DE3033763C2 - Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen - Google Patents
Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und SchwingungenInfo
- Publication number
- DE3033763C2 DE3033763C2 DE19803033763 DE3033763A DE3033763C2 DE 3033763 C2 DE3033763 C2 DE 3033763C2 DE 19803033763 DE19803033763 DE 19803033763 DE 3033763 A DE3033763 A DE 3033763A DE 3033763 C2 DE3033763 C2 DE 3033763C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sleeve
- induction
- magnet
- coil
- vibrations
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R11/00—Transducers of moving-armature or moving-core type
- H04R11/04—Microphones
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/02—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by magnetic means, e.g. reluctance
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K35/00—Generators with reciprocating, oscillating or vibrating coil system, magnet, armature or other part of the magnetic circuit
- H02K35/02—Generators with reciprocating, oscillating or vibrating coil system, magnet, armature or other part of the magnetic circuit with moving magnets and stationary coil systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen, bestehend aus einer Hülse, aus auf der Hülse außen
aufgewickelten Induktionsspulen und aus einem im axialen Hohlraum der Hülse axial beweglich gelagerten,
permanenten Magneten. js
Ein derartiger Induktionsgeber ist als elektrodynamischer Wandler für Tonköpfe und Mikrofone durch die
DE-OS 28 10 459 bekanntgeworden. Der beweglich gelagerte Magnet wird hierbei, wie bei allen Tonköpfen
und Mikrophonen, durch eine mechanische Rückstellkraft beaufschlagt. Diese in Tonköpfen und Mikrophonen enthaltenen Induktionsgeber weisen zwar eine hohe
Empfindlichkeit auf, eignen sich aber zum Abtasten von Vibrationen an Maschinen nicht, da sie hierzu nicht
robust genug ausgeführt sind.
Die Vibrationen gehören zu den wichtigsten, den Betriebszustand und das Arbeitsregime einer Maschine
charakterisierenden Parametern. Das Messen und die Auswertung der Vibrationen ist außerordentlich wichtig, insbesondere bei schnellaufenden Rotationsmaschi-
nen und bei den Einrichtungen, die im langdauernden Betrieb arbeiten, z. B. bei Dampf- und Gasturbinen.
Bei den genannten energetischen Einrichtungen sind die Vibrationsgeber oft hohen Temperaturen, einer
großen Beschleunigung sowie einer beträchtlichen Schwingungsamplitude ausgesetzt, die in gewissen
Phasen des Arbeitsregimes Werte von bis einigen hundert Mikrometern erreicht, wogegen im gewöhnlichen Betrieb die Schwingungsamplitude nur einige
Mikrometer beträgt, Weitere an die Vibrationsgeber gestellte Anforderungen sind: kleine Abmessungen und
ein kleines Gewicht, eine lineare Charakteristik im ganzen Meßbereich und eine elektromagnetische
Störstabilität.
Gegenwärtig werden laufend Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen benutzt, bei denen ein
permanenter Magnet auf einer elastischen Membrane zwischen zwei fest befestigten Spulen aufgehängt ist.
Bei der Bewegung des Gebers wird in diesen Spulen eine elektromotorische Kraft induziert, die mit einer
geeigneten Apparatur verstärkt und gemessen wird. Der Nachteil der angeführten !nduktionsgeber besteht
darin, daß unter schweren Bedingungen, insbesondere bei einer beträchtlichen Erhöhung der Vibrationsaroplitude, die Membranen reißen oder platzen.
Ein anderer bekannter Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen besteht aus einer Abtastspule und
aus zwei magnetischen Ringen, von denen ein innerer beweglicher magnetischer Ring mit Spiel in einem
walzenförmigen Hohlraum eines äußeren festen magnetischen Ringes gelagert ist und eine dünne Abtastspule
in einem engen walzenförmigen Zwischenraum zwischen den beiden magnetischen Ringen auf einer
Führungsbüchse angeordnet ist Durch die Schwingung des inneren beweglichen magnetischen Ringes wird in
der Abtastspule eine elektromotorische Kraft induziert, die in geeigneter Weise verstärkt und gemessen wird.
