DE3750863T2

DE3750863T2 - Magnetischer Mehrschichtenaufbau.

Info

Publication number: DE3750863T2
Application number: DE3750863T
Authority: DE
Inventors: Toshio Kobayashi; Noriyuki Kumasaka; Ryoichi Nakatani; Shigekazu Otomo
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-09-24
Filing date: 1987-09-23
Publication date: 1995-04-27
Anticipated expiration: 2007-09-24
Also published as: CN1005941B; KR910003372B1; DE3750863D1; CN87106513A; EP0261664A2; US4920013A; EP0261664A3; JPS6380509A; EP0261664B1; JP2533860B2; KR880004438A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen magnetischen Mehrschichtaufbau, wie er im Oberbegriff des Anspruches 1 definiert ist, und auf einen Magnetkopf, der im Oberbegriff des Anspruchs 8 definiert ist.
Ein magnetischer Mehrschichtaufbau und ein Magnetkopf des genannten Typs sind aus der EP 0 174 144 A3 bekannt. Dort ist offenbart, daß in einem bestimmten Bereich der Oberfläche einer magnetischen Schicht eine Ionenimplantation ausgeführt wird und daß ein Glühen der Schicht ausgeführt wird, um die Zusammensetzung in diesem gewünschten Bereich zu steuern. Um die Steuerung der Zusammensetzung zu erleichtern, kann während der Ionenimplantation ein unidirektionales oder rotierendes Magnetfeld angelegt werden. Um eine ionenimplantierte Schicht mit einer Dicke von mehr als 1 um zu erhalten, wird ein Laminierungsprozeß ausgeführt, mit dem zwischen die ionenimplantierten Schichten ferromagnetische oder nichtmagnetische Zwischenschichten eingefügt werden. Bei der Herstellung eines Magnetkopfs wird ein Abschnitt eines Magnetpols, wovon sich eine Seite sehr nahe bei einem magnetischen Aufzeichnungsmedium befindet, aus einem Eisenfilm oder einem auf Eisen basierenden magnetischen Legierungsfilm gebildet, wovon ein Teil der Ionenimplantation und dem Glühen unterworfen wird.
Es ist eine übliche Technik, eine magnetische Schicht, die einen Magnetpol eines Magnetkopfs für die magnetische Aufzeichnung bildet, unter Verwendung einer Legierung, die Fe, Co oder Ni als Hauptkomponente enthält, herzustellen. Ein Beispiel für eine magnetische Schicht wie diese ist aus der JP 59-182 938 A bekannt.
Für eine hochdichte Aufzeichnung sind sowohl eine hohe relative Permeabilität als auch eine niedrige Koerzitivkraft des verwendeten magnetischen Materials erforderlich. Mit den bisher bekannten Materialien ist es jedoch äußerst schwierig, eine magnetische Schicht zu bilden, die die Eigenschaften sowohl einer hohen magnetischen Sättigungs-Flußdichte als auch einer hohen relativen Permeabilität besitzt. Obwohl die Neigung besteht, daß die relative Permeabilität bei einer Abnahme der Koerzitivkraft ansteigt, steigt die magnetische Sättigungs- Flußdichte nicht immer an, ferner besitzen fast alle bisher bekannten Mehrschichtaufbauten den Mangel einer magnetischen Sättigungs-Flußdichte, die niedriger als diejenige einer Einzelschicht aus Fe ist.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen magnetischen Aufbau zu schaffen, der sowohl eine hohe magnetische Sättigungs-Flußdichte als auch eine hohe Permeabilität besitzt, und insbesondere die relative Permeabilität des Materials zu verbessern oder zu erhöhen, ohne dessen magnetische Sättigungs-Flußdichte zu verringern.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Aufgabe gelöst durch einen magnetischen Mehrschichtaufbau, wie er im Anspruch 1 definiert ist. Vorteilhafte Entwicklungen der Erfindung und eine bevorzugte Ausführungsform eines Magnetkopfs sind in weiteren Ansprüchen definiert.
