DE3710935A1

DE3710935A1 - Verfahren zum betrieb eines massenspektrometers sowie massenspektrometer zur durchfuehrung des verfahrens

Info

Publication number: DE3710935A1
Application number: DE19873710935
Authority: DE
Inventors: Gerhard Dr Jung
Original assignee: Finnigan MAT GmbH
Current assignee: Finnigan MAT GmbH
Priority date: 1986-04-23
Filing date: 1987-04-01
Publication date: 1987-10-29
Anticipated expiration: 2007-04-02
Also published as: GB2189606A; US4808818A; DE3710935C2; GB2189606B; GB8709513D0

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbe griff des Hauptanspruchs sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Das hier verwendete Massenspektrometer erzeugt eine Mas sendispersion, d.h. Ionen verschiedener Massen treffen zu einem bestimmten Zeitpunkt am Detektor an verschiede nen Orten auf (im Gegensatz z.B. zum Flugzeit-Massen spektrometer oder zum Quadrupol-Massenfilter). Der Ana lysator besteht im einfachsten Fall aus einem Sektorma gneten, bei einem doppelfokussierenden System aus einem Sektormagneten und einem elektrostatischen Sektor. Die ses Verfahren ist aber auch bei komplizierteren Analysa toren anwendbar, solange am Detektor eine Massendispersion existiert.

Zum Betrieb von magnetischen Massenspektrometern sind meh rere unterschiedliche Verfahren bekannt. So z.B. kann man durch systematisches Verstellen (scanen) des Sektormagne ten das Spektrum an einem engen Austrittsspalt vorbeifüh ren. Die Intensitätsschwankungen hinter dem Austrittsspalt ergeben dann (in zeitlicher Abfolge) das Spektrum.

Bei doppelfokussierenden Massenspektrometern werden in der Praxis aber auch andere Scans verwendet, z.B. elektrische Scans (die Energie der Ionen und/oder die Feldstärke des elektrischen Feldes werden verstellt) und Kombinationen dieser Scans, sogenannte "linked scans".

Dabei werden verschiedene Analysator-Parameter (z.B. Mag netfeldstärke, Beschleunigungsspannung, elektrische Feld stärke) systematisch verändert.

Bei einem Spektrographen wird das gesamte Spektrum hinge gen gleichzeitig registriert, z.B. auf einer Fotoplatte. In diesem Fall aber sind exakte Zählungen und nachfolgende Verarbeitungen der Informationen mittels eines Rechners nicht möglich. Es wurde darum vorgeschlagen, anstelle der Fotoplatte einen ortsauflösenden Detektor, z.B. eine soge nannte Channelplate, zu verwenden, so daß einerseits ein gesamtes Teil-Spektrum gleichzeitig aufgenommen werden kann, andererseits aber eine elektronische Auswertung der Ereignisse möglich ist. Eine besondere Art der Auswertung der Meßergebnisse wird in der DE-PS 27 31 129 beschrieben, wobei es dort darauf ankommt, eine bessere und genauere Auswertung der aufgenommenen Spektren zu ermöglichen, ohne daß unterschiedliche Empfindlichkeiten einzelner Regi strierelemente (Channels) zu Verfälschungen des Meßergeb nisses führen. Insbesondere wird dort das Spektrum eine gewisse Zeitlang aufgenommen (Analogaufnahme oder Zählung der Ereignisse) und dann als Ganzes ausgelesen und gespei chert. Daraufhin wird die Anordnung um einen Kanal ver schoben und wieder ausgelesen, wobei dann das Ergebnis um einen Speicherplatz verschoben dazuaddiert wird. In jedem Fall muß also die Aufnahme zumindest eines vollständigen Teil-Spektrums abgewartet werden, bis das neue Meßergebnis in den Speicher gelangt.

Aus dem Patent Abstract zu JP-PS 58-1 54 155 (A) sind Vor richtung und Verfahren der eingangs genannten Art bekannt. Hierbei wird jedoch für jedes Teil-Spektrum eine Vielzahl von Ereignissen aufintegriert, so daß die Scan-Geschwin digkeit begrenzt ist.