Der Nachteil dieser Ausführung des Induktionsgebers besteht in einem relativ schwachen Signal und einer
mangelhaften Führung des inneren beweglichen Ringes innerhalb des äußeren festen magnetischen Ringes, die
im Betrieb eine erhöhte Reibung und eine Schiefstellung der ineinander beweglichen Teile und damit vor allem
bei kleinen Vibrationsamplituden eine beträchtliche Nichtlinearität in Abhängigkeit der induzierten elektromotorischen Kraft von der relativen Geschwindigkeit
der magnetischen Ringe hervorruft Die Benutzung des gerade beschriebenen Induktionsgebers ist daher aus
diesen Gründen nur auf die Messung in vertikaler Richtung beschränkt
Bei einer anderen bekannten Ausführung des Induktionsgebers ist im Leitprofil über einem unbeweglich gelagerten festen Magneten eine dünne scheibenförmige Abtastspule konzentrisch angeordnet. Über
dieser Spule ist dann ein axial verschiebbarer Magnet angeordnet. Angesichts der gegenläufigen Polenorientierung der erwähnten Magneten werden in ihrem
gemeinsamen Stirnraum axiale Abstoßkräfte gebildet die als ein Druckfederelement wirken, die den
verschiebbaren Magnet in einer Dauerschwebe über dem fesien Magnet halten. Diese Ausführung des
Induktionsgebers ermöglicht die Schwingungsmessungen nur in der vertikalen Richtung.
Es ist auch ein durch einen verschiebbaren permanenten Magneten gebildeter Induktionsgeber für Vibrationen bekannt Dieser Magnet ist in einer Hülse
angeordnet und beiderseitig mit zwei Federn befestigt. Rund um die Hülse ist eine Induktionsspule angeordnet.
Bei der Bewegung des verschiebbaren Magneten in der Spule wird die elektromotorische Kraft induziert die in
geeigneter Weise verstärkt gemessen und ausgewertet wird. Der Nachteil dieses Gebers besteht in einer
niedrigen Empfindlichkeit unter Einfluß der Reibung in der Hülse und infolge des Drehmoments, das durch die
Feder auf den permanenten Magnet ausgeübt wird und das denselben an die Hülsenwände drückt Außerdem
begrenzt die Masse und die eigene Federfrequenz die Anwendung dieser Geber auf einen verhältnismäßig
engen Frequenz- und Beschleunigungsbereich. Darüber hinaus ist die Federerzeugung mit einer genauen
Charakteristik und mit genauen Abmessungen schwierig und kostspielig.
Ein weiteres Verfahren zur Schwingungsmessung, insbesondere bei den erwähnten thermischen energetischen Anlagen, liegt in der Anwendung von piezoelektrischen Schwingungsgebern. Bei den angeführten
Gebern wird die Fähigkeit einiger Kristalle, mechanische
Kräfte in elektrischer Spannungen umzusetzen, ausgenutzt Die erzeugte Spannung ist proportional der
bei der Schwingung entstehenden Beschleunigung der Masse des piezoelektrischen Gebers. Die so entstehende
elektrische Spannung wird dann mit einer geeigneten Apparatur wieder verstärkt gemessen und ausgewertet.
Der Vorteil der piezoelektrischen Geber besteht einerseits in ihrer Fähigkeit große Beschleunigungen
und Schwingungsamplituden zu vertragen, andererseits in ihren kle:pen Abmesssungen. Nachteilig ist es
dagegen, daß nur schwache Signale erzeugt werden. Aus diesem Grund muß die zugehörige verstärkende
Apparatur in einer verhältnismäßig kleinen Entfernung von dem piezoelektrischen Geber angeordnet sein.
Weiterhin sind piezoelektrische Geber sehr empfindlich gegen das ungleichmäßige Temperaturfeld in der
Umgebung.
Die Erfindung beseitigt diese Nachteile weitgehend. Es ist die Aufgabe der Erfindung, den Indukiionsgeber
der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß er trotz einer Steigerung seiner Empfindlichkeit sehr
robust und nicht störanfällig ist
Die Erfindung besteht darin, daß in den beiden Enden des axialen Hohlraumes der Hülse je ein Magnet fest
angebracht ist deren Pole untereinander gleichlaufend und gegenüber den Polen des beweglich in der Hülse
gelagerten Magneten gegenläufig angeordnet sind und daß die Induktionsspulen rund um die gemeinsamen
Stirnräume gewickelt sind.
Der erfindungsgemäße Induktionsgeber hat relativ kleine Abmessungen und ist sehr robust Er verträgt
beträchtliche Beschleunigungen und Vibrationsamplituden. Er ist anspruchslos, temperaturunempfindlich und
übermittelt ein verhältnismäßig starkes lineares Ausgangssignal. Er besitzt eine sehr gute Empfindlichkeit
Bei Einhaltung einer linearen Charakteristik der Abhängigkeit der elektromotorischen Ausgangskraft
von der Geschwindigkeit verträgt er Temperaturen bis zu 250° C. Er ist daher hervorragend geeignet, um an
Maschinen der verschiedensten Art eingesetzt zu werden.
Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet
Die Erfindung und weitere ihrer Vorteile sind nachstehend anhand von in der Zeichnung schematisch
dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine Ausführung im Achsenschnitt,
F i g. 2 eine alternative Ausführung im Achsenschnitt. In der ersten Ausführung nach F i g. 1 besteht der Induktionsgeber aus einem geschlossenen hohlzylindrischen Körper 7, in dessen Hohlraum eine Hülse 2 mit im Stirnraum konzentrisch angebrachten festen Magneten 5,6 untergebracht ist. Zwischen den Magneten 5,6 ist im gemeinsamen Zwischenraum in Form einer walzenförmigen öffnung dieser Hülse 2 ein walzenförmiger axial beweglicher konzentrisch gelagerter permanenter Magnet 1 angeordnet Die gegenseitige gleichlaufende Polenorientierung der festen Magnete 5, 6 und die gegenüber diesen gegenlaufende Polenorientierung des beweglichen permanenten Magnets 1 bilden im ersten Stirnpolenraum 9 zwischen dem ersten festen Magnet 5 und dem beweglichen permanenten Magnet 1 sowie auch in dem zweiten Stirnpolenraum 10 zwischen dem zweiten festen Magnet 6 und dem beweglichen permanenten Magnet 1 axiale Abstoßungskräfte so daß die masnetischen Felder in den StirnDolenräumen 9. 10 als federnde Druckelemente mit einer sehr günstigen Charakteristik wirken.
F i g. 2 eine alternative Ausführung im Achsenschnitt. In der ersten Ausführung nach F i g. 1 besteht der Induktionsgeber aus einem geschlossenen hohlzylindrischen Körper 7, in dessen Hohlraum eine Hülse 2 mit im Stirnraum konzentrisch angebrachten festen Magneten 5,6 untergebracht ist. Zwischen den Magneten 5,6 ist im gemeinsamen Zwischenraum in Form einer walzenförmigen öffnung dieser Hülse 2 ein walzenförmiger axial beweglicher konzentrisch gelagerter permanenter Magnet 1 angeordnet Die gegenseitige gleichlaufende Polenorientierung der festen Magnete 5, 6 und die gegenüber diesen gegenlaufende Polenorientierung des beweglichen permanenten Magnets 1 bilden im ersten Stirnpolenraum 9 zwischen dem ersten festen Magnet 5 und dem beweglichen permanenten Magnet 1 sowie auch in dem zweiten Stirnpolenraum 10 zwischen dem zweiten festen Magnet 6 und dem beweglichen permanenten Magnet 1 axiale Abstoßungskräfte so daß die masnetischen Felder in den StirnDolenräumen 9. 10 als federnde Druckelemente mit einer sehr günstigen Charakteristik wirken.
Die eingeführten Abstoßungskräfte in beiden Stirnpolhohlräumen 9,10 verhindern in beliebiger Ruhelage
des Induktionsgebers eine unmittelbare Berührung des beweglichen Magnets 1 mit irgend einem der festen
Magnete 5,6. Der bewegliche permanente Magnet 1, in dem eine axial durchgehende Lüftungsöffnung Ϊ2
ausgebildet ist ist auf seiner äußeren Oberfläche mit einer Antifriktionshülle 8 versehen. Das Material der
Gleitfläche der Antifriktionshülle 8 und das Material der Hülse 2 sind zur Erzielung eines minimalen gegenseitigen
Reibungskoeffizienten gewählt. In der ersten beschriebenen Ausführung ist die Antifriktionshülle 8
aus Messing gebildet das auf der Reibungsfläche mit einer Chromschicht versehen ist die Hülse 2 ist dann in
dieser ersten Ausführung aus Teflon hergestellt In der äußeren walzförmigen Oberfläche der Hülse 2 sind zwei
Umfangsaussparungen, in denen pseudobifilar Induktionsspulen
3,4 angeordnet sind. Die Spulenwicklung in der Bifilarausgestaltung besteht aus zwei SpuJenleiterketten,
die in einem Spulenraum angeordnet und durch zwei Leiter mit ungefähr gleicher Länge gebildet sind.
