JP2537712B2 - スクリュ―形真空ポンプ - Google Patents
スクリュ―形真空ポンプInfo
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- JP2537712B2 JP2537712B2 JP3195943A JP19594391A JP2537712B2 JP 2537712 B2 JP2537712 B2 JP 2537712B2 JP 3195943 A JP3195943 A JP 3195943A JP 19594391 A JP19594391 A JP 19594391A JP 2537712 B2 JP2537712 B2 JP 2537712B2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスクリュー形真空ポンプ
に関し、特にスクリュー形真空ポンプの起動時や大気引
き時の負荷を低減できるスクリュー形真空ポンプに関す
るものである。
に関し、特にスクリュー形真空ポンプの起動時や大気引
き時の負荷を低減できるスクリュー形真空ポンプに関す
るものである。
【０００２】
【従来技術】従来、平行な２軸の回りを互いに噛み合っ
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロ
ータを収納するケーシングとを具備し、該ケーシング
は、吸込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー
形真空ポンプがある。該スクリュー形真空ポンプの作用
は、吸込ポートからロータ内へ気体を吸入する吸込過程
と、ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程と、吐出ポー
トから気体を吐出する吐出過程とからなっている。
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロ
ータを収納するケーシングとを具備し、該ケーシング
は、吸込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー
形真空ポンプがある。該スクリュー形真空ポンプの作用
は、吸込ポートからロータ内へ気体を吸入する吸込過程
と、ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程と、吐出ポー
トから気体を吐出する吐出過程とからなっている。
【０００３】上記構成のスクリュー形真空ポンプにおい
て、高い真空度を得るためには、内部容積比を大きく
し、即ち前記圧縮比を大きくした方が有利であるが、起
動時や定常運転時にチャンバー内の大気圧の気体を排除
する場合に、過大な動力を必要とする。従来、これに対
処するため下記の対策がとられていた。 （１）吸込配管に絞り抵抗をつけポンプに吸込む気体の
圧力を下げる方法。 （２）高圧となる歯溝に気体逃がし機構を設ける方法。 （３）インバータ等を用いて回転数を下げる方法。 （４）容量の大きなモータを使用する方法。
て、高い真空度を得るためには、内部容積比を大きく
し、即ち前記圧縮比を大きくした方が有利であるが、起
動時や定常運転時にチャンバー内の大気圧の気体を排除
する場合に、過大な動力を必要とする。従来、これに対
処するため下記の対策がとられていた。 （１）吸込配管に絞り抵抗をつけポンプに吸込む気体の
圧力を下げる方法。 （２）高圧となる歯溝に気体逃がし機構を設ける方法。 （３）インバータ等を用いて回転数を下げる方法。 （４）容量の大きなモータを使用する方法。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記
（１）乃至（４）の従来の方法には下記のように欠点が
ある。上記（１）の方法は排気速度が小さくなりチャン
バー内の排気に時間がかかる。（２）の方法はコストア
ップ及び信頼性に欠ける。（３）のインバータ等で回転
数を下げる方法はインバータ等を必要とするためコスト
アップになる。（４）の容量の大きいモータを使用する
方法はコンパクト性に欠けると同時にコストアップにな
る。
（１）乃至（４）の従来の方法には下記のように欠点が
ある。上記（１）の方法は排気速度が小さくなりチャン
バー内の排気に時間がかかる。（２）の方法はコストア
ップ及び信頼性に欠ける。（３）のインバータ等で回転
数を下げる方法はインバータ等を必要とするためコスト
