DE19612422C2 - Potentiometereinrichtung mit einem linear verschiebbaren Stellelement und signalerzeugenden Mitteln - Google Patents
Potentiometereinrichtung mit einem linear verschiebbaren Stellelement und signalerzeugenden MittelnInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Potentiometereinrichtung
mit einem linear verschiebbaren Stellelement und mit Mitteln
zur Erzeugung eines von der Position des Stellelementes auf
der Geraden bezüglich einer vorgegebenen Ausgangslage abhän
gigen elektrischen Signals. Die signalerzeugenden Mittel um
fassen dabei ein Element zur Erzeugung eines vorbestimmten
Magnetfeldes sowie einen magnetfeldempfindlichen Sensor, der
ein einen erhöhten magnetoresistiven Effekt zeigendes Schich
tensystem mit einer Meßschicht zur Erfassung des Magnetfeldes
aufweist. Eine entsprechende Potentiometereinrichtung ist der
WO 95/10020 A1 zu entnehmen.
Schiebepotentiometer werden in vielfältiger Weise als Bautei
le in elektronischen Schaltungen verwendet. Im Hifi-Bereich,
insbesondere in der Studiotechnik, werden sie bevorzugt als
Lautstärkeregler eingesetzt. Bisher werden für diese Anwen
dungen gewöhnliche lineare Schichtwiderstände, sogenannte Fa
der, vorgesehen. Bei derartigen Schichtwiderständen tritt je
doch bei einer längeren Benutzung ein unerwünschtes Rauschen
infolge von unvermeidlicher Korrosion und Verschmutzung auf.
Um dieses Rauschen zu vermeiden, werden im allgemeinen diese
Schichtwiderstände bisher vor Benutzung heftig hin- und her
bewegt, um so durch Abrieb die Kontaktflächen zu säubern.
Trotzdem läßt sich das Auftreten von Rauschen nicht ganz ver
hindern.
Aus der DE 41 15 483 A1 geht eine Vorrichtung zum berührungs
losen Umsetzen von Bewegungen in elektrische Signale, vor
zugsweise in elektrische Potentialwerte, hervor. Die Vorrich
tung weist ein von zwei Magnetpolen hervorgerufenes bipolares
Feld und einen Feldsensor auf, der ein elektrisches Signal
erzeugt. Hierzu wird die zu erfassende Bewegung mechanisch in
eine Relativbewegung zwischen dem Sensor und den Magnetpolen
umgesetzt, wobei sich das Zentrum des Sensors entlang einer
zentralen Verbindungslinie zwischen den Polen bewegt. Das bei
der bekannten Vorrichtung zugrundegelegte Meßprinzip beruht
auf einer Feldstärkemessung.
Aus "Electronic Components and Applications", Vol. 8, No. 4,
Seiten 222 bis 239 ist ein magnetoresistiver Dünnfilmsensor
zu entnehmen, der den magnetoresistiven Effekt einer einzigen
magnetischen Schicht z. B. aus Permalloy ausnutzt, wobei eine
sogenannte "Barberpol"-Konfiguration zugrundegelegt ist. Bei
einem derartigen Sensor ist der magnetoresistive Effekt an
isotrop und auf wenige Prozent beschränkt. Der Effekt wird
deshalb auch "Anisotropic Magneto Resistance" (AMR)-Effekt
genannt. Größere Werte des magnetoresistiven Effektes, der
auch als "Giant Magneto Resistance" (GMR)-Effekt bezeichnet
wird, sind mit Multilagensystemen zu erhalten, die aus Dünn
schichten aus ferromagnetischem Material mit jeweils dazwi
schenliegender Dünnschicht aus einem speziellen nichtmagne
tischem Material aufgebaut sind.
Ein entsprechendes GMR-Multilagensystem Co-Cu ist in "Sensors
and Actuators A", Vols. 46-47, 1995, Seiten 302 bis 306 be
schrieben.
