw. Aufnahmen, die mit einem Klebstoff be­ schichtet werden oder denen ein solcher von außen zugeführt wird, welcher auf einer gesamten Bindungsfläche des ersten und zweiten Ferritblocks so gebildet wird, daß der Klebstoff in Spalte gefüllt wird, die zwischen den Vertiefungen und dem ersten oder zweiten Ferritblock gebildet sind. Da die Bindungsteile des ersten und zweiten Ferritblocks über breite Bereiche verteilt sind, kann die Bindungsstärke stark erhöht werden.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht da­ rin, ein Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnet­ kopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen zu schaffen, welches die Schritte aufweist: Bilden einer Isolations-Filmschicht auf einer vorbestimmten Oberfläche eines ersten Ferritblocks, Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen zu bilden, so daß einige der Vielzahl von Rillen in einer Form gebildet sind, die jedem magnetischen Wandlerelement entspricht, Bilden eines magne­ tischen Wandlerelement-Films mit einer geringeren Dicke als die Isolations-Filmschicht in einigen der Rillen, Anfügen des zweiten Ferritblocks an der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks, Einfüllen eines Klebstoffs in die Ver­ tiefungen bzw. Ausnehmungen, die durch die Vielzahl der Rillen und den zweiten Ferritblock definiert sind, und dann Aushärten des Klebstoffs, um den ersten Ferritblock an den zweiten Ferritblock zu binden.

Die Vielzahl der Rillen, die auf der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks gebildet sind, werden aus einigen Rillen gebildet, die mit magnetischen Wandlerelementen ge­ bildet sind und den anderen verbleibenden Rillen, und der Klebstoff wird nicht nur den Vertiefungen zugeführt, die durch einige Rillen definiert sind, welche mit den magneti­ schen Wandlerelementen unter dem zweiten Ferritblock gebil­ det sind, sondern den Vertiefungen, die durch die verblei­ benden Rillen definiert sind und den zweiten Ferritblock, danach ausgehärtet, um den ersten Ferritblock an den zweiten Ferritblock zu binden. Somit kann die Bindungsfläche groß gehalten werden, bei genügender Bindungsstärke. Daher kann der Alterungseinfluß der Wandlerspaltlängen entsprechend den magnetischen Umwandlungselementen der jeweiligen Spuren aus­ geschaltet werden, um eine gleichförmige Umwandlungsspaltlänge aufrechtzuerhalten, um eine hohe Verläßlichkeit des magneti­ schen Dünnfilm-Kopfes zu schaffen.

Der Klebstoff kann auf dieselben Rillen geschichtet werden, die vorausgehend mit den magnetischen Wandlerelementen und den verbleibenden Rillen gebildet sind, der zweite Ferrit­ block wird dann auf der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks angefügt, und der Klebstoff kann danach ausge­ härtet werden, um den ersten Ferritblock an den zweiten Ferrit­ block zu binden.

Ferner können die Rillen, in denen die magnetischen Wandler­ elemente nicht aus der Vielzahl von Rillen gebildet werden, durch dasselbe Bildungsverfahren wie das Verfahren zur Bil­ dung der Rillen zum Bilden der magnetischen Wandlerelemente gebildet werden. Die Rillen, in welchen keine magnetischen Wandlerelemente gebildet werden, können ebenso auf der Ober­ fläche des zweiten Ferritblocks gegenüber der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks gebildet werden.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung.

Fig. 1 ist eine schematisch perspektivische Ansicht im Auf­ riß einer Ausführungsform eines magnetischen Dünnfilm-Kopfes gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 2 und 3 sind erläuternde Ansichten der Schreib- und Leseoperationen des magnetischen Dünnfilm-Kopfes.

Fig. 4(a) ist eine teilweise schematisch-perspektivische Ansicht, welche die Oberfläche eines ersten Ferritblocks zeigt, die an einem Teil einer Rille vergrößert ist, in dem ein Schreibelement abgeschieden ist.