アップになる。（４）の容量の大きいモータを使用する
方法はコンパクト性に欠けると同時にコストアップにな
る。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、起動時や大気引き時のスクリュー形真空ポンプの負
荷を低減することができ、且つ高い真空度が得られるス
クリュー形真空ポンプを提供することを目的とする。
で、起動時や大気引き時のスクリュー形真空ポンプの負
荷を低減することができ、且つ高い真空度が得られるス
クリュー形真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを具備し、該ケーシングは、吸込ポ
ート及び吐出ポートを備えているスクリュー形真空ポン
プにおいて、吸込ポートがケーシング及び雌雄ロータで
形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を該歯溝
容積が最大となる以前のロータ回転角に形成すると共
に、気体を閉じ込んだ直後の前記ケーシング及び雌雄ロ
ータで形成される歯溝容積をＶ1とし、吐出直前の歯溝
容積をＶ2とした場合、Ｖ1／Ｖ2が１.５乃至０.５１に
なるように前記吐出ポートを形成したことを特徴とす
る。
本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを具備し、該ケーシングは、吸込ポ
ート及び吐出ポートを備えているスクリュー形真空ポン
プにおいて、吸込ポートがケーシング及び雌雄ロータで
形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を該歯溝
容積が最大となる以前のロータ回転角に形成すると共
に、気体を閉じ込んだ直後の前記ケーシング及び雌雄ロ
ータで形成される歯溝容積をＶ1とし、吐出直前の歯溝
容積をＶ2とした場合、Ｖ1／Ｖ2が１.５乃至０.５１に
なるように前記吐出ポートを形成したことを特徴とす
る。
【０００７】前記構成のスクリュー形真空ポンプを直列
に多段に組合せたことを特徴とする。
に多段に組合せたことを特徴とする。
【０００８】後段のスクリュー形真空ポンプの排気速度
を前段の排気速度と略同じか又は大きくしたこと特徴と
する。
を前段の排気速度と略同じか又は大きくしたこと特徴と
する。
【０００９】
【作用】大気引き時の動力低減のためには、圧縮比を１
にしてやれば良い。しかしながら従来のやり方では、吸
込ポートの閉じ込み位置が歯溝容積最大となる位置にし
ているため圧縮比を小さくすると吸込ポートと吐出ポー
トの間にある溝の数が少なくなり、吸込側への漏れが大
きくなり到達真空度が悪くなる。これに対して吸込ポー
トを早く閉じてやれば閉じ込んだ体積Ｖ1が小さいため
圧縮比１の前後（１.５乃至０.５１）にすると吐出ポー
トに開口する直前の溝体積も小さくなるので吐出ポート
に開口する時期を遅らせことができる。従って圧縮比が
１の前後にもかかわらず吐出ポートと吸込ポートとの間
に多数の溝が存在するので高い到達真空度を得ることが
できる。
にしてやれば良い。しかしながら従来のやり方では、吸
込ポートの閉じ込み位置が歯溝容積最大となる位置にし
ているため圧縮比を小さくすると吸込ポートと吐出ポー
トの間にある溝の数が少なくなり、吸込側への漏れが大
きくなり到達真空度が悪くなる。これに対して吸込ポー
トを早く閉じてやれば閉じ込んだ体積Ｖ1が小さいため
圧縮比１の前後（１.５乃至０.５１）にすると吐出ポー
トに開口する直前の溝体積も小さくなるので吐出ポート
に開口する時期を遅らせことができる。従って圧縮比が
１の前後にもかかわらず吐出ポートと吸込ポートとの間
に多数の溝が存在するので高い到達真空度を得ることが
できる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２及び図３は本発明のスクリュー形真空ポンプ
の構造を示す図で、図２は側断面図、図３は雄ロータと
雌ロータの軸に直交する断面図である。本スクリュー形
真空ポンプが主ケーシング１と吐出ケーシング２とで形
成される空間には、雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが、そ
れぞれ軸受け５ａ，５ｂにより回転自在に支持され、軸
シール６ａ，６ｂにより軸受５ａ，５ｂの潤滑油からシ
ールされている。
する。図２及び図３は本発明のスクリュー形真空ポンプ
の構造を示す図で、図２は側断面図、図３は雄ロータと
雌ロータの軸に直交する断面図である。本スクリュー形
真空ポンプが主ケーシング１と吐出ケーシング２とで形
成される空間には、雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが、そ
れぞれ軸受け５ａ，５ｂにより回転自在に支持され、軸
シール６ａ，６ｂにより軸受５ａ，５ｂの潤滑油からシ
ールされている。
【００１１】一方、例えば雄ロータ７は、図示しない変
速装置を介して図示しない電動機により回転され、雌ロ
ータ７Ａはタイミングギヤ１０により雄ロータ７と微小
間隔を保って回転されるようになっている。
速装置を介して図示しない電動機により回転され、雌ロ
ータ７Ａはタイミングギヤ１０により雄ロータ７と微小
間隔を保って回転されるようになっている。
【００１２】吸込口８ａから吸込まれた気体は、吸込ポ
ート８ｂを通り主ケーシング１と両ロータ７、７Ａとで
形成された歯溝空間に吸入され、後述のように圧縮過程
及び膨張過程を経て吐出ポート９ｂを介して吐出口９ａ
から吐出されるようになっている。なお、図中の符号３
はギヤカバー、４はカバーである。
ート８ｂを通り主ケーシング１と両ロータ７、７Ａとで
形成された歯溝空間に吸入され、後述のように圧縮過程
及び膨張過程を経て吐出ポート９ｂを介して吐出口９ａ
から吐出されるようになっている。なお、図中の符号３
はギヤカバー、４はカバーである。
【００１３】図１は雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが噛み
合っている状態をロータの周方向に展開した図である。
図１において、Ａ１〜Ｇ１とＡ２〜Ｇ２とは、それぞれ
ロータ７，７Ａの対向する歯溝であり、歯溝Ｄ１、Ｄ２
は歯溝容積が最大となる溝である。従来例では、吸込ポ
ート８ｂの閉じ込み位置を歯溝容積最大となる位置とし
ているため、内部容積比（気体を閉じ込んだ直後のケー
シング及び雌雄ロータで形成される歯溝容積をＶ1とし
吐出直前の歯溝容積Ｖ2とした場合のＶ1／Ｖ2を指す）
を小さくすると、吸込ポートと吐出ポートの間にある溝
数が少なくなる。即ち吸込ポート８ｂが閉じるポイント
は３０ａ，３０ｂ、吐出ポート９ｂが開くポイント１０
ａ，１０ｂとなり、吐出ポート９ｂと吸込ポート８ｂの
間に歯溝Ｄ１、Ｄ２の１溝しか存在しない。従って吸込
側への漏れが大きく到達真空度が悪い。
合っている状態をロータの周方向に展開した図である。
図１において、Ａ１〜Ｇ１とＡ２〜Ｇ２とは、それぞれ
ロータ７，７Ａの対向する歯溝であり、歯溝Ｄ１、Ｄ２
は歯溝容積が最大となる溝である。従来例では、吸込ポ
ート８ｂの閉じ込み位置を歯溝容積最大となる位置とし
ているため、内部容積比（気体を閉じ込んだ直後のケー
シング及び雌雄ロータで形成される歯溝容積をＶ1とし
吐出直前の歯溝容積Ｖ2とした場合のＶ1／Ｖ2を指す）
を小さくすると、吸込ポートと吐出ポートの間にある溝
数が少なくなる。即ち吸込ポート８ｂが閉じるポイント
は３０ａ，３０ｂ、吐出ポート９ｂが開くポイント１０
ａ，１０ｂとなり、吐出ポート９ｂと吸込ポート８ｂの
間に歯溝Ｄ１、Ｄ２の１溝しか存在しない。従って吸込
側への漏れが大きく到達真空度が悪い。
【００１４】これに対して、本発明において吸込ポート
８ｂを早く閉じてやれば閉じ込んだ歯溝容積Ｖ1が小さ
いため、内部容積比１にすると吐出ポート９ｂに開口す
る直前の歯溝容積Ｖ2も小さくできるので吐出ポート９
ｂに開口する時期を遅らせことができる。従って内部容
積比１にもかかわらず吐出ポート９ｂと吸込ポート８ｂ
との間に多数の溝が存在するので、高い到達真空度を得
ることができる。具体的に説明すると吸込ポート８ｂの
閉じるポイントは３１ａ，３１ｂ、吐出ポート９ｂの開
くポイントは１１ａ，１１ｂ、その間には歯溝Ｃ２−Ｃ
１，Ｄ２−Ｄ１，Ｅ２−Ｅ１，Ｆ２−Ｆ１があり、吐出
から吸込への漏れが防止できる。
８ｂを早く閉じてやれば閉じ込んだ歯溝容積Ｖ1が小さ
いため、内部容積比１にすると吐出ポート９ｂに開口す
る直前の歯溝容積Ｖ2も小さくできるので吐出ポート９
ｂに開口する時期を遅らせことができる。従って内部容
積比１にもかかわらず吐出ポート９ｂと吸込ポート８ｂ
との間に多数の溝が存在するので、高い到達真空度を得
ることができる。具体的に説明すると吸込ポート８ｂの
閉じるポイントは３１ａ，３１ｂ、吐出ポート９ｂの開
くポイントは１１ａ，１１ｂ、その間には歯溝Ｃ２−Ｃ
１，Ｄ２−Ｄ１，Ｅ２−Ｅ１，Ｆ２−Ｆ１があり、吐出
から吸込への漏れが防止できる。