Wenn ein Mehrschichtaufbau durch Laminieren von Fe- Schichten mit anderen Elementen gemäß der vorliegenden Erfindung gebildet wird, besteht, wie Untersuchungen gezeigt haben, die Neigung, daß die Koerzitivkraft abnimmt. Darüber hinaus haben mit einem Elektronenmikroskop ausgeführte Beobachtungen den Nachweis erbracht, daß das Kristallkorn der Fe-Schicht durch die Zwischenschicht zertrennt wird und von einem säulenförmigen Kristall in ein feines Kristallkorn überführt wird, was vermutlich einer der Gründe der erhaltenen Reduzierung der Koerzitivkraft ist. Was den Anstieg der relativen Permeabilität betrifft, der bei Verwendung von gemäß der vorliegenden Erfindung ausgewählten Elementen erhalten wird, ohne die magnetische Sättigungs-Flußdichte des Mehrschichtaufbaus zu reduzieren, besteht der Hauptgrund in dem Vermögen der genannten Elemente, durch Füllen der Zwischengitterplätze eine feste Lösung mit einer Legierung zu bilden, die als Hauptkomponente ein Eisengruppen-Metall enthält. Außerdem kann von den Elementen angenommen werden, daß sie von einer Art sind, die das Kristallkorn fein macht, ohne das magnetische Moment pro Einheitsvolumen des Eisengruppen- Metalls oder einer Legierung hiervon abzuschwächen.
Ein magnetischer Mehrschichtaufbau gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine magnetische Sättigungs-Flußdichte von 15·10&supmin;&sup5; Vs/cm² oder höher, eine relative Permeabilität von 1000 oder höher und eine Koerzitivkraft von ungefähr 80 A/m oder weniger besitzen.
In dem magnetischen Mehrschichtaufbau gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist die magnetische Schicht aus einem einzigen Metall, das Fe, Co oder Ni ist und eine hohe magnetische Sättigungs-Flußdichte besitzt, aus einer Legierung, die wenigstens eines dieser Metalle enthält, aus einer Legierung, die als Hauptkomponente das aus der Gruppe dieser Metalle gewählte Metall enthält, und aus einem Element, das aus der aus C, Si, B, N, Ti bestehenden Gruppe ausgewählt ist, hergestellt. Die Zwischenschicht, die auf die magnetische Schicht laminiert wird, ist aus einem einzigen Element, das aus der aus B, C, N, P, S bestehenden Gruppe gewählt ist und das durch Füllen der Zwischengitterplätze eine feste Lösung mit dem die magnetische Schicht bildenden Metall oder mit der die magnetische Schicht bildenden Legierung bilden kann, oder aus einer Verbindung hergestellt, die wenigstens eine Elementart enthält, die aus der aus B, C, N, S, P bestehenden Gruppe gewählt ist. Die Summe der Dicken der Magnetschicht und der darauf befindlichen Zwischenschicht in dem magnetischen Mehrschichtaufbau, der durch Laminieren dieser Schichten gebildet wird, liegt vorzugsweise in einem Bereich von 0,2 nm bis 250 nm. Die Dicke einer Zwischenschicht liegt vorzugsweise in einem Bereich von 0,05 nm bis 5 nm. Es ist außerdem wünschenswert, daß die Dicke der Zwischenschicht in einem Bereich von 1% bis 25% der Dicke einer Periode des magnetischen Mehrschichtaufbaus liegt.
Die Dicke des magnetischen Mehrschichtaufbaus, der durch Laminieren einer oder mehrerer Perioden gebildet wird, wovon jede aus einer magnetischen Schicht und aus einer Zwischenschicht besteht, unterscheidet sich in Abhängigkeit von den Spezifikationen des Magnetpols eines herzustellenden Magnetkopfs oder dergleichen in hohem Maß. Die Dicke dieses Magnetpols ändert sich in hohem Maß von ungefähr 100 nm bis 50 um.
Als Additiv in der die magnetische Schicht bildenden Legierung ist ein Gruppe-IV-Element, das aus der aus Ti, Zr, C, Si, Ge, Sn usw. bestehenden Gruppe gewählt ist, oder ein Element wie etwa C, N, B, P, S, die durch Füllen der Zwischengitterplätze eine feste Lösung mit der Fe-, Ni- oder Co-Schicht bilden können, enthalten, wodurch die Permeabilität des magnetischen Mehrschichtaufbaus erhöht werden kann. Als Additiv der die magnetische Schicht bildenden Legierung ist ein Gruppe-VIII-Element, das aus der aus Rh, Ru, Pd, Co, Ni, Os, Ir und Pt bestehenden Gruppe gewählt ist, oder ein Gruppe-I-Element, das aus der aus Cu, Ag und Au bestehenden Gruppe ausgewählt ist, enthalten, wodurch die Korrosionsbeständigkeit des magnetischen Mehrschichtaufbaus verbessert werden kann. Wenn das Additiv Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo oder W enthalten ist, kann die Wärmebeständigkeit des magnetischen Mehrschichtaufbaus verbessert werden.
