DE3809887A1 - Sensor zur messung mechanischer bewegungsgroessen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor zur Messung me­ chanischer Bewegungsgrößen, d.h. des Weges und/oder des Be­ wegungsverhaltens eines Körpers oder Bauteils, durch Um­ wandlung der Bewegungsgröße in ein elektrisches Signal.

Derartige Sensoren mit Wandlersystemen für Weg, Geschwin­ digkeit, Beschleunigung usw. auf der Grundlage verschiede­ ner physikalischer Effekte sind bekannt. Hierunter fallen Sensoren mit Dehnungsmeßwiderständen, mit piezoresistiven oder piezoelektrischen Meßelementen, Hall-Sonden usw.

Bekannte und in großer Stückzahl verwendete Radsensoren zur Messung des Drehverhaltens eines Fahrzeugrades beruhen auf der magnetischen Induktion einer Meßspannung in einer Spule infolge von Änderungen des Magnetfeldes. Solche Magnetfeld­ änderungen werden beispielsweise mit Hilfe einer Zahnschei­ be herbeigeführt, die sich mit dem Fahrzeugrad dreht und die im Magnetfeld der zugehörigen Meßspule bzw. des magne­ tischen Meßwertaufnehmers liegt.

Mit magnetoresistiven Sonden, durch besondere Halbleiteran­ ordnungen und auf Basis kapazitiver Effekte läßt sich eben­ falls die Bewegung eines Körpers in ein elektrisches Signal umsetzen.

Besonders häufig eingesetzt werden piezoelektrische Wandler und solche auf Basis von Dehnungsmeßstreifen. Entsprechende Sensoren sind jedoch relativ teuer, weshalb sie für viele Anwendungsgebiete, z.B. für elektronische Regler in Kraft­ fahrzeugen, nicht oder nur eingeschränkt in Frage kommen, obwohl ein großer Bedarf vorhanden ist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen robu­ sten, mit geringem Aufwand herstellbaren und daher auch für den Einsatz in Kraftfahrzeuge der mittleren und unteren Preisklasse geeigneten Sensor zu schaffen, mit dem Lageän­ derungen oder Wege mechanischer Teile, z.B. am Schwingungs­ dämpfer, Bewegungsgeschwindigkeiten, Beschleunigungen usw. mit hoher Zuverlässigkeit und mit der erforderlichen Genau­ igkeit bestimmt werden können. Auf einen geringen Preis wurde auch deswegen Wert gelegt, weil für manche Regelauf­ gaben mehrere Sensoren dieser Art, z.B. an jedem Rad, benö­ tigt werden.

Es hat sich nun herausgestellt, daß diese Aufgabe in über­ raschend einfacher und technisch sehr fortschrittlicher Weise durch einen Sensor der eingangs genannten Art gelöst werden kann, dessen Besonderheit darin besteht, daß der Sensor einen oder mehrere in einem Gehäuse verschiebbar ge­ führte, z.B. in einem Hohlzylinder axial verschiebbare, durch die Abstoßungskräfte gleichnamiger Magnetpole posi­ tionierte oder in Schwebe gehaltene Permanentmagnete und eine Meßeinrichtung mit einem Meßelement aufweist, das ein der Verschiebung oder Schwingung, der Permanentmagnete re­ lativ zu dem Gehäuse entsprechendes elektrisches Meßsignal liefert.

Der mechanische Aufbau des erfindungsgemäßen Sensors ist extrem einfach. Beispielsweise genügen zwei ortsfest in ei­ nem Hohlzylinder oder Rohr angeordnete Permanentmagnete, um einen oder mehrere zwischen diesen ortsfesten Magneten an­ geordnete, verschiebbare Permanentmagnete magnetisch zu po­ sitionieren oder in der Schwebe zu halten. Hierzu ist es lediglich erforderlich, die ortsfesten und die verschiebba­ ren Magnete derart anzuordnen, daß sich jeweils die gleich­ namigen Magnetpole gegenüberliegen. Durch die magnetischen Abstoßungskräfte werden dann die verschiebbaren Permanent­ magnete federelastisch in der vorgegebenen Position gehal­ ten.