Aus der EP 0 498 668 A2 und der US 5,206,590 gehen entspre
chende Multilagensysteme von magnetoresistiven Sensoren her
vor, die jeweils als Lesekopf über ein magnetisches Aufzeich
nungsmedium geführt werden sollen. Mit der Verwendung solcher
Multilagensysteme in diesen Sensoren ist auch bei schwachen
Verhältnissen eine gegenüber einem Barberpole-Sensor erhöhte
(Lese)-Signalstärke zu erhalten.
Eine Potentiometereinrichtung, die ein einen erhöhten magne
toresistiven Effekt (GMR) zeigendes Schichtensystem aufweist,
geht aus der eingangs genannten WO 95/10020 A1 hervor. Diese
Potentiometereinrichtung enthält das Schichtensystem in
Streifenform, an dem seitlich vorzugsweise paarweise Perma
nentmagnete als magnetfelderzeugende Elemente vorbeigeführt
werden. Diese Permanentmagnete rufen in einer weichmagneti
schen Meßschicht dieses Schichtensystems eine quer zur Aus
dehnungsrichtung des Schichtensystems verlaufende Domänenwand
hervor, mit der Bereiche unterschiedlicher magnetischer Pola
rität in der Meßschicht getrennt sind. Diese Domänenwand wird
mit der Verschiebung des Magnetsystems entsprechend verscho
ben. Damit ändert sich auch der magnetoresistive Widerstand
des gesamten Schichtensystems. Bei der bekannten Potentiome
tereinrichtung muß gewährleistet sein, daß sich nur genau ei
ne Domänenwand bildet, die Bereiche unterschiedlicher magne
tischer Polarität trennt, da sonst Signalverfälschungen auf
treten. Der hierfür erforderliche Aufwand bezüglich der ma
gnetfelderzeugenden Elemente, deren Magnetfeld im wesentli
chen nur in der Meßschichtebene verlaufen darf, ist verhält
nismäßig groß.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Potentiometer
einrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend
auszugestalten, daß auf verhältnismäßig einfache und kosten
günstige Weise die Position des Stellelementes (Schiebeele
mentes) erfaßt und ein davon abhängiges elektrisches Signal
zu erzeugen ist, ohne daß die Gefahr des Auftretens von Rau
schen besteht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des An
spruchs 1 gelöst. Hierbei ist der magnetfeldempfindliche Sen
sor relativ zu dem magnetfelderzeugenden Element längs einer
Geraden durch das Magnetfeld derart verschiebbar, daß die auf
die Meßschicht auftreffenden Komponenten des Magnetfeldes mit
einer Bezugsachse in der Meßschichtebene einen mittleren Win
kel einschließen, der eindeutig mit der jeweiligen Position
des magnetfeldempfindlichen Sensors relativ zu dem magnetfel
derzeugenden Element korrelliert ist.
Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, daß sich für
ein kontaktloses Schiebepotentiometer nicht eine Feldstärke
abhängigkeit wie bei Barberpole-Sensoren sondern die Winkel
abhängigkeit des erhöhten magnetoresistiven Effektes, insbe
sondere GMR-Effektes, von speziellen Dünnschichtensystemen
bzgl. auftreffender Magnetfeldkomponenten ausnutzen läßt, um
ein von der linearen Position des Stellelementes abhängiges
elektrisches Signal zu erzeugen. Diese Erzeugung ist mit den
Schichtensystemen verhältnismäßig einfach und kostengünstig,
da eine genaue Positionierung des magnetfelderzeugenden Ele
mentes bezüglich des Schichtensystems nicht erforderlich ist.
Dabei zeigen entsprechende signalerzeugende Mittel vorteil
haft keine mechanischen Verschleißerscheinungen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Potentio
metereinrichtung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung noch nä
her erläutert. Dabei zeigen jeweils schematisch deren
Fig. 1 einen prinzipiellen Aufbau von signalerzeugenden Mit
teln einer erfindungsgemäßen Potentiometereinrichtung,
die Fig. 2 und 3 zwei weitere prinzipielle Gestaltungsmög
lichkeiten solcher signalerzeugender Mittel,
die Fig. 4 und 5 die wesentlichsten Teile einer konkreten
Ausführungsform einer Potentiometereinrichtung nach
der Erfindung in zwei verschiedenen Ansichten
und
die Fig. 6 und 7 sowie 8 und 9 zwei weitere Ausführungs
formen solcher Potentiometereinrichtungen in den
Fig. 4 und 5 entsprechender Darstellung.
