JPS58154155A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS58154155A JPS58154155A JP57037636A JP3763682A JPS58154155A JP S58154155 A JPS58154155 A JP S58154155A JP 57037636 A JP57037636 A JP 57037636A JP 3763682 A JP3763682 A JP 3763682A JP S58154155 A JPS58154155 A JP S58154155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microdetector
- spectrum
- ions
- line
- detection elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感度とＳＮ比を向上させることのできる質最分
析装置に関する。
析装置に関する。
乾板を使用しない掃引型の質饅分析装置では、第１図に
示す様に電場Ｅ及び磁場Ｍから成る質量分析系の後方の
二重収束点Ｏに単一のコレクタＣを配置し、該分析系を
掃引することにより該コレクタに入射するイオンの質量
数を掃引し、スペクトル信号を得ている。かかる質量分
析装置では、検出部に＾利得の電子増倍管を用いること
により感度を高めることができるが、ＳＮ比の関係で限
界があり、現在以上に感度を高めることは困難である。
示す様に電場Ｅ及び磁場Ｍから成る質量分析系の後方の
二重収束点Ｏに単一のコレクタＣを配置し、該分析系を
掃引することにより該コレクタに入射するイオンの質量
数を掃引し、スペクトル信号を得ている。かかる質量分
析装置では、検出部に＾利得の電子増倍管を用いること
により感度を高めることができるが、ＳＮ比の関係で限
界があり、現在以上に感度を高めることは困難である。
ところで、この様な捧引型賀−分析ＶＲ＠では、イオン
源において発生した全イオンのうちコレクタに入射して
いる特定の質量数のイオン以外は捨て去っており、イオ
ン源から発生したイオンの利用効率換言すればイオン源
から発生した情報の利用効率は極めて悪い。
源において発生した全イオンのうちコレクタに入射して
いる特定の質量数のイオン以外は捨て去っており、イオ
ン源から発生したイオンの利用効率換言すればイオン源
から発生した情報の利用効率は極めて悪い。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、空間分解
能を有する微小検出器列をイオンビームの収束点位置に
配置して、ある質量数範囲のイオンを同時に検出するこ
とによりイオンの利用効率を向にさせると共に、分析系
による質量数掃引に同期して微小検出器列から得られる
検出信号を積算することによりＳＮ比及び感瓜を向上さ
せることのできる質量分析装置を提供することを目的と
している。以下図面を用いて本発明を詳説する。
能を有する微小検出器列をイオンビームの収束点位置に
配置して、ある質量数範囲のイオンを同時に検出するこ
とによりイオンの利用効率を向にさせると共に、分析系
による質量数掃引に同期して微小検出器列から得られる
検出信号を積算することによりＳＮ比及び感瓜を向上さ
せることのできる質量分析装置を提供することを目的と
している。以下図面を用いて本発明を詳説する。
掃引型の質量分析装置では前述の如く二重収束点Ｏに単
一の］レクタを配置しているが、該点Ｏの極く近傍であ
れば実質的に二重収束条件を満足しているとみなすこと
ができる。その様な二重収束範囲は最も広く昔及してい
る質量分析装置の規模でみれば２〜３０＋＋ｎ程度であ
り、その範囲ではイオンがスペクトルとして展開され結
像されている。従ってその点Ｏを中心として空間分解能
を有する微小検出器列１−を第２図（ａ）に示す様に配
Ｗすれば、その上に展開されるスペクトルＳを同時に検
出することができる―しかも、このスペクトルＳは質量