Steht der Hohlzylinder oder das Glasrohr aufrecht, genügt es, am Boden des Rohres den ortsfesten Permanentmagneten festzukleben und einen verschiebbaren Magneten über diesen ortsfesten Magneten anzuordnen. Der verschiebbare Magnet wird dadurch in der Schwebe gehalten. Die Verschiebung des Magneten nach oben wird durch dessen Masse bzw. durch die Schwerkraft begrenzt. Ein Schrägstehen des Gehäuses bzw. des Rohres oder Hohlzylinders kann in Kauf genommen werden, wenn die Innenwandung des Rohres sehr glatt ist und daher die Reibung des geführten Permanentmagneten gering wird.

Nach einer Ausführungart der Erfindung ist an dem ver­ schiebbar geführten Permanentmagneten der Körper bzw. das Bauteil, dessen Weg oder Bewegungsverhalten gemessen werden soll, z.B. über eine dünne Nadel angelenkt. Zur Messung der Position des verschiebbar geführten Permanentmagneten kann eine Wicklung, in der eine Meßspannung induzierbar ist, ei­ ne Sonde aus magnetoresistivem Material, eine Hallsonde oder dergl. verwendet werden. Die Meßspule kann auch Be­ standteil eines Schwingkreises sein, wobei dann bei Ände­ rung der Induktivität infolge Verschiebung des Permanentma­ gneten die Frequenz des Schwingkreises geändert oder deren Frequenz moduliert wird.

Wichtig ist ferner, daß die gesamte Anordnung, d.h. die aus den ortsfesten und aus den verschiebbaren Permanentmagneten bestehende Anordnung, einschließlich der Meßspule oder Meß­ elemente, in einen als Abschirmung dienenden Mantel aus ma­ gnetisch gut leitendem Material eingebracht werden kann.

Zwischen den ortsfesten Permanentmagneten können auch meh­ rere verschiebbare Permanentmagnete, z.B. auf der Achse ei­ nes Rohres hintereinander angeordnet werden. Die Auslenkun­ gen der einzelnen Magnete zur Bestimmung eines Weges oder einer Beschleunigung können dann individuell gemessen wer­ den, um z.B. gleichzeitig mehrere Meßgrößen, wie Weg, Ge­ schwindigkeit, Beschleunigung, erfassen und auswerten zu können. Durch die federnde Kopplung der einzelnen Magnete, die sich ihre gleichnamigen Magnetpole zuwenden, ist es auch möglich, eine mechanische Bewegung berührungslos zu übertragen. Hierzu wird auf ortsfeste Permanentmagnete ver­ zichtet, und es werden statt dessen die Magnete am Anfang und Ende der Kette mit den Bauteilen verbunden, deren Bewe­ gung über die "magnetischen Federn" bzw. Abstoßungskräfte der gleichnamigen Magnetpole übertragen werden soll.

Nach einer weiteren Ausführungsart der Erfindung ist es vorgesehen, die magnetisch positionierten Permanentmagnete scheibenförmig auszubilden und im Inneren des Gehäuses auf einer zentralen Führung, beispielsweise einem Stab, anzu­ ordnen. Wird die zentrale Führung als Hohlzylinder ausge­ bildet, kann in diesem das Meßelement, z.B. eine Meßsonde, bis zum Wirkungsbereich des magnetisch verschiebbaren Per­ manentmagneten hineingeschoben werden.

In den beigefügten Unteransprüchen sind noch weitere, be­ sonders vorteilhafte Ausführungsbeispiele der Erfindung be­ schrieben.

Allen Ausführungsbeispielen ist die extrem einfache, fe­ dernde Anordnung und Lagerung des beweglichen Permanentma­ gneten durch die magnetischen Abstoßungskräfte gemein. Die­ se Art von "Sensor-Mechanik" ist vielseitig verwendbar. Die Federkräfte lassen sich durch Wahl des Abstandes zwischen den ortsfesten Permanentmagneten, Wahl des Werkstoffes und der Magnetisierung einstellen. Die Kennlinie des Systems, die in vielen Fällen keineswegs linear sein muß, läßt sich durch die vorgenannten Parameter beeinflussen. Der gesamte Sensor, einschließlich Meßeinrichtung, benötigt nur geringes Volumen, weshalb der Sensor praktisch an beliebiger Stelle im Fahrzeug eingebaut werden kann.