In den Figuren sind sich jeweils entsprechende Teile mit den
selben Bezugszeichen versehen.
Die erfindungsgemäße Potentiometereinrichtung besitzt ein
Stellelement (Schieber), das nach Art bekannter linearer
Schiebepotentiometer längs einer in einer Ebene liegenden Ge
raden verschiebbar ist. Diesem Stellelement sind Mittel zur
Erzeugung eines von der Position des Stellelementes auf der
Geraden abhängigen elektrischen Signals zugeordnet, das mit
einer nachgeschalteten Elektronik weiterverarbeitet wird. Er
findungsgemäß sollen als signalerzeugende Mittel jeweils min
destens ein besonderes magnetfelderzeugendes Element und ein
besonderer magnetfeldempfindlicher Sensor vorgesehen sein.
Dieser Sensor soll ein Dünnschichtensystem aufweisen, das ei
nen erhöhten magnetoresistiven Effekt, insbesondere einen so
genannten "Giant Magneto Resistance"(GMR)-Effekt, zeigt. Der
artige Dünnschichtensysteme sind an sich bekannt (vgl. z. B.
die EP 0 483 373 A oder die DE-A-Schriften 42 32 244,
42 43 357 oder 42 43 358). Ihr magnetoresistiver Effekt Mr
soll mindestens 5% betragen. Dabei gilt definitionsgemäß:
Mr = ΔR/R(0) = [R(0) - R(B)]/R(0),
wobei R(B) der elektrische Widerstand im Magnetfeld mit einer
Induktion B und R(0) der Widerstand bei fehlendem Magnetfeld
sind. Entsprechende Dünnschichtensysteme weisen eine Meß
schicht auf, mit der das von dem magnetfelderzeugenden Ele
ment hervorgerufene Magnetfeld erfaßt wird. Dieses Magnetfeld
soll so aussehen, daß die von dem Schichtensystem des magnet
feldempfindlichen Sensors erfaßten Magnetfeldkomponenten bei
einer relativen Verschiebung des magnetfeldempfindlichen Sen
sors und des magnetfelderzeugenden Elementes unter sich ste
tig ändernden Winkeln bezüglich der Meßschicht des Schichten
systems ausgerichtet sind. Besonders geeignet ist deshalb ein
Magnetfeld, das in der Meßschichtebene zumindest weitgehend
dem eines stabförmigen Permanentmagneten entspricht. Zweckmä
ßigerweise wird ein entsprechender Permanentmagnet als ma
gnetfelderzeugendes Element verwendet. Selbstverständlich
kann ein solches Magnetfeld auch mit einer stromdurchflosse
nen Spule erzeugt werden. Der magnetfeldempfindliche Sensor
ist dann relativ zu dem magnetfelderzeugenden Element längs
der Geraden durch das Magnetfeld dieses Elementes so ver
schiebbar anzuordnen, daß die auf seine Meßschicht auftref
fenden Komponenten des Magnetfeldes mit einer Bezugsachse in
der Meßschichtebene einen mittleren Winkel einschließen, der
eindeutig mit der jeweiligen Position des Stellelementes kor
reliert ist. Dabei wird von der Tatsache ausgegangen, daß der
erhöhte magnetoresistive Effekt (GMR) im wesentlichen nur ei
ne Abhängigkeit von dem Winkel der Meßschicht bezüglich der
Magnetfeldkomponenten und nicht von der Magnetfeldstärke
zeigt.