【００１５】次に、主として図４を参照して本発明の動
作作用を説明する。図４において、雄ロータ７の回転角
ψに対する歯溝容積Ｖψの変化が示されている。また、
Ｐａは大気圧、一点鎖線は本発明の歯溝内の圧力変化を
示し、実線は従来の歯溝内の圧力変化を示している。図
１の３１ａ，３１ｂは雄ロータ回転角ψ1の点、１１
ａ，１１ｂは雄ロータ回転角ψ3の点、３０ａ，３０ｂ
は雄ロータ回転角ψ2の点、１０ａ，１０ｂは雄ロータ
回転角ψ2の点をそれぞれ示す。
作作用を説明する。図４において、雄ロータ７の回転角
ψに対する歯溝容積Ｖψの変化が示されている。また、
Ｐａは大気圧、一点鎖線は本発明の歯溝内の圧力変化を
示し、実線は従来の歯溝内の圧力変化を示している。図
１の３１ａ，３１ｂは雄ロータ回転角ψ1の点、１１
ａ，１１ｂは雄ロータ回転角ψ3の点、３０ａ，３０ｂ
は雄ロータ回転角ψ2の点、１０ａ，１０ｂは雄ロータ
回転角ψ2の点をそれぞれ示す。
【００１６】従来の場合は、歯溝容積Ｖψが増加する
間、即ち回転角ψ0〜ψ2の間は、歯溝が吸込ポート８ｂ
に連通し、気体が吸入される。次に、歯溝容積Ｖψが最
大値Ｖｍａｘとなる付近の回転角ψ2では、それらの歯
溝に対する吸込ポート８ｂが閉じ、圧縮比が１より大き
い場合は所定の歯溝内圧力Ｐになる回転角ψ3までの間
は、歯溝容積Ｖψが減少し、歯溝内の気体が圧縮され
る。そして、回転角ψ3で歯溝が吐出ポート９ｂに連通
し、歯溝内の気体が吐出圧力（大気圧）Ｐａで吐出され
る。
間、即ち回転角ψ0〜ψ2の間は、歯溝が吸込ポート８ｂ
に連通し、気体が吸入される。次に、歯溝容積Ｖψが最
大値Ｖｍａｘとなる付近の回転角ψ2では、それらの歯
溝に対する吸込ポート８ｂが閉じ、圧縮比が１より大き
い場合は所定の歯溝内圧力Ｐになる回転角ψ3までの間
は、歯溝容積Ｖψが減少し、歯溝内の気体が圧縮され
る。そして、回転角ψ3で歯溝が吐出ポート９ｂに連通
し、歯溝内の気体が吐出圧力（大気圧）Ｐａで吐出され
る。
【００１７】この回転角ψ0〜ψ3間の従来の歯溝内圧力
Ｐの変化は、ある歯溝に対して吸込ポート８ｂが閉じた
回転角ψ2直後から該歯溝内圧Ｐは、吸込圧力Ｐ０より
増加しているので、吸込側への気体の漏洩が生じること
になる。また、圧縮比が１の場合は圧縮変化はＰ0→Ｐ0
1→Ｐ2となり吸込側への気体の漏洩はさらに大きくな
る。
Ｐの変化は、ある歯溝に対して吸込ポート８ｂが閉じた
回転角ψ2直後から該歯溝内圧Ｐは、吸込圧力Ｐ０より
増加しているので、吸込側への気体の漏洩が生じること
になる。また、圧縮比が１の場合は圧縮変化はＰ0→Ｐ0
1→Ｐ2となり吸込側への気体の漏洩はさらに大きくな
る。
【００１８】これに対して本発明においては、歯溝容積
Ｖψが最大値Ｖｍａｘになる以前の回転角ψ1で、歯溝
Ｃ１，Ｃ２に対して吸込ポート８ｂが閉じ、該歯溝Ｃ
１，Ｃ２と吸込側とを遮断するので、回転角ψ1〜ψ2の
間は、歯溝容積Ｖψの増大に伴い歯溝内圧力Ｐ１は、一
点鎖線で示す圧力Ｐ１ａのように減少する。そして、圧
縮過程が始まって圧縮比が１の場合、歯溝容積Ｖψが回
転角ψ1での歯溝容積Ｖψ1と略等しくなる回転角ψ3ま
での間は、歯溝内圧力Ｐ1は、吸込圧力Ｐ０より低い圧
力Ｐ１ｂに保たれる。従って、吸込ポートへ気体の漏洩
が防止できる。このように、歯溝内の圧力上昇がないの
で、昇華性のプロセスガスを排気する場合でも、歯溝内
で該ガスが固体化する可能性が少なく、真空ポンプの信
頼性が向上するという効果がある。
Ｖψが最大値Ｖｍａｘになる以前の回転角ψ1で、歯溝
Ｃ１，Ｃ２に対して吸込ポート８ｂが閉じ、該歯溝Ｃ
１，Ｃ２と吸込側とを遮断するので、回転角ψ1〜ψ2の
間は、歯溝容積Ｖψの増大に伴い歯溝内圧力Ｐ１は、一
点鎖線で示す圧力Ｐ１ａのように減少する。そして、圧
縮過程が始まって圧縮比が１の場合、歯溝容積Ｖψが回
転角ψ1での歯溝容積Ｖψ1と略等しくなる回転角ψ3ま
での間は、歯溝内圧力Ｐ1は、吸込圧力Ｐ０より低い圧
力Ｐ１ｂに保たれる。従って、吸込ポートへ気体の漏洩
が防止できる。このように、歯溝内の圧力上昇がないの
で、昇華性のプロセスガスを排気する場合でも、歯溝内
で該ガスが固体化する可能性が少なく、真空ポンプの信
頼性が向上するという効果がある。
【００１９】これまでは説明を簡単にするために歯溝間
での気体の漏れを無視したが、実際は雌雄ロータの噛み
合い部やロータとケーシング間には微少な隙間があるの
で、吐出側から歯溝内へ気体の漏れ込みがあり、実際の
