DE3707096A1 - Magnetkopftragfluegel zur verwendung mit einem magnetischen aufzeichnungstraeger - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft allgemein einen Magnetkopftragflügel und eine ihn verwendende Magnetplatteneinrichtung. Insbe­ sondere betrifft sie einen Magnetkopftragflügel und eine Magnetplatteneinrichtung sowie ein Verfahren zur Herstel­ lung einer Magnetplatte, wobei durch in der Luft mitgeführ­ te Rückstände oder Teilchen oder andere Schmutzstoffe her­ vorgerufene ungünstige Auswirkungen ausgeschaltet sind, so daß die Betriebszuverlässigkeit verbessert wird.

Um die Zuverlässigkeit einer Magnetplatteneinrichtung zu verbessern und insbesondere einen ungewollten Kontakt bzw. eine Kollision zwischen einem Magnetkopftragflügel und einer Magnetplatte zu vermeiden, müssen etwaige in der Luft vorhandene Teilchen, die zwischen den Magnetkopftragflügel und die Magnetplatte eindringen, sowie eventuelle Rück­ stände, die bei der Herstellung der Magnetplatte an diese angezogen werden, entfernt werden, und der Magnetkopftrag­ flügel muß ein sehr gutes dynamisches Betriebsverhalten haben, damit er in stabiler Weise über einer Oberfläche der Magnetplatte schwimmen kann.

Es wurden bereits verschiedene Vorschläge gemacht, um die­ sen Anforderungen gerecht zu werden. Die US-PS 44 90 760 schlägt z. B. vor, etwaige feinen Teilchen von der Ober­ fläche der Magnetplatte durch eine kontrollierte Bewegung eines Zugriffsmechanismus des Magnetkopftragflügels wegzu­ blasen.

Ein Magnetkopftragflügel, der über der Plattenoberfläche schwimmen kann, ist in "Proceedings Fall Joint Computer Conference", 1963, S. 327-340, angegeben, wobei eine Zylin­ derfläche mit einer Kappe Lüftungslöcher aufweist. In der ungeprüften JP-Patentveröffentlichung Nr. 55 478/1980 ist ein Magnetkopftragflügel angegeben mit einer der Platten­ oberfläche gegenüberstehenden Lagerfläche, von der ein Teil geätzt ist zur Bildung von Nuten. Die Grundflächen der geätzten Nuten weisen Durchgangslöcher auf, die jeweils vom Nutgrund zur anderen Endfläche des Tragflügels verlaufen, wodurch ein Luftlagereffekt der geätzten Abschnitte mini­ miert wird.

Um den heutigen Bedürfnissen nach höherer Integration von Magnetplatteneinrichtungen gerecht werden zu können, muß die Lagegenauigkeit des Magnetkopftragflügels relativ zur Magnetplatte verbessert und der Abstand zwischen beiden verringert werden. Bei den vorstehend genannten bekannten Einrichtungen ist es jedoch nicht möglich, einen solchen Abstand in stabiler Weise zu unterhalten, und es ist ferner nicht möglich, feine Teilchen von einer laminaren Teil­ schicht einer Dicke von ca. 100 µm, die auf der Magnetplat­ te gebildet ist, zu einem von der laminaren Teilschicht weit entfernten Bereich abzutransportieren.

Aufgabe der Erfindung ist somit die Bereitstellung eines Magnetkopftragflügels, der Rückstände und Abriebteilchen von der laminaren Teilschicht auf einer Magnetplatte zu einem davon entfernten Bereich abführen kann und verhin­ dert, daß diese Teilchen erneut auf die Magnetplatte ange­ zogen werden; ferner soll der Magnetkopftragflügel mit einem "CSS"-System (Kontakt-Start-Stop-System) anwendbar sein und gleichzeitig auch dann in stabiler Weise dynamisch arbeiten können, wenn er nur einen im Submikronbereich liegenden Abstand über der Magnetplatte aufweist. Ferner werden eine Magnetkopftragflügel-Stützvorrichtung, die es dem Tragflügel ermöglicht, in stabiler Weise der Platten­ oberfläche zu folgen, sowie eine Magnetplatteneinrichtung mit einem solchen Magnetkopftragflügel und einer solchen Stützvorrichtung angegeben; ferner soll ein Verfahren zur Erzeugung einer Magnetplatte angegeben werden mit einem Magnetkopftragflügel, der Staub- und andere Teilchen von der Oberfläche der Magnetplatte entfernen kann.