Ein prinzipieller Aufbau einer entsprechenden Schiebepoten
tiometereinrichtung ist aus Fig. 1 in einer Aufsicht er
sichtlich. In der Figur sind bezeichnet ein stabförmiger Per
manentmagnet mit 2, das von diesem hervorgerufene Magnetfeld
mit H, die auf die Meßschicht eines GMR-Sensors auftreffende
Magnetfeldkomponente mit Hk, der Sensor mit 3, eine Be
zugsachse in der Meßschichtebene des Sensors mit as, der Win
kel zwischen einer Senkrechten auf der Bezugsachse as bzw.
der Bezugsachse selbst und der Magnetfeldkomponente Hk mit α
bzw. α', die Bewegungsrichtung des Permanentmagneten 2 rela
tiv zu dem Sensor 3 mit r und die relative seitliche Auslen
kung des Permanentmagneten 2 gegenüber dem Sensor 3 mit x.
Wie aus der Fig. 1 hervorgeht, wird der GMR-Sensor 3 zu ei
ner kontaktlosen Erfassung einer Linearbewegung des stabför
migen Permanentmagneten 2 eingesetzt. Hierzu wird die Drehung
der Streufeldkomponente Hk des Magnetfeldes H bei der Linear
bewegung des Permanentmagneten senkrecht zu seiner Längsachse
A bezüglich eines raumfesten Punktes ausgenützt. Die Linear
bewegung des Permanentmagneten bezüglich des Sensors 3 er
folgt dabei längs einer Geraden G durch den Bereich des ma
gnetischen Streufeldes mit einem gemäß dem dargestellten Aus
führungsbeispiel radial symmetrischen Feldverlauf, wobei sich
je nach Auslenkung x aus einer definierten Ausgangs- oder
Nullage der Winkel α ändert. Wegen der bekannten cosα-
Abhängigkeit von GMR-Sensoren (vgl. z. B. WO 94/17426) ergibt
sich für die gezeigte Anordnung die folgende Widerstandsände
rung:
Dabei wird die mit x abklingende Feldamplitude des Streufel
des praktisch durch die reine Richtungsabhängigkeit des GMR-
Sensors ausgeglichen.
Um die Länge des Verfahrweges zu vergrößern, können auch
nicht-radialsymmetrische Feldverläufe des von dem stabförmi
gen Permanentmagneten erzeugten Magnetfeldes H vorgesehen
werden. In Fig. 2 sind die Feldstärke und die Richtung eines
entsprechenden magnetischen Streufeldes H in der Ebene des
Sensors 3 durch entsprechende Pfeile Hk angedeutet. Der ge
wünschte Feldverlauf läßt sich besonders einfach dadurch er
zeugen, daß der Permanentmagnet 2 so ausgerichtet ist, daß
seine Längsachse A mit der Geraden G, längs derer er zu bewe
gen ist, zusammenfällt.
Abweichend von der in Fig. 2 dargestellten Anordnungsmög
lichkeit von Permanentmagnet 2 und Sensor 3 kann gemäß Fig.
3 der Sensor auch so montiert werden, daß seine magnetfel
dempfindliche Meßschicht in einer Ebene parallel zur Achse A
des Permanentmagneten liegt.
Gemäß den Fig. 1 bis 3 ist der Permanentmagnet 2 längs ei
ner Geraden G verschiebbar, während der GMR-Sensor 3 ortsfest
angeordnet ist. In diesem Falle ist der Permanentmagnet mit
einem Stellelement (Schieber) der Potentiometereinrichtung
starr verbunden. Da es jedoch nur auf eine relative Bewegung
des magnetfelderzeugenden Elementes gegenüber dem zugeordne
ten magnetfeldempfindlichen Sensor ankommt, ist es selbstver
ständlich ebensogut möglich, den Sensor an dem Stellelement
so zu befestigen, daß er dessen lineare Bewegung mitvoll
zieht, während dann das zugeordnete magnetfelderzeugende Ele
ment nicht-beweglich ausgebildet ist.
