DE3821957A1

DE3821957A1 - Verfahren zur herstellung eines duennfilm-magnetkopfes und so hergestellter duennfilm-magnetkopf

Info

Publication number: DE3821957A1
Application number: DE3821957A
Authority: DE
Inventors: Erfinder Wird Nachtraeglich Benannt Der
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: HGST Japan Ltd
Priority date: 1987-06-29
Filing date: 1988-06-29
Publication date: 1989-01-12
Also published as: JPH0697494B2; DE3821957C2; US4967299A; JPS644912A; KR890001027A; KR910007862B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Her stellen von Dünnfilm-Magnetköpfen mit einer Vielzahl von Umwandlungselementen zur Verwendung in einem Magnetband- Transport und einen dadurch hergestellten Dünnfilm-Magnet kopf, und betrifft insbesondere ein Verfahren zum Herstellen von Dünnfilm-Magnetköpfen, in welchen die Länge der Wandler spalte bzw. Aufnehmerspalte (transducing gaps) der Spuren gleichförmig mit hoher Verläßlichkeit gebildet sind.

Ein Dünnfilm-Magnetkopf mit einer Vielzahl von Wandler elementen wird gebildet durch Bilden einer Vielzahl von Umwandlungselementen mit Hilfe eines bekannten Dünnfilm- Bearbeitungsverfahrens, z.B. Sputtern, Abscheiden oder Photoätzen auf einem Ferritblock, und Befestigen eines anderen Ferritblocks mit einer den Elementen gegenüberlie genden Oberfläche, die äußerst glatt gearbeitet ist, an einem Ferritblock mit einem Klebstoff.

In einem solchen Dünnfilm-Magnetkopf, der durch ein solches Verfahren hergestellt wird, werden die Schritte des Bildens einer Vielzahl von Spuren auf einem Magnetkopf eingesetzt und nicht nur das Bilden von Wandlerspalten entsprechend den Spuren, sondern nur das Verbinden zweier Ferritblöcke mit einem Klebstoff, um gleichzeitig die jeweiligen Wandlerspalte zu bilden. Somit können die Spaltlängen der Wandlerspalte entsprechend den jeweiligen Spuren nach dem Verbinden unregel mäßig werden. Es ist zu verstehen, daß eine solche Unregel mäßigkeit der Wandlerspalte die elektromagnetischen Wandler eigenschaften nicht nur der Dünnfilm-Magnetköpfe, sondern aller Magnetköpfe nachteilig beeinflußt.