Ausgehend vom oben genannten Stand der Technik ist es Auf gabe der vorliegenden Erfindung, das bekannte Verfahren dahingehend weiterzubilden, daß die Notwendigkeit ent fällt, ein Teil-Spektrum für eine gewisse Zeit aufzusam meln, so daß der Detektor auch bei hohen Scan-Geschwindig keiten (z.B. eine Sekunde/Dekade) verwendet werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Patentan spruches 1 aufgeführten Merkmale verfahrensmäßig und durch die im Kennzeichen des Anspruches 9 aufgeführten Merkmale vorrichtungsmäßig gelöst.

Mit der vorliegenden Erfindung kann eine elektronische Re gistrierung des Massenspektrums durchgeführt werden, so daß die Daten anschließend weiterverarbeitet werden kön nen. Für den Benutzer besteht zwischen der Anwendung des vorliegenden Verfahrens (bzw. der Verwendung der dazugehö rigen Vorrichtung) und der Benutzung eines Spalt-Detektors nur der Unterschied, daß die Empfindlichkeit der Massen analyse stark erhöht ist, da praktisch gleichzeitig mit einer Vielzahl von Spalten registriert wird.

Das Wesen der vorliegenden Erfindung besteht also darin, daß man den Massenanalysator im Scan-Betrieb steuert und zur Analyse jedes einzelne, auf den Detektor treffende Ion aus einem Teilbereich des Massenspektrums registriert. Aus den Momentanwerten der Analysator-Parameter wird daraus der zu einem definierten Ort (z.B. der zur Mitte) gehörige momentane Massenwert (m ₀) bestimmt. Gleichzeitig dazu wird aus dem Detektorsignal die relative Massenabweichung (Δ m/m ₀) des detektierten Ions bestimmt und aus diesen beiden Werten mit einem schnellen Prozessor die tatsächli che Masse des Ions (m=m ₀+m ₀×(Δ m/m ₀)) berechnet und abgespeichert.

Die Abspeicherung kann so geschehen, daß der Inhalt der der Masse zugeordneten Speicheradresse inkrementiert wird, oder auch dadurch, daß der Massenwert selbst zur späteren Weiterverarbeitung aufgezeichnet wird. Dies alles ge schieht, bevor das nächste Ion auf den Detektor trifft.

Es wird also jedes Einzelereignis registriert und nach Verarbeitung der richtigen Speicheradresse zugeordnet, die bereits die zuvor gezählten Ereignisse beinhaltet. Dies ist dadurch möglich, daß z.B. beim Magnetscan der Momen tanwert des Magnetfeldes bestimmt und aus dieser Bestim mung der momentane (zu erwartende) Massenwert hergeleitet wird, der zu einem definierten Ort auf dem Detektor, vor zugsweise auf der Mitte des Detektors, gehört. Es spielt also der zeitliche Verlauf der Sektormagnet-Feldstärke keine Rolle, solange die Feldstärke bekannt ist. Man kann die Feldstärke direkt mit einem entsprechenden Fühler mes sen, den durch den Sektormagneten fließenden Strom messen oder die Feldstärke aus dem (vorgegebenen) Zeitverlauf herleiten. Selbstverständlich sind auch statische Messun gen möglich (fest eingestelltes Magnetfeld).

Vorteilhafterweise bringt man besonders im statischen Be trieb während der Aufnahme des Spektrums gleichzeitig (si multan) den Speicherinhalt zur Anzeige, so daß das Meßer gebnis ständig beobachtet werden kann. Hierbei ist es so wohl möglich, den Speicherinhalt als Absolutwert anzuzei gen, so daß man das Anwachsen der Häufigkeitsverteilung (im linearen oder logarithmischen Maßstab) beobachten kann, als auch den Speicherinhalt auf die Summe der Ein zelereignisse normiert anzuzeigen, so daß die relative Massenverteilung besser erkennbar wird.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfah rens legt man den Detektor auf ein Hochspannungspotential, das die zu analysierenden Ionen beschleunigt, also auf ein positives oder negatives Potential für negative bzw. posi tive Ionen. Das Potential kann bis zu 20 kV gegenüber Mas se betragen. Die Signale werden dann an geeigneter Stelle, z.B. über Hochspannungskondensatoren, auf Massepotential gebracht.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfah rens lenkt man innerhalb eines Scan-Durchlaufes in einem Teilbereich des zu untersuchenden Massenspektrums die Ionen mittels eines elektrischen Feldes derart ab, daß sie auf eine Spaltblende mit einem nachgeordneten (nicht orts auflösenden) Detektor treffen, und bestimmt aus diesem Detektorsignal und den Momentanwerten der Analysator-Para meter die Masse des zu analysierenden Ions. Bei dieser Ausführungsform des Verfahrens wird also mit zwei ver schiedenen Detektoren gearbeitet, wobei der hinter der Spaltblende angeordnete Detektor besonders empfindlich ausgebildet sein kann. Die Ablenkung kann in X- oder Y- Richtung erfolgen, vorzugsweise erfolgt sie jedoch in Y- Richtung.