数掃引に伴なって微小検出器列り上を同図（ｂ ）に示
す様に移動するので、例えば各ピークが微小検出器列上
を端から端まで移動するあいだ、各ピークについて移動
を考慮して積算を行えば、得られるスペクトル信号のＳ
Ｎ比は改善され感度を＾めることができる。
一の］レクタを配置しているが、該点Ｏの極く近傍であ
れば実質的に二重収束条件を満足しているとみなすこと
ができる。その様な二重収束範囲は最も広く昔及してい
る質量分析装置の規模でみれば２〜３０＋＋ｎ程度であ
り、その範囲ではイオンがスペクトルとして展開され結
像されている。従ってその点Ｏを中心として空間分解能
を有する微小検出器列１−を第２図（ａ）に示す様に配
Ｗすれば、その上に展開されるスペクトルＳを同時に検
出することができる―しかも、このスペクトルＳは質量
数掃引に伴なって微小検出器列り上を同図（ｂ ）に示
す様に移動するので、例えば各ピークが微小検出器列上
を端から端まで移動するあいだ、各ピークについて移動
を考慮して積算を行えば、得られるスペクトル信号のＳ
Ｎ比は改善され感度を＾めることができる。
第３図はこの様な考え方に基づく本発明の一実施例の構
成を示し、図中１はイオン源である。該イオン源１から
発生した試料イオン２は電極３゜３′間に形成される電
場Ｅ及び磁石４内に形成される磁ＩＭから成る二重収束
質量分析系により質饅−電萄比に応じて分散される。５
は該分析系のスペクトル展開面に沿って配置されたチャ
ンネルプレートである。イオンの入射によりチャンネル
プレートを構成する微小径の各電子増倍管に発生した２
次電子は各増倍管の増倍作用により１０４乃至１０６倍
に個々に増幅された後、チャンネルプレートの後方に配
置された微小検出器列６へ入射する。 １゜ 該微小検出器列６は多数の微小検出素子と各検出素子に
接続されるコンデンサを備え、各検出素子は絶縁基板上
に微小間隔をおいてスペクトル展開り向に一列に並べら
れている。そして各検出素子に入射しコンデンサに蓄え
られた電荷は読出し制御回路７によって順次くり返し読
み出され、Ａ−Ｄｌｌ換器８を介してメモリ９への書き
込み及び積算処理を行うコンピュータ１０へ送られる。
成を示し、図中１はイオン源である。該イオン源１から
発生した試料イオン２は電極３゜３′間に形成される電
場Ｅ及び磁石４内に形成される磁ＩＭから成る二重収束
質量分析系により質饅−電萄比に応じて分散される。５
は該分析系のスペクトル展開面に沿って配置されたチャ
ンネルプレートである。イオンの入射によりチャンネル
プレートを構成する微小径の各電子増倍管に発生した２
次電子は各増倍管の増倍作用により１０４乃至１０６倍
に個々に増幅された後、チャンネルプレートの後方に配
置された微小検出器列６へ入射する。 １゜ 該微小検出器列６は多数の微小検出素子と各検出素子に
接続されるコンデンサを備え、各検出素子は絶縁基板上
に微小間隔をおいてスペクトル展開り向に一列に並べら
れている。そして各検出素子に入射しコンデンサに蓄え
られた電荷は読出し制御回路７によって順次くり返し読
み出され、Ａ−Ｄｌｌ換器８を介してメモリ９への書き
込み及び積算処理を行うコンピュータ１０へ送られる。
１１は前記磁場内に配置されたホール素子等の磁場検出
器ト１からの磁場強度信号りに基づいて磁場を制御する
回路である。該磁場制御回路１１は又、測定Ｒ’Ｒ引回
路１２から送られる掃引信号に応じて磁場強度を掃引す
る。
器ト１からの磁場強度信号りに基づいて磁場を制御する
回路である。該磁場制御回路１１は又、測定Ｒ’Ｒ引回
路１２から送られる掃引信号に応じて磁場強度を掃引す
る。
１３は上記磁場強度信号りが予め定められた電圧幅変化
するたびにり０ツクパルスを発生する磁場変化検出回路
で、該クロックパルスはカウンタ１４へ送られてカウン
トされる。前記読出し制御回路７は読出し中の素子番号
を示す読出し位置信号ｎを発生し、該位置信号ｎは加算
器１５において上記カウンタ１４のカウント値Ｎと加算
される。
するたびにり０ツクパルスを発生する磁場変化検出回路
で、該クロックパルスはカウンタ１４へ送られてカウン
トされる。前記読出し制御回路７は読出し中の素子番号