Beispielsweise sind ein Verfahren zum Herstellen eines "Read- While-Write" Bandkopfes und der so hergestellte Magnetkopf in der US-PS 40 44 392 offenbart. Der in diesem US-Patent offenbarte Magnetkopf ist so aufgebaut, daß eine Vielzahl von Schreibelementen und eine Vielzahl von Leseelementen auf zwei entgegengesetzten Ferritblöcken ausgerichtet sind und zwei Magnetschichten und ein zwischen den beiden Magnet schichten sandwichartig aufgenommener Mittelabschnitt da zwischen angeordnet sind. Die Isolationsanschlüsse, die aus Aluminiumoxid gemacht sind, sind in der Nähe der rechten und linken Enden der Ferritblöcke mit der Vielzahl von Schreib elementen angeordnet, und in der Mitte der Elemente ist ein Isolationsspalt-Abstandshalter, der leicht dicker als die Elemente gebildet ist, an der Spitze des Ferritblocks ange ordnet, und die Dicke bestimmt die Schreibspalt-Abmessung, d.h. die Wandlerspaltlänge. Es sind Schlitze an den Seiten des Mittelabschnitts geschnitten, die den Ferritblöcken mit den Schreibelementen gegenüberliegen, welche mit Glas darin gefüllt sind, um Schreibspuren zu definieren. Solch eine Magnetkopf-Struktur wird durch zwei Bolzen mit einem linken Endteil und einem rechten Endteil einstückig festgeklemmt. Die resultierende Struktur wird mit Hilfe von Kapillarwir kung mit einem Epoxy-Zement geringer Viskosität gefüllt, der auf den Spalt aufgebracht wird, um die Struktur zu versiegeln und zu stabilisieren. In dem in diesem US-Patent offenbarten Verfahren ist die Steuerung des Festklemmens mit den beiden Bolzen schwierig, wenn die zwei Ferritblöcke und der Mittel abschnitt zusammengesetzt werden. Wenn die Ferritblöcke und der Mittelabschnitt mit Hilfe einer Kraft von gewisser Stärke festgeklemmt werden, so daß der Isolationsspalt-Abstandshalter gleichförmig festgeklemmt ist, können die Wandlerspaltlängen der Spuren theoretisch im wesentlichen gleichförmig einge stellt werden, aber da die Spalte zwischen den Isolationsan schlüssen und dem Mittelabschnitt durch das Festklemmen sehr klein werden, ist die Steuerung des Anhebens der Bindungs stärke durch Zufuhr von genügender Menge Klebstoff in die Spalte durch Kapillarwirkung schwierig. Wenn die genügende Menge von Klebstoff den kleinen Spalten zwischen den Isola tionsanschlüssen und dem Mittelabschnitt nicht zugeführt werden können, fließt der Klebstoff in den äußeren Bereich der ursprünglich gebundenen Oberfläche, mit dem Ergebnis, daß die Bindungsstärke wesentlich verringert wird. Ferrit blöcke oder der Mittelabschnitt werden auf die Medium- Zufuhrfläche durch einen Druck angehoben, der aufgrund des übergeflossenen Klebstoffs erzeugt wird, der durch thermi sches Schwellen oder Schrumpfen ausgehärtet bzw. gealtert wird, oder um die Feuchtigkeit in der anschwellenden Umge bung zu absorbieren, mit dem Ergebnis, daß sich schrittweise Unterschiede in der Größenordnung von Mikrons teilweise auf den Medium-Zufuhrflächen der Ferritblöcke oder dem Mittelab schnitt bilden können. Es ist offensichtlich, daß solche schrittweisen Unterschiede ernste Defekte beim Betreiben der Magnetköpfe hervorrufen können, d.h., beim Aufzeichnen und Abspielen von Daten. Wenn beispielsweise der Mittelabschnitt auf den Ferritblock angehoben wird, auf dem die Elemente gebildet sind, ist der Abstand zwischen dem Medium und dem Wandlerspalt direkt betroffen, so daß die elektromagnetische Umwandlungskennlinie deutlich vermindert ist. Wenn der Mittel abschnitt auf den Ferritblock gepreßt wird, werden die auf dem Ferritblock gebildeten Elemente der Nähe der Medium- Zufuhrfläche ausgesetzt, mit dem Ergebnis, daß sie eventuell getragen werden durch Vorschieben bzw. Zuführen des Aufzeich nungsmediums, so daß die ursprünglichen Eigenschaften nicht eingehalten werden können, und die Verläßlichkeit sinkt.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Dünnfilm-Magnetkopf und ein Verfahren zum Herstellen desselben zu schaffen, welche die Probleme des Standes der Technik vermeiden, wobei ein solcher Kopf die Wandlerspaltlängen der Spuren gleichförmig bildet und nicht durch den Einfluß von Alterungsprozessen eines Klebstoffs von hoher Verläßlichkeit beeinträchtigt wird.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht dar in, einen Dünnfilm-Magnetkopf zu schaffen, der mehrere Spuren hat, die aus einem ersten Ferritblock gebildet werden, der eine Vielzahl von Wandlerelementen aufweist, die auf einer vorbestimmten Oberfläche dessen gebildet sind und einen zweiten Ferritblock, der an der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks so angebunden werden soll, daß jede Bin dungsfläche des ersten und zweiten Ferritblocks mit einer Isolations-Filmschicht gebildet ist, und eine Vielzahl von Vertiefungen bzw. Aufnahmen, die mit einem Klebstoff be schichtet werden oder denen ein solcher von außen zugeführt wird, welcher auf einer gesamten Bindungsfläche des ersten und zweiten Ferritblocks so gebildet wird, daß der Klebstoff in Spalte gefüllt wird, die zwischen den Vertiefungen und dem ersten oder zweiten Ferritblock gebildet sind. Da die Bindungsteile des ersten und zweiten Ferritblocks über breite Bereiche verteilt sind, kann die Bindungsstärke stark erhöht werden.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht da rin, ein Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnet kopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen zu schaffen, welches die Schritte aufweist: Bilden einer Isolations-Filmschicht auf einer vorbestimmten Oberfläche eines ersten Ferritblocks, Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen zu bilden, so daß einige der Vielzahl von Rillen in einer Form gebildet sind, die jedem magnetischen Wandlerelement entspricht, Bilden eines magne tischen Wandlerelement-Films mit einer geringeren Dicke als die Isolations-Filmschicht in einigen der Rillen, Anfügen des zweiten Ferritblocks an der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks, Einfüllen eines Klebstoffs in die Ver tiefungen bzw. Ausnehmungen, die durch die Vielzahl der Rillen und den zweiten Ferritblock definiert sind, und dann Aushärten des Klebstoffs, um den ersten Ferritblock an den zweiten Ferritblock zu binden.

Die Vielzahl der Rillen, die auf der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks gebildet sind, werden aus einigen Rillen gebildet, die mit magnetischen Wandlerelementen ge bildet sind und den anderen verbleibenden Rillen, und der Klebstoff wird nicht nur den Vertiefungen zugeführt, die durch einige Rillen definiert sind, welche mit den magneti schen Wandlerelementen unter dem zweiten Ferritblock gebil det sind, sondern den Vertiefungen, die durch die verblei benden Rillen definiert sind und den zweiten Ferritblock, danach ausgehärtet, um den ersten Ferritblock an den zweiten Ferritblock zu binden. Somit kann die Bindungsfläche groß gehalten werden, bei genügender Bindungsstärke. Daher kann der Alterungseinfluß der Wandlerspaltlängen entsprechend den magnetischen Umwandlungselementen der jeweiligen Spuren aus geschaltet werden, um eine gleichförmige Umwandlungsspaltlänge aufrechtzuerhalten, um eine hohe Verläßlichkeit des magneti schen Dünnfilm-Kopfes zu schaffen.