Fig. 4(b) ist eine partiell schematisch-perspektivische Ansicht, welche die Oberfläche eines ersten Ferritblocks zeigt, die den Zustand erläutert, daß ein Schreibelement in der Rille von Fig. 4(a) abgeschieden wird.

Fig. 5 ist eine teilweise schematisch-perspektivische An­ sicht, welche die Oberfläche eines zweiten Ferritblocks zeigt, welche eine Vertiefung zeigt, die auf der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gebildet ist, dem ein Klebstoff dort zugeführt wurde, und in dem ein Leseelement abgeschieden bzw. aufgebracht ist.

Fig. 6 ist eine teilweise schematisch-perspektivische An­ sicht, welche den Zustand zeigt, daß ein erster Ferritblock und ein zweiter Ferritblock verbunden werden, und

Fig. 7 und 8 sind teilweise schematisch-perspektivische Ansichten, welche die Oberfläche des ersten Ferritblocks eines veränderten Beispiels einer Vertiefung zeigen, der ein Klebstoff zugeführt wird.

Eine Ausführungsform des magnetischen Dünnfilm-Kopfes gemäß der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf die Fig. 1 bis 6 beschrieben. Fig. 1 zeigt eine schematische Struktur eines magnetischen Dünnfilmkopf-Aufbaus, in dem ein Auf­ zeichnungs-Magnetkopf und ein Wiedergabe-Magnetkopf ein­ stückig bzw. integriert ausgebildet sind. Der Aufzeichnungs- Magnetkopf hat einen magnetischen Schaltkreis-Aufbau mit schreibenden Wandlerspalten entsprechend den schreibenden Wandlerelementen 1 durch einstückiges Verbinden des ersten Ferritblocks 3, der eine Vielzahl von schreibenden Wandler­ elementen 1 aufweist, die longitudinal ausgerichtet sind (die schreibenden Wandlerelemente 1 sind an einem äußerst glatt gebildeten Mittelteil des ersten Ferritblocks 3 abge­ schieden, der in einer Spulenform aus einem Metallmaterial mit einer hervorragenden Leitfähigkeit gebildet ist, bei­ spielsweise Gold, Kupfer oder Aluminium mittels eines Dünn­ film-Verarbeitungsverfahrens), mit einem zweiten Ferritblock 5 mit einer Oberfläche, welche den schreibenden Wandlerele­ menten 1 des ersten Ferritblocks 3 gegenüber gestellt ist und extrem glatt gebildet ist, durch Klebstoff (eine Vielzahl von mit Glas gefüllten Rillen zum Definieren von Spuren ent­ sprechend den schreibenden Wandlerelementen 1 werden gebildet). Ein Wiedergabe-Magnetkopf hat einen magnetischen Schaltkreis- Aufbau mit lesenden Wandlerspalten durch einstückiges Ver­ binden eines dritten Ferritblocks 4, der eine Vielzahl von lesenden Wandlerelementen 2 aufweist, welche longitudinal ausgerichtet sind (die lesenden Wandlerelemente 2 werden an einem äußerst glatt gebildeten Mittelteil des dritten Ferrit­ blocks 4 mit einem Dünnfilm-Bearbeitungsverfahren ähnlich den schreibenden Wandlerelementen abgeschieden), mit einem vierten Ferritblock 6 mit einer extrem glatt gebildeten Oberfläche die den lesenden Wandlerelementen 2 entgegenge­ setzt ist, mittels eines Klebstoffs). In den zuvor erwähnten Aufzeichnungs- und Wiedergabe-Magnetköpfen werden die einem Aufzeichnungsmedium entgegengesetzten Oberflächen geformt und bearbeitet, und es werden dann Leitungsdrähte und Signal­ drähte 19, die aus einem flexiblen gedruckten Substrat gemacht sind, mit den Wandlerelementgruppen verbunden, um mit einem Geräte-Schaltkreis verbunden zu werden, zum Erhalten einer Spalttiefe für einen optimalen magnetischen Schaltkreis, der den vorzugsweise berührenden Zustand mit dem Aufzeichnungsmedium, d.h. dem Magnetband hält. Eine Magnetkopf- Anordnung wird zusammengesetzt durch Positionieren und Befesti­ gen einer Feder oder einer Schraube in einem Gehäuse (nicht gezeigt) das aus Aluminium in dem Zustand gemacht ist, daß eine magnetische Abschirmplatte 17 zum Entfernen von Rauschen, zwischen dem zweiten Ferritblock 5 und dem vierten Ferrit­ block 6 jeder Teilanordnung, die wie oben beschrieben aufge­ baut ist, zwischengelagert wird.