を示す読出し位置信号ｎを発生し、該位置信号ｎは加算
器１５において上記カウンタ１４のカウント値Ｎと加算
される。
コンビ１−タ１０は該加算器１５の出力値をアトレース
信号としてメモリ９内の所定遁地へ前記読出し制御回路
７から送られて来る検出信号を積算する。
信号としてメモリ９内の所定遁地へ前記読出し制御回路
７から送られて来る検出信号を積算する。
上述の如き構成において、チャンネルプレート５はイオ
ンを電子に変換して増幅するだけのものであるので、実
質的には第２図と同様に微小検出器列６がスペクトル展
開面に沿って配置されているものとみなすことができる
。
ンを電子に変換して増幅するだけのものであるので、実
質的には第２図と同様に微小検出器列６がスペクトル展
開面に沿って配置されているものとみなすことができる
。
今、微小検出器列６が第４図（ａ ）に示す様にＤ１〜
ＤＳＩ２の５１２個の検出素子から構成されており、そ
の上をスペクトルが磁場掃引に伴なって右から左へ掃引
されるものとする。読出し制御回路７は該微小検出器列
６のＤｌから順にＤ５１２まで例えばＩ ｍｓの周期
でくり返し検出信号を読み出すと同時に、その時読出し
ている検出素子の番号ｎを読出し位置信号として出力す
る。そしてコンピュータ１０のメモリ９には検出器列上
に展開され掃引されるスペクトルの始まりから終りまで
を検出素子１個の幅で区分してＩＩＪｔ！Ｉ付けしたス
ペクトル記憶領域が確保されている。
ＤＳＩ２の５１２個の検出素子から構成されており、そ
の上をスペクトルが磁場掃引に伴なって右から左へ掃引
されるものとする。読出し制御回路７は該微小検出器列
６のＤｌから順にＤ５１２まで例えばＩ ｍｓの周期
でくり返し検出信号を読み出すと同時に、その時読出し
ている検出素子の番号ｎを読出し位置信号として出力す
る。そしてコンピュータ１０のメモリ９には検出器列上
に展開され掃引されるスペクトルの始まりから終りまで
を検出素子１個の幅で区分してＩＩＪｔ！Ｉ付けしたス
ペクトル記憶領域が確保されている。
ここで、ある時刻１１に検出索子０５１□の上に存在す
るピークＰ１について考える。備引回路１２によってＰ
ｌが１素子に１ ■Ｓかけて微小検出器列６上を移動す
るとすれば、Ｐ＋は第４図（ｂ）〜（Ｑ ）に示す様に
、ｊ＋＋１１ｓにＤ租い上、ｔ＋＋２１８に０５１ｏ上
、・・・・・・、ｔ １＋５０９ ｍｓに１”）３ ｈ
、 ｔ Ｉ＋５１０ ｍｓにＤ２上、ｊ＋＋５１１
ｍｓにＤｌ上に移動し、それ以後は微小検出器列６から
外れるため検出されなくなる。この時、磁場検出回路１
３は磁場強度信号りを監視し、スペクトルが検出系子１
つ分だけ移動するのに対応したｈの変′化毎にクロック
パルスを発生し、そのパルス数はカウンタ１４によって
カウントされている。
るピークＰ１について考える。備引回路１２によってＰ
ｌが１素子に１ ■Ｓかけて微小検出器列６上を移動す
るとすれば、Ｐ＋は第４図（ｂ）〜（Ｑ ）に示す様に
、ｊ＋＋１１ｓにＤ租い上、ｔ＋＋２１８に０５１ｏ上
、・・・・・・、ｔ １＋５０９ ｍｓに１”）３ ｈ
、 ｔ Ｉ＋５１０ ｍｓにＤ２上、ｊ＋＋５１１
ｍｓにＤｌ上に移動し、それ以後は微小検出器列６から
外れるため検出されなくなる。この時、磁場検出回路１
３は磁場強度信号りを監視し、スペクトルが検出系子１
つ分だけ移動するのに対応したｈの変′化毎にクロック
パルスを発生し、そのパルス数はカウンタ１４によって
カウントされている。
今、時刻ｔｌにおけるカウンタ１４のカウント値Ｎが１
００であったとすれば、Ｐｌを検出したＤＳ１２の検出
信号は、読出し位置信号ｒｌ＝５１２とＮ＝１００を加
えた加算器１５の出力値６１２に従ってメモリ９内の６
１２番地に記憶される。そ１：１ してｔ、＋ｌ 議Ｓの時刻における次の読出しの際に
は、ＰｌはＤ”ｉｌｌの上へ移動してしまうが（第４図
（Ｃ”） ）、この時のカウンタ１４のカウント値なっ
ており、従ってＰｌを検出したＤ （ｎ＝５１１）の
検出信号が６１２番地へ送られ、先に格納されている時
刻ｔ１における検出信号に加算される。更に、時刻ｔ