Der Klebstoff kann auf dieselben Rillen geschichtet werden, die vorausgehend mit den magnetischen Wandlerelementen und den verbleibenden Rillen gebildet sind, der zweite Ferrit block wird dann auf der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks angefügt, und der Klebstoff kann danach ausge härtet werden, um den ersten Ferritblock an den zweiten Ferrit block zu binden.

Ferner können die Rillen, in denen die magnetischen Wandler elemente nicht aus der Vielzahl von Rillen gebildet werden, durch dasselbe Bildungsverfahren wie das Verfahren zur Bil dung der Rillen zum Bilden der magnetischen Wandlerelemente gebildet werden. Die Rillen, in welchen keine magnetischen Wandlerelemente gebildet werden, können ebenso auf der Ober fläche des zweiten Ferritblocks gegenüber der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferritblocks gebildet werden.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung.

Fig. 1 ist eine schematisch perspektivische Ansicht im Auf riß einer Ausführungsform eines magnetischen Dünnfilm-Kopfes gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 2 und 3 sind erläuternde Ansichten der Schreib- und Leseoperationen des magnetischen Dünnfilm-Kopfes.

Fig. 4(a) ist eine teilweise schematisch-perspektivische Ansicht, welche die Oberfläche eines ersten Ferritblocks zeigt, die an einem Teil einer Rille vergrößert ist, in dem ein Schreibelement abgeschieden ist.

Fig. 4(b) ist eine partiell schematisch-perspektivische Ansicht, welche die Oberfläche eines ersten Ferritblocks zeigt, die den Zustand erläutert, daß ein Schreibelement in der Rille von Fig. 4(a) abgeschieden wird.

Fig. 5 ist eine teilweise schematisch-perspektivische An sicht, welche die Oberfläche eines zweiten Ferritblocks zeigt, welche eine Vertiefung zeigt, die auf der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gebildet ist, dem ein Klebstoff dort zugeführt wurde, und in dem ein Leseelement abgeschieden bzw. aufgebracht ist.

Fig. 6 ist eine teilweise schematisch-perspektivische An sicht, welche den Zustand zeigt, daß ein erster Ferritblock und ein zweiter Ferritblock verbunden werden, und

Fig. 7 und 8 sind teilweise schematisch-perspektivische Ansichten, welche die Oberfläche des ersten Ferritblocks eines veränderten Beispiels einer Vertiefung zeigen, der ein Klebstoff zugeführt wird.

Eine Ausführungsform des magnetischen Dünnfilm-Kopfes gemäß der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf die Fig. 1 bis 6 beschrieben. Fig. 1 zeigt eine schematische Struktur eines magnetischen Dünnfilmkopf-Aufbaus, in dem ein Auf zeichnungs-Magnetkopf und ein Wiedergabe-Magnetkopf ein stückig bzw. integriert ausgebildet sind. Der Aufzeichnungs- Magnetkopf hat einen magnetischen Schaltkreis-Aufbau mit schreibenden Wandlerspalten entsprechend den schreibenden Wandlerelementen 1 durch einstückiges Verbinden des ersten Ferritblocks 3, der eine Vielzahl von schreibenden Wandler elementen 1 aufweist, die longitudinal ausgerichtet sind (die schreibenden Wandlerelemente 1 sind an einem äußerst glatt gebildeten Mittelteil des ersten Ferritblocks 3 abge schieden, der in einer Spulenform aus einem Metallmaterial mit einer hervorragenden Leitfähigkeit gebildet ist, bei spielsweise Gold, Kupfer oder Aluminium mittels eines Dünn film-Verarbeitungsverfahrens), wobei ein zweiter Ferritblock 5 mit einer Oberfläche, welche den schreibenden Wandlerele menten 1 des ersten Ferritblocks 3 gegenüber und extrem glatt gebildet ist, mittels eines Klebstoffs (eine Vielzahl von mit Glas gefüllten Rillen zum Definieren von Spuren ent sprechend den schreibenden Wandlerelementen 1 werden gebildet). Ein Wiedergabe-Magnetkopf hat einen magnetischen Schaltkreis- Aufbau mit lesenden Wandlerspalten durch einstückiges Ver binden eines dritten Ferritblocks 4, der eine Vielzahl von lesenden Wandlerelementen 2 aufweist, welche longitudinal ausgerichtet sind (die lesenden Wandlerelemente 2 werden an einem äußerst glatt gebildeten Mittelteil des dritten Ferrit blocks 4 mit einem Dünnfilm-Bearbeitungsverfahren ähnlich den schreibenden Wandlerelementen abgeschieden, wobei ein vierter Ferritblock 6 eine extrem glatt gebildete Oberfläche aufweist, die den lesenden Wandlerelementen 2 entgegenge setzt ist, mittels eines Klebstoffs). In den zuvor erwähnten Aufzeichnungs- und Wiedergabe-Magnetköpfen werden die einem Aufzeichnungsmedium entgegengesetzten Oberflächen geformt und bearbeitet, und es werden dann Leitungsdrähte und Signal drähte 19, die aus einem flexiblen gedruckten Substrat gemacht sind, mit den Wandlerelementgruppen verbunden, um mit einem Geräte-Schaltkreis verbunden zu werden, um eine Spalttiefe zu erhalten, um einen optimalen magnetischen Schaltkreis zu schaffen, der den vorzugsweise berührenden Zustand mit dem Aufzeichnungsmedium, d.h. dem Magnetband hält. Eine Magnetkopf- Anordnung wird zusammengesetzt durch Positionieren und Befesti gen einer Feder oder einer Schraube in einem Gehäuse (nicht gezeigt) das aus Aluminium in dem Zustand gemacht ist, daß eine magnetische Abschirmplatte 17 zum Entfernen von Rauschen, zwischen dem zweiten Ferritblock 5 und dem vierten Ferrit block 6 jeder Teilanordnung, die wie oben beschrieben aufge baut ist, zwischengelagert wird.