Der Magnetkopftragflügel nach der Erfindung zur Verwendung mit einem magnetischen Aufzeichnungsträger, wobei der Ma­ gnetkopftragflügel einen Magnetkopf trägt und eine dem ma­ gnetischen Aufzeichnungsträger gegenüberstehende Lager­ fläche aufweist, die einen Luftlagereffekt erzeugt, so daß der Magnetkopftragflügel über einer Oberfläche des magneti­ schen Aufzeichnungsträgers schwimmt, wobei die Lagerfläche eine einen Lufteinlaß bildende abgefaste Fläche und einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt aufweist, ist dadurch gekennzeichnet, daß in dem flachen Schienenab­ schnitt Lüftungslöcher ausgebildet sind, die durch den Magnetkopftragflügel von dem flachen Schienenabschnitt zu einer dem magnetischen Aufzeichnungsträger gegenüberstehen­ den Endfläche des Magnetkopftragflügels verlaufen.

Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Perspektivansicht einer Stützvorrichtung für den Magnetkopftragflügel gemäß einer Aus­ führungsform der Erfindung;

Fig. 2 eine Draufsicht auf den Magnetkopftragflügel von Fig. 1;

Fig. 3 eine Perspektivansicht des Magnetkopftrag­ flügels von Fig. 1;

Fig. 4 einen Schnitt entlang der Schnittlinie IV-IV von Fig. 3;

Fig. 5 und Fig. 6 Draufsichten auf weitere Ausführungsformen der Magnetkopftragflügel nach der Erfindung, jeweils mit einem Unterdruckbereich;

Fig. 7 eine Perspektivansicht einer Stützvorrichtung für eine weitere Ausführungsform des Magnet­ kopftragflügels nach der Erfindung;

Fig. 8 eine Draufsicht auf den Magnetkopftragflügel nach Fig. 7;

Fig. 9 eine Perspektivansicht einer weiteren Ausfüh­ rungsform des Magnetkopftragflügels nach der Erfindung, mit einer Luftleitplatte in einem Lüftungsloch;

Fig. 10 einen Schnitt durch den Magnetkopftragflügel entlang der Linie X-X von Fig. 9;

Fig. 11 eine Perspektivansicht einer weiteren Ausfüh­ rungsform der Erfindung, wobei in dem flachen Schienenteil mehrere Lüftungslöcher ausgebil­ det sind;

Fig. 12 eine Explosionsansicht einer Stützvorrichtung für einen Magnetkopftragflügel nach der Erfin­ dung mit Lüftungslöchern;

Fig. 13 die Beziehung zwischen dem Durchmesser eines Lüftungslochs und der Flughöhe des Magnetkopf­ tragflügels über der Magnetplatte;

Fig. 14 die Beziehung zwischen der Flughöhe des Ma­ gnetkopftragflügels und der Menge abgeführter Staubteilchen;

Fig. 15 bis 17 grafische Darstellungen, die das dynamische Betriebsverhalten des Magnetkopftragflügels nach der Erfindung gegenüber einem bekannten Magnetkopftragflügel zeigen;

Fig. 18 eine Perspektivansicht eines Teils einer Ma­ gnetplatteneinrichtung gemäß der Erfindung;

Fig. 19 eine Draufsicht auf eine Magnetplatteneinrich­ tung nach der Erfindung mit einer Steuerein­ heit; und

Fig. 20 eine Seitenansicht der Magnetplatteneinrich­ tung entlang der Linie XX-XX von Fig. 19.

Gemäß Fig. 1 umfaßt ein Magnetkopftragflügel 1 abgefaste Flächen 4, die als Lagerflächen mit Luftlagereffekt gegen­ über einer Magnetplatte dienen, sowie flache Schienen 2 und trägt einen Magnetkopf 6. In den flachen Schienen 2 sind Lüftungslöcher 3 ausgebildet, die den Magnetkopftragflügel 1 durchsetzen. Die abgefasten Flächen 2 dienen als Flächen, entlang welchen Luft in den Zwischenraum zwischen dem Ma­ gnetkopftragflügel und der Magnetplatte eintritt. Der Ma­ gnetkopftragflügel 1 ist an einer kardanischen Aufhängung 8 befestigt und elastisch abgestützt und über die kardanische Aufhängung 8 mit einem Tragflügelstützelement 5 verbunden. Aufgenommene elektrische Signale werden vom Magnetkopf 6 über eine Zuführung 7, die auf dem Tragflügelstützelement 5 verläuft, einer Lese/Schreibschaltung zugeführt.

Wie aus Fig. 2 hervorgeht, ist auf jeder Seite eines an der kardanischen Aufhängung 8 vorgesehenen Drehpunkts 10 ein Lüftungsloch 3 ausgebildet. Die beiden flachen Schienen 2 verlaufen in Längsrichtung zu beiden Seiten des Magnetkopf­ tragflügels 1. Eine Mittelschiene 9 verläuft in Längsrich­ tung des Magnetkopftragflügels 1 in dessen Mitte.