１＋２ ｍｓ （第４図（ｄ））にはＮ＝１０２となり
、Ｄ （ｎ＝５１０）の−Ｆへ移動して検出されたＰ
ｌの検出信号が６１２番地へ送られて加締され、以下全
く同様に時刻ｔｌ＋５１１＋＋＋ＳにＮ＝６１１となり
、左端のＤｌ＜１１＝１＞の土へＰｌが移動するまで、
各検出素子により検出されたＰ＋の検出信号はメモリ９
の６１２番地へ積算されることになる。そして以後はＮ
が６１２以上になるので６１２番地には検出信号は積算
されない。この６１２番地に得られた検出信号は上述の
如＜Ｐｔが微小検出器列６の端から端まで移動する間積
韓したものとなるので、） ＳＮ比の改善されたものになることは言うまでもない。
００であったとすれば、Ｐｌを検出したＤＳ１２の検出
信号は、読出し位置信号ｒｌ＝５１２とＮ＝１００を加
えた加算器１５の出力値６１２に従ってメモリ９内の６
１２番地に記憶される。そ１：１ してｔ、＋ｌ 議Ｓの時刻における次の読出しの際に
は、ＰｌはＤ”ｉｌｌの上へ移動してしまうが（第４図
（Ｃ”） ）、この時のカウンタ１４のカウント値なっ
ており、従ってＰｌを検出したＤ （ｎ＝５１１）の
検出信号が６１２番地へ送られ、先に格納されている時
刻ｔ１における検出信号に加算される。更に、時刻ｔ
１＋２ ｍｓ （第４図（ｄ））にはＮ＝１０２となり
、Ｄ （ｎ＝５１０）の−Ｆへ移動して検出されたＰ
ｌの検出信号が６１２番地へ送られて加締され、以下全
く同様に時刻ｔｌ＋５１１＋＋＋ＳにＮ＝６１１となり
、左端のＤｌ＜１１＝１＞の土へＰｌが移動するまで、
各検出素子により検出されたＰ＋の検出信号はメモリ９
の６１２番地へ積算されることになる。そして以後はＮ
が６１２以上になるので６１２番地には検出信号は積算
されない。この６１２番地に得られた検出信号は上述の
如＜Ｐｔが微小検出器列６の端から端まで移動する間積
韓したものとなるので、） ＳＮ比の改善されたものになることは言うまでもない。
Ｐｌの隣のピークＰ２は第４図（Ｃ）に示される様にｊ
＋＋１１８の時刻に初めてＤ１１２ （ｎ ＝ ５１２
）によって検出され、その時のカウント値Ｎは１０１で
あるのでＮ＋ｎ＝６１３となり６１３番地に格納され、
Ｐｌと同様に微小検出器列６上にある間該６１３番地に
積算される。Ｐｇに続く他のピークも全く同様に６１３
１地以降に積算される。
＋＋１１８の時刻に初めてＤ１１２ （ｎ ＝ ５１２
）によって検出され、その時のカウント値Ｎは１０１で
あるのでＮ＋ｎ＝６１３となり６１３番地に格納され、
Ｐｌと同様に微小検出器列６上にある間該６１３番地に
積算される。Ｐｇに続く他のピークも全く同様に６１３
１地以降に積算される。
この様に、分析系によって展開されるスペクトルは微小
検出器列６の端（Ｄｈ＋ｚ ）から端（Ｄｌ）まで移動
する闇、メ・モリ９のスペクトルの始まりから終りまで
を検出素子１個の幅で区分して番地付けしたスペクトル
記憶領域内のカウント値へと読出し位置信号ｎの加算値
で指定された番地へ積算されるため、線引後メモリ内に
得られるスペクトルはＳＮ比が向上し、小さなピークで
も明確に識別することができる。
検出器列６の端（Ｄｈ＋ｚ ）から端（Ｄｌ）まで移動
する闇、メ・モリ９のスペクトルの始まりから終りまで
を検出素子１個の幅で区分して番地付けしたスペクトル
記憶領域内のカウント値へと読出し位置信号ｎの加算値
で指定された番地へ積算されるため、線引後メモリ内に
得られるスペクトルはＳＮ比が向上し、小さなピークで
も明確に識別することができる。
尚、メモリのスペクトル記憶領域内の各番地はスペクト
ルの横軸即ち質量数に対応するわけであり、各番地と質
量数を対応させた変換テーブルを作成し配憶しておけば
、メモリか−らスペクトルを読出して表示する際、質量
数との対応を容易につけることができる。
ルの横軸即ち質量数に対応するわけであり、各番地と質
量数を対応させた変換テーブルを作成し配憶しておけば
、メモリか−らスペクトルを読出して表示する際、質量
数との対応を容易につけることができる。
ところで、上記実施例において読み出された検出信号が
積算される番地を調べるｉ、＊引開始即ちＮ＝０で１１