Die Menge des Additivs sollte so festgesetzt werden, daß der Absolutwert der Magnetosstriktionskonstante der magnetischen Schicht im wesentlichen 1·10&supmin;&sup6; oder niedriger ist. Deswegen wird eine Verwerfung, die im Herstellungsprozeß des magnetischen Mehrschichtaufbaus und im Prozeß der Herstellung des Magnetkopfs unter Verwendung des magnetischen Mehrschichtaufbaus hervorgerufen wird, beispielsweise eine Verwerfung, die bei der Erzeugung oder Strukturierung der Schicht hervorgerufen wird, minimiert, so daß eine Verschlechterung der magnetischen Eigenschaft des Kopfs verhindert werden kann. Es ist wünschenswert, daß die Menge des Additivs im allgemeinen 10 Atom-% nicht übersteigt. Der magnetische Mehrschichtaufbau der Erfindung kann für eine oder beide von zwei magnetischen Schichten, die einen Magnetpol eines in Fig. 7 gezeigten Magnetkopfs für die hochdichte longitudinale Aufzeichnung bilden, oder für eine magnetische Schicht, die den Hauptmagnetpol eines in Fig. 8 gezeigten Magnetkopfs für die hochdichte, transversale magnetische Aufzeichnung bildet, verwendet werden.
Gemäß einer Ausführungsform wird eine magnetische Schicht, die aus einem einzelnen Metall, nämlich Fe, Co oder Ni, oder aus einer Legierung, die als eine Hauptkomponente das aus diesen Elementen ausgewählte Element enthält, gebildet ist, mit einer Zwischenschicht fein laminiert, welche ein Element enthält, das durch Füllen der Zwischengitterplätze eine feste Lösung mit dem obengenannten Metall oder der obengenannten Legierung bilden kann, wodurch ein magnetischer Mehrschichtaufbau geschaffen wird. Dieser Mehrschichtaufbau besitzt eine hohe magnetische Sättigungs-Flußdichte von beispielsweise ungefähr 1,8 T oder höher und eine hohe relative Permeabilität von ungefähr 1500 oder höher. Wenn daher dieser Mehrschichtaufbau als magnetische Schicht verwendet wird, die den Hauptmagnetpol eines Magnetkopfs für die magnetische Aufzeichnung bildet, kann ausgehend von der Spitze des Magnetpols ein starkes Magnetfeld erzeugt werden, ohne eine magnetische Sättigung hervorzurufen, selbst wenn die Dicke der Schicht lediglich ungefähr 0,2 um beträgt. Eine ultrahochdichte magnetische Aufzeichnung kann erzielt werden.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine diagrammartige Ansicht, die die Querschnittstruktur eines magnetischen Mehrschichtaufbaus zeigt, der in dem Beispiel 1 gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt wird.
Fig. 2 ist eine diagrammartige Ansicht, die den Aufbau eines Ionenstrahlzerstäubungsgeräts zeigt, das für die Herstellung einer Ausführungsform der Erfindung verwendet wird.
Fig. 3 ist ein Graph, der den Einfluß des Verhältnisses einer Kohlenstoffschicht-Dicke zur Periodendicke in einem magnetischen Mehrschichtaufbau auf die relative Permeabilität und die Koerzitivkraft des magnetischen Mehrschichtaufbaus zeigt.
Fig. 4 ist ein Graph, der den Einfluß des Verhältnisses einer Kohlenstoffschicht-Dicke zur Periodendicke in einem magnetischen Mehrschichtaufbau zeigt.
Fig. 5 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen einer Periodendicke in einem magnetischen Mehrschichtaufbau und der Sättigungs-Flußdichte in dem magnetischen Mehrschichtaufbau zeigt.
Fig. 6 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen der Periodendicke in einem magnetischen Mehrschichtaufbau und der relativen Permeabilität des magnetischen Mehrschichtaufbaus zeigt.
Fig. 7 und 8 sind Darstellungen, die Beispiele eines Magnetkopfs für die longitudinale Aufzeichnung bzw. eines Magnetkopfs für die transversale Aufzeichnung zeigen.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