Der Leiter einer Kette ist gegenläufig gegenüber dem Leiter der zweiten Kette aufgewickelt und beide Leiter
sind abwechselnd in der unmittelbaren Nähe aufgewikkelt und in der Mitte der Gesamtlänge dieser
Spulenwicklung sind sie miteinander leitend verbunden. Die Bifilarausgestaltung der Spulenwicklung bezweckt,
die bei dem Durchfluß des elektrischen Stromes durch
beide Spuleleiterketten entstehenden magnetischen Felder gegenseitig zu kompensieren.
Im Sinne dieser Patentanmeldung versteht man unter dem Begriff der pseudobifilaren Ausgestaltung der
Spulenwicklung die Ausgestaltung beider Spulenleiterketten in zwei unabhängige Spulenräume. In der
dargestellten Ausführung ist die erste Spulenleiterkette der ersten Induktionsspule 4 gegenüber der zweiten
Spulenleiterkette der zweiten Induktionsspule 5 axial versetzt so daß in dieser pseudobifilaren Ausgestaltung
die bei dem Durchfluß des elektrischen Stromes durch beide Leiterketten entstehenden magnetischen Felder
nur teilweise kompensiert werden. Demgegenüber ermöglicht aber die angeführte pseudobifilare Ausgestaitung,
die gesamte elektromotorische Kraft, die bei der gegebenen axialen Bewegung des permanenten
Magneten 1 in der gegebenen axialen Bewegung des permanenten Magneten 1 in der öffnung der Hülse 2
induziert wird, zu erhöhen. Ferner schwächt diese Ausgestaltung einen eventuellen Störungseinfluß des
äußeren magnetischen Feldes. Zu dieser Schwächung des Störungseinflusses des äußeren magnetischen
Feldes trägt auch die Bildung des Körpers 7 aus ferromagnetischem Material bei.
Bei der zweiten Ausführung des Induktionsgebers in F i g. 2 ist die Hülse 2 in ihrer walzenförmigen öffnung
überdies mit einer dünnwandigen walzenförmigen Antifriktionseinlage 11 versehen. Die Hülse 2 ist in
dieser zweiten Ausführung vorteilhaft aus einer keramischen Masse gefertigt. Die Antifriktionseinlage
11 ist aus Teflon hergestellt Diese Ausgestaltung verhindert die Klemmung des permanenten Magneten 1
in der walzenförmigen öffnung der Hülse 2 und gewährieistet die Maßstabilität der Hülse 2 und
gewährleistet die Maßstabilität der Hülse 2 auch bei relativ hohen Temperaturänderungen. Die körperliche
Ausbildung der anderen Teile des Induktionsgebers in der zweiten Ausführung ist praktisch dieselbe wie bei
dem Induktionsgeber gemäß der ersten Ausführung. Auch die pseudobifilare Ausgestaltung der Wicklung
der Induktionsspulen 3, 4 ist bei beiden Ausführungen identisch.
Bei der Befestigung des Induktionsgebers auf einem schwingenden Gegenstand, z. B. auf dem Lagerständer
einer Turbine, beginnt der permanente Magnet 1, sich gegenüber den anderen Teilen des Induktionsgebers zu
bewegen, d. h. gegenüber seinem Körper 7 mit der Hülse 2, der festen Magneten 5, 6 und den
Induktionsspulen 3, 4. Während dieser Bewegung überschneiden die Kraftlinien des permanenten Magnets
1 die Wicklung der Induktionsspulen 3,4 in denen die resultierende elekromotorische Kraft induziert wird,
ί die dann in einer geeigneten Apparatur verstärkt und
gemessen wird. Bei der beschriebenen vorteilhaften pseudobifilaren Ausführung der Induktionsspulen 3,4 ist
diese resultierende elektromotorische Kraft die Summe der elektromotorischen Kräfte, die separat in der ersten
ι« Induktionsspule 4 entstehen und ist daher maximal.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen, bestehend aus einer Hülse, aus
auf der Hülse außen aufgewickelten Induktionsspu- s len und aus einem im axialen Hohlraum der Hülse
axial beweglich gelagerten, permanenten Magneten, dadurch gekennzeichnet, daß in den
beiden Enden des axialen Hohlraumes der Hülse (2) je ein Magnet (5, 6) fest angebracht ist, deren Pole ι ο
untereinander gleichlaufend und gegenüber den Polen des beweglich in der Hülse (2) gelagerten
Magneten (12) gegenläufig angeordnet sind
und daß die Induktionsspulen (3, 4) rund um die
gemeinsamen Stirnräume (10) gewickelt sind.
2. Induktionsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Induktionsspulen (3, 4)
pseudobifiiar aufgewickelt sind.
3. Induktionsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem axialen Hohlraum der
Hülse (2) eine Antifriktionseinlage (i f) angeordnet
ist
4. Induktionsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der permanente Magnet (1) mit
einer Antifriktionshülle (8) versehen ist
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803033763 DE3033763C2 (de) | 1980-09-08 | 1980-09-08 | Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803033763 DE3033763C2 (de) | 1980-09-08 | 1980-09-08 | Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3033763A1 DE3033763A1 (de) | 1982-03-25 |
DE3033763C2 true DE3033763C2 (de) | 1982-11-04 |
Family
ID=6111403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803033763 Expired DE3033763C2 (de) | 1980-09-08 | 1980-09-08 | Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3033763C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3809887A1 (de) * | 1988-03-24 | 1989-10-05 | Teves Gmbh Alfred | Sensor zur messung mechanischer bewegungsgroessen |
DE3933627A1 (de) * | 1989-10-07 | 1990-09-27 | Daimler Benz Ag | Sensor mit einem beweglichen permanentmagnetsystem zur bestimmung einer bewegungsabhaengigen groesse |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120030999A (ko) * | 2009-04-22 | 2012-03-29 | 다이나믹 에너지 테크놀러지스, 엘엘씨 | 에너지 전환 장치 |
CN106602835A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-04-26 | 湖南大学 | 一种双自由度磁悬浮式振动能量采集器及其制作方法 |
CN112443480B (zh) * | 2020-10-14 | 2022-10-04 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种用于注水泵的无线传输自供电振动及温度监测装置 |
CN112964353B (zh) * | 2021-04-21 | 2021-10-12 | 中国地震局工程力学研究所 | 一种双磁路传感器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK152477C (da) * | 1977-03-14 | 1988-08-01 | Burundukov Valentin M | Elektrodynamisk transducer til omsaetning af mekaniske svingninger til elektriske signaler eller omvendt, samt stereofonisk og monofonisk pickuphoved og elektrodynamisk mikrofon med en saadan transducer. |
-
1980
- 1980-09-08 DE DE19803033763 patent/DE3033763C2/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3809887A1 (de) * | 1988-03-24 | 1989-10-05 | Teves Gmbh Alfred | Sensor zur messung mechanischer bewegungsgroessen |
DE3933627A1 (de) * | 1989-10-07 | 1990-09-27 | Daimler Benz Ag | Sensor mit einem beweglichen permanentmagnetsystem zur bestimmung einer bewegungsabhaengigen groesse |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3033763A1 (de) | 1982-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2244935A1 (de) | Impulsgenerator | |
DE19634281C2 (de) | Meßvorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels bzw. einer linearen Bewegung | |
DE2450885C3 (de) | Drehzahlgeber für einen Gleichstrommotor | |
EP2308157A1 (de) | Lineardirektantrieb, antriebseinrichtung und stelleinrichtung | |
DE102007039050A1 (de) | Linearsegment- oder Umdrehungszähler mit einem ferromagnetischen Element | |
DE2829425A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen von beschleunigungen an schwingenden koerpern | |
DE2515977C2 (de) | Meßwertgeber zum Erzeugen von Signalen in Abhängigkeit von der Winkelgeschwindigkeit eines rotierenden Körpers | |
DE3133035C2 (de) | Vibrationsmeßfühler | |
DE3033763C2 (de) | Induktionsgeber zum Abtasten von Vibrationen und Schwingungen | |
DE3133062C2 (de) | Vibrationsmeßfühler | |
DE3041041C2 (de) | Magneto-elektrischer Wegaufnehmer | |
WO1998008061A1 (de) | Magnetischer positionssensor | |
DE69011907T2 (de) | Positionserfassungseinrichtung für eine lineare Führung. | |
DE2319927A1 (de) | Wirbelstrommessfuehler | |
DE60003263T2 (de) | Magnetostriktiver positionsmessender Wandler mit hoher Messgenauigkeit | |
CH651663A5 (en) | Electromagnetically acting induction-type transmitter for sensing vibrations | |
AT374921B (de) | Induktionsgeber zum abtasten von vibrationen und schwingungen | |
WO2002093179A1 (de) | Gebersystem für einen ferraris bewegungsgeber | |
DE19731555B4 (de) | Magnetischer Positionssensor | |
DE1296432B (de) | ||
DE3428914A1 (de) | Induktionsgeber | |
DE19519547C2 (de) | Sensoreinrichtung | |
DE2215673A1 (de) | Mechanisch-elektrischer wandler | |
CH652208A5 (en) | Induction-type sensor for scanning vibrations | |
DE2727757C3 (de) | Meßtaster |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |