DE3711143A1 - Zweistufige vakuumpumpenvorrichtung - Google Patents
Zweistufige vakuumpumpenvorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine zweistufige Vakuumpumpenvor
richtung zum Evakuieren eines Raums auf ein hohes Va
kuum, in welchem eine Arbeit unter einem solchen hohen
Vakuum auszuführen ist, sowie ein Verfahren zum Betrei
ben einer solchen zweistufigen Vakuumpumpenvorrichtung.
Eine der wesentlichen Forderungen an eine Vakuumpumpen
vorrichtung besteht darin, zu verhindern, daß ein zu
evakuierendes System mit Öl verunreinigt wird. Bekannt
lich genügt dieser Anforderung eine Wälzkolbenpumpe bis
zu einem hohen Grad. Die Wälzkolbenpumpe ermöglicht je
doch nur ein niedriges Verdichtungsverhältnis, so daß
sie mit einer mit Öl abgedichteten Rotationsvakuumpumpe
kombiniert wird, um ein Vakuum mittlerer Größe zwischen
1,3 bis 1,3×10-2 Pa und höhere Vakua zu erzeugen (JP-
GM 5 789/84). Das von einer Wälzkolbenpumpe erzeugte Ver
dichtungsverhältnis ist im Bereich des Atmosphärendrucks
von etwa 105 Pa niedrig, nämlich 2 bis 5, und überschrei
tet die Werte 20 bis 70 auch im mittleren Druckbereich
von 1,3 bis 1,3×10-2 Pa nicht. Es ist deshalb erfor
derlich, die Auslaßseite der Wälzkolbenpumpe mit einer
ölabgedichteten Rotationsvakuumpumpe zu verbinden, die
so arbeiten kann, daß ein höheres Verdichtungsverhält
nis erreicht wird. In einem solchen Fall ergibt sich
an der mit Öl abgedichteten Rotationsvakuumpumpe die
Druckdifferenz in der Größenordnung von 1,3×102 bis
0,13 Pa. Wenn die mit Öl abgedichtete Rotationsvakuum
pumpe in diesem Zustand arbeitet, setzt eine heftige
Verdampfung des die Abdichtung bildenden Öls dieser Pum
pe ein, wodurch die Gefahr besteht, daß das evakuierte
System vom verdampften Öl verunreinigt wird, das durch
die Wälzkolbenpumpe gelangt.
Vorgeschlagen wurde weiterhin, eine Schraubenpumpe bei
Atmosphärendruck als Gegendruck zu verwenden. Der Einsatz
der Schraubenpumpe wird jedoch nicht bevorzugt, da eine
solche Pumpe sehr viel elektrische Energie verbraucht
und ein großes Drehmoment beim Anlaufen erfordert, wodurch
ein Antriebsmotor benötigt wird, der in der Lage ist,
ein Drehmoment zu erzeugen, das viel größer als das Dreh
moment ist, das während des stationären Evakuierungsbe
triebs erforderlich ist.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht deshalb
darin, eine zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung sowie
ein Verfahren für ihr Betreiben zu schaffen, mit denen
hohe Vakua ohne Gefahr für eine Verunreinigung des eva
kuierten System durch Öl bei geringem Energieverbrauch
und bei einem kleinen Anlaufdrehmoment erreicht werden
können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine zweistufige
Vakuumpumpenvorrichtung gelöst, bei welcher die erste
Stufe von einer Schraubenvakuumpumpe und die zweite Stufe
von einer mit Öl abgedichteten Rotationsvakuumpumpe ge
bildet wird. Dabei werden die Vakuumpumpe der ersten Stu
fe und die Vakuumpumpe der zweiten Stufe so betrieben,
daß dazwischen eine Druckdifferenz in der Größenordnung
von 1,3×102 bis 1,3×104 Pa aufrecht erhalten wird.
Eine Schraubenvakuumpumpe kann so betrieben werden, daß
sie ein hohes Verdichtungsverhältnis auch in einem Druck
bereich in der Nähe des Atmosphärendrucks hat. Zusätzlich
verursacht eine als "ölfrei" bezeichnete spezielle Schraubenvakuum
pumpe keine Verunreinigung des evakuierten Systems durch
Öl. Es ergeben sich jedoch die nachstehenden Probleme,
wenn die Vakuumpumpenvorrichtung nur von einer einzigen
Stufe in Form einer solchen Schraubenvakuumpumpe gebil
det wird.
Da der Gasstrom in der Arbeitskammer in der Nähe der För
deröffnung ein viskoser Strom ist, wird die Leistung der
Vakuumpumpe stark durch jeden Leckstrom durch einen Spalt
zwischen den Rotoren beeinflusst.
Wenn die Pumpe eine Pumpe der ölfreien Bauweise ist, steigt
die Temperatur an der Förderseite übermäßig hoch an, da
sich dort kein Öl befindet, welches eine Kühlung bewirken
könnte.
Das für den Anlauf bei Atmosphärendruck erforderliche
Anlaufdrehmoment ist verglichen mit dem Anlaufdrehmoment
für den stationären Betriebszustand sehr groß.
Alle diese Probleme treten besonders hervor, wenn die
Pumpe mit dem Gegendruck arbeitet, der auf der Höhe des
Atmosphärendrucks gehalten ist. Sie können durch einen
zweistufigen Aufbau der Pumpvorrichtung ausgeschlossen
werden, die aus einer ersten Stufe in Form einer Schrau
benvakuumpumpe und einer zweiten Stufe in Form irgend
einer anderen Vakuumpumpe besteht.
Zur Untersuchung von Änderungen in den Betriebskennlinien
der Vakuumpumpenvorrichtung ansprechend auf Änderungen
des Gegendrucks der Schraubenvakuumpumpe und auf die Ro
torumfangsgeschwindigkeit der Schraubenvakuumpumpe wurden
Versuche durchgeführt.
Fig. 5 zeigt die Beziehung zwischen dem Gegendruck und
dem Verdichtungsverhältnis, wobei die Rotorumfangsge
schwindigkeit als Parameter verwendet wird. Aus dem Dia
gramm ist ersichtlich, daß die Rotorumfangsgeschwindig
keit hoch sein muß, um ein hohes Verdichtungsverhältnis
zu erhalten, wenn der Gegendruck auf der gleichen Höhe
wie der Atmosphärendruck gehalten wird. Wenn jedoch der
Gegendruck auf 1,3×102 bis 1,3×104 Pa erniedrigt
wird, kann ein beträchtlich höheres Verdichtungsverhält
nis erhalten werden, auch wenn die Rotorumfangsgeschwin
digkeit niedriger ist.
Fig. 6 zeigt die Beziehung zwischen dem Gegendruck und
dem Leistungsverhältnis, worunter das Verhältnis der Wel
lenleistung zu mechanischem Verlust zu verstehen ist,
wobei wiederum die Rotorumfangsgeschwindigkeit als Pa
rameter benutzt wird. Wenn der Gegendruck unter 1,3×
104 Pa liegt, beträgt das Leistungsverhältnis im wesent
lichen 1, so daß die Schraubenvakuumpumpe nur bei einer
Leistungszufuhr arbeiten kann, die im wesentlichen gleich
dem mechanischen Leistungsverlust ist.
Durch Einsatz einer Schraubenvakuumpumpe als erste Stufe
ist es somit möglich, ein hohes Verdichtungsverhältnis
in der Größenordnung von 103 bis 104 auch dann zu erhal
ten, wenn der Gegendruck zwischen 1,3×102 und 1,3×104
Pa liegt. Außerdem wird die Pumpeneingangsleistung nicht
wesentlich geändert, wenn der Gegendruck 1,3×104 Pa
oder weniger beträgt.
Bei der erfindungsgemäßen Pumpvorrichtung wird deshalb
eine Schraubenvakuumpumpe als Vakuumpumpe der ersten
Stufe eingesetzt, so daß ein großes Verdichtungsverhält
nis auch in dem Betriebsbereich mit höherem Gegendruck
verglichen mit einer herkömmlichen Vakuumpumpenvorrichtung
erhalten werden kann, die eine Wälzkolbenpumpe als Va
kuumpumpe der ersten Stufe verwendet. Erfindungsgemäß
ist es somit möglich, ein hochwertiges Vakuum zu erhal
ten, das die gleiche Größe wie das Vakuum hat, das durch
bekannte zweistufige Vakuumpumpenvorrichtungen erhalten
wird, die aus einer Wälzkolbenpumpe und einer mit Öl ab
gedichteten Rotationsvakuumpumpe zusammengesetzt ist,
nämlich beispielsweise 0,13 bis 1,3×10-2 Pa, auch wenn
die zweite Stufe von einer Vakuumpumpe gebildet wird,
die nur ein geringwertiges Vakuum in der Größenordnung
von einigen hundert bis einigen tausend Pa erzeugen kann.
Zusätzlich kann als Vakuumpumpe der zweiten Stufe eine
Vakuumpumpe mit einer kleinen Evakuiergeschwindigkeit
verwendet werden.
Dies bedeutet, daß eine Vakuumpumpe in der ölfreien Bau
weise, die nur ein Vakuum mit einer geringen Größe er
zeugen kann, beispielsweise eine Diaphragmapumpe, als Va
kuumpumpe der zweiten Stufe verwendet werden kann. Wenn
eine solche ölfreie Vakuumpumpe als zweite Stufe mit der
Auslaßseite der ersten Stufe verbunden wird, die von ei
ner Schraubenvakuumpumpe gebildet wird, welche ebenfalls
ölfrei arbeitet, wird jegliche Gefahr einer Verunreini
gung des evakuierten Systems durch Öl vollständig besei
tigt.
Erfindungsgemäß ist es auch möglich, eine durch Öl abge
dichtete Rotationsvakuumpumpe als Vakuumpumpe der zwei
ten Stufe zu verwenden. Wie erwähnt liegt der kritische
Druckwert, bei welchem die Diffusion des Öls durch Ver
dampfung im allgemeinen erfolgt, wenn eine durch Öl ab
gedichtete Vakuumpumpe als zweite Stufe verwendet wird,
zwischen 13 und 130 Pa. Die durch Öl abgedichtete Rota
tionsvakuumpumpe, die als Vakuumpumpe der zweiten Stufe
verwendet wird, verursacht deshalb keine Öldiffusion in
das evakuierte System, vorausgesetzt, daß der Ansaugdruck
der zweiten Stufe, d.h. der Gegendruck der ersten Stufe,
nicht niedriger als 130 Pa ist.
Anhand von Zeichnungen wird ein Ausführungsbeispiel der
Erfindung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 schematisch eine Ausführungsform einer zweistufi
gen Vakuumpumpenvorrichtung,
Fig. 2 eine durch Öl abgedichtete Rotationsvakuumpumpe
im Querschnitt, wie sie bei der Ausführungsform
von Fig. 1 eingesetzt werden kann,
Fig. 3 einen Längsschnitt durch eine Schraubenvakuum
pumpe, wie sie bei der Ausführungsform von Fig.