Bei einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird der Simultan-Detektor (Channelplate) dynamisch betrieben, wo bei der Analysator im Scan-Betrieb gefahren wird und gleichzeitig ein Ausschnitt des Spektrums simultan gemes sen wird. Auf diese Weise wird die Ortsauflösung des De tektors nur zur Untersuchung eines Teilbereiches verwen det, während nur eine Gruppe von Speicheradressen dem De tektor zugeordnet ist. Durch die gleichzeitige Einbezie hung der Analysator-Parameter in die Berechnung der Ereig nis-Zuordnung ist im Prinzip jeder Zeitverlauf der Analy sator-Parameter möglich. Man kann also kontinuierlich scanen oder auch stufenweise.

Zur Durchführung des Verfahrens eignet sich ein Massen spektrometer wie es im Patentanspruch 9 definiert ist. Ganz wesentlich kommt es hierbei darauf an, daß der Rech ner schnell genug ist, da on-line gearbeitet wird, also der Rechner während des Scan-Ablaufes die Daten aufnimmt, die mittlere Masse und Massenabweichung errechnet und das Rechenergebnis abspeichern muß. Vorteilhafterweise arbei tet man hierbei über Eichtabellen, um aus dem momentanen Wert der Analysator-Parameter den momentanen Massenwert zu errechnen und aus dem Auftreffort des Teilchens auf den Detektor die Abweichung von dieser mittleren Masse herzu leiten. Aus diesen beiden Werten kann auf einfache Weise der tatsächliche, genaue Massenwert errechnet werden, um ihn dann abzuspeichern (den entsprechenden Speicherinhalt zu inkrementieren).

Im folgenden werden weitere erfindungswesentliche Details anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben, zu deren Erläuterung Abbildungen dienen. Hierbei zeigt:

Fig. 1 eine Prinzipdarstellung (Blockschaltbild) einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens;

Fig. 2 einen Detailausschnitt aus der Anordnung gemäß Fig. 1 mit einer weiteren Modifikation;

Fig. 3 eine schematisierte Ansicht einer bevorzugten Aus führungsform des ortsauflösenden Detektors nach den Fig. 1 und 2; und

Fig. 4 eine Prinzipdarstellung des Detektors nach Fig. 3.

In Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 1 eine (übliche) Ionen quelle bezeichnet, aus der ein Ionenstrahl in einen Sek tormagneten 2 eintritt. Aus dem in der üblichen Weise ausgebildeten und mit Strom versorgten Sektormagneten 2 tritt der Ionenstrahl 3 (fokussiert) aus und trifft auf einen ortsauflösenden Detektor 30 auf. Der Detektor 30 ist mit seinen Ausgangsleitungen QA und QB auf Ladungsverstär ker 39 geführt, deren Ausgangspegel in einer Summierschal tung 28 addiert werden. Der Summenwert wird über einen Analog/Digital-Wandler 27 in ein Digitalwort gewandelt und einem Rechner 20 zugeführt. Weiterhin wird der Ausgang des einen Ladungsverstärkers 39 für die Ausgangsspannung QA des Detektors 30 ebenfalls über einen Analog/Digital-Wand ler 27 in ein Digitalwort gewandelt und dem Rechner 20 zu geführt. Im Rechner 20 wird aus diesen beiden Digitalwor ten im Block 22 der Wert A/(A+B) gebildet, welcher dem Ortswert, d.h. einem dem Auftreffort des Ions proportiona len Wert entspricht.

Der so erhaltene Ortswert wird im Block 23 des Rechners 20 weiterverarbeitet.

