DE3731127C2 - - Google Patents

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DE3731127C2
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Germany
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DE3731127A
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Harbhajan S. Randhawa
Lonni R. Boulder Col. Us Erickson
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VAC-TEC SYSTEMS Inc BOULDER COL US
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VAC-TEC SYSTEMS Inc BOULDER COL US
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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FR (1) FR2612204A1 (nl)
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JPS63223161A (ja) 1988-09-16
CH675258A5 (nl) 1990-09-14
DE3731127A1 (de) 1988-09-22
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FR2612204A1 (fr) 1988-09-16
NL8702404A (nl) 1988-10-03

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