Der magnetische Kopf wird so betrieben, daß ein Medium 21 durch Zuführen von Strömen zwischen den schreibenden Wandler­ elementen 1 für den Aufzeichnungs-Magnetkopf magnetisiert wird und magnetische Leckflüsse 20, die dadurch von den Wand­ lerspalten erzeugt werden. Der Magnetkopf wird weiter be­ trieben, um den magnetischen Fluß 20 aus dem Medium 21, das so durch die lesenden Wandlerelemente 2 des Wiedergabe/Auf­ zeichnungskopfes als ein Wiedergabeausgang magnetisiert sind. Solch eine Operation wird im wesentlichen überall gleich genau ausgeführt bei allen Wandlerelementen.

Es wird nun die Struktur des Magnetkopfes zum Stabilisieren der zuvor erwähnten Funktionen und das Verfahren zum Her­ stellen des Dünnfilm-Magnetkopfes mit solch einer Struktur beschrieben. Nachdem eine Isolations-Filmschicht 9a durch ein Dünnfilm-Bearbeitungsverfahren gebildet wird, z.B. Sputtern eines Isolationsmaterials, z.B. Aluminiumoxid (Al₂O₃) oder eines Siliziumoxids (SiO₂) längs einer longi­ tudinalen Richtung auf dem oberen Mittelteil der Oberfläche des ersten Ferritblocks 3, um einen Aufzeichnungs-Magnetkopf zu bilden, werden eine Vielzahl von Rillen 12 durch ein Fräs­ verfahren gebildet, z.B. ein Ionen-Fräsen bzw. Ätzen bzw. Abtragen auf die Isolations-Filmschicht 9a, wie in Fig. 4 (a) gezeigt. Dann wird ein leitfähiger Film, der aus einem Metallmaterial mit hervorragender Leitfähigkeit gemacht ist, z.B. Gold, Kupfer oder Aluminium, dünn gebildet, bzw. aufge­ tragen, z.B. etwa 0,05 bis 5,0 mm, durch Sputtern auf die Isolations-Filmschicht 9a einschließlich der Rillen 12, wobei der leitfähige Film, der auf einem Teil der Isolations- Filmschicht 9a abgeschieden wird, wo die Rillen 13 nicht gebildet sind, dann durch Ionen-Fräsen (ion milling) entfernt werden, eine Vielzahl von spulenförmigen schreibenden Wand­ lerelementen 1, wie in Fig. 4(b) gezeigt, längs einer longi­ tudinalen Richtung auf dem oberen Mittelteil des ersten Ferrit­ blocks 3 angeordnet sind, und eine Vielzahl von sogenannten "dummy"-Elementen 7, die keine schreibenden Wandlerelemente bilden, längs einer longitudinalen Richtung auf dem oberen rechten und linken Teil des ersten Ferritblocks 3 angeordnet sind. Die Dummy-Elemente 7 werden durch dasselbe Verfahren wie das Verfahren zum Bilden der schreibenden Wandlerelemente 1 gebildet, aber es werden keine Signalleitungen 19 wie die schreibenden Wandlerelemente 1 geschaltet. Demgemäß werden schließlich eine Vielzahl von Vertiefungen 12a mit einer Tiefe von etwa 0,5 bis 12,0 mm auf der Oberfläche des Isolationsfilms 9a gebildet, um die Wandlerspaltlänge L 1 auf dem ersten Ferritblock 3 zu definieren. Diese Tiefe ist mit dem Zeichen a in Fig. 4(b) bezeichnet.