圧縮比が１以上になる。従って、設計圧縮比は気体の漏
れ込みを考慮して１以下にしても良い。また、逆に駆動
機の容量に余裕のある場合は、圧縮比を大きくして吐出
ポートに開くタイミングを遅くし、吸込、吐出ポート間
の歯溝の数を増やすようにしてもよい。
での気体の漏れを無視したが、実際は雌雄ロータの噛み
合い部やロータとケーシング間には微少な隙間があるの
で、吐出側から歯溝内へ気体の漏れ込みがあり、実際の
圧縮比が１以上になる。従って、設計圧縮比は気体の漏
れ込みを考慮して１以下にしても良い。また、逆に駆動
機の容量に余裕のある場合は、圧縮比を大きくして吐出
ポートに開くタイミングを遅くし、吸込、吐出ポート間
の歯溝の数を増やすようにしてもよい。
【００２０】なお、上記実施例では一台のスクリュー真
空ポンプの例を示したが、上記構成のスクリューポンプ
を複数台用意し、その上流側ポンプの吐出口９ａに下流
側ポンプの吸込口を接続管で接続して該複数台のスクリ
ュー真空ポンプを直列に接続した構成、所謂多段形とし
てもよい。この場合、後段のスクリュー形真空ポンプの
排気速度を前段の排気速度と略同じか又は大きくしする
ことにより、大気引き時等に際して、前段真空ポンプと
後段真空ポンプの間で気体が圧縮される等の現象が無
く、負荷を軽減できると共に、より高い到達真空度が得
られる。
空ポンプの例を示したが、上記構成のスクリューポンプ
を複数台用意し、その上流側ポンプの吐出口９ａに下流
側ポンプの吸込口を接続管で接続して該複数台のスクリ
ュー真空ポンプを直列に接続した構成、所謂多段形とし
てもよい。この場合、後段のスクリュー形真空ポンプの
排気速度を前段の排気速度と略同じか又は大きくしする
ことにより、大気引き時等に際して、前段真空ポンプと
後段真空ポンプの間で気体が圧縮される等の現象が無
く、負荷を軽減できると共に、より高い到達真空度が得
られる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の発
明によれば、吸込ポートがケーシング及び雌雄ロータで
形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を該歯溝
容積が最大となる以前のロータ回転角に形成すると共
に、気体を閉じ込んだ直後の前記ケーシング及び雌雄ロ
ータで形成される歯溝容積Ｖ １ と吐出直前の歯溝容積Ｖ
２ の比Ｖ １ ／Ｖ ２ を略１になるように吐出ポートを形成
することにより、下記のような優れた効果が得られる。（１）大気圧近傍での軸動力をできる限り低く抑えるこ
とができるから大気引き時の動力の低減が可能であり、
且つ出力ポートと吸込ポートとの間に多数の溝が存在す
るから高い到達真空度を得ることができる。 （２）歯溝内の圧力上昇がなく、昇華性のプロセスガス
を排気する場合でも、歯溝内で該ガスが固体化する可能
性が少なく、真空ポンプの信頼性が向上する。
明によれば、吸込ポートがケーシング及び雌雄ロータで
形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を該歯溝
容積が最大となる以前のロータ回転角に形成すると共
に、気体を閉じ込んだ直後の前記ケーシング及び雌雄ロ
ータで形成される歯溝容積Ｖ １ と吐出直前の歯溝容積Ｖ
２ の比Ｖ １ ／Ｖ ２ を略１になるように吐出ポートを形成
することにより、下記のような優れた効果が得られる。（１）大気圧近傍での軸動力をできる限り低く抑えるこ
とができるから大気引き時の動力の低減が可能であり、
且つ出力ポートと吸込ポートとの間に多数の溝が存在す
るから高い到達真空度を得ることができる。 （２）歯溝内の圧力上昇がなく、昇華性のプロセスガス
を排気する場合でも、歯溝内で該ガスが固体化する可能
性が少なく、真空ポンプの信頼性が向上する。
【００２２】（３）また、請求項２に記載の発明によれ
ば、固有圧力比Ｖ １ ／Ｖ ２ を略１とするスクリューポン
プを多段とするから、大気引きの場合でも軸動力の顕著
な増大はなく、特別な手段を付加することなく、起動す
ることができる。
ば、固有圧力比Ｖ １ ／Ｖ ２ を略１とするスクリューポン
プを多段とするから、大気引きの場合でも軸動力の顕著
な増大はなく、特別な手段を付加することなく、起動す
ることができる。
【００２３】（４）また、請求項３に記載の発明によれ
ば、後段のスクリュー形真空ポンプの排気速度を前段の
排気速度と略同じか又は大きくしたので、軸動力の増大
を防止できる。
ば、後段のスクリュー形真空ポンプの排気速度を前段の
