JPS62247193A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS62247193A JPS62247193A JP8967486A JP8967486A JPS62247193A JP S62247193 A JPS62247193 A JP S62247193A JP 8967486 A JP8967486 A JP 8967486A JP 8967486 A JP8967486 A JP 8967486A JP S62247193 A JPS62247193 A JP S62247193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge port
- open area
- vacuum pump
- pressure
- opening portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 16
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/10—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by changing the positions of the inlet or outlet openings with respect to the working chamber
- F04C28/14—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by changing the positions of the inlet or outlet openings with respect to the working chamber using rotating valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、１対のロータがｔｌ！働して回転することに
より気体を吸引、圧１ｉ（９排気を行なう真空ポンプの
改良に関する。
より気体を吸引、圧１ｉ（９排気を行なう真空ポンプの
改良に関する。
（従来の技術）
従来、真空ポンプの一例として、ケーシング内で、雄ロ
ータと雌ロータとを回転させて被真空体（真空ポンプに
よって内部を真空にされるもの）から気体を吸入し、さ
らに、吸い込んだ気体を前記ロータの中間部でスクリュ
ー歯間の圧縮空間により圧縮し、該圧縮空間が吐出側で
吐出ポートに開口する毎に圧縮気体を吐出ポートから吐
出させるようにしたスクリュ一式のものがある。
ータと雌ロータとを回転させて被真空体（真空ポンプに
よって内部を真空にされるもの）から気体を吸入し、さ
らに、吸い込んだ気体を前記ロータの中間部でスクリュ
ー歯間の圧縮空間により圧縮し、該圧縮空間が吐出側で
吐出ポートに開口する毎に圧縮気体を吐出ポートから吐
出させるようにしたスクリュ一式のものがある。
この種の真空ポンプでは圧縮比（到達圧力）に応じて吐
出ポートの開口部の開口面積は一定の大きさで設定され
ている。
出ポートの開口部の開口面積は一定の大きさで設定され
ている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上述の真空ポンプにおいて、運転開始時
には、被真空体から大気圧状態の気体を吸引するために
、圧縮比が最大となり、ロータを回転させるモータ等の
駆動源に大きな負荷が作用することになる。そのため、
この負荷により駆動源の故障を招いたり、寿命を短くし
たりするという問題点があった。
には、被真空体から大気圧状態の気体を吸引するために
、圧縮比が最大となり、ロータを回転させるモータ等の
駆動源に大きな負荷が作用することになる。そのため、
この負荷により駆動源の故障を招いたり、寿命を短くし
たりするという問題点があった。
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたもので、その
目的は、真空ポンプの始動時の圧縮比を低く押えるよう
にすることにある。
目的は、真空ポンプの始動時の圧縮比を低く押えるよう
にすることにある。
（問題点を解決するための手段）
以上の問題点を解決し、前記目的を達成する手段として
、吸入側に圧力センサーを設け、吐出側には設定された
開口面積より大きい開口部を右する吐出ポートを形成し
、該開口部に、設定された開口面積よりも拡大可能なシ
ャッターを１没け、前記圧力センサーの検出圧力により
前記シャッターに拡開作動をさせる制ｇ＃機構を設けて
なるものである。
、吸入側に圧力センサーを設け、吐出側には設定された
開口面積より大きい開口部を右する吐出ポートを形成し
、該開口部に、設定された開口面積よりも拡大可能なシ
ャッターを１没け、前記圧力センサーの検出圧力により
前記シャッターに拡開作動をさせる制ｇ＃機構を設けて
なるものである。
（作用）
以」二の構成とすると、次のように作用する。
真空ポンプの始動時に吸入側の圧力センサーか所定の高
圧（大気圧等）を検知すると制御機構が指令を出し、吐
出ポートの開口部の開口面積を設定された面積よりも大
きくするようにシャッターに拡開作動をさせる。
圧（大気圧等）を検知すると制御機構が指令を出し、吐
出ポートの開口部の開口面積を設定された面積よりも大
きくするようにシャッターに拡開作動をさせる。
このように、始動時に高圧の気体を吸入するときに吐出
ポートの開口面積を犬きくすることにより、吸い込んだ
気体を圧縮する一対のロータのスクリュー歯間に形成さ
れている圧縮空間の吐出ポートの開口部に通じるタイミ
ングが早くなるため最大圧縮比が小さくなる。
ポートの開口面積を犬きくすることにより、吸い込んだ
気体を圧縮する一対のロータのスクリュー歯間に形成さ
れている圧縮空間の吐出ポートの開口部に通じるタイミ
ングが早くなるため最大圧縮比が小さくなる。
（実施例）
次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本実施例の真空ポンプｌの横断面図を示し、
ｔ５２図は、第１図のＸ方向から視た吐出ポート２の拡
大図を示したものである。
ｔ５２図は、第１図のＸ方向から視た吐出ポート２の拡
大図を示したものである。
真空ポンプｌは、筒状のケーシング３の両端を吸込側の
カバー４と吐出側のカバー５とで覆った真空室６の内部
に、ベアリング７．８．９で輔１０．Ｉｔの部分を回転
自在に支持された雄ロータ１２および雌ロータ１３で大
略構成される。
カバー４と吐出側のカバー５とで覆った真空室６の内部
に、ベアリング７．８．９で輔１０．Ｉｔの部分を回転
自在に支持された雄ロータ１２および雌ロータ１３で大
略構成される。
吸込側カバ−４には、吸込口４ａが設けられてあって、
図示しない被真空体と真空室６とを連通している。吐出
側のカバー５内にはモータ等の駆動源の駆動軸１４に電
磁クラッチ１５を介して輔ｌＯが結合しており、さらに
、軸１０と軸１１とは雄ロータ１２と雌ロータ１３を同
調させるためのタイミングギヤ１６により連結されてい
る。なお、１７はオイルシールである。吐出側カバー５
の真空室６側には、吐出ポート２が形成されてあって、
吐出通路１８に接続されている。
図示しない被真空体と真空室６とを連通している。吐出
側のカバー５内にはモータ等の駆動源の駆動軸１４に電
磁クラッチ１５を介して輔ｌＯが結合しており、さらに
、軸１０と軸１１とは雄ロータ１２と雌ロータ１３を同
調させるためのタイミングギヤ１６により連結されてい
る。なお、１７はオイルシールである。吐出側カバー５
の真空室６側には、吐出ポート２が形成されてあって、
吐出通路１８に接続されている。
つづいて、本実施例の要部を説明する。吸込側カーム４
の吸込口４♂に圧力を検知する圧力センサー１９が設け
られており、該圧力センサーＩＳの検出圧力は制御機構
２０に送られるようになっている。
の吸込口４♂に圧力を検知する圧力センサー１９が設け
られており、該圧力センサーＩＳの検出圧力は制御機構
２０に送られるようになっている。
一方、吐出ポート２の開口部２ａは、開口面積が設定さ
れた面積より大きく形成されている。
れた面積より大きく形成されている。
（第２図の斜線範囲）そして、この大きく形成された部
分を覆うように一対のシャッター２１゜２１が設けられ
てあって、該シャッター２１ 、２１はピン２２．２２
により回動自在に設けられており、さらに、アクチュエ
ータ２３に取付けられたリンク機構２４が取付けられて
いる。該アクチュエータ２３は前記制御機構２０から電
線２５を通って送られてくる信号により作動される。
分を覆うように一対のシャッター２１゜２１が設けられ
てあって、該シャッター２１ 、２１はピン２２．２２
により回動自在に設けられており、さらに、アクチュエ
ータ２３に取付けられたリンク機構２４が取付けられて
いる。該アクチュエータ２３は前記制御機構２０から電
線２５を通って送られてくる信号により作動される。
以−ヒの構成に係る作用について説明する。
始動時には被真空体内部が大気圧状態であるため、吸込
口４ａの圧力センサー１９がこの圧力を検知すると、制
御機構２０がアクチュエータ２３に作動す、るように指
令する。該アクチュエータ２３は、指令を受けて作動し
リンク機構２４の一端を下方に下げると、シャッター２
１ 、２１の夫々がピン２２ 、２２を中心にＹ方向に
回動させられ吐出ポート２の開口部２ａの開口面積を大
きくする。そうすると、雄ロータ１２と雌ロータ１３と
で形成される圧縮空間の吐出ポート２に通じるタイミン
グが早くなり圧縮比が小さくなるため各ロータ１２．１
３にかかる負荷が小さくなる。そのため、モータ等の駆
動源にかかる負荷も低減する。
口４ａの圧力センサー１９がこの圧力を検知すると、制
御機構２０がアクチュエータ２３に作動す、るように指
令する。該アクチュエータ２３は、指令を受けて作動し
リンク機構２４の一端を下方に下げると、シャッター２
１ 、２１の夫々がピン２２ 、２２を中心にＹ方向に
回動させられ吐出ポート２の開口部２ａの開口面積を大
きくする。そうすると、雄ロータ１２と雌ロータ１３と
で形成される圧縮空間の吐出ポート２に通じるタイミン
グが早くなり圧縮比が小さくなるため各ロータ１２．１
３にかかる負荷が小さくなる。そのため、モータ等の駆
動源にかかる負荷も低減する。
なお、本実施例では前記アクチュエータ２３を逆方向に
作動させ、各シャッター２１．２１ヲ、吐出ポート２の