Aus den Fig. 4 und 5 geht eine Ausführungsform einer er
findungsgemäßen Potentiometereinrichtung in Seitenansicht
bzw. Vorderansicht hervor. Diese Einrichtung 5 kann insbeson
dere als Lautstärkeregler oder Fader dienen. Sie weist zwei
ortsfeste, parallel nebeneinander und symmetrisch zu einer
Geraden G angeordnete GMR-Sensoren 6 und 7 auf, an denen ein
stabförmiger Permanentmagnet 2 längs der Geraden G vorbeizu
führen ist. Der Permanentmagnet 2 mit seinem Nordpol Np und
Südpol Sp ist dabei senkrecht zur Bewegungsrichtung wie nach
Fig. 1 angeordnet und mit einem Stellelement bzw. Stellhebel
9 starr gekoppelt. Die Faderposition ist gemäß den Fig. 4
und 5 gegeben durch:
x = d . tanβ, (Gleichung II)
wobei x die Auslenkung des Magneten 2 aus einer Null- oder
Ausgangslage Nl, d der Abstand des jeweiligen Sensors von der
Geraden G und β der mittlere Winkel zwischen der Magnetachse
A und der auf die Meßschicht des jeweiligen Sensors auftref
fenden Magnetfeldkomponente Hk sind. Dabei ist es im Hinblick
auf ein von der Auslenkung x linear abhängiges Signal der
Sensoren von besonderem Vorteil, wenn für den einen Sensor
eine cosβ-Abhängigkeit und für den anderen Sensor eine sinβ-
Abhängigkeit vorgesehen werden. Dies läßt sich vorzugsweise
dadurch realisieren, daß man die beiden Sensoren 6 und 7 der
art anordnet, daß ihre magnetischen Achsen (bzw. Empfindlich
keitsachsen), die beispielsweise auch als Bezugsachsen as1
bzw. as2 bezüglich der jeweils auftreffenden Magnetfeldkompo
nenten Hk betrachtet werden können, senkrecht zueinander aus
gerichtet sind. (Die Achse as2 des in Fig. 5 von dem Sensor
6 überdeckten Sensors 7 verläuft dabei senkrecht zu der ge
zeigten Achse as1 des Sensors 6 und parallel zu der Geraden
G). Wegen einer entsprechenden Ausrichtung der beiden Senso
ren 6 und 7 mit ihren Achsen as1 bzw. as2 senkrecht bzw. par
allel zur Geraden G werden die folgenden Magnetowiderstands
signale erhalten:
Dabei sind die Widerstandswerte R1 und R2 dem Sensor 6 bzw. 7
zugeordnet. Aus den vorstehenden Gleichungen folgt, daß der
Faderweg x durch die Sensorsignale linear abgebildet werden
kann, indem gilt:
Die Linearität des Gesamtsignals der beiden Sensoren ist also
exakt durch Division der beiden einzelnen Sensorsignale mit
tels einer entsprechenden nachgeordneten Elektronik zu erhal
ten.
Die Fig. 6 und 7 bzw. 8 und 9 zeigen zwei weitere Ausfüh
rungsformen von erfindungsgemäßen Potentiometereinrichtungen
10 bzw. 11. Dabei wurde eine den Fig. 4 und 5 entsprechen
de Darstellung gewählt. Die Potentiometereinrichtungen 10 und
11 unterscheiden sich gegenüber der Potentiometereinrichtung
5 nach den Fig. 4 und 5 lediglich durch die Anordnung der
beiden Sensoren 6 und 7, welche die anhand der Fig. 4 und
5 erläuterten Ausrichtungen ihrer magnetischen Achsen as1 und
as2 haben sollen. Dabei sind gemäß den Fig. 6 und 7 die
beiden Sensoren 6 und 7 unmittelbar aufeinanderliegend. Dem
gegenüber können bei der Ausführungsform nach den Fig. 8
und 9 die beiden Sensoren 6 und 7 auch direkt nebeneinander
angeordnet sein.
Außerdem bieten derartige Potentiometereinrichtungen mit zwei
Sensoren mit senkrecht zueinander gerichteten magnetischen
Achsen bzw. Biasmagnetisierungsrichtungen vorteilhaft die
Möglichkeit einer Temperaturkompensation.