1 eingesetzt werden kann,
Fig. 4 den Schnitt IV-IV von Fig. 3 und
Fig. 5 und 6 in Diagrammen die Betriebskennlinien der
Schraubenvakuumpumpe, welche bei der zweistufigen
Vakuumpumpenvorrichtung verwendet wird.
Die in Fig. 1 gezeigte zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung
hat eine erste Stufe, welche von einer Schraubenvakuum
pumpe 1 gebildet wird, und eine zweite Stufe, welche von
einer durch Öl abgedichteten Rotationsvakuumpumpe 2 ge
bildet wird.
Die Vakuumpumpe 1 hat eine Ansaugöffnung 1 a, die mit ei
nem nicht gezeigten, zu evakuierenden System in Verbin
dung steht, sowie eine Förderöffnung 1 b, die über ein
Rohr 3 mit einer Ansaugöffnung 2 a der durch Öl abgedich
teten Rotationsvakuumpumpe 2 verbunden ist. Die Förder
öffnung 2 b der durch Öl abgedichteten Rotationsvakuum
pumpe 2 ist zur Atmosphäre hin offen.
Die durch Öl abgedichtete Rotationsvakuumpumpe 2 kann,
wie in Fig. 2 gezeigt ist,eine an sich bekannte Dreh
schieberpumpe sein. Eine solche Pumpe hat ein Gehäuse
5 mit einer Arbeitskammer 6 und einem Rotor 7, der dreh
bar und exzentrisch in der Arbeitskammer 6 angeordnet
ist. Der Rotor 7 hat radiale Schlitze, die ein Paar von
Schiebern 8 aufnehmen, welche durch eine Feder 9 in Druck
kontakt mit der inneren Umfangsfläche der Arbeitskammer
6 gedrückt werden. Die mit Öl abgedichtete Drehschieber
vakuumpumpe 2 hat außerdem ein Rückschlagventil 10 in
ihrer Förderöffnung 2 b. Mit dem Rotor 7 ist ein Elek
tromotor 43 verbunden.
Die in den Fig. 3 und 4 gezeigte Schraubenvakuumpumpe
1 hat ein Hauptgehäuse 21 mit einer Arbeitskammer 26,
ein Fördergehäuse 22 und eine stirnseitige Abdeckung
23. Das Hauptgehäuse 21 nimmt einen Vorsprünge aufweisen
den Rotor 24 und einen Vertiefungen aufweisenden Rotor
25 auf, der mit dem Vorsprünge aufweisenden Rotor 24
kämmt. Das Hauptgehäuse 21 und das Fördergehäuse 22 wir
ken so zusammen, daß die Arbeitskammer 26 gebildet wird.
Die miteinander kämmenden Rotoren 24 und 25 sind für ei
ne Drehung in der Arbeitskammer 26 angeordnet und sitzen
auf Wellen, die drehbar in Lagern 27 und 28 abgestützt
sind. An den Enden der Wellen der jeweiligen Rotoren,
die über das Fördergehäuse 22 vorstehen, sind ein Vor
sprünge aufweisendes Steuer- bzw. Synchronisierzahnrad
29 und ein Einbuchtungen aufweisendes Steuer- bzw.
Synchronisierzahnrad 30 befestigt. Diese Steuerzahnräder
29 und 30 sind so ausgelegt und gebaut, daß sich die Ro
toren 24 und 25 so drehen können, daß immer ein kleiner
Spalt zwischen ihnen aufrecht erhalten wird.
Zwischen den Wellen der jeweiligen Rotoren 24 und 25 und
den Gehäusen 21 und 22 sind an Stellen axial innerhalb
der Lager 27 bzw. 28 Wellendichtungen 31 vorgesehen. Die
se Wellendichtungen 31 verhindern, daß Schmieröl in die
Arbeitskammer 26 aus den Lagern 27 und 28 und den Zahn
rädern 29 und 30 fließt, denen Schmieröl zugeführt wird.
Beispiele für Wellendichtungen für eine derartige Vor
richtung sind aus der US-PS 44 87 563 bekannt.
An der Stirnseite des Rotors 25 mit den Vorsprüngen ist
eine Schleuder 32 befestigt, die in die stirnseitige Ab
deckung 23 vorsteht. Die Schleuder 32 verspritzt das
Schmieröl, das in einem Ölspeicher 33 gespeichert ist,
der von einem Bodenabschnitt der stirnseitigen Abdeckung
23 und einem Teil des Hauptgehäuses 21 gebildet wird,
wodurch das Schmieröl den Lagern 27 zugeführt wird. Die
Arbeitskammer 26 ist an ihrem einen Ende mit der Ansaug
öffnung 1 a im Hauptgehäuse 21 und an ihrem anderen Ende
mit der Förderöffnung 1 b in dem Fördergehäuse 22 ver
bunden.
Das Vorsprünge aufweisende Steuerzahnrad 29 ist treibend
mit einer Antriebswelle 37 über ein Antriebszahnrad 36
verbunden. Die Antriebswelle 37 ist für den Antrieb mit
einem Elektromotor 42 verbunden. Die Steuerzahnräder 29
und 30 und das Antriebszahnrad 36 sind in einer Getrie
bekammer 38 aufgenommen, die von einem Getriebegehäuse
39 und einer Seitenplatte 40 gebildet wird. Die Welle
37 erstreckt sich durch eine in der Seitenplatte 40 aus
gebildete Bohrung. Zwischen der Antriebswelle 37 und der
Seitenplatte 40 ist für eine Ölabdichtung eine Wellendich
tung 41 dazwischen vorgesehen.