Im Sektormagneten 2 ist ein Feldstärkesensor 13 an geeig neter Stelle angeordnet, dessen Ausgangssignal dem im Sek tormagneten 2 herrschenden Magnetfeld bzw. dessen Feld stärke proportional ist. Selbstverständlich kann anstelle eines Feldstärkesensors 13 auch der Strom gemessen werden, der den Sektormagneten 2 speist, da die Feldstärke dem Strom proportional ist. Das Ausgangssignal des Feldstärke sensors 13 gelangt auf einen Eingang einer Schaltung 10. Ein weiterer Eingang der Schaltung 10 ist über eine Trig gerschaltung 11 mit dem ortsauflösenden Detektor 30 ver bunden. Die Schaltung 11 ist derart ausgebildet, daß dann, wenn ein Ion auf den Detektor 30 auftrifft, am Ausgang der Schaltung 11 ein Triggersignal ansteht. Dieses Triggersig nal veranlaßt die Schaltung 10, den am Ausgang des Feld stärkesensors 13 anstehenden Wert abzutasten und über ei nen weiteren Analog/Digital-Wandler 27 dem Rechner 20 als momentanes Feldstärkesignal B _t zuzuführen. Im Rechner 20 wird das Signal B _t (bzw. das entsprechende Digitalwort) im Block 23 in den Wert m ₀ verwandelt, also in den momentanen Massenwert, der entsprechend der Feldstärke im Sektormag neten 2 in der Mitte des Detektors 30 zu erwarten ist. Um dies durchzuführen, ist im Block 23 eine Eichtabelle ge speichert, über welche jedem Feldstärkewert ein momentaner Massenwert zugeordnet ist.

Im Block 23 wird weiterhin aus dem Wert der relativen Mas senabweichung (Δ m/m ₀) und dem momentanen Massenwert in der Detektormitte (m ₀) eine Offset-Adresse berechnet, die der Massenabweichung (Δ m/m ₀)×m ₀=Δ m entspricht. Diese wird zu einer Anfangsadresse addiert, die der mittleren Masse m ₀ entspricht, so daß als Ergebnis die Speicheradresse vor liegt, die der Masse m=m ₀+Δ m zugeordnet ist. Die An fangsadresse wird über einen Adressenzähler 24 erhalten, der einem Ringspeicher 21 zugeordnet ist. Im Block 23 wird also der tatsächliche Massenwert einer Speicheradresse im Speicher 21 zugeordnet, und der Inhalt dieser Speicheradres se wird inkrementiert. Dies ist mit dem Pfeil 26 in Fig. 1 angedeutet. Der Ringspeicher 21 ist nun so strukturiert, daß nicht nur die Zahl der detektierten Ionen in einer Speicherzelle ge speichert werden kann, sondern auch der momentane mittlere Massenwert (26). Selbstverständlich ist es hier auch mög lich, statt des Massenwertes einen der Masse eindeutig zu geordneten Scan-Parameter (z.B. das momentane Magnetfeld oder das Zeitintervall nach dem Scan-Start) abzuspeichern. Der Adressenzähler 24 läuft synchronisiert zur Magnet steuerung mit. In Fig. 1 ist ein Ausgangspfeil aus dem Ringspeicher 21 aufgezeigt, der andeuten soll, daß die nachfolgende Verar beitung der Speicherinhalte ebenso wie bei den bisher üb lichen Spalt-Detektoren geschieht, so daß diese Weiterver arbeitung nicht weiter beschrieben werden muß. Nach dem Auslesen wird die ausgelesene Adresse auf Null gesetzt, wie dies mit dem Pfeil 25 angedeutet ist. Aus dieser Beschreibung geht also hervor, daß der Adres senzähler des Ringspeichers genauso schnell läuft wie die Massen am Detektor vorbeilaufen, so daß jedes Ereignis (Auftreffen eines Ions) separat registrierbar ist. In Fig. 2 ist eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindung näher erläutert, bei welcher die Möglichkeit be steht, einen Teilbereich des zu erfassenden Spektrums mit der in Fig. 1 gezeigten Anordnung zu analysieren, während ein anderer Teilbereich des Spektrums über einen weiteren Detektor 50 analysiert wird. Bei dieser Anordnung ist dem Sektormagneten 2 eine Kondensatoranordnung 40 (Feldplat ten) derart nachgeschaltet, daß dann, wenn die Kondensa toranordnung 40 mit einer entsprechenden Spannung versorgt wird, der Ionenstrahl 3 um einen Winkel α abgelenkt und auf den oben erläuterten ortsauflösenden Detektor 30 ge führt wird. Wenn die Kondensatoranordnung 40 jedoch nicht mit Spannung versorgt wird, so trifft der Ionenstrahl 3 über eine Spaltanordnung 52 auf eine Konversionsdynode 53, aus der Elektronen (e⁻) herausgeschlagen werden. Die Elek tronen gelangen in einen Sekundärelektronenvervielfacher 54 und lösen dort ein entsprechendes Signal aus, das dem Rechner 20 gleichzeitig mit dem feldstärkeproportionalen Signal B _t zugeführt wird. Aus diesen beiden Signalen wird dann im Rechner 20 die Masse des detektierten Ions be stimmt.