Die Viezahl von lesenden Wandlerelementen 2 werden entspre­ chend der Vielzahl von schreibenden Umwandlungselementen 1 durch das gleiche Dünnfilm-Bildungsverfahren wie dem der schreibenden Wandlerelemente 1 längs einer longitudinalen Richtung auf dem oberen Mittelteil des dritten Ferritblocks 4 gebildet, um den Wiedergabe-Magnetkopf zu bilden und eine Vielzahl von Dummy-Elementen 8, die nicht mit den Signallei­ tungen verbunden sind, werden auf dem oberen rechten und linken Teil gebildet. Ferner wird eine Isolations-Filmschicht 9b zum Bedecken der Vielzahl von lesenden Wandlerelementen 2 und Dummy-Elementen 8 durch ein Dünnfilm-Bildungsverfahren in derselben Weise wie die Isolations-Filmschicht 9a gebildet, mit dem Ergebnis, daß notwendigerweise eine Vielzahl von Vertiefungen 12b mit einer Tiefe b entsprechender Dicke der Wandlerelemente 2 gebildet werden, da der Teil, wie in Fig. 5 gezeigt, wo die Wandlerelemente 2 und die Dummy-Elemente 8 gebildet werden, in einer Projektion gebildet wird. Danach kann natürlich das Gebiet oder die Form der Vertiefung 12b durch Fräsen der Isolations-Filmschicht 9b mit einem Fräsver­ fahren, z.B. Ionen-Fräsen sich ändern, um optimale Bindungsbe­ dingungen zu erzielen.

Die Vielzahl von Wandlerelementen und Dummy-Elementen, die in dem ersten und dritten Ferritblock 3 und 4 zusammenge­ setzt sind, um jeweils die zuvor erwähnten Aufnahme- und Wiedergabe-Magnetköpfe zu bilden, sind mit einem gleichför­ migen Abstand bzw. Intervall ausgerichtet, und die Rillen oder die Vertiefung 12a und 12b, die in Abhängigkeit von den Formen der Wandlerelemente und der Dummy-Elemente gebildet sind, werden jeweils auf den vorbestimmten ganzen Bereichen des ersten und dritten Ferritblocks 3 und 4 gebildet. Mit anderen Worten, sie werden auf den gesamten Bindungsflächen zu den zweiten und vierten Ferritblock 5 und 6 gebildet.

In dem Aufnahme-Magnetkopf wird die Wandlerspaltlänge L durch Verbinden bzw. Bonden des zweiten Ferritblocks 5 mit der Oberfläche des ersten Ferritblocks 3 mit den Vertiefungen 12a ohne Spalt zu der Isolations-Filmschicht 9a gebildet, während ein genügend hoher Druck, z.B. etwa 10 kg darauf angewendet wird, ein Klebstoff 14 in die Vertiefung 12a ge­ füllt wird und dann der Klebstoff ausgehärtet wird, um den ersten Ferritblock 3 mit dem zweiten Ferritblock 5 zu verbinden.

In gleicher Weise wird in dem Wiedergabe-Magnetkopf die Wand­ lerspaltlänge durch Verbinden des vierten Ferritblocks 6 mit der Oberfläche des Ferritblocks 3 mit den Vertiefungen 12b ohne einen Spalt zu der Isolations-Filmschicht 9b gebildet, während ein genügend großer Druck darauf angewendet wird, der Klebstoff in die Vertiefung 12b gefüllt, und dann der Klebstoff ausgehärtet wird, um den dritten Ferritblock 4 an dem vierten Ferritblock 6 anzubinden. In diesem Fall ist der Umstand, daß die Tiefen a und b der Vertiefungen 12a und 12b etwa 0,05 bis 5,0 mm betragen, schon beschrieben worden, aber es ist in diesem Bereich angezeigt, daß der Klebstoff 14 in die Vertiefungen 12a und 12b durch Kapillarwirkung gefüllt wird.