Wegen des geringen Aufwandes ist es auch akzeptabel, mehre­ re Sensoren zu kombinieren, um z.B. an einer Stelle Be­ schleunigungen in mehreren Richtungen, (Aufbaubeschleuni­ gung und Horizontalbeschleunigung) gleichzeitig messen zu können.

Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung von Ausfüh­ rungsbeispielen anhand der beigefügten Abbildungen hervor.

Es zeigen in schematischer, vereinfachter Darstellungsweise

Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau eines Sensors nach der Erfindung mit zwei ortsfesten und einem verschieb­ bar geführten Permanentmagneten,

Fig. 2 einen vereinfachten, für aufrechtstehende Montage vorgesehenen Sensor,

Fig. 3 in gleicher Darstellungsweise zwei Ausführungsbei­ spiele mit HF-Spulen,

Fig. 4 Sensoren mit magnetoresistiven Meßelementen,

Fig. 5 einen Sensor mit mehreren magnetisch positionier­ ten Permanentmagneten für aufrechte Montage,

Fig. 6 in gleicher Darstellungsweise wie die vorangegan­ genen Figuren ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung mit scheibchenförmigen, auf einer Achse befestigten bzw. geführten Permanentmagneten,

Fig. 7 eine ähnliche Ausführungsart wie Fig. 6, jedoch mit nur einem ortsfesten und einem verschiebbaren Permanentmagneten und

Fig. 8 eine Sensorgestaltung ähnlich Fig. 6, jedoch mit einem magnetoresistiven, im Inneren der Führungs­ achse angeordneten Sensor als Meßelement.

Fig. 1 veranschaulicht die Grundstruktur eines Sensors nach der Erfindung. Danach besteht der Sensor im wesentlichen aus einem Gehäuse 1 aus magnetisch nichtleitendem Material, beispielsweise aus einem Glasrohr, in das zwei Permanent­ magnete 2, 3 ortsfest angeordnet, z.B. eingeklebt sind. Zwi­ schen diesen beiden Magneten 2, 3 befindet sich ein Perma­ nentmagnet 4, der durch das Rohr 1 lediglich geführt ist, sich jedoch auf der Achse dieses Gehäuses oder Rohres 1 verschieben läßt.

Es stehen sich jeweils gleichnamige Magnetpole S/S (S = Südpol) und N/N (N = Nordpol) der drei Dauermagnete 2, 3, 4 gegenüber. Durch die magnetischen Abstoßungskräfte gleich­ namiger Pole wird dadurch der Permanentmagnet 4 federnd in der dargestellten mittleren Position gehalten. Die Härte dieser "Federn" ist durch Wahl des Abstandes zwischen den ortsfesten Permanentmagneten 2,3 einstellbar.

Bei der aufrechtstehenden Montage des Sensors bzw. des Ge­ häuses 3 wirkt auf den mittleren Permanentmagneten 4 außer­ dem die Schwerkraft. Daher ist der Abstand zwischen den Ma­ gneten 2/4 geringer als zwischen den Magneten 4/3.

Zu dem Sensor gehört außerdem eine Meßeinrichtung mit einem Meßelement 5, das in der Ausführungsart nach Fig. 1 durch eine über das Glasrohr 1 geschobene Wicklung realisiert ist. Eine Verschiebung oder Schwingung des Permanentmagne­ tes 4 in dem Rohr 1 ruft an den Klemmen der Wicklung 5 eine Spannung hervor, die bei entsprechender Eichung ein Maß für die Auslenkung des Magneten 4 darstellt.