Die Funktionsweise dieses Magnetkopftragflügels 1 wird unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 erläutert. Während der Rotation der Magnetplatte wird in den Luftlagerab­ schnitten, also zwischen den flachen Schienen 2 und einer Magnetplatte 15, Luft komprimiert. Ein Teil dieser Druck­ luft wird durch die Lüftungslöcher 3 zur Rückseite des Magnetkopftragflügels 1 abgeleitet. Dadurch werden schwe­ bende Rückstände und andere Schmutzteilchen 11 zu einem Bereich abtransportiert, der von einer laminaren Teil­ schicht L, die auf einer Oberfläche der Magnetplatte 15 gebildet ist (vgl. Fig. 4), ausreichend weit entfernt ist. Die so herausgeführten Rückstände und sonstigen Schmutz­ teilchen 11 werden dann zur Außenseite der Magnetplatte 15 längs einem Luftstrom abgeführt, der mit der Umlaufbewegung der Platte 15 in Richtung des Pfeils A erzeugt wird und nach radial außen gerichtet (Pfeil B) ist. Somit wird ver­ hindert, daß die Rückstände und Schmutzteilchen 11 erneut auf die Oberfläche der Magnetplatte 15 angezogen werden. Aus dem gleichen Grund können die Rückstände und Schmutz­ teilchen 11 nicht auf den Magnetkopftragflügel 1 angezogen werden.

Bei dem Magnetkopftragflügel 1 wird die Luft zuerst entlang den abgefasten Flächen 4 komprimiert. Der Druck ist im mittleren Bereich der flachen Schiene 2 etwas verringert und steigt am hinteren Endabschnitt der flachen Schiene 2 wieder an. Infolgedessen treten am Grenzabschnitt zwischen der abgefasten Eintrittsfläche 4 und der flachen Schiene 2 sowie am hinteren Endabschnitt der flachen Schiene 2 Luft­ druckspitzen auf. Der so aufgebaute Luftdruck erzeugt eine Kraft, die die Kraft ausgleicht, die den Magnetkopftrag­ flügel 1 nach unten beaufschlagt, so daß der Magnetkopf­ tragflügel 1 über der Magnetplatte 15 schwimmen kann. Die Flughöhe, die Lage und das dynamische Betriebsverhalten des Magnetkopftragflügels 1 sind veränderlich in Abhängigkeit davon, wie die den Magnetkopftragflügel 1 beaufschlagende Druckkraft durch die vom Luftdruck erzeugte Kraft ausge­ glichen wird. Somit ist ersichtlich, daß die Luftdruckver­ teilung entlang der Länge der flachen Schiene 2 durch das Anbringen der Luftlöcher 3 in den flachen Schienen 2 ver­ änderbar ist. Ferner ergibt sich durch die Ableitung von Luft durch die Lüftungslöcher 3 ein Dämpfungseffekt zur Stabilisierung des Magnetkopftragflügels 1. Aus diesen Gründen weist der Magnetkopftragflügel 1 gemäß dieser Aus­ führungsform überlegene Schwimmeigenschaften auf.

Hinsichtlich der Größe der Lüftungslöcher 3 ist zu beach­ ten, daß ein stabiles Schwimmverhalten des Magnetkopftrag­ flügels 1 auch dann erreichbar ist, wenn der Durchmesser des Lüftungslochs 3 angenähert der Breite der flachen Schiene 2 entspricht. In diesem Fall erreicht der größte Teil der Luft, in der die Rückstände und Schmutzteilchen enthalten sind, das Lüftungsloch 3, so daß ein großer An­ teil dieser Verschmutzungen durch das Lüftungsloch abge­ führt wird. Infolgedessen kann jede Gefahr des Einschlusses von Rückständen und anderen Schmutzteilchen signifikant verringert werden.

Die Fig. 5 und 6 zeigen weitere Ausführungsformen, die jeweils einen Unterdruckbereich aufweisen. Der Ausdruck "Unterdruckbereich" bedeutet einen Bereich, in dem sich die unter der flachen Schiene komprimierte Luft auf einen Pegel unterhalb Atmosphärendruck ausdehnt. Insbesondere ist bei dem Magnetkopftragflügel 1 nach Fig. 5 ein Unterdruckbe­ reich durch eine abgefaste Fläche 12 gebildet, die an einem hinteren Endabschnitt jeder flachen Schiene 2 gebildet ist. Ein Lüftungsloch 3 dient der Abführung von Rückständen und anderen Schmutzteilchen, so daß eine Ansammlung solcher Teilchen auf der abgefasten Fläche 12 verhindert wird. Fig. 6 zeigt einen Magnetkopftragflügel 1 mit einem durch eine unterschnittene Fläche 13 definierten ausgesparten Bereich. Da in diesem Bereich ein Unterdruck ausgebildet wird, wird der Magnetkopftragflügel 1 von einer größeren als der ursprünglichen Preßkraft gegen die Magnetplatte gedrückt. Die den Magnetkopftragflügel 1 beaufschlagende Preßkraft wird also erhöht, um dadurch das dynamische Betriebsver­ halten des Magnetkopftragflügels 1 gegenüber der Bewegung der Magnetplatte zu verbessern. Andererseits führt die erhöhte Preßkraft, die den Magnetkopftragflügel 1 beauf­ schlagt, zu dem Problem, daß eine ruhige Vertikalbewegung des Magnetkopftragflügels 1 beeinträchtigt wird, wenn die­ ser die Rückstände und anderen Schmutzteilchen auf der Ma­ gnetplatte kontaktiert. Durch die ständige Abführung von Teilchen durch die Lüftungslöcher 3 wird jedoch die ungün­ stige Auswirkung dieser Teilchen verringert, so daß der Unterdruckeffekt seine volle Wirkung entfalten kann.