Zusätzlich zu dem Verfahren des Füllens des Klebstoffes 14 in die Vertiefungen 12a und 12b durch Kapillarwirkung nach Verbinden der Ferritblöcke während der Anwendung von Druck darauf, wird eine vorbestimmte Menge Klebstoff 14 voraus­ gehend auf vorbestimmte Bereiche beschichtet, die die Ver­ tiefungen 12a und 12b einschließen, und die Ferritblöcke können verbunden werden, während Druck auf die jeweiligen Blöcke gegeben wird, um den Klebstoff, der auf den Isolations- Filmschichten 9a und 9b bleibt, in die Vertiefungen 12a und 12b zwangsweise zu füllen. In diesem Verfahren werden die überfließenden Mengen von Klebstoff aus den Vertiefungen 12a und 12b, nachdem sie verbunden sind, geringer, und die über­ fließenden Mengen des Klebstoffs können gesteuert werden. Somit kann eine Spannung, die durch das thermische Schwellen oder Schrumpfen auftritt, nachdem der überfließende Klebstoff ausgehärtet ist, oder das Schwellen des überfließenden Kleb­ stoffs aufgrund der Feuchtigkeitsabsorption in die äußere Umgebung vermindert werden. In den oben genannten Schritten des Füllens und Beschichtens wird der Klebstoff, z.B. aus Epoxi-Harzen gemacht, vorausgehend auf eine vorbestimmte geeignete Temperatur aufgeheizt, d.h. eine Temperatur, in der eine solche geringe Viskosität aufrechterhalten werden kann, daß der Klebstoff schnell in den Vertiefungen 12a und 12b in ausreichender Weise verteilt wird, und dann weiter aufgeheizt auf die Temperatur zum Aushärten des Klebstoffs. Es ist bevor­ zugt, die Ferritblöcke zu verbinden, durch Beachtung der Aushärtebedingungen des Klebstoffs.

Nachdem der erste Ferritblock 3 mit dem zweiten Ferritblock 5 verbunden ist, und der dritte Ferritblock 4 mit dem vierten Ferritblock 6, wie zuvor beschrieben, verbunden ist, werden sie in einem Gehäuse, wie zuvor beschrieben, aufbewahrt, in dem Zustand, daß eine Abschirmplatte 17 zwischen den Teil­ aufbauten eingelagert ist, um einen Dünnfilm-Magnetkopf Auf­ bau aufzubauen.

In dem Dünnfilm-Magnetkopf, der durch das vorbeschriebene Verfahren hergestellt wurde, gibt es im wesentlichen keinen Spalt zwischen der Isolations-Filmschicht 9a und dem zweiten Ferritblock 5, und zwischen der Isolations-Filmschicht 9b und dem vierten Ferritblock 6, da die Schritte des Kontaktie­ rens des ersten Ferritblocks 3 mit dem zweiten Ferritblock 5 und des dritten Ferritblocks 4 mit dem vierten Ferritblock 6 an vorbestimmten Oberflächen miteinander während der Anwendung eines geeigneten Drucks darauf enthalten sind. Somit wird die Dicke der Isolations-Filmschicht 9a die Wandlerspaltlänge in dem Aufzeichnungs-Magnetkopf und die Dicke, welche durch Addieren der Dicke der Isolations-Filmschicht 9b zu der der Wandlerelemente 2 erhalten wird, wird die Wandlerspaltlänge in dem Wiedergabe-Magnetkopf, und die Wandlerspaltlängen können in beiden Magnetköpfen einheitlich gewählt werden. Ferner, da die Bindungsflächen der Ferritblöcke des Auf­ zeichnungs- und Wiedergabe-Magnetkopfes in dem gesamten Be­ reich längs einer longitudinalen Richtung auf den Spitzen des ersten und dritten Ferritblocks 3 und 4 sind, wie durch Bezugszeichen 10 bezeichnet und da die mit dem Klebstoff zu versorgenden oder zu beschichtenden Bereiche in der Nähe der Medium-Zuführfläche weit verteilt sind, kann eine genügende Bindungsstärke erhalten werden.