Der Sensor nach Fig. 1 läßt sich beispielsweise zur Messung der Aufbaubeschleunigung eines Fahrzeuges verwenden. Hierzu wird das Sensorgehäuse oder Rohr 1 mit der auf diesem Rohr ortsfest angebrachten Wicklung 5 mit dem Teil, dessen Be­ schleunigung bestimmt werden soll, ortsfest verbunden. Das Rohr mit den an diesem befestigten Teilen 2, 3, 5 macht daher die Bewegung des zu messenden Bauteiles mit. Die Montage­ richtung des Gehäuses 1 bestimmt die Richtung der Beschleu­ nigung, auf den der Sensor reagiert. Besonders vorteilhaft ist der Einsatz für senkrechte Beschleunigungen, weil dann Reibung und Hysterese minimal werden. Solche senkrechten Beschleunigungen treten im Kraftfahrzeug auf und werden durch Schwingungsdämpfer aufgefangen. Wird das Maschinen­ teil bzw. der Fahrzeugaufbau beschleunigt, wirkt die Träg­ heitskraft des Magneten 4 richtungsabhängig gegen eine der beiden magnetischen "Federkräfte", bis gemäß der Magnet­ kraftkennlinie Kräftegleichgewicht herrscht. Hierbei läßt sich ausnutzen, daß mit zunehmender Annäherung die magneti­ sche Gegenkraft progressiv zunimmt, so daß eine Dyna­ mik-Kompression stattfindet. Dadurch werden kleine Be­ schleunigungen hoch aufgelöst, große Beschleunigungen weni­ ger. Dies ist häufig erwünscht, weil es den ausnutzbaren Meßbereich erweitert und sehr wirkungsvoll vor stoßartigen mechanischen Überlastungen schützt.

Die mechanische Empfindlichkeit eines Sensors nach der Er­ findung kann durch Überlagerung eines elektromagnetischen Feldes verändert werden. Dies läßt sich beispielsweise zum Abgleichen, zum Ausgleich von Fertigungstoleranzen, aber auch zum Erreichen einer bestimmten Kennlinie verwenden. Mit Hilfe eines solchen elektromagnetischen Feldes läßt sich auch ein Schutz gegen Überlastung erreichen. Das er­ forderliche elektromagnetische Feld wird mit Hilfe einer nicht gezeigten Zusatzspule in Höhe des schwebend positio­ nierten Permanentmagneten 4 erzeugt. Je nach Polarität und Stromstärke wird durch diese Spule bzw. dieses elektroma­ gnetische Feld die Bewegungsfreiheit des Magneten 4 und da­ mit die Schwingungscharakteristik verändert.

Auf eine solche Zusatzspule kann auch verzichtet und statt dessen mit Hilfe der Wicklung 5 und eines eingeprägten Stromes das gewünschte elektromagnetische Feld erzeugt wer­ den. Elektronisch läßt sich dieser eingeprägte Strom von dem Meßsignal trennen.

Ein Verschleiß und eine Veränderung der Parameter durch Al­ terung ist bei solchen Anordnungen nicht zu erwarten. Die Zuverlässigkeit solcher Sensorsysteme ist folglich sehr hoch.

Eine Bewegung des magnetisch positionierten Magneten 4 in­ duziert in der Meßspule 5 eine Induktionsspannung, die als Sensorsignal ausgewertet werden kann. Es ist möglich und in sehr vielen Fällen von großem Vorteil, den gesamten Sensor, d.h. das Gehäuse 1 mit den eingesetzten Magneten 2, 3, 4 und mit der Meßspule 5 in einen Mantel 6 aus magnetisch gut leitendem Material, wie Eisenblech, einzuhüllen, um den Sensor gegen elektrische Störungen abzuschirmen.

Fig. 2 zeigt einen Sensor mit noch einfacherem Aufbau. Die­ ser Sensor besitzt lediglich einen ortsfesten Permanentma­ gneten 7 und einen verschiebbar gelagerten, in der Schwebe gehaltenen Permanentmagneten 8. Ein solcher Sensor ist nur zur aufrechtstehenden Montage geeignet. Die Verschiebung des Permanentmagneten 8 nach oben wird durch die Masse die­ ses Magneten bzw. durch die Schwerkraft begrenzt. Zur Ein­ stellung der Federkennlinie ist es sinnvoll, erforderli­ chenfalls unterschiedliche Magnettypen für den ortsfesten Magneten 7 und den schwebenden Magneten 8 zu verwenden.