排気速度と略同じか又は大きくしたので、軸動力の増大
を防止できる。
【００２４】（３）また、圧縮比を略１にすることによ
り、大気引き時の動力の低減が可能となる。
り、大気引き時の動力の低減が可能となる。
【図１】雄ロータと雌ロータとが噛み合っている状態を
ロータの周方向に展開した図である。
ロータの周方向に展開した図である。
【図２】本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を示す
側断面図である。
側断面図である。
【図３】本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を示す
雄ロータと雌ロータの軸に直交する断面図である。
雄ロータと雌ロータの軸に直交する断面図である。
【図４】本発明のスクリュー形真空ポンプの雄ロータの
回転角に対する歯溝容積の変化状態を示す図である。
回転角に対する歯溝容積の変化状態を示す図である。
Ａ１〜Ｇ１ 歯溝 Ａ２〜Ｇ２ 歯溝 Ｖψ 歯溝容積 ψ ロータ回転角 １ 主ケーシング ２ 吐出ケーシング ３ ギヤカバー ４ カバー ５ａ，５ｂ 軸受 ６ａ，６ｂ 軸シール ７ 雄ロータ ７Ａ 雌ロータ ８ａ 吸込口 ８ｂ 吸込ポート ９ａ 吐出口 ９ｂ 吐出ポート １０ タイミングギヤ
Claims (3)
- 【請求項１】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回
転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータ
を収納するケーシングとを具備し、該ケーシングは、吸
込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー形真空
ポンプにおいて、 吸込ポートがケーシング及び雌雄ロータで形成される歯
溝容積を閉じ込めるロータ回転角を該歯溝容積が最大と
なる以前のロータ回転角に形成すると共に、気体を閉じ
込んだ直後の前記ケーシング及び雌雄ロータで形成され
る歯溝容積をＶ1とし、吐出直前の歯溝容積をＶ2とした
場合、Ｖ1／Ｖ2が略１になるように前記吐出ポートを形
成したことを特徴とするスクリュー形真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記請求項１に記載のスクリュー形真空
ポンプを直列に多段に組合せたことを特徴とするスクリ
ュー形真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記請求項２に記載のスクリュー形真空
ポンプにおいて、後段のスクリュー形真空ポンプの排気
速度を前段の排気速度と略同じか又は大きくしたことを
特徴とするスクリュー形真空ポンプ。
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|---|---|---|---|
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Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
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| DE10040020A1 (de) * | 2000-08-16 | 2002-03-07 | Bitzer Kuehlmaschinenbau Gmbh | Schraubenverdichter |
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| DE102013102031B4 (de) * | 2013-03-01 | 2016-05-12 | Netzsch Pumpen & Systeme Gmbh | Aus wenigstens zwei Teilen gebildete Schraubenspindelpumpe |
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Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US3151806A (en) * | 1962-09-24 | 1964-10-06 | Joseph E Whitfield | Screw type compressor having variable volume and adjustable compression |