Der magnetische Kopf wird so betrieben, daß ein Medium 21 durch Zuführen von Strömen zwischen den schreibenden Wandler elementen 1 für den Aufzeichnungs-Magnetkopf magnetisiert wird und magnetische Leckflüsse 20, die dadurch von den Wand lerspalten erzeugt werden. Der Magnetkopf wird weiter be trieben, um den magnetischen Fluß 20 aus dem Medium 21, das so durch die lesenden Wandlerelemente 2 des Wiedergabe/Auf zeichnungskopfes als ein Wiedergabeausgang magnetisiert sind. Solch eine Operation wird im wesentlichen überall gleich genau ausgeführt bei allen Wandlerelementen.

Es wird nun die Struktur des Magnetkopfes zum Stabilisieren der zuvor erwähnten Funktionen und das Verfahren zum Her stellen des Dünnfilm-Magnetkopfes mit solch einer Struktur beschrieben. Nachdem eine Isolations-Filmschicht 9 a durch ein Dünnfilm-Bearbeitungsverfahren gebildet wird, z.B. Sputtern eines Isolationsmaterials, z.B. Aluminiumoxid (Al₂O₃) oder eines Siliziumoxids (SiO₂) längs einer longi tudinalen Richtung auf dem oberen Mittelteil der Oberfläche des ersten Ferritblocks 3, um einen Aufzeichnungs-Magnetkopf zu bilden, werden eine Vielzahl von Rillen 12 durch ein Fräs verfahren gebildet, z.B. ein Ionen-Fräsen bzw. Ätzen bzw. Abtragen auf die Isolations-Filmschicht 9 a, wie in Fig. 4 (a) gezeigt. Dann wird ein leitfähiger Film, der aus einem Metallmaterial mit hervorragender Leitfähigkeit gemacht ist, z.B. Gold, Kupfer oder Aluminium, dünn gebildet, bzw. aufge tragen, z.B. etwa 0,05 bis 5,0 Mikron, durch Sputtern auf die Isolations-Filmschicht 9 a einschließlich der Rillen 12, wobei der leitfähige Film, der auf einem Teil der Isolations- Filmschicht 9 a abgeschieden wird, wo die Rillen 13 nicht gebildet sind, dann durch Ionen-Fräsen (ion milling) entfernt werden, eine Vielzahl von spulenförmigen schreibenden Wand lerelementen 1, wie in Fig. 4(b) gezeigt, längs einer longi tudinalen Richtung auf dem oberen Mittelteil des ersten Ferrit blocks 3 angeordnet sind, und eine Vielzahl von sogenannten "dummy"-Elementen 7, die keine schreibenden Wandlerelemente bilden, längs einer longitudinalen Richtung auf dem oberen rechten und linken Teil des ersten Ferritblocks 3 angeordnet sind. Die Dummy-Elemente 7 werden durch dasselbe Verfahren wie das Verfahren zum Bilden der schreibenden Wandlerelemente 1 gebildet, aber es werden keine Signalleitungen 19 wie die schreibenden Wandlerelemente 1 geschaltet. Demgemäß werden schließlich eine Vielzahl von Vertiefungen 12 a mit einer Tiefe von etwa 0,5 bis 12,0 Mikron auf der Oberfläche des Isolationsfilms 9 a gebildet, um die Wandlerspaltlänge L 1 auf dem ersten Ferritblock 3 zu definieren. Diese Tiefe ist mit dem Zeichen a in Fig. 4(b) bezeichnet.

Die Viezahl von lesenden Wandlerelementen 2 werden entspre chend der Vielzahl von schreibenden Umwandlungselementen 1 durch das gleiche Dünnfilm-Bildungsverfahren wie dem der schreibenden Wandlerelemente 1 längs einer longitudinalen Richtung auf dem oberen Mittelteil des dritten Ferritblocks 4 gebildet, um den Wiedergabe-Magnetkopf zu bilden und eine Vielzahl von Dummy-Elementen 8, die nicht mit den Signallei tungen verbunden sind, werden auf dem oberen rechten und linken Teil gebildet. Ferner wird eine Isolations-Filmschicht 9 b zum Bedecken der Vielzahl von lesenden Wandlerelementen 2 und Dummy-Elementen 8 durch ein Dünnfilm-Bildungsverfahren in derselben Weise wie die Isolations-Filmschicht 9 a gebildet, mit dem Ergebnis, daß eine Vielzahl von Vertiefungen 12 b mit einer Tiefe b entsprechender Dicke der Wandlerelemente 2 unentbehrlich gebildet werden, da der Teil, wie in Fig. 5 gezeigt, wo die Wandlerelemente 2 und die Dummy-Elemente 8 gebildet werden, in einer Projektion gebildet wird. Danach kann natürlich das Gebiet oder die Form der Vertiefung 12 b durch Fräsen der Isolations-Filmschicht 9 b mit einem Fräsver fahren, z.B. Ionen-Fräsen sich ändern, um optimale Bindungsbe dingungen zu erzielen.