Die Fig. 7 und 8 zeigen eine weitere Ausführungsform, bei der in jeder flachen Schiene 2 zwei Lüftungslöcher 3 aus­ gebildet sind. Nach Fig. 7 hat der Magnetkopftragflügel 1, der zu einem Dünnfilmmagnetkopf gehört, abgefaste Flächen 4 und flache Schienen 2 und ist mit einem Stützelement 5 über eine kardanische Aufhängung 8 verbunden. Vier Lüftungslö­ cher 3 sind in Abschnitten ausgebildet, die nicht den Punk­ ten entsprechen, an denen der Magnetkopftragflügel 1 mit der kardanischen Aufhängung 8 verbunden ist. Durch das Vor­ sehen von zwei Lüftungslöchern 3 in jeder flachen Schiene 2 ist es möglich, die Verteilung des zwischen der Schiene 2 und der Magnetplatte ausgebildeten Luftdrucks in einfacher Weise zu optimieren. Diese Lüftungslöcher haben also den Effekt, die Schwimmstabilität des Magnetkopftragflügels 1 zu verbessern, während gleichzeitig Rückstände und andere Schmutzteilchen durch sie abgeführt werden.

Die Fig. 9 und 10 zeigen eine weitere Ausführungsform, bei der in jedem Lüftungsloch 3 eine Luftleitplatte 14 vorge­ sehen ist. Die Luftleitplatte 14 ermöglicht eine Zirkula­ tion der Luft im Lüftungsloch 3 in schnellerer und einfa­ cherer Weise, als wenn keine Luftleitplatte vorgesehen ist. Die Luftleitplatte 14 ist z. B. durch Ätzen und Biegen eines rostfreien Stahlblechs gebildet. Die so gebildete Luftleitplatte 14 ist in geeigneter Weise mit dem Magnet­ kopftragflügel 1 haftend verbunden.

Gemäß Fig. 11 sind drei Lüftungslöcher 3 a, 3 b und 3 c in jeder flachen Schiene 2 auf einem Magnetkopftragflügel 1 ausgebildet. Dabei liegt das Lüftungsloch 3 a nahe dem Luft­ eintrittsende in einer Position, in der es keine Störung der abgefasten Fläche 4 bewirkt. Das Lüftungsloch 3 c ist nahe dem hinteren Endabschnitt der flachen Schiene 2 aus­ gebildet. Das Lüftungsloch 3 b liegt zwischen diesen beiden Lüftungslöchern 3 a und 3 c. Diese drei Lüftungslöcher 3 a, 3 b, 3 c durchsetzen den Magnetkopftragflügel 1 von der einen zur anderen Seite. Bei dieser Ausführungsform wird über die Länge der flachen Schiene 2 aufgrund der in jeder Schiene 2 ausgebildeten drei Lüftungslöcher eine sattelartige Druck­ luftverteilung erzielt, wodurch die Schwimmstabilität des Magnetkopftragflügels 1 weiter verbessert wird.

Zur Abführung von Rückständen und anderen Schmutzteilchen von der Oberfläche der Magnetplatte genügt es, daß nur wenigstens eines der drei Lüftungslöcher 3 a, 3 b und 3 c das dem Magnetkopftragflügel 1 gegenüberstehende Ende erreicht. D. h., daß die beiden übrigen Lüftungslöcher nicht immer bis zur entgegengesetzten Seite des Magnetkopftragflügels 1 durchlaufen müssen. In diesem Fall dienen diese beiden Blindlöcher als Druckregelungslöcher, die zur Schwimmsta­ bilisierung und zu einer geringen Flughöhe des Magnetkopf­ tragflügels beitragen. Die Art und Weise, in der die Druck­ regelungslöcher und das Lüftungsloch kombiniert sind, kann je nach den Bedingungen, z. B. den erwünschten Charak­ teristiken des Magnetkopftragflügels, änderbar sein.

Nachstehend wird die Vorrichtung zur Stützung des Magnet­ kopftragflügels 1 erläutert. Gemäß Fig. 12 sind auch in der kardanischen Aufhängung 8 und in dem Stützelement 5 für den Tragflügel Luftdurchtrittslöcher 3′, 3′′, die mit den Lüf­ tungslöchern 3 im Magnetkopftragflügel 1 kommunizieren kön­ nen, ausgebildet. Bei dieser Anordnung können die feinen Teilchen von der Oberfläche der Magnetplatte zu einem davon entfernten Bereich transportiert werden.