Die Fig. 7 und 8 zeigen ein modifiziertes Beispiel der Vertiefungen, d. h., der mit einem Klebstoff zu versorgenden oder zu beschichtenden Rillen. Die auf dem oberen rechten und linken Teil des ersten Ferritblocks 3 gebildeten Rillen können von denen, die auf dem oberen Mittelteil des ersten Ferritblocks 3 gebildet sind, auf welchem die Wandlerelemente 1 abgeschieden sind, in der Form verschieden sein, wobei die Rillen, die auf dem oberen rechten und linken Teil des ersten Ferritblocks 3 gebildet sind, in demselben Schritt wie dem Schritt des Bildens der Rillen gebildet, auf dem die Wandler­ elemente 1 in einer stabförmigen bzw. pektinierten und schlanken Form getrennt mit einem geeigneten Abstand bzw. Intervall abgeschieden bzw. aufgebracht werden und leit­ fähige Filme mit im wesentlichen derselben Dicke wie die der Wandlerelemente 1 werden in den Rillen abgeschieden. Demge­ mäß werden die Spalte zwischen der Oberfläche des ersten Ferritblocks 3 und den Wandlerelementen 1 in Vertiefungen ausgebildet, die mit einem Klebstoff, wie die Bezugszeichen 12c (Fig. 7) und 12d (Fig. 8) zeigen, beschichtet oder versehen werden.

Die Rillen können in einfacher Form einen derartigen Abstand haben, daß die Rillen beim Verbinden der Ferrit­ blöcke deformiert bzw. beschädigt werden, während Druck darauf ausgeübt wird, um ausreichend in einer Struktur zu sein, daß der Klebstoff in die mit dem Klebstoff gefüllten oder beschich­ teten Vertiefungen gefüllt wird. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die besondere Form der Rillen beschränkt. Ferner können die Rillen der oberen rechten und linken Teile des ersten Ferritblock 2 auch in einem Schritt gebildet werden, der unterschiedlich ist von dem Schritt zum Bilden der Um­ wandlungselemente 1.

In den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen werden die Vertiefungen, denen der Klebstoff zugeführt wird, oder die mit Klebstoff beschichtet sind, auf dem ersten und dritten Ferritblock gebildet, auf dem die Wandlerelemente gebildet sind. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf solche besonderen Ausführungsformen beschränkt, beispielsweise können die Vertiefungen auch auf dem zweiten und vierten Ferritblock gebildet werden, auf dem keine Wandlerelemente gebildet sind.

Claims (12)

1. Dünnfilm-Magnetkopf, der aus zumindest zwei in Verbindung stehenden Ferritblöcken mit einer Vielzahl von Wandlerelementen gebildet ist, wobei an jeweils einander zugewandten Flächen eines Ferritblocks und eines anderen Ferritblocks eine Isolations-Filmschicht gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsfläche des einen Ferritblocks (3; 4) eine Vielzahl von ausgebildeten Vertiefungen (12a; 12b) aufweist, die vor der Verbindung des einen Ferritblocks (3; 4) mit dem anderen Ferritblock (5; 6) mit Klebstoff aufgefüllt werden.

2. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl von Vertiefungen (12a; 12b) entsprechend der Anordnung bzw. Ausgestaltung der Vielzahl der Wandlerelemente (1; 2) angeordnet ist.