開口部２ａの開口面積を小さくする方向（−Ｙ方向）に
回転させることもできる。
作動させ、各シャッター２１．２１ヲ、吐出ポート２の
開口部２ａの開口面積を小さくする方向（−Ｙ方向）に
回転させることもできる。
そのため、被真空体内部の圧力が低くなったときに、圧
力センサー１８が検知し制御機構２０によりシャッター
２１ 、２１を作動させ、吐出ポート２の開口面積を小
さくすることにより、雄ロータ１２と雌ロータ１３とで
形成される圧縮空間の吐出ポート２に通じるタイミング
を遅くし、圧縮比を高めて真空ポンプ１の到達圧力を小
さくすることができるという特有な効果を奏する。
力センサー１８が検知し制御機構２０によりシャッター
２１ 、２１を作動させ、吐出ポート２の開口面積を小
さくすることにより、雄ロータ１２と雌ロータ１３とで
形成される圧縮空間の吐出ポート２に通じるタイミング
を遅くし、圧縮比を高めて真空ポンプ１の到達圧力を小
さくすることができるという特有な効果を奏する。
（発明の効果）
本発明は、以上詳細に説明した構成のものであるから、
真空ポンプの始動時に吐出ポートの開口部の開口面積を
大きくすることにより雄ロータと雌ロータとで形成され
る圧縮空間の吐出ポートに通じるタイミングを早くして
、圧縮比を小さくし、駆動源に過大な負荷が加わるのを
防止できるとともに、排気速度が大きくとれるという効
果を奏する。
真空ポンプの始動時に吐出ポートの開口部の開口面積を
大きくすることにより雄ロータと雌ロータとで形成され
る圧縮空間の吐出ポートに通じるタイミングを早くして
、圧縮比を小さくし、駆動源に過大な負荷が加わるのを
防止できるとともに、排気速度が大きくとれるという効
果を奏する。
第１図は、本発明の実施例の真空ポンプの横断面図、
ｆＪＳ２図は、第１図のＸ視拡大図を示す。
ｌ・・・真空ポンプ
２争・会吐出ポート
２ａ拳参・開口部
１２、＋３・・−ロータ
１９拳・ψ圧力センサー
２０争・Φ制御機構
２１−・・シャッター
Claims (1)
- （１）１対のロータが協働して回転することにより吸入
側から吸引した気体を圧縮し吐出側から排気してなる真
空ポンプにおいて、 前記吸入側に圧力センサーを設け、前記吐出側には設定
された開口面積より大きい開口部を有する吐出ポートを
形成し、該開口部に、設定された開口面積よりも拡大可
能なシャッターを設け、前記圧力センサーの検出圧力に
より前記シャッターに拡開作動をさせる制御機構を設け
てなる真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8967486A JPS62247193A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8967486A JPS62247193A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62247193A true JPS62247193A (ja) | 1987-10-28 |
Family
ID=13977295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8967486A Pending JPS62247193A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62247193A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012077720A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | スクリュー圧縮機 |
| WO2016147467A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | ジョンソンコントロールズ ヒタチ エア コンディショニング テクノロジー（ホンコン）リミテッド | スクリュー圧縮機 |
| WO2016157449A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社日立産機システム | ガス圧縮機 |
-
1986
- 1986-04-18 JP JP8967486A patent/JPS62247193A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012077720A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | スクリュー圧縮機 |
| WO2016147467A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | ジョンソンコントロールズ ヒタチ エア コンディショニング テクノロジー（ホンコン）リミテッド | スクリュー圧縮機 |
| WO2016157449A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社日立産機システム | ガス圧縮機 |
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