Im folgenden wird anhand der Fig. 2 bis 4 der Aufbau des positionsempfindlichen Detektors näher beschrieben. Der eigentliche Detektor besteht aus einer oder mehreren hin tereinander liegenden "Channelplates" 36 a, 36 b, denen eine Gitter- oder eine Schlitzblende 31 vorgeordnet und denen eine Streifenanode 37 nachgeordnet ist. Die Channelplates sowie die Streifenanode sind in einem Detektorrahmen 34 (Fig. 3) gelagert und über Isolatoren 32 an der Vakuum- Kammerwand 33 befestigt. Die Channelplates 36 a, 36 b werden auf ihren Flächen mit einer in Richtung auf die Streifen anoden 37 steigenden Spannung versorgt, wobei die Gesamt anordnung zusätzlich noch auf ein den zu detektierenden Ionen entsprechendes Potential geladen werden kann, um die Ionen nachzubeschleunigen.

Sobald nun ein einzelnes Ion 3′ (Fig. 4) durch das Gitter 31 auf die erste Channelplate 36 a fällt, werden aus dieser Elektronen herausgelöst, beschleunigt und treffen auf die nächste Channelplate 36 b auf, aus der wiederum Elektronen herausgelöst werden. Diese Elektronen treffen auf die Streifenanode 37 und erzeugen auf dieser eine Ladung, de ren Verteilung (Schwerpunkt) vom Auftreffort des Ions 3, auf der ersten Channelplate 36 a bestimmt ist.

Die einzelnen Streifen der Streifenanode 37 sind über Parallelschaltungen von Widerständen und Kondensatoren miteinander verbunden. Der erste und der letzte Streifen der Streifenanode 37 sind über Anschlußleitungen kontak tiert und auf Trennkondensatoren 38 geführt, denen La dungsverstärker 39 nachgeschaltet sind. Am Ausgang der Ladungsverstärker 39 stehen zwei Signale Q _A bzw. Q _B an, die über die in Fig. 1 gezeigten Blöcke 28 summiert, in Digitalwerte umgewandelt und in den Ortswert X (Block 22) nach der Formel X=Q_A/(Q _A + Q _B) umgerechnet werden, der sich zwischen Null und Eins bewegen kann. Der so erhaltene Ortswert X wird wie oben beschrieben weiterverarbeitet.

Bezugszeichenliste: 1 Quelle
2 Sektormagnet
3 Ionenstrahl
3′ Ionenbahn
4 Ortssignaldecodierer/Wandler
10 Schaltung zum Abtasten der Feldstärke
11 Triggerschaltung
13 Feldstärkesensor
20 Rechner
21 Speicher
22 Rechenblock
23 Rechenblock
24 Adressenzähler
25 0-Setzen
26 Inkrementieren
26′ Feldwert Einschreiben
27 Analog/Digital-Wandler
28 Rechenschaltung
30 Ortsauflösender Detektor
31 Gitter/Schlitzblende
32 Isolator
33 Vakuumwand
34 Detektorrahmen
35 Durchführung
36 a Channelplate
36 b Channelplate
37 Streifenanode
38 Trennkondensatoren
39 Ladungsverstärker
40 Kondensatoranordnung
50 weiterer Detektor
52 Spaltanordnung
53 Konversionsdynode
54 SekundärelektronenvervielfältigerQ _A, Q _B Ortssignal
Δ m Speicheradresse
U _H Hochspannungspotential