Bei den vorstehend erläuterten Ausführungsbeispielen hat das Lüftungsloch einen Durchmesser, der zwischen 40% und 90% der Breite der flachen Schiene beträgt, und das Lüf­ tungsloch ist bevorzugt durch Ultraschall- oder Laser­ strahlbearbeitung od. dgl. ausgebildet.

Wie aus Fig. 13 hervorgeht, nimmt die Flughöhe mit zuneh­ mendem Durchmesser des Lüftungslochs ab. Es ist jedoch möglich, die erforderliche Flughöhe dadurch zu erreichen, daß die Breite der flachen Schiene geeignet gewählt wird. Es ist auch ersichtlich, daß die Flughöhe im wesentlichen konstant ist, wenn das Verhältnis über 80% liegt. Dies ist der Tatsache zuzuschreiben, daß der Anteil des Drucks auf der Oberfläche der flachen Schiene sich über deren Breite ändert. D. h., die beiden Endabschnitte der flachen Schiene in Breitenrichtung tragen nicht wesentlich zu dem Lager­ effekt bei, so daß jede Durchmesseränderung innerhalb sol­ cher Randbereiche keine besondere Änderung hinsichtlich der Auswirkung des Lüftungslochs bewirkt. Aus diesen Gründen beträgt der Durchmesser des Lüftungslochs bevorzugt, wenn auch nicht ausschließlich, mehr als 80% der Breite der flachen Schiene. Es ist ferner ersichtlich, daß mit zuneh­ mendem Durchmesser des Lüftungslochs der Effekt der Abfüh­ rung von Rückständen und anderen Schmutzteilchen ebenfalls zunimmt (vgl. Fig. 14). Praktisch gesehen sind die Lüf­ tungslöcher in den Abschnitten der flachen Schienen, die mit dem Schwenkpunkt 10 (Fig. 2) fluchten, oder in vorderen und hinteren Abschnitten der flachen Schiene ausgebildet; allerdings ist die Lage der Lüftungslöcher über die Länge der flachen Schienen frei wählbar, ohne daß eine Reduzie­ rung des Effekts der Abführung von Rückständen und anderen Schmutzteilchen eintreten würde. Anzahl und Form der Lüf­ tungslöcher sollte zwar nach Maßgabe des gewünschten Be­ triebsverhaltens, z. B. der erforderlichen Flughöhe des Magnetkopftragflügels, sowie der Herstellungsbedingungen gewählt werden, aber vom Fertigungsstandpunkt wird eine zylindrische Form der Lüftungslöcher bevorzugt.

Die Fig. 15, 16 und 17 zeigen das dynamische Betriebsver­ halten des Magnetkopftragflügels, und zwar den Betrag der Änderung der Flughöhe des Magnetkopftragflügels gegenüber dem Anfangswert der Flughöhe aufgrund einer Vertikalver­ schiebung der Magnetplattenoberfläche. In Fig. 15 zeigt dabei eine Strichlinienkurve das Betriebsverhalten des Ma­ gnetkopftragflügels nach der Erfindung, während eine Voll­ linienkurve dasjenige eines konventionellen Magnetkopftrag­ flügels zeigt, der zwar die gleichen flachen Schienen und abgefasten Flächen, aber keine Lüftungslöcher aufweist. Aus dieser Figur ist ersichtlich, daß durch die Erfindung die Resonanzfrequenz von ca. 11 kHz auf ca. 18 kHz angehoben wird, während das Amplitudenverhältnis verkleinert wird. Dies zeigt, daß die Dämpfungskennlinie der zwischen der Magnetplatte und dem Magnetkopftragflügel gebildeten Druck­ luftfeder durch das Vorhandensein der Lüftungslöcher 3 ver­ bessert wird. Es ist ersichtlich, daß es mit der Erfindung möglich ist, ein überlegenes dynamisches Betriebsverhalten des Tragflügels aufgrund des Dämpfungseffekts, der sich durch die Luftabführung aus den Lüftungslöchern 3 ein­ stellt, zu erzielen.

Die Ausführungsformen des Magnetkopftragflügels nach den Fig. 6 und 8 wurden jeweils mit einem konventionellen Ma­ gnetkopftragflügel hinsichtlich des dynamischen Betriebs­ verhaltens des Tragflügellagers verglichen, und die Ergeb­ nisse sind in den Fig. 16 bzw. 17 gezeigt. Dabei ist er­ sichtlich, daß die Fig. 16 und 17 die gleiche Tendenz wie Fig. 15 aufweisen, nämlich ein höheres dynamisches Be­ triebsverhalten des Magnetkopftragflügels nach der Erfin­ dung gegenüber konventionellen Tragflügeln aufgrund des Dämpfungseffekts, der sich durch die Luftabführung aus den Lüftungslöchern einstellt.