| US4068984A (en) * | 1974-12-03 | 1978-01-17 | H & H Licensing Corporation | Multi-stage screw-compressor with different tooth profiles |
| US4220197A (en) * | 1979-01-02 | 1980-09-02 | Dunham-Bush, Inc. | High speed variable delivery helical screw compressor/expander automotive air conditioning and waste heat energy _recovery system |
| JPS61152990A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-11 | Hitachi Ltd | スクリユ−真空ポンプ |
| JPH079239B2 (ja) * | 1984-04-11 | 1995-02-01 | 株式会社日立製作所 | スクリュー真空ポンプ |
| JPS61223295A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-03 | Hitachi Ltd | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ |
| JPS61234290A (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-18 | Hitachi Ltd | 多段スクリユ−真空ポンプ装置 |
| US4667646A (en) * | 1986-01-02 | 1987-05-26 | Shaw David N | Expansion compression system for efficient power output regulation of internal combustion engines |
| JPS62243982A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-24 | Hitachi Ltd | ２段型真空ポンプ装置およびその運転方法 |
| JPS62284994A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-10 | Hitachi Ltd | 多段スクリユ−真空ポンプ起動法 |
| GB8617612D0 (en) * | 1986-07-18 | 1986-08-28 | Peabody Holmes Ltd | Gas moving device |
| JPH022948A (ja) * | 1988-06-14 | 1990-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | コネクタ装着検出回路 |
| JPH027268A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-11 | Hitachi Ltd | Ｐｃｍ記録再生装置 |
| JPH0278783A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Hitachi Ltd | スクリユー真空ポンプ |
| JPH02146288A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-05 | Ebara Corp | 内部圧縮を持つ容積型圧縮機 |
| JPH07111184B2 (ja) * | 1988-12-05 | 1995-11-29 | 株式会社荏原製作所 | スクリュ−圧縮機 |
-
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11225787B2 (en) | 2018-06-06 | 2022-01-18 | Simpson Strong-Tie Company, Inc. | Drywall spacing joist hanger |
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