Das Gehäuse oder Führungsrohr 9 kann nach oben geschlossen sein. Durch eine nicht dargestellte Öffnung an der oberen Stirnfläche des Rohres, durch die Abstimmung des Außen­ durchmessers des Permanentmagneten 8 auf den Innendurchmes­ ser des Rohres 8 bzw. durch den Strömungsquerschnitt zwi­ schen Magneten 8 und Innenwandung des Rohres 9 läßt sich die Schwingungscharakteristik ebenfalls beeinflussen.

Fig. 3 zeigt zwei unterschiedliche Ausführungsbeispiele der Erfindung, die sich von den Beispielen nach den Fig. 1 und 2 durch die Verwendung von Hochfrequenz-Spulen 10, 11 an­ stelle der Meßwicklung 5, 5′ unterscheiden. Diese HF-Spulen sind Bestandteile von Schwingkreisen, deren Eigenfrequenz bei Änderung der Induktivität variiert wird, was als Maß oder Meßgröße für die Auslenkung des magnetisch positio­ nierten Permanentmagneten auswertbar ist. In der Ausfüh­ rungsart nach Fig. 3a ist in Höhe der HF-Spule 10 ein Fer­ ritkern 14 in das Gehäuse eingebracht, wodurch die Änderung der Induktivität infolge eines schwingenden oder ausgelenk­ ten Permanentmagneten 12 erhöht wird.

Die Fig. 4a und 4b zeigen Ausführungsbeispiele des er­ findungsgemäßen Sensors, bei denen als Meßelement eine Son­ de 15,16 aus einem magnetoresistiven Material verwendet wird. Unter der veränderlichen Feldstärke des verschiebbar geführten, magnetisch positionierten Permanentmagneten 17, 18 ändert eine solche Sonde 15, 16 ihren inneren Wider­ stand, was als Signal für die zu messende Größe, z.B. Be­ schleunigung, ausgewertet werden kann.

In dem Beispiel nach Fig. 4b ist der Körper oder das Bau­ teil, dessen mechanische Bewegung mit Hilfe des erfindungs­ gemäßen Sensors ermittelt werden soll, über eine dünne, leichte Nadel 19 an den magnetisch positionierten Perma­ nentmagneten 18 angelenkt. Ein Pfeil F symbolisiert, daß in diesem Fall der Magnet 18 durch die zu messende Kraft in Richtung des Pfeiles ausgelenkt wird. Durch die Abstoßungs­ wirkung der Gegenpolkräfte zwischen dem Magneten 18 und dem ortsfesten Magneten 20 wird der Magnet 18 in seine Ruhelage zurückgestellt.

In Fig. 5 ist ein Sensor nach der Erfindung mit mehreren schwebenden Permanentmagneten 21 bis 25 wiedergegeben. Auch diese Anordnung ist für eine aufrechtstehende Montage ge­ dacht. Am Boden eines Gehäuses oder Führungsrohres 26 ist ein Permanentmagnet 27 eingeklebt. Über diesem ortsfesten Magneten 27 sind die Magnete 21 bis 25 auf der Achse des Gehäuses 26 angeordnet und in der Schwebe magnetisch posi­ tioniert. Es sind im Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 zwei Festspulen 28, 29 vorgesehen, um die Auslenkung des oberen Magneten 25 und des unteren Magneten 21 unabhängig vonein­ ander messen zu können. Bei in Reihe angeordneten Perma­ nentmagneten nimmt die Auslenkung infolge einer Beschleuni­ gung mit der Anzahl der magnetisch positionierten Magnete 21-25 zu. In dem dargestellten Beispiel wird bei Be­ schleunigung der oberste Magnet 25 um ein Vielfaches mehr ausgelenkt als der unterste Magnet 21. Dieser Effekt läßt sich ausnutzen, um Sensoren zu schaffen, die unter Verwen­ dung dieser Mechanik sowohl bei großen als auch bei kleinen Beschleunigungen im quasi linearen Bereich der Repul­ sions-Kennlinie, die die Abstoßungskräfte der gleichnamigen Magnete wiedergibt, messen. Dazu wird bei kleinen Beschleu­ nigungen mit dem oberen, empfindlicheren System, das der Magnet 25 mit der Spule 29 bildet, gemessen und bei Über­ schreiten einer Grenzbeschleunigung mit dem unteren, weni­ ger empfindlichen System 21, 28. In manchen Fällen könnte es von Vorteil sein, sämtlichen schwebend positionierten Ma­ gneten 21 bis 25 eine eigene Meßspule zuzuordnen. Auf diese Weise entstehen Meßkaskaden nach Art des Noniusprinzips.