(Beispiel 1)

Durch ein Ionenstrahlzerstäubungsverfahren wurde ein magnetischer Mehrschichtaufbau gebildet. Wie in Fig. 2 gezeigt, wird gemäß dem Ionenstrahlzerstäubungsverfahren durch beschleunigte Ionen, die von einer ersten Ionenkanone 1 emittiert werden, ein Targetmaterial 4, das auf eine drehbare Targethalterung 3 gesetzt ist, zerstäubt, wodurch die Zerstäubung von Partikeln möglich ist, die auf einer Grundplatte 8 abgelagert werden sollen, die an einer Grundplattenhalterung 7 befestigt ist. Da die Targethalterung 3 hierbei jeweils in vorgegebenen Zeitintervallen gedreht wird, werden die Targetmaterialien 4 und 5, die jeweils nacheinander auf der vorderen Fläche und auf der hinteren Fläche der Targethalterung 3 aufgebracht sind, durch die Ionen zerstäubt. Da die zerstäubten Partikel abwechselnd auf der Grundplatte 8 abgelagert werden, wird eine Dünnschicht laminiert. In diesem Beispiel wurde außerdem eine zweite Ionenkanone 2 verwendet, die auf die Grundplattenhalterung 7 Ionen strahlt. Die zweite Ionenkanone 2 kann nicht nur die Säuberung der Grundplatte 8 direkt vor dem Zerstäuben, sondern auch die Ionenbestrahlung auf die Grundplatte 8 selbst während des Zerstäubungsvorgangs durch die erste Ionenkanone 1 ausführen. Durch Erregen der zerstäubten Partikel kann der Zustand der auf der Grundplatte 8 abzulagernden Schicht in der Weise gesteuert werden, daß die magnetischen Eigenschaften des magnetischen Mehrschichtaufbaus optimiert werden.
Die erwünschten Ionenstrahlzerstäubungsbedingungen für die Bildung eines Mehrschichtaufbaus mit einer hohen magnetischen Sättigungs-Flußdichte und einer hohen relativen Permeabilität waren die folgenden:
Target-Vorderseite Fe (Reinheit 99,9%)
Target-Rückseite C (Reinheit 99,99%)
Beschleunigungsspannung der ersten Ionenkanone 1200 V
Ionenstromdichte der ersten Ionenkanone 1,2 mA/cm²
Beschleunigungsspannung der zweiten Ionenkanone 200 V
Ionenstromdichte der zweiten Ionenkanone 0,15 mA/cm²
Ar-Druck 2,5·10&supmin;² Pa
Temperatur der Grundplatte 75ºC
Drehzahl der Grundplatte 100 min&supmin;¹.
Die Bildungsgeschwindigkeiten der Fe-Schicht und der C- Schicht wurden jeweils unabhängig voneinander unter den obigen Bedingungen gemessen. Währenddessen wurde die Dicke der Schicht bei der Bildung des Mehrschichtaufbaus kontrolliert. In diesem Fall betrug die Schichtbildungsgeschwindigkeit von Fe 0,22 nm/s und diejenige von C 0,07 nm/s. Bei der Bildung des Mehrschichtaufbaus wurde zunächst mit dem Betrieb der ersten Ionenkanone begonnen, ferner wurden die Vorzerstäubungsprozesse der Fe- und C- Targets bei einer geschlossenen (nicht gezeigten) Blende ausgeführt. Dann wurde mit dem Betrieb der zweiten Ionenkanone begonnen. Danach wurde die Blende geöffnet, wodurch mit der Bildung des Mehrschichtaufbaus begonnen wurde. In diesem Beispiel wurde durch Drehen vom Fe-Target zum C-Target und weiter vom C-Target zum Fe-Target jedesmal, wenn ein vorgegebenes Zeitintervall verstrichen war, ein magnetischer Mehrschichtaufbau mit der in Fig. I gezeigten Struktur gebildet. Der magnetische Mehrschichtaufbau wurde somit durch Laminieren von mehreren Perioden auf der Grundplatte 11 gebildet, wobei jede Periode aus einer Kombination aus der beispielsweise aus Fe hergestellten magnetischen Schicht 12 und aus der beispielsweise aus C hergestellten Zwischenschicht besteht.