Zum Messen des Drucks in der Ansaugöffnung 1 a der Schrau
benvakuumpumpe 1 ist ein Drucksensor 44 vorgesehen. Zur
Messung des Drucks in dem Rohr 3 oder an der Förderöff
nung 1 b ist ein weiterer Drucksensor 45 angeordnet. Die
Drucksensoren 44 und 45 erzeugen den jeweiligen Drücken
entsprechende Spannungen.
In einer Steuereinheit 46 sind ein Paar von Komparatoren
47 und 48, ein Paar von Bezugsgrößen-Einstelleinrichtun
gen 49 und 50 sowie eine Pumpendrehzahlsteuereinrichtung
51 vorgesehen. Der erste Komparator 47 dient zum Verglei
chen eines Ansaugdrucks P id , der vom Drucksensor 44 ge
messen wird, mit einem Bezugsansaugdruck P i , der durch
die erste Bezugsgrößen-Einstelleinrichtung 49 vorgegeben
ist. Der zweite Komparator 48 vergleicht einen Gegendruck
P md , der von dem Drucksensor 45 gemessen wird, mit einem
Bezugsgegendruck, der zwischen 1,3×102 und 1,3×104
Pa liegt und von der zweiten Bezugsgrößen-Einstelleinrich
tung 50 vorgegeben ist.
Der erste Komparator 47 liefert ein Drehzahlzunahmesignal
im Falle von P id <P i und ein Drehzahlabnahmesignal im
Falle von P id <P i . Wenn die Drucke P id und P i im wesent
lichen gleich sind, erzeugt der Komparator 47 ein Signal,
um die Drehzahl unverändert zu halten. Die Pumpendrehzahl
steuereinrichtung 51 arbeitet ansprechend auf das Ausgangs
signal aus dem ersten Komparator 47 zur Steuerung der Dreh
zahl des Motors 42, um so den tatsächlichen Ansaugdruck
P id im wesentlichen auf dem gleichen Wert wie den Bezugs
ansaugdruck P i zu halten.
Der zweite Komparator 48 erzeugt ein Drehzahlzunahmesignal
im Falle von P md <P m und ein Drehzahlabnahmesignal im Fal
le von P md <P m . Die Pumpendrehzahlsteuereinrichtung 51
steuert die Drehzahl des Elektromotors 43 entsprechend
dem Ausgang aus dem zweiten Komparator 48, wodurch der
tatsächliche Gegendruck P md im wesentlichen auf dem glei
chen Wert wie der Bezugsgegendruck P m gehalten wird.
Die Vorrichtung in dieser Ausführungsform arbeitet folgen
dermaßen: Zunächst läuft die mit Öl abgedichtete Rotations
vakuumpumpe 2 an, um den Druck im zu evakuierenden System,
das mit der Ansaugöffnung 1 a der Schraubenvakuumpumpe 1
verbunden ist, in der Arbeitskammer 26 der Schraubenva
kuumpumpe und in dem Rohr 3 vom Atmosphärenwert (105 Pa)
aus auf etwa 1,3×104 Pa zu reduzieren. Dann läuft die
Schraubenvakuumpumpe 1 an, wodurch der Druck im evakuier
ten System weiter reduziert wird. Der Enddruck im evaku
ierten System kann durch Steuerung des Gegendrucks der
die erste Stufe bildenden Schraubenvakuumpumpe 1 und der
Umfangsgeschwindigkeit des Rotors 7 eingestellt werden.
Die Drehzahlsteuerung der Schraubenrotoren wird durch ei
ne gesonderte bekannte Vorrichtung bewirkt. Beispielsweise
kann der Enddruck, d.h. die Größe des in dem evakuierten
System erhaltenden Vakuums dadurch gesteigert werden, daß
die Umfangsdrehzahl der Schraubenrotoren gesteigert oder
der Gegendruck der Schraubenvakuumpumpe der ersten Stufe
verringert wird.
Wie erwähnt, ist es erforderlich, daß der Gegendruck der
Pumpe der ersten Stufe, d.h. der Druck zwischen der ersten
und zweiten Stufe der Pumpen auf einem Wert über dem kri
tischen Druck (13 bis 130 Pa) gehalten wird, bei welchem
die Verdampfung des Öls in der mit Öl abgedichteten Rota
tionsvakuumpumpe 2 einsetzt, welche die zweite Stufe der
Vakuumpumpenvorrichtung bildet. Eine solche Arbeitsweise
des zweistufigen Vakuumpumpensystems kann wirksam eine
Öldiffusion und somit eine Verunreinigung des evakuierten
Systems mit Öl verhindern.
Dabei muß ein Gegendruck der Schraubenvakuumpumpe 1, die
die erste Stufe bildet, aufrecht erhalten bleiben, der
1,3×104 Pa nicht überschreitet, da in diesem Fall das
Leistungsverhältnis der Schraubenvakuumpumpe 1 im wesent
lichen auf 1 gesteigert werden kann, wodurch bereits ein
kleiner Antriebsmotor diese Vakuumpumpe antreiben kann.