Claims (10)
1. Potentiometereinrichtung mit einem linear verschiebbaren
Stellelement und mit Mitteln zur Erzeugung eines von der Po
sition des Stellelementes auf der Geraden bezüglich einer
vorgegebenen Ausgangslage abhängigen elektrischen Signals,
wobei die signalerzeugenden Mittel ein Element zur Erzeugung
eines vorbestimmten Magnetfeldes sowie einen magnetfeldemp
findlichen Sensor umfassen, der ein einen erhöhten magnetore
sistiven Effekt zeigendes Schichtensystem mit einer Meß
schicht zur Erfassung des Magnetfeldes aufweist, da
durch gekennzeichnet, daß der magnet
feldempfindliche Sensor (3; 6, 7) relativ zu dem magnetfel
derzeugenden Element (2) längs einer Geraden (G) durch das
Magnetfeld (H) derart verschiebbar ist, daß die auf die Meß
schicht auftreffenden Komponenten (Hk) des Magnetfeldes (H)
mit einer Bezugsachse (as; as1, as2) in der Meßschichtebene
einen mittleren Winkel (α') einschließen, der eindeutig mit
der jeweiligen Position des magnetfeldempfindlichen Sensors
(3; 6, 7) relativ zu dem magnetfelderzeugenden Element (2)
korrelliert ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß zwei parallel nebeneinander
angeordnete magnetfeldempfindliche Sensoren (6, 7) relativ zu
dem magnetfelderzeugenden Element (2) zu verschieben sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das magnetfelderzeugende
Element (2) ein Magnetfeld (H) hervorruft, das zumindest
weitgehend dem eines stabförmigem Permanentmagneten ent
spricht.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß das magnet
felderzeugende Element (2) starr mit dem Stellelement (9)
verbunden ist.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß der minde
stens eine magnetfeldempfindliche Sensor starr mit dem Stel
lelement verbunden ist.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß das magnet
felderzeugende Element (2) bezüglich des mindestens einen ma
gnetfeldempfindlichen Sensors (3; 6, 7) so angeordnet ist,
daß eine magnetische Achse (A) des magnetfelderzeugenden Ele
mentes (2) senkrecht zu der Geraden (G) verläuft.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß das magnet
felderzeugende Element (2) bezüglich des mindestens einen ma
gnetfeldempfindlichen Sensors (3) so angeordnet ist, daß eine
magnetische Achse (A) des magnetfelderzeugenden Elementes (2)
in Richtung der Geraden (G) weist.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, ge
kennzeichnet durch eine Anordnung des mindestens
einen magnetfeldempfindlichen Sensors (3; 6, 7) derart, daß
die Ebene seiner Meßschicht senkrecht zu einer magnetischen
Achse (A) des magnetfelderzeugenden Elementes (2) ausgerich
tet ist.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, ge
kennzeichnet durch eine Anordnung des mindestens
einen magnetfeldempfindlichen Sensors (3) derart, daß die
Ebene seiner Meßschicht parallel zu einer magnetischen Achse
(A) des magnetfelderzeugenden Elementes (2) ausgerichtet ist.
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, ge
kennzeichnet durch zwei magnetfeldempfindliche
Sensoren (6, 7) in einer solchen Anordnung, daß die magneti
sche Achse (as1) des einen Sensors (6) senkrecht zu der Gera
den (G) und die entsprechende Achse (as2) des anderen Sensors
(7) parallel zu der Geraden (G) ausgerichtet sind.