Fig. 3 zeigt die relative Permeabilität u, sowie die Koerzitivkraft Hc bei 5 MHz des resultierenden magnetischen Mehrschichtaufbaus, während Fig. 4 die Sättigungs- Flußdichte Bs zeigt. Wie aus Fig. 3 deutlich hervorgeht, nahm die Koerzitivkraft bei einer Zunahme des Verhältnisses der Dicke der einzelnen Kohlenstoffschicht zur Dicke einer Periode in hohem Maß ab. Die relative Permeabilität stieg bei Verringerung des Verhältnisses in hohem Maß an. Obwohl die Neigung besteht, daß die relative Permeabilität abnimmt, wenn das Verhältnis der Dicke der Kohlenstoffschicht weiter zunimmt, trat eine Änderung der Koerzitivkraft nicht auf. Wie andererseits aus Fig. 4 deutlich hervorgeht, besteht eine Neigung, daß die magnetische Sättigungs-Flußdichte bei einer Zunahme der Dicke der einzelnen Kohlenstoffschicht gegenüber der Dicke einer Periode allmählich abnimmt. Der Grad der Verringerung der magnetischen Sättigungs-Flußdichte ist jedoch klein, solange das Verhältnis der Dicke der Kohlenstoffschicht zur Dicke einer Periode 25% beträgt. Wenn dieses Verhältnis 25% übersteigt, nimmt der Grad der Verringerung zu.
Aufgrund der vorangehenden Ergebnisse wird angenommen, daß einer der Gründe, weshalb bei Erhöhung des Verhältnisses der Dicke der Kohlenstoffschicht die magnetische Sättigungs-Flußdichte abnimmt und die relative Permeabilität zunimmt, der folgende ist. Der säulenförmige Kristall, der durch eine einzelne Eisenschicht gebildet ist, wird durch Einfügen der dünnen Kohlenstoffschicht zertrennt, wodurch eine Wirkung hervorgebracht wird, die derjenigen einer wesentlichen Abnahme des Kristallkorndurchmessers ähnelt, so daß die Streuung der Kristallanisotropie reduziert wurde. Andererseits besteht der Grund, weshalb die magnetische Sättigungs-Flußdichte abnimmt, darin, daß das Verhältnis von Eisen zum Mehrschichtaufbau wegen des Einfügens des ein nichtmagnetisches Material darstellenden Kohlenstoffs abnimmt, so daß das magnetische Moment abgeschwächt wird. Es wird jedoch angenommen, daß bei kleinem Verhältnis der Dicke der Kohlenstoffschicht eine ferromagnetische Fe-C-Legierung gebildet wird und das magnetische Moment nicht abgeschwächt wird.
Aus den obigen Ergebnissen folgt, daß das Verhältnis der Dicke der einzelnen Kohlenstoffschicht zur Periodendicke, das die Eigenschaften bietet, die für ein Magnetpolmaterial des Magnetkopfs notwendig sind, damit die relative Permeabilität über 1000 liegt und die Sättigungs-Flußdichte über 1,8 T liegt, in einem Bereich von 1 bis 25% liegt. Ein stärker bevorzugtes Verhältnis der Dicke der einzelnen Kohlenstoffschicht zur Periodendicke liegt im Bereich von 2 bis 20%. Wenn jedoch, wie in den Fig. 5 und 6 gezeigt, die Dicke einer Periode, die durch die Summe aus den Dicken der magnetischen Schicht und der Zwischenschicht, die den magnetischen Mehrschichtaufbau bilden, geringer als 0,2 nm ist, nimmt die magnetische Sättigungs-Flußdichte erheblich ab. Wenn dagegen die Dicke einer Periode 50 nm übersteigt, nimmt die relative Permeabilität ab. Wenn die Dicke einer Periode 250 nm übersteigt, sinkt die relative Permeabilität äußerst stark ab. Daher wird die Dicke einer Periode vorzugsweise in einen Bereich von 0,2 nm bis 250 nm und noch stärker bevorzugt in den Bereich von 2 nm bis 50 nm gesetzt. Wenn die Dicke der Zwischenschicht geringer als 0,05 nm ist, nimmt die relative Permeabilität erheblich ab. Wenn sie 5 nm übersteigt, nimmt die relative Permeabilität erneut erheblich ab. Somit wird die Dicke der Zwischenschicht vorzugsweise in einen Bereich von 0,05 nm bis 5 nm gesetzt.
Der sich ergebende magnetische Mehrschichtaufbau, der aus der Eisenschicht mit einer Dicke von 4,8 nm und der Kohlenstoffschicht mit einer Dicke von 0,2 nm besteht, wurde durch ein Röntgenstrahlenbeugungsverfahren untersucht, mit dem Ergebnis, daß eine Beugungslinie an der Position erfaßt wurde, die einem Gitterebenenabstand d = 5,05 nm entspricht, wodurch die Bildung des Mehrschichtaufbaus bestätigt wurde. Andererseits wurde der sich ergebende Mehrschichtaufbau, der aus der Eisenschicht mit einer Dicke von 9,5 nm und der Kohlenstoffschicht mit einer Dicke von 0,5 nm besteht, mittels eines Auger-Elektronen- Spektrometers analysiert, mit dem Ergebnis, daß die Auger-Elektronen-Intensitäten von Eisen und von Kohlenstoff abwechselnd zunahmen. Somit wurde die Existenz des Mehrschichtaufbaus auch durch die Auger-Elektronen-Spektrometrie bestätigt.