Wenn die Vakuumpumpenvorrichtung nur eine einzige Stufe
hätte, die von einer Schraubenvakuumpumpe gebildet wird,
und bei einem Gegendruck betrieben würde, der auf dem Wert
des Atmosphärendrucks gehalten würde, müßte eine hohe Um
fangsgeschwindigkeit des Rotors aufrecht erhalten werden,
um ein hohes Kompressionsverhältnis zu erhalten, wie sich
dies aus Fig. 5 ergibt. Wenn die Drehzahl hoch ist, kann
eine Kontaktdichtungseinrichtung, wie eine Wellendichtung
31, nicht verwendet werden. Erfindungsgemäß wird die
Schraubenvakuumpumpe als Vakuumpumpe der ersten Stufe in
der zweistufigen Vakuumpumpenvorrichtung verwendet, wo
durch ein merklich höheres Kompressionsverhältnis erreich
bar ist, da ihr Gegendruck durch die Vakuumpumpe der zwei
ten Stufe auf einem niedrigen Wert im Bereich von 1,3×
102 bis 1,3×104 Pa gehalten werden kann, auch wenn die
Rotorumfangsgeschwindigkeit der Schraubenpumpe niedrig
ist. Es ist deshalb möglich, eine Kontaktdichtungseinrich
tung als Wellendichtung 31 bei der Schraubenvakuumpumpe
zu verwenden.
Erfindungsgemäß wird somit eine zweistufige Vakuumpumpen
vorrichtung geschaffen, bei der die erste Stufe von einer
Schraubenvakuumpumpe gebildet wird. Die Schraubenvakuum
pumpe kann mit ihrem Gegendruck arbeiten, der auf einem
Wert gehalten wird, welcher ausreichend niedriger als der
Atmosphärendruck ist. Dies beseitigt alle Probleme, die
bei einer einstufigen Vakuumpumpenvorrichtung auftreten,
die allein von einer Schraubenvakuumpumpe gebildet wird.
Da die Schraubenvakuumpumpe der ersten Stufe außerdem so
arbeiten kann, daß ein ausreichend hohes Verdichtungsver
hältnis erreicht wird, ist es möglich, eine Vakuumpumpe
einzusetzen, die nur eine geringe Vakuumgröße wie die Va
kuumpumpe der zweiten Stufe erzeugen kann, beispielsweise
eine ölfreie Diaphragmapumpe. Die Verwendung einer ölfreien
Vakuumpumpe als Pumpe der zweiten Stufe beseitigt voll
ständig die Gefahr einer Verunreinigung des evakuierten
Systems mit Öl.
Erfindungsgemäß wird die Vakuumpumpenvorrichtung so be
trieben, daß der Gegendruck der ersten Pumpenstufe auf
einem Wert zwischen 1,3×102 und 1,3×104 Pa gehalten
wird, also auf einem Wert, der höher ist als der kritische
Druckwert, bei welchem die Verdampfung des Schmieröls er
folgt. Dies hat zur Folge, daß die Leistung verringert
wird, die für den Antrieb der Pumpenvorrichtung erforder
lich ist, und daß jegliche Ölverunreinigung des evakuier
ten Systems auch dann vermieden wird, wenn als zweite Pum
penstufe der zweistufigen Vakuumpumpenvorrichtung eine
mit Öl abgedichtete Rotationsvakuumpumpe verwendet wird.
Claims (8)
1. Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung gekenn
zeichnet durch eine die erste Stufe bildende
Vakuumpumpe (1) in einem Hauptgehäuse (21), in dem
eine erste Arbeitskammer (26) ausgebildet ist, mit
einer Ansaugöffnung (1 a) und einer Förderöffnung (1 b),
die mit der ersten Arbeitskammer (26) in Verbindung
stehen, mit einem Paar von Schraubspindelrotoren (24,
25), die drehbar in der ersten Arbeitskammer (26) an
geordnet sind und Wellen aufweisen, mit Lagereinrich
tungen (27, 28), welche die Wellen der Schraubspin
delrotoren (24, 25) drehbar abstützen, mit Wellenab
dichtungseinrichtungen (31), die zwischen den jewei
ligen Lagereinrichtungen (24, 25) und der ersten Ar
beitskammer (26) vorgesehen sind, und mit einem Paar
Synchronisierzahnrädern (29, 30), die miteinander
kämmen und an der Welle des entsprechenden Schraub
spindelrotors (24, 25) festgelegt sind, wobei die
Ansaugöffnung (1 a) mit einem zu evakuierenden System
in Verbindung steht, und durch eine die zweite Stufe
bildende Vakuumpumpe (2) mit einem Gehäuse (5), in
welchem eine zweite Arbeitskammer (6) ausgebildet ist,
mit einem weiteren Rotor (7) der drehbar in der zwei
ten Arbeitskammer (6) angeordnet ist und wenigstens
einen darin ausgebildeten Schlitz aufweist, und mit
einem gleitend verschiebbar in dem Schlitz angeordne
ten Flügel (8), der in Radialrichtung des weiteren
Rotors (7) bewegbar ist, wobei die die zweite Stufe
bildende Pumpe (2) mit der Förderöffnung (1 b) der die
erste Stufe bildenden Pumpe (1) verbunden ist.
2. Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die die
erste Stufe bildende Vakuumpumpe (1) weiterhin ein
Antriebszahnrad (36) aufweist, das in Eingriff mit
einem der Synchronisierzahnrädern (29, 30) angeordnet
ist.
3. Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung, gekenn
zeichnet durch eine die erste Stufe bildende
Vakuumpumpe (1), die ein mit einem zu evakuierenden
System verbundene Ansaugöffnung (1 a) aufweist, und
durch eine die zweite Stufe bildende Vakuumpumpe (2),
die mit einer Förderöffnung (1 b) der die erste Stufe
bildenden Vakuumpumpe (1) verbunden ist, wobei die
die erste Stufe bildende Vakuumpumpe (1) eine Vakuum
pumpe in Schraubenspindelbauweise ist und ein Gehäuse
(21), in welchem eine Arbeitskammer (26) in Form von
zwei überschneidenden Zylindern ausgebildet ist,
die mit der Ansaugöffnung (1 a) und der
Förderöffnung (1 b) verbunden ist, ein Paar von
Schraubenspindelrotoren (24, 25), die in kämmendem
Eingriff miteinander stehen, drehbar in der Arbeits
kammer (26) aufgenommen sind und Wellen aufweisen,
Lagereinrichtungen (27, 28), die zwischen den jewei
ligen Wellen der Schraubenspindelrotoren (24, 25) und
dem Gehäuse (21) angeordnet sind und die Schraubenspin
delrotoren (24, 25) drehbar lagern, Dichtungseinrich
tungen (31), die zwischen den Lagereinrichtungen (27,
28) und der Arbeitskammer ( 26) angeordnet sind, um
ein Entweichen von Gasen und darin suspendiertem Ölne
bel zwischen der Arbeitskammer (26) und den Lagerein
richtungen (27, 28) auszuschließen, und ein Paar von
Synchronisierzahnrädern (29, 30) aufweist, die an den
Wellen der jeweiligen Schraubenspindelrotoren (24,
25) angeordnet sind und miteinander in kämmendem Ein
griff stehen.
4. Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die För
deröffnung (1 b) der die erste Stufe bildenden Vakuum
pumpe (1) über eine Rohrleitung (3) mit einer Ansaug
öffnung (2 a) der die zweite Stufe bildenden Vakuum
pumpe (2) verbunden ist.
5. Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung gekenn
zeichnet durch eine die erste Stufe bilden
de Schraubenvakuumpumpe (1) mit einer Ansaugöffnung
(1 a), die mit einem zu evakuierendem System verbunden
und von einem ersten Elektromotor (42) angetrieben
ist, durch eine die zweite Stufe bildende Vakuumpumpe
(2), die mit der Förderöffnung (1 b) der die erste Stu
fe bildenden Vakuumpumpe (1) verbunden und von einem
zweiten Elektromotor (43) angetrieben ist, durch eine
erste Drucksensoreinrichtung (44) zum Messen des Drucks
in der Ansaugöffnung (1 a) der die erste Stufe bildenden
Vakuumpumpe (1), durch eine zweite Drucksensoreinrich
tung (45) zum Messen des Drucks in der Förderöffnung
(1 b) der die erste Stufe bildenden Vakuumpumpe (1)
und durch eine Steuereinheit (46), welche eine Bezugs
ansaugdruck-Einstelleinrichtung (49) für die Vorgabe
einer ersten Bezugsgröße für den Ansaugdruck an der
Ansaugöffnung (1 a), eine Bezugsgegendruck-Einstellein
richtung (50) für die Vorgabe einer zweiten Bezugs
größe für den Gegendruck an der Förderöffnung (1 b)
der die erste Stufe bildenden Vakuumpumpe (1), einen
ersten Komparator (47) zum Vergleichen der ersten Be
zugsgröße mit der Größe des von der ersten Drucksen
soreinrichtung (44) gemessenen Ansaugdrucks zur Erzeu
gung eines ersten Drehzahländerungssignals für den
ersten Elektromotor (42), einen zweiten Komparator
(48) zum Vergleichen der zweiten Bezugsgröße mit der
Größe des von der zweiten Drucksensoreinrichtung (45)
gemessenen Gegendrucks zur Erzeugung eines zweiten
Drehzahländerungssignals für den zweiten Elektromotor
(43) und eine Drehzahlsteuereinrichtung (51) aufweist,
die auf das erste und zweite Drehzahländerungssignal
von dem ersten Komparator (47) bzw. zweiten Komparator
(48) anspricht, um die Drehzahlen des ersten Elektro
motors (42) bzw. des zweiten Elektromotors (43) zu
steuern.
6. Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die zwei
te Bezugsgrößenvorgabe in der Steuereinheit (46) von
1,3×102 bis 1,3×104 Pa reicht.
7. Verfahren zum Betreiben einer zweistufigen Vakuumpumpen
vorrichtung, welche eine eine erste Stufe bildende
Vakuumpumpe, die von einer Schraubenvakuumpumpe gebil
det wird und eine eine zweite Stufe bildende Vakuum
pumpe aufweist, die mit der Förderseite der die erste
Stufe bildenden Pumpe verbunden ist, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Vorrichtung so be
trieben wird, daß der Förderdruck der Schraubenvakuum
pumpe auf einem Wert gehalten wird, der von 1,3×102
bis 1,3×104 Pa reicht.
