JPS61192871A - 真空ポンプの圧力制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、二つの真空ポンプを直列に接続して２段式に
した真空ポンプの、圧力制御装置に関するものである。

（従来の技術） 真空ポンプには、高い真空度を得るために、真空ポンプ
を２段式にしたものがある。その一つの例として、一対
のロータが協動して回転することにより気体を吸引する
回転式（スクリュ一式）の真空ポンプに、往復動式の真
空ポンプを直列に接続したものがある。この場合、第１
段側の真空ポンプと第２段側の真空ポンプとは同一の駆
動源で駆動されることになる。

（発明が解決しようとする問題点） このような構造の真空ポンプは、匣転式の真空ポンプを
第１段側に使用し、往復動式の真空ポンプを第２段側に
使用するのが普通である。

この場合、大気圧からある程度の負圧値になるまでは回
転式の真空ポンプの駆動力は大きく、駆動源に過大な負
荷が加わることになる問題があった。また回転式の真空
ポンプの排気速度は他の形式のものより大きいので、大
気圧から真空引きを開始したとき、二つの真空ポンプを
接続した部分の圧力、すなわち中間圧が一時的に大気圧
以上になることがあり、このような場合、真空ポンプ全
体の駆動負荷が非常に大きくなるので、駆動源をこれに
合わせて大きくしなければならない問題もあった０本発
明はこの問題を解決するためになされたものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するために、一部に吸込口を
有する第１段側の真空ポンプと、該第１段側の真空ポン
プの真空室に真空室を通路で連通させた第２段側の真空
ポンプと、前記第１段側の真空ポンプの一部またほ全部
を短絡するバイパス通路と、第１段側真空ポンプの吸込
圧力を検出する圧力センサと、前記吸込口およびバイパ
ス通路に設けられた弁機構と、前記圧力センサの検出圧
力により前記弁機構の開閉制御をする制御機構と、を備
えた構成としたものである。

（作　用） 上記のように構成した本発明では、作動開始時には第１
段側真空ポンプは真空ポンプとして機能させず、空転を
行なうようにできるので、駆動源の負荷を著しく軽減で
きることになる。

またバイパス通路を適宜切換えることにより、回転式の
真空ポンプの負荷を徐々に増大するようにも制御できる
ので、より細かな調整ができることになる。

（実施例） 次に、本発明の一実施例を図について説明する。ｌは第
１段側の回転式の真空ポンプで、この真空ポンプｌは、
筒状のケーシング２の両端を吸込側のカバー３と吐出側
のカバー４で覆った真空室５の内部に、ベアリング６．
７，８゜９　、　ｉｅ、　１７で軸１０．１１の部分を
回転自在に支持された雌ロータ１２と雄ロータ１３で大
略構成されているものである。１４．１５はオイルシー
ルである。真空ポンプ１には吸込口１８が設けられてお
り、図示しない被真空体（真空にすべきもの）と真空室
５とを連通ずるようにしである。

吐出側のカバー４には第２段側の往復動式の真空ポンプ
１９のケーンング２０が結合している。

このケーシング２０の他側はカバー２１で閉塞されてお
り、上部にはシリンダ２２が取付けられている。このケ
ーシング２０の内部にはカップリング２３により駆動軸
２４に結合されたクランク軸２５が貫通しており、カバ
ー４の内部に設けられた電磁クラッチ２Ｂを介して軸１
１に結合している。軸１１と軸１０とはギヤ２７．２８
によって結合している。２１３．３０はベアリング、３
１はオイルシール。

２３はバランスウェイトである。クランク軸２５にはコ
ンロッド３３を介してピストン３４が結合されており、
真空室３５内の気体を負圧にするようになっている。３
Ｂはシール材である。

第１段側の真空ポンプ１と第２段側の真空ポンプ１９の
各真空室５．３５は、通路３７によって接続されている
。これにより、真空室５に吸込口１８を介して接続され
た被真空体は、二つの真空ポンプ１．１９で真空にされ
ることになる０通路３７と吸込口１８との間は、第１段
側の真空ポンプ１の全部を短絡するバイパス通路３８で
連通させである。そしてこのバイパス通路３日と真空室
５との間は、第１段側の真空ポンプ１の一部を短絡する
ために設けられた。バイパス通路の一部としての通路３
９で連通させである。吸込口１８のバイパス通路３８よ
り下流側には弁機構４０が設けられており、またバイパ
ス通路３８と通路３８には、それぞれ図示する位置に弁
機構４１．４２が設けられている。吸込口１８には吸込
圧力を検出する圧力センサ４３が設けられており、その
検出圧力を制御機構４４に送るようになっている。制御
機構４４は電線４５．４８．４７により、弁機構４０゜
４１．４２に開閉信号を送るようになっている。

このように構成されたこの装置は、次のように作動する
。まず、図示しない駆動源を作動させると、その回転力
は、駆動軸２４からカップリング２３を介してクランク
軸２５に伝達され、これを回転させてピストン３４を昇
降させる。これにより負圧室３５内は真空状態になる。

クランク軸２５には軸１１が結合されているので、この
軸１１およびこの軸１１にギヤ２７　、２８を介して結
合している軸ｌＯも回転する。これにより雄ロータ１２
と雌ロータ１２が回転する。

以上の作動において弁機構４０が開いており、弁機構４
１．４２が閉じていれば回転式の真空ポンプ１は吸込口
１８から吸込んだ空気を負圧にすべく作用することにな
るが、前述のように本発明の目的は始動時にこの第１段
側の真空ポンプ１を作動させないことにあるので、吸込
口１８偶の圧力が大気圧程度に高いことを圧力センサ４
３が検出したときには、制御機構４４は弁機構４１を開
き、弁機構４０．４２は閉じるように指令することにな
る。これにより吸込口１８と通路３７がバイパス通路３
８で連通ずるので、真空ポンプｌは空転することになる
。吸込口１８の圧力が若干低下したら弁機構４１を閉じ
、弁機構４２を開いて、真空ポンプ１を半分の容量で機
能させることになる。吸込口１８の圧力が適当に低下し
たら弁機構４１　、４２を閉じて弁機構４０を開けば、
真空ポンプ１は全能力で機能することになる。

以上説明した実施例にあっては、バイパス通路３７と負
圧室５とを連通する通路３８が１木であったが、これは
複数本にしてもよく、さらにその内部にそれぞれ弁機構
を設けてこれの開閉を別個に行なうように制御すれば、
より細かな調整ができることになる。

（発明の効果） 本発明は以上説明したような構成のものであるから、始
動時には回転式の真空ポンプを空転またほ一部の負荷で
運転させることができるので、この回転式の真空ポンプ
と次段の往復動式の真空ポンプとの間に生ずる中間圧が
大気圧以上になるようなことがない、これに関連し、Ｗ
ｇ源に過大な負荷が加わるのを防止できる効果が生ずる
。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例の断面図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）一部に吸込口を有する第１段側の真空ポンプと、
   該第１段側の真空ポンプの真空室に真空室を通路で連通
   させた第２段側の真空ポンプと、前記第１段側の真空ポ
   ンプの一部またほ全部を短絡するバイパス通路と、第１
   段側真空ポンプの吸込圧力を検出する圧力センサと、前
   記吸込口およびバイパス通路に設けられた弁機構と、前
   記圧力センサの検出圧力により前記弁機構の開閉制御を
   する制御機構 と、を備えてなる真空ポンプの圧力制御装 置。
2. （２）第１段側の真空ポンプが回転式のものであり、第
   ２段側の真空ポンプが往復動式のものである、特許請求
   の範囲第１項記載の真空ポンプの圧力制御装置。