地から５１２番地、Ｎ＝１で２１地から５１３番地、Ｎ
−２で３番地から５１４番地、・・・・・・、Ｎ＝５１
１で５Ｔ′２番地から１０２３０２３番地５１２で５１
３番地から１０２４０２４番地・・・・と、実際に積算
処理が行われているのは常に５１２個の番地だけである
のに全スペクトルをカバーする沢山の番地が必要であり
、記憶容量もそれだけ大きくなっている。そこで、加算
器１５の出力輪から５１２×議、（＋ａは正の整数）を
差引く回路を設け、コンピュータ１０へ送られるアドレ
ス信号が１〜５１２の範囲に常に収まる様にすれば、上
記実施例ではＮ＝１において５１３番地に送られた検出
信号は１番地へ送られ、Ｎ＝２において５１３番地と５
１４番地へ送られた検出信号は夫々１番地と２１地へ送
られて加締されることになり、１番地から５１２番地ま
での記憶容量だけで積算が可能となる。ただし、このや
り方では同一番地をスペクトル上の異なる部位の積篩に
くり返し使用するので、１つのピークについて５１２回
の積粋が済んだら、次の部位の検出信号が送られて来る
前に積算値を読出してその番地をクリアすると共に、該
積粋値を表示装置へ送って表示してしまうか、他の記憶
手段へ格納する必要があることは言うまでもない。この
場合、番地と質暴数が一対−に対応しなくなるので、前
述した変換テーブルも前記質量数の値に応じて変える必
要がある。
積算される番地を調べるｉ、＊引開始即ちＮ＝０で１１
地から５１２番地、Ｎ＝１で２１地から５１３番地、Ｎ
−２で３番地から５１４番地、・・・・・・、Ｎ＝５１
１で５Ｔ′２番地から１０２３０２３番地５１２で５１
３番地から１０２４０２４番地・・・・と、実際に積算
処理が行われているのは常に５１２個の番地だけである
のに全スペクトルをカバーする沢山の番地が必要であり
、記憶容量もそれだけ大きくなっている。そこで、加算
器１５の出力輪から５１２×議、（＋ａは正の整数）を
差引く回路を設け、コンピュータ１０へ送られるアドレ
ス信号が１〜５１２の範囲に常に収まる様にすれば、上
記実施例ではＮ＝１において５１３番地に送られた検出
信号は１番地へ送られ、Ｎ＝２において５１３番地と５
１４番地へ送られた検出信号は夫々１番地と２１地へ送
られて加締されることになり、１番地から５１２番地ま
での記憶容量だけで積算が可能となる。ただし、このや
り方では同一番地をスペクトル上の異なる部位の積篩に
くり返し使用するので、１つのピークについて５１２回
の積粋が済んだら、次の部位の検出信号が送られて来る
前に積算値を読出してその番地をクリアすると共に、該
積粋値を表示装置へ送って表示してしまうか、他の記憶
手段へ格納する必要があることは言うまでもない。この
場合、番地と質暴数が一対−に対応しなくなるので、前
述した変換テーブルも前記質量数の値に応じて変える必
要がある。
尚、読出し制御回路７による１回の読出しは、読出しＣ
いる間にピークが隣の検出素子へ移動しないように＾速
度で行う必要がある。
いる間にピークが隣の検出素子へ移動しないように＾速
度で行う必要がある。
以上詳述した如く、本発明によればイオン源から発生し
たイオンの利用効率が上昇し、しかもスペクトルピーク
が検出器列の端から端まで移動する間積梼することがで
きるので、ＳＮ比が向上す□・：１： ると共に感度の向上も図ることができる。
たイオンの利用効率が上昇し、しかもスペクトルピーク
が検出器列の端から端まで移動する間積梼することがで
きるので、ＳＮ比が向上す□・：１： ると共に感度の向上も図ることができる。
第１図は婦引型賀−分析＠画の基本構成を示す第３図は
本発明の一実施例の構成を示す図、第４図はその動作を
説明するための図である。 １：イオン源、３．３−：電極、４：磁石、５：チャン
ネルプレート、６：微小検出器列、７：読出し制御回路
、９：メモリ、１０：コンピュータ、１１：磁場制御回
路、１２：俸引回路、１３：磁場変化検出回路、１４：
カウンタ、１５：加算器。 ［・□″１１ 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 加勢忠雄