8. Verfahren zum Betreiben einer zweistufigen Vakuumpumpen
vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Drehzahl der die zweite
Stufe bildenden Vakuumpumpe so gesteuert wird, daß
der Gegendruck der die erste Stufe bildenden Vakuum
pumpe auf einer Größe gehalten wird, die von 1,3×102
bis 1,3×104 Pa reicht.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61085636A JPS62243982A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 2段型真空ポンプ装置およびその運転方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3711143A1 true DE3711143A1 (de) | 1987-10-15 |
DE3711143C2 DE3711143C2 (de) | 1992-02-13 |
Family
ID=13864316
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873711143 Granted DE3711143A1 (de) | 1986-04-14 | 1987-04-02 | Zweistufige vakuumpumpenvorrichtung |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8717934U Expired - Lifetime DE8717934U1 (de) | 1986-04-14 | 1987-04-02 | Zweistufige Vakuumpumpenvorrichtung |
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---|---|
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KR (1) | KR940008174B1 (de) |
DE (2) | DE3711143A1 (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0343914A1 (de) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | The Boc Group, Inc. | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums |
EP0373975A1 (de) * | 1988-12-16 | 1990-06-20 | Alcatel Cit | Pumpeneinheit für das Erreichen von Hochvakuum |
FR2647853A1 (fr) * | 1989-06-05 | 1990-12-07 | Cit Alcatel | Pompe primaire seche a deux etages |
EP0568567A1 (de) * | 1990-12-07 | 1993-11-10 | Cornell Research Foundation, Inc. | Vakuumregler |
EP1918585A3 (de) * | 2006-10-28 | 2009-12-02 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
WO2010052060A2 (de) * | 2008-11-08 | 2010-05-14 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zum betreiben einer ölgedichteten vakuumpumpe sowie ölgedichtete vakuumpumpe |
WO2010119121A3 (de) * | 2009-04-17 | 2011-10-06 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Grobpumpverfahren für eine verdrängerpumpe |
DE10130426B4 (de) * | 2001-06-23 | 2021-03-18 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpsystem |
US20230296096A1 (en) * | 2019-12-19 | 2023-09-21 | Leybold France S.A.S. | Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3721611A1 (de) * | 1987-06-30 | 1989-01-19 | Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh | Mechanische vakuumpumpe mit einer federbelasteten rueckschlagklappe |
GB8808608D0 (en) * | 1988-04-12 | 1988-05-11 | Boc Group Plc | Dry pump with booster |
JPH06505076A (ja) * | 1991-02-01 | 1994-06-09 | ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト | 乾式運転型の2軸式真空ポンプ |
JP2537712B2 (ja) * | 1991-07-10 | 1996-09-25 | 株式会社荏原製作所 | スクリュ―形真空ポンプ |
JPH0518382A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Ebara Corp | スクリユー形真空ポンプ |
DE4219268C2 (de) * | 1992-06-12 | 1994-06-09 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Anordnung zur Vakuumerzeugung |
JP3847357B2 (ja) * | 1994-06-28 | 2006-11-22 | 株式会社荏原製作所 | 真空系の排気装置 |
DE19809957A1 (de) * | 1998-03-07 | 1999-09-09 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Mehrwellenvakuumpumpe |
JP3929185B2 (ja) * | 1998-05-20 | 2007-06-13 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置及び方法 |
US6062827A (en) * | 1999-06-07 | 2000-05-16 | Shu; Wu-Shuan | Rotary pump |
BE1012944A3 (nl) * | 1999-10-26 | 2001-06-05 | Atlas Copco Airpower Nv | Meertraps-compressoreenheid en werkwijze voor het regelen van een der gelijke meertraps-compressoreenheid. |
JP2001207984A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-08-03 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空排気装置 |
GB2367332B (en) * | 2000-09-25 | 2003-12-03 | Compair Uk Ltd | Improvements in multi-stage screw compressor drive arrangements |
US6589023B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-08 | Applied Materials, Inc. | Device and method for reducing vacuum pump energy consumption |
JP3758550B2 (ja) * | 2001-10-24 | 2006-03-22 | アイシン精機株式会社 | 多段真空ポンプ |
US6638040B2 (en) * | 2001-12-31 | 2003-10-28 | Industrial Technology Research Institute | Dry vacuum pump |
JP2003343469A (ja) | 2002-03-20 | 2003-12-03 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
DE10225774C1 (de) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Vacuubrand Gmbh & Co Kg | Vakuumpumpe |
JP4578780B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2010-11-10 | 財団法人国際科学振興財団 | 真空ポンプ |
JP4218756B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2009-02-04 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置 |
DE102005042451B4 (de) * | 2005-09-06 | 2007-07-26 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Vakuumpumpvorrichtung |
US8021122B2 (en) * | 2008-07-24 | 2011-09-20 | Gatr Technologies | Inflation control apparatus for an inflatable object with two chambers |
DE202009003980U1 (de) * | 2009-03-24 | 2010-08-19 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Vakuumpumpe |
EP2458218A1 (de) * | 2010-11-30 | 2012-05-30 | Converteam Technology Ltd | System zur Aufrechterhaltung eines hohen Vakuums |
US11815095B2 (en) * | 2019-01-10 | 2023-11-14 | Elival Co., Ltd | Power saving vacuuming pump system based on complete-bearing-sealing and dry-large-pressure-difference root vacuuming root pumps |
FR3094762B1 (fr) * | 2019-04-05 | 2021-04-09 | Pfeiffer Vacuum | Pompe à vide de type sèche et installation de pompage |
KR102269911B1 (ko) * | 2019-07-05 | 2021-06-25 | 김태화 | 반도체 제조 장비용 펌프 백 스트림 방지 구조 |