Gemäß Fig. 18 ist der Magnetkopftragflügel 1 mit Lüftungs­ löchern 3 von dem Tragflügelstützelement 5 abgestützt, das mit einem Führungsarm 17 verbunden ist. Der Magnetkopftrag­ flügel 1 kann in Suchrichtung entsprechend einem Pfeil A nach Maßgabe der Bewegung des Führungsarms 17 bewegt wer­ den, auf den Antriebskraft von einem Antrieb (nicht ge­ zeigt) übertragen wird. Eine Magnetplatte 15 ist so ange­ ordnet, daß sie dem Magnetkopftragflügel 1 gegenübersteht, und läuft in Richtung B um. Ein Leitelement 16, das als Luftleitelement dient, ist abstrom vom Magnetkopftragflügel 1 in bezug auf die Umlaufrichtung der Platte 15 angeordnet, um den die umlaufende Platte begleitenden Luftstrom zur radial äußeren Seite der Magnetplatte 15 abzulenken. Dieses Leitelement 16 hat V-Querschnitt. Daher werden alle Rück­ stände und sonstigen Schmutzteilchen, die in den Zwischen­ raum zwischen der umlaufenden Magnetplatte 15 und dem über ihr schwimmenden Magnetkopftragflügel 1 gelangen, von der laminaren Teilschicht auf der Magnetplatte 15 getrennt und nach oben durch die Lüftungslöcher 3 zusammen mit Luft ge­ leitet. Die so abgeführte Luft, die die Rückstände und andere Schmutzteilchen enthält, wird dann von dem Luftleit­ element 16 vor Ablauf einer vollen Umdrehung der Magnet­ platte 15 aufgefangen, so daß die Teilchen zur Außenseite der Magnetplatte entlang dem V-förmigen Kanal im Luftleit­ element 16 abgeführt werden.

Gemäß Fig. 19 hat der Magnetkopftragflügel 1 Lüftungslö­ cher. Die aus den Lüftungslöchern austretenden, von der Luft mitgeführten Rückstände und anderen Schmutzteilchen werden in einem Staubdetektor 19 mittels einer Saugvorrich­ tung 18 aufgefangen. Der Staubdetektor 19 mißt den Gehalt der Luft an Rückständen und anderen Schmutzteilchen und übermittelt entsprechende Information an eine Steuereinheit 20. Die Steuereinheit 20 führt eine Rechenoperation durch, bei der die den Gehalt an in der Luft mitgeführten Teilchen darstellende Information mit einem Sollpegel verglichen wird, und übermittelt das Vergleichsergebnis als Statusin­ formation, die dem momentanen Status der Magnetplattenein­ richtung entspricht, an einen Verarbeitungsrechner. Dieser kann einen Befehl zum Abschalten der Magnetplatteneinrich­ tung übermitteln, falls die ihm zugeführte Statusinforma­ tion anzeigt, daß ein Sollpegel an in der Luft mitgeführten Teilchen überschritten worden ist. Selbstverständlich kann die Steuereinheit 20 unabhängig und lokal die zugehörige Magnetplatteneinrichtung abschalten, ohne dafür einen Be­ fehl vom Verarbeitungsrechner zu erhalten, wenn sie ent­ scheidet, daß der zulässige Sollpegel an Teilchen über­ schritten worden ist.

Der Magnetkopftragflügel nach der Erfindung kann nicht nur zur Abführung von Rückständen und anderen Schmutzteilchen während des Betriebs einer Magnetplatteneinrichtung, son­ dern auch zur Abführung verschiedener Teilchen bei der Her­ stellung von Magnetplatten eingesetzt werden. Insbesondere wird bei einem Magnetplatten-Herstellungsverfahren, bei dem in einem Arbeitsschritt ein Medium auf die Oberfläche eines Substrats aufgebracht wird, eine Magnetschicht zuerst auf dem Substrat gebildet, und dann wird die Oberfläche der Magnetschicht geeignet bearbeitet und gespült. Anschließend werden etwa auf die gespülte Oberfläche angezogene Schmutz­ teilchen von dem Magnetkopftragflügel nach der Erfindung mittels der Lüftungslöcher abgeführt. Nach dem Aufbringen eines Schmiermittels wird die Magnetplatte dann in die Ma­ gnetplatteneinrichtung eingebaut. Nach dem Aufbringen des Schmiermittels kann das Abführen der Schmutzteilchen durch­ geführt werden.

Wenn die herzustellende Magnetplatte ein Dünnfilmmedium verwendet, werden auf die Plattenoberfläche angezogene Schmutzteilchen durch den Magnetkopftragflügel mit den Luftlöchern nach dem Aufbringen des Dünnfilms entfernt. Die Platte wird dann in einer Magnetplatteneinrichtung ange­ ordnet. Somit kann der Magnetkopftragflügel nach der Er­ findung in wirksamer Weise zum Reinigen der Magnetplatte vor deren Einführen in eine Magnetplatteneinrichtung ein­ gesetzt werden. Auch ist er zur Durchführung einer Reini­ gung der Magnetplatte selbst nach dem Aufsetzen der Platte auf eine Spindel in der Einrichtung verwendbar, und zwar insbesondere unmittelbar vor dem Aufbringen einer Abdec­ kung, die das Innere der Einrichtung gegenüber der Umge­ bungsluft abschirmt.

Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, werden durch den Magnetkopftragflügel nach der Erfindung die Zuverlässigkeit und das Betriebsverhalten der Magnet­ platteneinrichtung signifikant verbessert, und zwar durch den Effekt der Abführung von Schmutzteilchen sowie den Dämpfungseffekt des Magnetkopftragflügels aufgrund der in diesem ausgebildeten Lüftungslöcher.

Claims (13)

1. Magnetkopftragflügel zur Verwendung mit einem magneti­ schen Aufzeichnungsträger, wobei der Magnetkopftragflügel (1) einen Magnetkopf (6) trägt und eine dem magnetischen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehende Lagerfläche auf­ weist, die einen Luftlagereffekt erzeugt, so daß der Ma­ gnetkopftragflügel (1) über einer Oberfläche des magneti­ schen Aufzeichnungsträgers (15) schwimmt, wobei die Lager­ fläche eine einen Lufteinlaß bildende abgefaste Fläche (4) und einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß in dem flachen Schienenabschnitt (2) Lüftungslöcher (3) ausgebildet sind, die durch den Magnetkopftragflügel (1) von dem flachen Schienenabschnitt (2) zu einer dem magneti­ schen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehenden Endfläche des Magnetkopftragflügels (1) verlaufen.

2. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der flache Schienenabschnitt zwei flache Schienen (2) aufweist, und daß in jeder flachen Schiene (2) wenigstens ein Lüftungsloch (3) vorgesehen ist.

3. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerfläche so ausgebildet ist, daß sie zwischen dem flachen Schienenabschnitt (2) und dem magnetischen Auf­ zeichnungsträger (15) einen Druck erzeugt, der höher als Atmosphärendruck ist (Fig. 1).

4. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerfläche so ausgebildet ist, daß sich die Luft, nachdem sie in einem Zwischenraum zwischen dem magnetischen Aufzeichnungsträger (15) und dem flachen Schienenabschnitt (2) komprimiert wurde, sich in diesem Zwischenraum wiederum ausdehnt auf einen Druck, der unter Atmosphärendruck liegt (Fig. 5, 6).

5. Magnetkopftragflügel zur Verwendung mit einem magneti­ schen Aufzeichnungsträger, wobei der Magnetkopftragflügel (1) einen Magnetkopf (6) trägt und eine dem magnetischen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehende Lagerfläche auf­ weist, die einen Luftlagereffekt erzeugt, so daß der Ma­ gnetkopftragflügel (1) über einer Oberfläche des magneti­ schen Aufzeichnungsträgers (15) schwimmt, wobei die Lager­ fläche eine einen Lufteinlaß bildende abgefaste Fläche (4) und einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß in dem flachen Schienenabschnitt (2) Lüftungslöcher (3) ausgebildet sind, die den Magnetkopftragflügel (1) von dem flachen Schienenabschnitt (2) ausgehend zu einer dem magne­ tischen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehenden End­ fläche des Magnetkopftragflügels (1) durchsetzen, und daß in jedem Lüftungsloch (3) eine Luftleitplatte (14) vor­ gesehen ist (Fig. 9, 10).

6. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Luftleitplatte (14) nicht über die Lagerfläche in Richtung zum magnetischen Aufzeichnungsträger, sondern von der entgegengesetzten Endfläche des Magnetkopftragflügels (1) vorspringt.

7. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Luftleitplatte (14) an einem vorspringenden End­ abschnitt abgewinkelt ist.

8. Magnetkopftragflügel zur Verwendung mit einem magneti­ schen Aufzeichnungsträger, wobei der Magnetkopftragflügel (1) einen Magnetkopf (6) trägt und eine dem magnetischen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehende Lagerfläche auf­ weist, die einen Luftlagereffekt erzeugt, so daß der Ma­ gnetkopftragflügel (1) über einer Oberfläche des magneti­ schen Aufzeichnungsträgers (15) schwimmt, wobei die Lager­ fläche eine einen Lufteinlaß bildende abgefaste Fläche (4) und einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß in dem flachen Schienenabschnitt (2) eine Mehrzahl Luftlöcher (3 a, 3 b, 3 c) ausgebildet ist, wobei wenigstens ein Luftloch den Magnetkopftragflügel (1) von dem flachen Schienenabschnitt (2) bis zu einer dem magnetischen Auf­ zeichnungsträger (15) gegenüberstehenden Endfläche des Ma­ gnetkopftragflügels (1) durchsetzt, während die übrigen Luftlöcher diese Endfläche nicht erreichen und als Druck­ regelungslöcher wirken (Fig. 11).

9. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der flache Schienenabschnitt aus zwei flachen Schienen (2) besteht, die jeweils mehrere Luftlöcher (3 a, 3 b, 3 c) aufweisen.

10. Magnetkopftragflügel nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Luftlöcher (3 a) in einem Bereich nahe einem Luft­ eintrittsende der Lagerfläche ohne Beeinträchtigung der abgefasten Fläche (4) sowie (3 c) in einem Bereich nahe einem Luftaustrittsende der Lagerfläche und (3 b) in einem Bereich zwischen diesen beiden Bereichen ausgebildet sind.

11. Magnetkopftragflügel-Stützvorrichtung mit einem Magnetkopftragflügel (1) zur Verwendung mit einem magnetischen Aufzeichnungsträger (15), wobei der Magnet­ kopftragflügel einen Magnetkopf (6) trägt und eine dem ma­ gnetischen Aufzeichnungsträger gegenüberstehende Lager­ fläche aufweist, die einen Luftlagereffekt erzeugt, so daß der Magnetkopftragflügel (1) über einer Oberfläche des ma­ gnetischen Aufzeichnungsträgers (15) schwimmt, und wobei die Lagerfläche eine abgefaste Fläche (4), die einen Luft­ eintritt bildet, sowie einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt (2) aufweist; einem Magnetkopftragflügel-Stützelement (5), das den Ma­ gnetkopftragflügel (1) elastisch abstützt; und einer kardanischen Aufhängung (8), die an dem Stützelement (5) befestigt ist und den Magnetkopftragflügel (1) hält, dadurch gekennzeichnet, daß die kardanische Aufhängung (8) zwischen dem Magnetkopf­ tragflügel-Stützelement (5) und dem Magnetkopftragflügel (1) angeordnet ist und daß durchgehende Lüftungslöcher (3) vorgesehen sind, die von dem flachen Schienenabschnitt (2) durch die kardanische Aufhängung (8) zu dem Magnetkopftragflügel-Stützelement (5) verlaufen.

12. Magnetplatteneinrichtung, gekennzeichnet durch einen Magnetkopftragflügel (1) mit einer einem magnetischen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehenden Lagerfläche, die einen Luftlagereffekt erzeugt, so daß der Magnetkopf­ tragflügel über einer Oberfläche des magnetischen Aufzeich­ nungsträgers (15) schwimmt, wobei die Lagerfläche eine einen Lufteintritt bildende abgefaste Fläche (4) und einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt (2) aufweist, und mit Lüftungslöchern (3), die den Magnetkopftragflügel (1) von dem flachen Schienenabschnitt (2) zu einer dem ma­ gnetischen Aufzeichnungsträger (15) gegenüberstehenden End­ fläche des Magnetkopftragflügels (1) durchsetzen, so daß ein Teil der zwischen der Lagerfläche und dem magnetischen Aufzeichnungsträger komprimierten Luft abgeführt wird; eine Magnetkopftragflügel-Stützvorrichtung mit einem Stütz­ element (5), das den Magnetkopftragflügel (1) elastisch abstützt; eine Saugvorrichtung (18), die die durch die Lüftungslöcher (3) im Magnetkopftragflügel (1) abzuführende Luft absaugt; einen Detektor (19), der mit der Saugvorrichtung (18) ver­ bunden ist und den in der aus den Lüftungslöchern (3) abzu­ führenden Luft enthaltenen Anteil an feinen Teilchen er­ faßt; und eine Steuereinheit (20), die entsprechend den Ergebnissen vom Detektor (19) einen Betriebszustand ändert.

13. Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeich­ nungsträgers, wobei in einem Verfahrensschritt eine Magnet­ schicht oder ein Dünnfilm auf ein Substrat aufgebracht wird, gekennzeichnet durch den folgenden Schritt: Entfernen von Schmutzteilchen von einer Oberfläche des ma­ gnetischen Aufzeichnungsträgers dadurch, daß nach dem Auf­ bringen der Magnetschicht bzw. des Dünnfilms und vor dem Einbau des magnetischen Aufzeichnungsträgers in eine Ma­ gnetaufzeichnungseinrichtung ein Magnetkopftragflügel ange­ trieben wird, der eine dem magnetischen Aufzeichnungsträger gegenüberstehende Lagerfläche aufweist, die zwischen beiden einen Luftlagereffekt erzeugt, wobei die Lagerfläche eine einen Lufteintritt bildende abgefaste Fläche und einen damit verbundenen flachen Schienenabschnitt aufweist und in dem Magnetkopftragflügel Durchgangslöcher ausgebildet sind, die von dem flachen Schienenabschnitt zu einer dem magneti­ schen Aufzeichnungsträger gegenüberstehenden Endfläche des Magnetkopftragflügels verlaufen, so daß ein Teil der zwi­ schen dem magnetischen Aufzeichnungsträger und der Lager­ fläche komprimierten Luft abgeführt wird.