Priority Applications (1)
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Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19757008A1 (de) * | 1997-12-20 | 1999-06-24 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung von Winkeländerungen |
DE69916017T2 (de) * | 1998-11-11 | 2005-02-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetoresistiver sensor zur messung der relativen lageveränderung zwischen zwei bauteilen |
DE19859105A1 (de) * | 1998-12-21 | 2000-06-29 | Ego Elektro Geraetebau Gmbh | Anordnung zur Steuerung von elektrisch ansteuerbaren Geräten, insbesondere Elektrokochgeräten |
DE19937206C2 (de) * | 1999-06-11 | 2003-05-08 | Siemens Ag | Positionsbestimmungseinrichtung sowie Verwendung einer Positionsbestimmungseinrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Maßstabes für eine solche Einrichtung |
DE10010042A1 (de) * | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Continental Teves Ag & Co Ohg | Linearer Wegsensor und dessen Verwendung als Betätigungsvorrichtung für Kraftfahrzeuge |
WO2001051893A1 (de) | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Linearer wegsensor und dessen verwendung als betätigungsvorrichtung für kraftfahrzeuge |
DE10016636A1 (de) | 2000-04-04 | 2001-10-18 | Siemens Ag | Stellungsregler, insbesondere für ein durch einen Antrieb betätigbares Ventil |
DE10212929A1 (de) * | 2002-03-19 | 2003-10-02 | Ego Elektro Geraetebau Gmbh | Bedienvorrichtung für ein Elektrogerät |
DE10303363A1 (de) * | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung |
FR2911955B1 (fr) * | 2007-01-25 | 2009-05-15 | Electricfil Automotive Soc Par | Capteur magnetique de position a variation trigonometrique. |
FR2935175B1 (fr) * | 2008-08-22 | 2011-02-11 | Pellenc Sa | Dispositif permettant de determiner la position relative entre deux organes dont l'un au moins est mobile, et machines et appareils en faisant application |
CN103646736B (zh) * | 2013-12-18 | 2017-01-18 | 江苏多维科技有限公司 | 一种非接触式划线电位器 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0483373A1 (de) * | 1990-05-21 | 1992-05-06 | Ube Industries, Ltd. | Magnetwiderstandseffekt-element |
EP0498668A2 (de) * | 1991-02-08 | 1992-08-12 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistiver Sensor |
DE4115483A1 (de) * | 1991-05-11 | 1992-11-12 | Peter Geisel | Vorrichtung zum beruehrungslosen umsetzen von bewegungen in elektrische signale |
US5206590A (en) * | 1990-12-11 | 1993-04-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
DE4232244A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-03-31 | Siemens Ag | Magnetowiderstands-Sensor |
DE4243357A1 (de) * | 1992-12-21 | 1994-06-23 | Siemens Ag | Magnetowiderstands-Sensor mit verkürzten Meßschichten |
DE4243358A1 (de) * | 1992-12-21 | 1994-06-23 | Siemens Ag | Magnetowiderstands-Sensor mit künstlichem Antiferromagneten und Verfahren zu seiner Herstellung |
WO1994017426A1 (de) * | 1993-01-22 | 1994-08-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum erfassen einer winkelposition eines objektes |
WO1995010020A1 (en) * | 1993-10-01 | 1995-04-13 | The Government Of The United States Of America, Represented By The Secretary Of The Navy | Magnetoresistive linear displacement sensor, angular displacement sensor, and variable resistor |
-
1996
- 1996-03-28 DE DE1996112422 patent/DE19612422C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0483373A1 (de) * | 1990-05-21 | 1992-05-06 | Ube Industries, Ltd. | Magnetwiderstandseffekt-element |
US5206590A (en) * | 1990-12-11 | 1993-04-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
EP0498668A2 (de) * | 1991-02-08 | 1992-08-12 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistiver Sensor |
DE4115483A1 (de) * | 1991-05-11 | 1992-11-12 | Peter Geisel | Vorrichtung zum beruehrungslosen umsetzen von bewegungen in elektrische signale |
DE4232244A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-03-31 | Siemens Ag | Magnetowiderstands-Sensor |
DE4243357A1 (de) * | 1992-12-21 | 1994-06-23 | Siemens Ag | Magnetowiderstands-Sensor mit verkürzten Meßschichten |
DE4243358A1 (de) * | 1992-12-21 | 1994-06-23 | Siemens Ag | Magnetowiderstands-Sensor mit künstlichem Antiferromagneten und Verfahren zu seiner Herstellung |
WO1994017426A1 (de) * | 1993-01-22 | 1994-08-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum erfassen einer winkelposition eines objektes |
WO1995010020A1 (en) * | 1993-10-01 | 1995-04-13 | The Government Of The United States Of America, Represented By The Secretary Of The Navy | Magnetoresistive linear displacement sensor, angular displacement sensor, and variable resistor |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Electronic Components and Applications, Vol. 8, No. 4, S. 222-239 * |
Sensors and Actuators A 46-47 (1995) 302-306 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19612422A1 (de) | 1997-10-02 |
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