CN110469484A (zh) * | 2019-09-15 | 2019-11-19 | 芜湖聚创新材料有限责任公司 | 一种工业用大型真空机系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1021531B (de) * | 1954-06-15 | 1957-12-27 | Leybolds Nachfolger E | Vakuum-Pumpenaggregat hoher volumetrischer Saugleistung |
US2936107A (en) * | 1956-06-14 | 1960-05-10 | Nat Res Corp | High vacuum device |
DE1728278A1 (de) * | 1968-04-16 | 1972-02-24 | Edwards High Vacuum Internat L | Mehrstufige mechanische Vakuumpumpe |
DE3514317A1 (de) * | 1984-04-20 | 1985-10-31 | Tokico Ltd., Kawasaki, Kanagawa | Vakuumpumpe |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2958455A (en) * | 1956-11-02 | 1960-11-01 | Nat Res Corp | High vacuum |
US3910731A (en) * | 1970-07-09 | 1975-10-07 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Screw rotor machine with multiple working spaces interconnected via communication channel in common end plate |
US3922110A (en) * | 1974-01-28 | 1975-11-25 | Henry Huse | Multi-stage vacuum pump |
DE2430314C3 (de) * | 1974-06-24 | 1982-11-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe mit vorgeschaltetem Verdichter |
US4068984A (en) * | 1974-12-03 | 1978-01-17 | H & H Licensing Corporation | Multi-stage screw-compressor with different tooth profiles |
US4283167A (en) * | 1979-04-26 | 1981-08-11 | Varian Associates, Inc. | Cooling structure for an oil sealed rotary vacuum pump |
DE3202993C2 (de) * | 1982-01-29 | 1986-07-10 | Aerzener Maschinenfabrik Gmbh, 3251 Aerzen | Drehkolbenverdichter |
US4523897A (en) * | 1982-06-11 | 1985-06-18 | Robinair Division | Two stage vacuum pump |
JPS5951190A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-24 | Hitachi Ltd | オイルフリ−スクリユ−圧縮機の油切り装置 |
JPS60147790U (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-01 | アイシン精機株式会社 | ル−ツ型ブロア |
JPH079239B2 (ja) * | 1984-04-11 | 1995-02-01 | 株式会社日立製作所 | スクリュー真空ポンプ |
JPH0631627B2 (ja) * | 1984-07-25 | 1994-04-27 | 株式会社日立製作所 | 回転容積形真空ポンプ装置 |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61085636A patent/JPS62243982A/ja active Pending
-
1987
- 1987-03-16 US US07/025,977 patent/US4770609A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-04-02 DE DE19873711143 patent/DE3711143A1/de active Granted
- 1987-04-02 DE DE8717934U patent/DE8717934U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-04-13 KR KR1019870003507A patent/KR940008174B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1021531B (de) * | 1954-06-15 | 1957-12-27 | Leybolds Nachfolger E | Vakuum-Pumpenaggregat hoher volumetrischer Saugleistung |
US2936107A (en) * | 1956-06-14 | 1960-05-10 | Nat Res Corp | High vacuum device |
DE1728278A1 (de) * | 1968-04-16 | 1972-02-24 | Edwards High Vacuum Internat L | Mehrstufige mechanische Vakuumpumpe |
DE3514317A1 (de) * | 1984-04-20 | 1985-10-31 | Tokico Ltd., Kawasaki, Kanagawa | Vakuumpumpe |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0343914A1 (de) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | The Boc Group, Inc. | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums |
EP0373975A1 (de) * | 1988-12-16 | 1990-06-20 | Alcatel Cit | Pumpeneinheit für das Erreichen von Hochvakuum |
FR2640697A1 (fr) * | 1988-12-16 | 1990-06-22 | Cit Alcatel | Ensemble de pompage pour l'obtention de vides eleves |
WO1990007061A1 (fr) * | 1988-12-16 | 1990-06-28 | Alcatel Cit | Ensemble de pompage pour l'obtention de vides eleves |
FR2647853A1 (fr) * | 1989-06-05 | 1990-12-07 | Cit Alcatel | Pompe primaire seche a deux etages |
EP0401741A1 (de) * | 1989-06-05 | 1990-12-12 | Alcatel Cit | Zweistufige Trockenprimärpumpe |
US5040949A (en) * | 1989-06-05 | 1991-08-20 | Alcatel Cit | Two stage dry primary pump |
EP0568567A4 (de) * | 1990-12-07 | 1994-10-19 | Cornell Res Foundation Inc | Steuerung des vakuumgrades mit einem zweistufigen vakuumsteuersystem und antrieb mit einstellbarer drehzahl. |
EP0568567A1 (de) * | 1990-12-07 | 1993-11-10 | Cornell Research Foundation, Inc. | Vakuumregler |
DE10130426B4 (de) * | 2001-06-23 | 2021-03-18 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpsystem |
EP1918585A3 (de) * | 2006-10-28 | 2009-12-02 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102006050943B4 (de) * | 2006-10-28 | 2020-04-16 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb derselben |
WO2010052060A2 (de) * | 2008-11-08 | 2010-05-14 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zum betreiben einer ölgedichteten vakuumpumpe sowie ölgedichtete vakuumpumpe |
WO2010052060A3 (de) * | 2008-11-08 | 2010-07-29 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zum betreiben einer ölgedichteten vakuumpumpe sowie ölgedichtete vakuumpumpe |
WO2010119121A3 (de) * | 2009-04-17 | 2011-10-06 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Grobpumpverfahren für eine verdrängerpumpe |
US9017040B2 (en) | 2009-04-17 | 2015-04-28 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Roughing pump method for a positive displacement pump |
US20230296096A1 (en) * | 2019-12-19 | 2023-09-21 | Leybold France S.A.S. | Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE8717934U1 (de) | 1991-05-08 |
KR870010320A (ko) | 1987-11-30 |
DE3711143C2 (de) | 1992-02-13 |
JPS62243982A (ja) | 1987-10-24 |
KR940008174B1 (ko) | 1994-09-07 |
US4770609A (en) | 1988-09-13 |
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---|---|---|
DE3711143A1 (de) | Zweistufige vakuumpumpenvorrichtung | |
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DE3123736C2 (de) | ||
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DE3822401C2 (de) | ||
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