Die Vielzahl von Wandlerelementen und Dummy-Elementen, die in dem ersten und dritten Ferritblock 3 und 4 zusammenge setzt sind, um jeweils die zuvor erwähnten Aufnahme- und Wiedergabe-Magnetköpfe zu bilden, sind mit einem gleichför migen Abstand bzw. Intervall ausgerichtet, und die Rillen oder die Vertiefung 12 a und 12 b, die in Abhängigkeit von den Formen der Wandlerelemente und der Dummy-Elemente gebildet sind, werden jeweils auf den vorbestimmten ganzen Bereichen des ersten und dritten Ferritblocks 3 und 4 gebildet. Mit anderen Worten, sie werden auf den gesamten Bindungsflächen zu den zweiten und vierten Ferritblock 5 und 6 gebildet.

In dem Aufnahme-Magnetkopf wird die Wandlerspaltlänge L durch Verbinden bzw. Bonden des zweiten Ferritblocks 5 mit der Oberfläche des ersten Ferritblocks 3 mit den Vertiefungen 12 a ohne Spalt zu der Isolations-Filmschicht 9 a gebildet, während ein genügend hoher Druck, z.B. etwa 10 kg darauf angewendet wird, ein Klebstoff 14 in die Vertiefung 12 a ge füllt wird und dann der Klebstoff ausgehärtet wird, um den ersten Ferritblock 3 mit dem zweiten Ferritblock 5 zu verbinden.

In gleicher Weise wird in dem Wiedergabe-Magnetkopf die Wand lerspaltlänge durch Verbinden des vierten Ferritblocks 6 mit der Oberfläche des Ferritblocks 3 mit den Vertiefungen 12 b ohne einen Spalt zu der Isolations-Filmschicht 9 b gebildet, während ein genügend großer Druck darauf angewendet wird, der Klebstoff in die Vertiefung 12 b gefüllt, und dann der Klebstoff ausgehärtet wird, um den dritten Ferritblock 4 an dem vierten Ferritblock 6 anzubinden. In diesem Fall ist der Umstand, daß die Tiefen a und b der Vertiefungen 12 a und 12 b etwa 0,05 bis 5,0 Mikron betragen, schon beschrieben worden, aber es ist in diesem Bereich angezeigt, daß der Klebstoff 14 in die Vertiefungen 12 a und 12 b durch Kapillarwirkung gefüllt wird.

Zusätzlich zu dem Verfahren des Füllens des Klebstoffes 14 in die Vertiefungen 12 a und 12 b durch Kapillarwirkung nach Verbinden der Ferritblöcke während der Anwendung von Druck darauf, wird eine vorbestimmte Menge Klebstoff 14 voraus gehend auf vorbestimmte Bereiche beschichtet, die die Ver tiefungen 12 a und 12 b einschließen, und die Ferritblöcke können verbunden werden, während Druck auf die jeweiligen Blöcke gegeben wird, um den Klebstoff, der auf den Isolations- Filmschichten 9 a und 9 b bleibt, in die Vertiefungen 12 a und 12 b zwangsweise zu füllen. In diesem Verfahren werden die überfließenden Mengen von Klebstoff aus den Vertiefungen 12 a und 12 b, nachdem sie verbunden sind, geringer, und die über fließenden Mengen des Klebstoffs können gesteuert werden. Somit kann eine Spannung, die durch das thermische Schwellen oder Schrumpfen auftritt, nachdem der überfließende Klebstoff ausgehärtet ist, oder das Schwellen des überfließenden Kleb stoffs aufgrund der Feuchtigkeitsabsorption in die äußere Umgebung vermindert werden. In den oben genannten Schritten des Füllens und Beschichtens wird der Klebstoff, z.B. aus Epoxi-Harzen gemacht, vorausgehend auf eine vorbestimmte geeignete Temperatur aufgeheizt, d.h. eine Temperatur, in der eine solche geringe Viskosität aufrechterhalten werden kann, daß der Klebstoff schnell in den Vertiefungen 12 a und 12 b in ausreichender Weise verteilt wird, und dann weiter aufgeheizt auf die Temperatur zum Aushärten des Klebstoffs. Es ist bevor zugt, die Ferritblöcke zu verbinden, durch Beachtung der Aushärtebedingungen des Klebstoffs.

Nachdem der erste Ferritblock 3 mit dem zweiten Ferritblock 5 verbunden ist, und der dritte Ferritblock 4 mit dem vierten Ferritblock 6, wie zuvor beschrieben, verbunden ist, werden sie in einem Gehäuse, wie zuvor beschrieben, aufbewahrt, in dem Zustand, daß eine Abschirmplatte 17 zwischen den Teil aufbauten eingelagert ist, um einen Dünnfilm-Magnetkopf Auf bau aufzubauen.