3. Dünnfilm-Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolations-Filmschicht (9a) auf dem einen Ferritblock (3) auf der dem anderen Ferritblock (5) zugewandten Fläche ausgebildet ist, und die Vielzahl von Vertiefungen (12a) aufweist, in die die Wandlerelemente (1) bis zu einer Resthöhe (a) abgeschieden sind.

4. Dünnfilm-Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl von Wandlerelementen (2) auf dem einen Ferritblock (4) auf der dem anderen Ferritblock (6) zugewandten Fläche ausgebildet ist und auf dieser Fläche mit den Wandlerelemente (2) die Isolations-Filmschicht (9b) abgeschieden ist, so daß die Vertiefungen (12b) in Abhängigkeit von der Form der Vielzahl der Wandlerelemente (2) gebildet sind.

5. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Vielzahl von Blindelementen (7; 8) aufweist, die wie die Wandlerelemente (1; 2) längs der Ausrichtungs-Richtung der Wandlerelemente (1; 2) in dem rechten und linken Bereich des einen Ferritblocks (3; 4) ausgebildet sind.

6. Dünnfilm-Magnetkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefungen (12a; 12b) in einer Größe gebildet sind, die mit der Viskosität des Klebstoffs in Beziehung steht, so daß der Klebstoff in den Vertiefungen (12a; 12b) durch Kapillarwirkung fließen kann.

7. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einer Vielzahl von Wandlerelementen, wobei auf jeweils einander zugewandten Flächen eines Ferritblocks und eines anderen Ferritblocks eine Isolations-Filmschicht abgeschieden wird, dadurch gekennzeichnet, daß an der dem Ferritblock (5; 6) zugewandten Fläche des einen Ferritblocks (3; 4) eine Vielzahl von Vertiefungen (12a; 12b) ausgebildet werden, die vor der Verbindung des einen Ferritblocks (3; 4) mit dem anderen Ferritblock (5; 6) mit Klebstoff aufgefüllt werden, der dann ausgehärtet wird.

8. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolations-Filmschicht (9a) in einem vorbestimmten Bereich der dem anderen Ferritblock (5) zugewandten Fläche des einen Ferritblocks (3) abgeschieden wird, die Isolations-Filmschicht (9a) zum Ausbilden der Vielzahl von Vertiefungen (12a), deren Anordnung mit der Anordnung bzw. Ausgestaltung der Vielzahl der Wandlerelemente (1) in Beziehung steht, geätzt wird, und die Wandlerelemente (1) durch Abscheiden von leitfähigen Schichten, die dicker als die Isolations-Filmschicht (9a) in den Vertiefungen (12a) sind, gebildet werden.

9. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfs nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl von Wandlerelementen (2) auf dem einen Ferritblock (4) auf der dem anderen Ferritblock (6) zugewandten Fläche in einem vorbestimmten Bereich abgeschieden werden, auf dieser Fläche mit den Wandlerelementen (2) die Isolations-Filmschicht (9b) abgeschieden wird, so daß die Vertiefungen (12b) in Abhängigkeit von der Form der Vielzahl der Wandlerelemente (2) gebildet werden.

10. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß in einem zu dem vorbestimmten Bereich peripheren Bereich eine Vielzahl von Blindelementen (7; 8) entsprechend der Ausbildung der Wandlerelemente (1; 2) ausgebildet wird.

11. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine durch die Blindelemente (7; 8) festgelegte Resthöhe (a; b) größer oder kleiner ist als die durch die Wandlerelemente (1; 2) festgelegte Resthöhe (a; b).

12. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Aufzeichnungsmagnetkopf und ein Wiedergabemagnetkopf einstückig verbunden werden, indem der Aufzeichnungsmagnetkopf und der Wiedergabemagnetkopf in einem Gehäuse aufgenommen werden, und daß eine magnetische Abschirmplatte zwischen dem Aufzeichnungsmagnetkopf und dem Wiedergabemagnetkopf angeordnet wird.