Claims

1. Verfahren zum Betrieb eines Massenspektrometers mit einem ortsauflösenden Detektor, einem steuerbaren Mas senanalysator und einem Rechner mit einem Speicher, wo bei man den Massenanalysator im Scan-Betrieb steuert und zur Analyse mindestens einen Teilbereich des zu unter suchenden Massenspektrums mit dem ortsauflösenden Detek tor registriert, dadurch gekennzeichnet, daß man beim Auftreffen jedes einzelnen Ions bzw. beim Auftreten eines Signals am Detektor aus den momentanen Scan-Para metern des Analysators den zu einem definierten Ort (Mitte) des Detektors gehörigen momentanen Massenwert (m ₀) bestimmt, daß man aus dem Detektorsignal den Auf treffort des Ions und daraus die relative Abweichung der Ionenmasse Δ m/m ₀ von der mittleren Masse (m ₀) bestimmt, daß man aus diesen Werten während der Messung die tatsäch liche Masse (m) des Ions berechnet (m=m ₀+(Δ m/m ₀)×m ₀) und daß man diesen Massenwert im Speicher des Rechners re gistriert.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Massenanalysator einen Sektormagneten enthält, dadurch gekennzeichnet, daß man als Scan-Parameter den Momentanwert des Magnetfeldes (B _t), des Spulenstroms (I _t) oder aber die Zeitdauer nach Scan-Start verwendet.

3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Massenanalysator eine Kombination von mindestens einem magnetischen und mindestens einem elektrischen Sektorfeld enthält, dadurch gekennzeichnet, daß man als Scan-Parameter sinnvolle Kom binationen der Momentanwerte des Magnetfeldes, des Spulen stroms, der elektrischen Feldstärke, der Ionenenergien und der Zeit nach Scan-Start verwendet (z.B. E-Scan, Linked Scans).

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß man bestimmten Massen-Interval len (z.B. Masse 100.2 bis 100.3) jeweils Speicheradressen zuordnet, deren Inhalte bei Detektion eines entsprechenden Ions inkrementiert werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Reihenfolge des Auftreffens der verschiedenen Massen die Massenwerte fortlaufend abgespei chert werden und die Weiterverarbeitung später erfolgt.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man den Speicherinhalt ständig (simultan) zur Anzeige bringt, insbesondere im statischen Betrieb (Scan-Geschwindigkeit =0).

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß man den Detektor auf einem die zu analysierenden Ionen beschleunigenden Gleichspannungs potential hält.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man innerhalb eines Scan- Durchlaufs in einem (anderen) Teilbereich des zu unter suchenden Massenspektrums, vorzugsweise im unteren Massen bereich (kleine Massen) die Ionen derart (konstant) ab lenkt, daß sie auf eine Spaltblende mit nachgeordnetem Detektor treffen, und daß man aus diesem Detektorsignal und den momentanen Parametern des Analysators die Masse (m) des zu analysierenden Ions bestimmt.

9. Massenspektrometer zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, mit einem steuerbaren Massenanalysator, einem ortsauflösenden Detektor und einem Rechner, gekennzeichnet durch eine Schaltung (10), die derart ausgebildet und mit dem Massenanalysator (2) und dem Detektor (30) verschaltet ist, daß beim Auf treffen eines Ions auf den Detektor (30) an ihrem Ausgang ein oder mehrere Signale anliegen, die in definierter Weise die Parameter des Analysators charakterisieren und die auf einen Eingang des Rechners (20) geführt sind, und daß der Rechner (20) derart ausgebildet und mit dem Detek tor (30) verschaltet ist, daß er aus den Analysator-Sig nalen und dem Ortssignal (Q) des Detektors (30) die Masse (m) des detektierten Ions bestimmt und im Speicher regi striert.

10. Massenspektrometer nach Anspruch 9, dadurch gekenn zeichnet, daß der Detektor (30) auf ein Hochspannungspo tential (U _H) aufladbar ist.

11. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Massenanalysator (2) eine Anordnung (Kondensatoranordnung 40) zum Erzeugen ei nes elektrostatischen Ablenkfeldes angeordnet ist und daß in der Nähe des ortsauflösenden Detektors (30) ein weite rer Detektor (50) mit vorgeschalteter Spaltanordnung (52) derart angeordnet ist, daß die Ionen nach dem Austritt aus dem Massenanalysator (2) je nach Steuerung des Ablenkfel des entweder auf den ortsauflösenden Detektor (30) oder auf den weiteren Detektor (50) auftreffen.