Es ist durchaus auch denkbar und in vielen Fällen vorteil­ haft, Kaskaden der in Fig. 5 gezeigten Art mit Meßsonden unterschiedlicher Art, z.B. Wicklungen und Sonden aus ma­ gnetoresistivem Material, auszurüsten.

In den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 6 und 7 sind so­ wohl die ortsfesten als auch die verschiebbar geführten Permanentmagnete 30, 31, 33; 32, 34 flach bzw. ring- oder scheibenförmig ausgebildet. Der magnetisch positionierte oder in der Schwebe gehaltene Permanentmagnet 32, 34 ist da­ her zu seiner Führung auf einer Achse oder einem Bolzen 35, 36 geführt, der sich im Zentrum des Sensors befindet. Die Auslenkung oder eine Schwingung des magnetisch positio­ nierten Magneten 32, 34 wird wiederum mit Hilfe einer Meß­ wicklung 37, 38, in der bei Bewegung des Magneten 32, 34 eine Spannung induziert wird, gemessen und ausgewertet. Der Sen­ sor nach Fig. 7 ist wiederum für aufrechtstehende Montage vorgesehen, weil der Weg des geführten Magneten 34 einer­ seits durch die Abstoßungskräfte gegenüber dem gleichnami­ gen Magnetpol des ortsfesten Magneten 33 und andererseits durch seine Masse bzw. durch Schwerkraft begrenzt ist.

Zur Schirmung ist der Sensor nach Fig. 6 von einem Mantel 39 aus magnetisch leitendem Material umgeben.

Schließlich ist in Fig. 8 noch ein Sensor dargestellt, der sich von dem Sensor nach Fig. 6 im wesentlichen nur durch die hohle Ausbildung der Führungsachse, auf dem die Perma­ nentmagnete 41, 42, 43 angeordnet sind und durch die Verwen­ dung einer Sonde 44 aus magnetoresistivem Material anstelle der Meßwicklung 37 in Fig. 6 unterscheidet. Die Sonde 44 sitzt im Inneren der hohlen Achse 40 im Wirkungsbereich des Magnetfeldes des magnetisch positionierten Magneten 43. Mit Hilfe dieser Sonde 44 wird eine Auslenkung oder Schwingung des Magneten 43 in ein elektrisches Signal umgesetzt.

Claims (14)

1. Sensor zur Messung mechanischer Bewegungsgrößen, d.h. des Weges und/oder des Bewegungsverhaltens eines Kör­ pers, durch Umwandlung der Bewegungsgröße in ein elek­ trisches Signal, dadurch gekennzeich­ net, daß dieser einen oder mehrere in einem Gehäuse (1, 9, 26) verschiebbar geführte, z.B. in einem Hohlzy­ linder axial verschiebbare, durch die Abstoßungskräfte gleichnamiger Magnetpole (N, S) positionierte oder in Schwebe gehaltene Permanentmagnete (4, 8, 12, 13, 17, 18, 21 - 25, 32, 34, 43) und eine Meßeinrichtung mit einem Meß­ element (5, 5′, 10, 11, 15, 16, 28, 29) aufweist, das ein der Verschiebung der Permanentmagnete (8, 4, 12, 13, 17, 18, 21- 25, 32, 34, 43) relativ zu dem Gehäuse (1, 9, 26) entspre­ chendes elektrisches Meßsignal liefert.