(Beispiel 2)

Im Beispiel 1 wurden ein Material der magnetischen Schicht, ein Material der Zwischenschicht und deren Dikken so geändert, wie in Tabelle 1 gezeigt ist, ferner wurden die Untersuchungen auf ähnliche Weise wie im Beispiel 1 ausgeführt. Die Tabelle 1 zeigt die magnetischen Sättigungs-Flußdichten Bs(T) und die relativen Permeabilitäten u' bei 5 MHz der erhaltenen magnetischen Mehrschichtaufbauten. Wie aus Tabelle 1 deutlich hervorgeht, besaßen sämtliche magnetischen Mehrschichtaufbauten magnetische Sättigungs-Flußdichten über 1,9 T und relative Permeabilitäten über 1500. Tabelle 1 Nr. magnetische Schicht Material Dicke Zwischenschicht Targetmaterial eine Periode magnetische Sättigungs-Flußdichte relative Permeabilität Beispiele Vergleichsbeispiel Fe-Einzelschicht
Diese Ergebnisse zeigen, daß das Material der magnetischen Schicht nicht auf reines Eisen beschränkt ist, sondern ein Material sein kann, das als Hauptkomponente Eisen enthält, ferner zeigen die Ergebnisse, daß das Material der Zwischenschicht ein Element wie etwa B, C, N, P, S, das durch Füllen der Zwischengitterplätze eine feste Lösung mit Fe bilden kann, oder aber eine Verbindung sein kann, die diese Elemente enthält und durch Füllen der Zwischengitterplätze eine feste Lösung bilden kann. Als Material der Zwischenschicht ist in Tabelle 1 das Material des Targets gezeigt, wenn die Ionenstrahlzerstäubung ausgeführt wird. Der erhaltene Mehrschichtaufbau liefert keinen Hinweis, daß die Schicht, die die in Tabelle 1 gezeigten Zusammensetzungen enthält, gebildet wurde.
Die Aufzeichnungseigenschaft des vorangehenden magnetischen Mehrschichtaufbaus wurde in dem Fall untersucht, in dem dieser Aufbau im Hauptmagnetpol eines Magnetkopfs für die magnetische Aufzeichnung verwendet wurde. Dadurch ist bestätigt worden, daß der Hauptmagnetpol des Magnetkopfs, der eine Aufzeichnungsdichte von mehr als 3,9 kBP/mm (Kilobits/mm) (100 kBPI oder Kilobits/Zoll), die größer als die herkömmliche magnetische Aufzeichnungsdichte von 3,1 kBP/mm (80 kBPI) ist, erhalten wurde.
In den vorangehenden Beispielen ist als magnetische Schicht Eisen oder eine Eisenlegierung verwendet worden. Es hat sich jedoch gezeigt, daß Wirkungen, die denen der vorangehenden Beispiele ähnlich sind, selbst in dem Fall erhalten werden können, in dem als Eisengruppenelement Kupfer oder Nickel oder eine dieses Eisengruppenelement als Hauptkomponente und das obengenannte Additiv enthaltende Legierung verwendet werden.