本発明の一実施例の構成を示す図、第４図はその動作を
説明するための図である。 １：イオン源、３．３−：電極、４：磁石、５：チャン
ネルプレート、６：微小検出器列、７：読出し制御回路
、９：メモリ、１０：コンピュータ、１１：磁場制御回
路、１２：俸引回路、１３：磁場変化検出回路、１４：
カウンタ、１５：加算器。 ［・□″１１ 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 加勢忠雄
Claims (1)
- イオン源と、該イオン源で生成されたイオンを質量スペ
クトルとして展開するための手段と、スペクトルの展開
面に沿って配置された空間分解能を有する微小検出器列
と、該微小検出器列上でスペクトルを掃引するための手
段と、該微小検出器列上でスペクトルが微小検出器１個
分移動する毎に歩進されるカウンタと、上記スペクトル
信号よりも速い繕引速度で上記微小検出器列から検出信
号を順次くり返し読み出す手段と、該読出し手段によっ
て読み出されている検出器の位置を示す位置信号を発生
する手段と、読み出された各微小検出器からの検出信号
を該位置信号と上記カウンタのカウント値の加粋値に対
応したアドレスの記憶番地へ積算する記憶演算手段とを
備えたことを特徴とする質−分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57037636A JPS58154155A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57037636A JPS58154155A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58154155A true JPS58154155A (ja) | 1983-09-13 |
Family
ID=12503125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57037636A Pending JPS58154155A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58154155A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3710935A1 (de) * | 1986-04-23 | 1987-10-29 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren zum betrieb eines massenspektrometers sowie massenspektrometer zur durchfuehrung des verfahrens |
-
1982
- 1982-03-10 JP JP57037636A patent/JPS58154155A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3710935A1 (de) * | 1986-04-23 | 1987-10-29 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren zum betrieb eines massenspektrometers sowie massenspektrometer zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE3710935C2 (de) * | 1986-04-23 | 1994-08-18 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Massenspektrometers sowie Massenspektrometer zur Durchführung des Verfahrens |
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