In dem Dünnfilm-Magnetkopf, der durch das vorbeschriebene Verfahren hergestellt wurde, gibt es im wesentlichen keinen Spalt zwischen der Isolations-Filmschicht 9 a und dem zweiten Ferritblock 5, und zwischen der Isolations-Filmschicht 9 b und dem vierten Ferritblock 6, da die Schritte des Kontaktie rens des ersten Ferritblocks 3 mit dem zweiten Ferritblock 5 und des dritten Ferritblocks 4 mit dem vierten Ferritblock 6 an vorbestimmten Oberflächen miteinander während der Anwendung eines geeigneten Drucks darauf enthalten sind. Somit wird die Dicke der Isolations-Filmschicht 9 a die Wandlerspaltlänge in dem Aufzeichnungs-Magnetkopf und die Dicke, welche durch Addieren der Dicke der Isolations-Filmschicht 9 b zu der der Wandlerelemente 2 erhalten wird, wird die Wandlerspaltlänge in dem Wiedergabe-Magnetkopf, und die Wandlerspaltlängen können in beiden Magnetköpfen einheitlich gewählt werden. Ferner, da die Bindungsflächen der Ferritblöcke des Auf zeichnungs- und Wiedergabe-Magnetkopfes in dem gesamten Be reich längs einer longitudinalen Richtung auf den Spitzen des ersten und dritten Ferritblocks 3 und 4 sind, wie durch Bezugszeichen 10 bezeichnet und da die mit dem Klebstoff zu versorgenden oder zu beschichtenden Bereiche in der Nähe der Medium-Zuführfläche weit verteilt sind, kann eine genügende Bindungsstärke erhalten werden.

Die Fig. 7 und 8 zeigen ein modifiziertes Beispiel der Vertiefungen, d. h., der mit einem Klebstoff zu versorgenden oder zu beschichtenden Rillen. Die auf dem oberen rechten und linken Teil des ersten Ferritblocks 3 gebildeten Rillen können von denen, die auf dem oberen Mittelteil des ersten Ferritblocks 3 gebildet sind, auf welchem die Wandlerelemente 1 abgeschieden sind, in der Form verschieden sein, wobei die Rillen, die auf dem oberen rechten und linken Teil des ersten Ferritblocks 3 gebildet sind, in demselben Schritt wie dem Schritt des Bildens der Rillen gebildet, auf dem die Wandler elemente 1 in einer stabförmigen bzw. pektinierten und schlanken Form getrennt mit einem geeigneten Abstand bzw. Intervall abgeschieden bzw. aufgebracht werden und leit fähige Filme mit im wesentlichen derselben Dicke wie die der Wandlerelemente 1 werden in den Rillen abgeschieden. Demge mäß werden die Spalte zwischen der Oberfläche des ersten Ferritblocks 3 und den Wandlerelementen 1 in Vertiefungen ausgebildet, die mit einem Klebstoff, wie die Bezugszeichen 12 c (Fig. 7) und 12d (Fig. 8) zeigen, beschichtet oder versehen werden.

Die Rillen können in einfacher Form einen derartigen Abstand, daß die Rillen nicht in dem Schritt der Verbindung der Ferrit blöcke deformiert bzw. beschädigt werden, während Druck darauf angewendet wird, der ausreichend in einer Struktur ist, wobei der Klebstoff in die mit dem Klebstoff gefüllten oder beschich teten Vertiefungen gefüllt wird. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die besondere Form der Rillen beschränkt. Ferner können die Rillen der oben/rechten und hinteren Teils des ersten Ferritblock 2 auch in einem Schritt gebildet werden, der unterschiedlich ist von dem Schritt zum Bilden der Um wandlungselemente 1.

In den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen werden die Vertiefungen, denen der Klebstoff zugeführt wird, oder die mit Klebstoff beschichtet sind, auf dem ersten und dritten Ferritblock gebildet, auf dem die Wandlerelemente gebildet sind. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf solche besonderen Ausführungsformen beschränkt, beispielsweise können die Vertiefungen auch auf dem zweiten und vierten Ferritblock gebildet werden, auf dem keine Wandlerelemente gebildet sind.

Claims

1. Dünnfilm-Magnetkopf mit mehreren Spuren, die auf einem ersten Ferritblock gebildet sind, der eine Vielzahl von Wandlerelementen aufweist, die auf einer vorbestimmten Oberfläche gebildet sind und einen zweiten Ferritblock, der mit der vorbestimmten Oberfläche des ersten Ferrit blocks so verbunden wird, daß jede Bindungsfläche des ersten und zweiten Ferritblocks mit einer Isolations- Filmschicht gebildet ist, und eine Vielzahl von Vertie fungen, die mit einem Klebstoff beschichtet oder von außen versorgt werden, welche auf irgendeiner ganzen Bindungsfläche des ersten und zweiten Ferritblocks so gebildet sind, daß der Klebstoff in Spalten gefüllt ist, die zwischen den Vertiefungen und dem ersten oder zweiten Ferritblock gebildet sind.

2. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Vielzahl von Vertiefungen in einer Form gebildet sind, die sich auf die der Wandlerelemente bezieht.

3. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Isolations-Filmschicht auf der Ober fläche des ersten Ferritblocks gebildet ist, die Viel zahl von Wandlerelementen in einer Vielzahl von Rillen abgeschieden sind, die auf der Isolations-Filmschicht gebildet sind, wobei Spalte, die durch die Wandlerele mente und die Oberfläche des zweiten Ferritblocks defi niert sind, die Vertiefungen bilden.

4. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Vielzahl von Wandlerelementen auf der Oberfläche des ersten Ferritblocks abgeschieden werden, die Isolations-Filmschicht so abgeschieden ist, daß sie die Vielzahl von Wandlerelementen bedeckt, eine Vielzahl von Vertiefungen in Abhängigkeit von den Formen der Vielzahl von Wandlerelementen dabei gebildet sind, und der Klebstoff in die Spalte gefüllt ist, die durch die Vertiefungen und den zweiten Ferritblock definiert sind.

5. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß die Vielzahl von anderen Vertiefungen benachbart den Vertiefungen angeordnet sind, die durch die Vielzahl von Wandlerelementen und den zweiten Ferrit block definiert sind, und ebenso in dem rechten und linken Bereich gebildet sind, die in der Ausrichtrich tung der Wandlerelemente erstreckt sind.

6. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekenn zeichnet, daß die Vielzahl von anderen Vertiefungen benachbart den Vertiefungen angeordnet sind und auch auf dem rechten und linken Bereich gebildet sind, die in der Ausrichtrichtung der Wandlerelemente erstreckt sind.

7. Dünnfilm-Magnetkopf nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die Vielzahl von anderen Vertiefungen im wesentlichen genauso gebildet sind, wie die Vertiefun gen, die von der Vielzahl von Wandlerelementen an der Oberfläche des zweiten Ferritblocks definiert werden.

8. Dünnfilm-Magnetkopf nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefen aller Vertiefungen in einer Größe gebildet sind, die mit der Viskosität des Klebstoffs in Beziehung stehen, so daß der Klebstoff in der Vertiefung durch Kapillarwirkung fließen kann.

9. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen, mit:
Abscheiden einer Isolations-Filmschicht auf einem vor bestimmten Bereich der Oberfläche eines ersten Ferrit blocks,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen in Gestalt zu Formen, die mit der Gestalt der Wandlerelemente in dem vorbestimmten Bereich des ersten Ferritblocks in Beziehung steht,
Abscheiden von leitfähigen Schichten, die dicker als die der Isolations-Filmschicht in den Rillen sind, um die Wandlerelemente zu bilden,
Füllen eines Klebstoffs in Spalte, die durch die Wand lerelemente und die Oberfläche des zweiten Ferritblocks definiert sind, während der vorbestimmte Bereich der Oberfläche des ersten Ferritblocks an der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gegenüber dem vorbestimmten Bereich angefügt ist, und dann
Aushärten des Klebstoffs.

10. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen, welches die Schritte aufweist:
Abscheiden einer Isolations-Filmschicht auf einem vor bestimmten Bereich der Oberfläche des ersten Ferrit blocks,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen in einer Form zu bilden, die sich auf die Form der Wandlerelemente in dem Mittelteil des vorbestimmten Bereichs des ersten Ferritblocks bezieht,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine andere Viel zahl von Rillen auf einem peripheren Bereich in der Nähe des Mittelbereichs des ersten Ferritblocks zu bil den,
Abscheiden von leitfähigen Schichten einer Dicke, die dünner als die der Isolations-Filmschicht in den Rillen ist, die auf dem Mittelbereich gebildet sind,
Füllen eines Klebstoffs in Spalte, die durch die Wandler elemente und die Oberfläche des zweiten Ferritblocks definiert sind, und in Spalte, die durch die andere Vielzahl von Rillen und die Oberfläche des zweiten Ferrit blocks definiert sind, während der vorbestimmte Bereich der Oberfläche des ersten Ferritblocks an der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gegenüber dem vorbestimmten Bereich angefügt ist, und dann
Aushärten des Klebstoffs.

11. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen, mit den Schritten:
Abscheiden einer Isolations-Filmschicht auf einem vor bestimmten Bereich der Oberfläche eines ersten Ferrit blocks,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen in einer Form zu bilden, die sich auf die Form der Wandlerelemente in dem vorbestimmten Bereich des ersten Ferritblocks bezieht,
Abscheiden von leitfähigen Schichten, die dicker als die der Isolations-Filmschicht in Rillen ist, um die Umwandlungselemente zu bilden,
Beschichten der Vertiefung, die durch die Differenz der Dicken der Isolations-Filmschicht und der Wandlerelement- Schicht gebildet ist, mit dem Klebstoff,
Anfügen des vorbestimmten Bereichs des ersten Ferrit blocks an dem zweiten Ferritblock gegenüber dem vorbe stimmten Bereich des ersten Ferritblocks, während der Anwendung von Druck in dem Zustand, daß der vorbestimmte Bereich der Oberfläche des ersten Ferritblocks mit der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gegenüber dem vorbe stimmten Bereich kontaktiert wird und dann
Aushärten des Klebstoffs.

12. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen, das die Schritte aufweist:
Abscheiden einer Isolations-Filmschicht auf einem vor bestimmten Bereich der Oberfläche eines ersten Ferrit blocks,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen in einer Form zu bilden, die sich auf die Form der Wandlerelemente in dem Mittelteil des vorbestimmten Bereichs des ersten Ferritblocks bezieht,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine andere Viel zahl von Rillen an einem peripheren Bereich in der Nähe des Mittelbereichs des ersten Ferritblocks zu bilden, Abscheiden von leitfähigen Schichten einer Dicke, die dünner als die der Isolations-Filmschicht in den Rillen ist, die auf dem Mittelbereich gebildet sind, vorheriges Beschichten der Vertiefungen, die aufgrund der Differenz der Dicken der Isolations-Filmschicht und der Wandlerelement-Schicht gebildet sind und der Vielzahl von Rillen, die auf dem peripheren Bereich gebildet sind, mit dem Klebstoff,
Anfügen des vorbestimmten Bereichs des ersten Ferrit blocks an der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gegen über dem vorbestimmten Bereich des ersten Ferritblocks während der Anwendung von Druck darauf in dem Zustand, daß der vorbestimmte Bereich der Oberfläche des ersten Ferritblocks mit der Oberfläche des zweiten Ferritblocks gegenüber dem vorbestimmten Bereich kontaktiert wird und dann
Aushärten des Klebstoffs.

13. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einer Vielzahl von magnetischen Wandlerelementen, welches die Schritte aufweist:
Abscheiden einer Vielzahl von Wandlerelementen auf einem vorbestimmten Bereich der Oberfläche eines ersten Ferrit blocks,
Abscheiden einer Isolations-Filmschicht von vorbestimm ter Dicke auf der Oberfläche des Ferritblocks über der Vielzahl von Wandlerelementen, um eine Vielzahl von Vertiefungen der Dicke zu bilden, die der Dicke der Wandlerelemente entspricht,
Anfügen der Oberfläche des zweiten Ferritblocks an der Oberfläche des ersten Ferritblocks und Füllen eines Klebstoffs in Spalte, die durch die Vielzahl von Ver tiefungen und die Oberfläche des zweiten Ferritblocks definiert sind, und dann
Aushärten des Klebestoffs.

14. Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit einem Aufzeichnungs-Magnetkopf, der eine Vielzahl von aufzeichnenden magnetischen Wandlerelementen auf weist, und einen Wiedergabe-Magnetkopf, der eine Viel zahl von wiedergebenden magnetischen Wandlerelementen aufweist, die einstückig verbunden sind, aufweisend: Abscheiden einer Isolations-Filmschicht auf einen vor bestimmten Bereich der Oberfläche eines ersten Ferrit blockes,
Ätzen der Isolations-Filmschicht, um eine Vielzahl von Rillen in einer Form zu bilden, die sich auf die Form der Wandlerelemente in dem vorbestimmten Bereich des ersten Ferritblocks bezieht,
Abscheiden von leitfähigen Schichten, die dicker als die der Isolations-Filmschicht in den Rillen ist, um die Wandlerelemente zu bilden,
vorausgehendes Beschichten in einer Vielzahl von Ver tiefungen, die aufgrund der Differenz der Dicken der Isolations-Filmschicht und der Wandlerelemente gebildet werden, mit einem Klebstoff,
Anfügen des zweiten Ferritblocks mit einer Oberfläche gegenüber dem vorbestimmten Bereich des ersten Ferrit blocks an dem ersten Ferritblock, während der Anwendung von Druck darauf im Zustand, daß der zweite Ferritblock, welcher die Oberfläche gegenüber dem vorbestimmten Bereich des ersten Ferritblocks aufweist, mit dem ersten Ferritblock kontaktiert wird, um danach den Klebstoff auszuhärten, um einen Aufzeichnungs-Magnetkopf zu bilden, Abscheiden einer Vielzahl von Wiedergabe-Wandlerelementen einer vorbestimmten Dicke auf dem vorbestimmten Bereich der Oberfläche eines dritten Ferritblocks,
Abscheiden einer Isolations-Filmschicht einer vorbe stimmten Dicke auf der Oberfläche des dritten Ferrit blocks, um die Vielzahl von Wandlerelementen zu bedecken, um eine Vielzahl von Vertiefungen einer Dicke zu erhalten, die der Dicke der Wandlerelemente entspricht,
vorausgehendes Beschichten in der Vielzahl von Vertie fungen mit dem Klebstoff,
Anfügen des vierten Ferritblocks mit einer Oberfläche gegenüber dem vorbestimmten Bereich an dem dritten Ferrit block während der Anwendung von Druck darauf in dem Zustand, daß der vierte Ferritblock mit der Oberfläche gegenüber dem vorbestimmten Bereich mit dem dritten Ferritblock kontaktiert wird, um danach den Klebstoff auszuhärten, um einen Wiedergabe-Magnetkopf zu bilden und
Aufnehmen des Aufzeichnungs- und Wiedergabe-Magnetkopfs in einem Gehäuse in dem Zustand, daß eine magnetische Abschirmplatte zwischen dem zweiten Ferritblock und dem vierten Ferritblock angeordnet wird, um dieselben zu befestigen.