2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die magnetisch positionierten Permanentmagnete (4, 12, 17, 32, 43) zwischen zwei ortsfest in dem Gehäuse angeordneten Permanentmagneten (2, 3, 30, 31, 41, 42) eingefügt und durch diese Permanent­ magnete positioniert sind.

3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Gehäuse (9, 26) aus einem aufrecht- oder annähernd aufrechtstehenden Hohlzylinder besteht, in dem ein ortsfester Permanentmagnet (7, 20, 27, 33) und der oder die magnetisch positionierten Permanentmagnete (8, 13, 18, 21-25, 34) derart angeordnet sind, daß diese durch die magnetischen Abstoßungskräfte zwischen dem ortsfesten und den verschiebbaren Perma­ nentmagneten sowie durch ihre Masse bzw. durch Schwer­ kraft in Schwebe über dem ortsfesten Permanentmagneten (7, 20, 27, 33) gehalten sind.

4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der oder eine der magne­ tisch positionierten Permanentmagnete (18) über einen in der Führungsachse angeordneten Bolzen (19) oder dergl. mit dem Körper, dessen Bewegungsverhalten gemes­ sen werden soll, mechanisch gekoppelt ist.

5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Meßelement aus einer Wicklung (5, 5′, 28, 29, 37, 38) besteht, die im Wirkungsbe­ reich der magnetisch positionierten Permanentmagnete (4, 8, 21, 25, 32, 34) angeordnet ist und in der bei Bewe­ gung der Permanentmagnete eine Meßspannung induzierbar ist.

6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß als Meßelement ein Schwingkreis vorgesehen ist, dessen Spule (10, 11) im Wirkungsbereich der magnetisch positionierten Perma­ nentmagnete (12, 13) angeordnet ist und dessen Frequenz bei Bewegung der magnetisch positionierten Permanentma­ gnete veränderbar oder modulierbar ist.

7. Sensor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Sensorgehäuse (1) mit den ortsfesten (2, 3, 30, 31) und den magnetisch positionier­ ten Permanentmagneten (4, 32), einschließlich des Meß­ elementes (5, 37), von einem als Abschirmung dienenden Mantel (6, 39) aus magnetisch gut leitendem Material, wie Eisenblech, umhüllt ist.

8. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß als Meßelement eine Son­ de (15, 16, 44) aus magnetoresistiven Material im Magnet­ feld des magnetisch positionierten Permanentmagneten (17, 18, 43) angeordnet ist.

9. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß als Meßelement eine Hall-Sonde im Magnetfeld des magnetisch positionierten Permanentmagneten angeordnet ist.

10. Sensor nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Sonde (15, 16) auf der Außen­ fläche des Gehäuses oder des Hohlzylinders, in dem sich die Permanentmagnete befinden, angeordnet ist.

11. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß dieser aus einem aufrecht- oder schrägstehenden Rohr (26), z.B. Glas­ rohr, besteht, das als Gehäuse dient und in dem über einem ortsfesten Permanentmagneten (27) mehrere axial verschiebbare, magnetisch positionierte Permanentmagne­ te (21-25) derart angeordnet sind, daß sich jeweils gleichnamige Pole gegenüberstehen, sowie daß die Bewe­ gung oder Auslenkung der einzelnen magnetisch positio­ nierten Permanentmagnete (21-25) mit individuellen Meßelementen (28, 29) ermittelbar ist.

12. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle eines orts­ festen Permanentmagneten ein an einem Hebel angelenkter und durch diesen Hebel verschiebbarer Permanentmagnet vorgesehen ist, dessen Bewegung über den oder die ma­ gnetisch positionierten Permanentmagneten auf einen zweiten, ebenfalls mit einem Hebel verbundenen Perma­ nentmagneten, der der Verschiebung der magnetisch posi­ tionierten Permanentmagneten folgt, übertragbar ist.

13. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetisch posi­ tionierten Permanentmagnete (32, 43) scheibenförmig aus­ gebildet und in dem Gehäuse auf einer zentralen Führung (35, 40) angeordnet sind.

14. Sensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die zentrale Führung (40) als Hohlzylinder ausgebildet ist, in den das Meßelement (44) einbringbar ist.