Claims

1. Magnetischer Mehrschichtaufbau, mit

- mehreren magnetischen Schichten und

- mehreren Zwischenschichten, wovon jede zwischen zwei benachbarten magnetischen Schichten gebildet ist, dadurch gekennzeichnete

daß jede der magnetischen Schichten aus einem magnetischen Material hergestellt ist, das aus der aus

Fe, Co, Ni bestehenden Gruppe und aus Legierungen, die wenigstens eines dieser Elemente als Hauptkomponente enthalten, gewählt ist, und daß jede der Zwischenschichten aus einem einzigen Element, das aus der aus B, C, N, P und S bestehenden Gruppe gewählt ist, oder aus einer Verbindung hergestellt ist, die aus der Gruppe gewäh1t ist, die aus ZrC, Fe&sub2;B, TiB&sub2;&sub1; BN, BP, B&sub4;C, SiC, Si&sub3;N&sub4;, TiC, TiN, Ti&sub2;N und AlN besteht.

2. Magnetischer Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierungen ferner ein Additiv enthalten, das aus der aus C, Si, B, N und Ti bestehenden Gruppe gewählt ist.

3. Magnetischer Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Summe aus den Dicken irgendeiner der magnetischen Schichten und der darauf befindlichen Zwischenschicht im Bereich von 0,2 nm bis 250 nm liegt,

daß jede der Zwischenschichten eine Dicke im Bereich von 0,05 nm bis 5 nm besitzt und

daß das Verhältnis der Dicke jeder Zwischenschicht zu derjenigen einer Periode, welche aus einer Kombination aus einer magnetischen Schicht und einer Zwischenschicht besteht, im Bereich von 0,01 bis 0,25 liegt.

4. Magnetischer Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Summe aus den Dicken irgendeiner der magnetischen Schichten und einer darauf befindlichen Zwischenschicht im Bereich von 0,2 nm bis 50 nm liegt,

daß das Verhältnis der Dicke einer Zwischenschicht zu derjenigen einer Periode, die aus einer Kombination aus einer magnetischen Schicht und einer Zwischenschicht besteht, im Bereich von 0,01 bis 0,25 liegt.

5. Magnetischer Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung ferner ein Additiv enthält, die aus der aus einem Gruppe-IV-Element, N und B bestehenden Gruppe gewählt ist.

6. Magnetischer Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung ferner ein Additiv enthält, das aus der aus einem Gruppe-VIII-Element, Cu, Ag oder Au bestehenden Gruppe gewählt ist.

7. Magnetischer Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung ferner ein Additiv enthält, das aus der aus Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo und W bestehenden Gruppe gewählt ist.

8. Magnetkopf mit einem Magnetpolabschnitt, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil des Magnetpolabschnitts aus einem magnetischen Mehrschichtaufbau nach Anspruch 1 hergestellt ist.