JPS59186170A - 浮動ヘッドスライダ - Google Patents

浮動ヘッドスライダ

Info

Publication number
JPS59186170A
JPS59186170A JP6167583A JP6167583A JPS59186170A JP S59186170 A JPS59186170 A JP S59186170A JP 6167583 A JP6167583 A JP 6167583A JP 6167583 A JP6167583 A JP 6167583A JP S59186170 A JPS59186170 A JP S59186170A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
pressure
recording medium
grooves
slider
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6167583A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0441432B2 (ja
Inventor
Toshio Fujimoto
敏夫 藤本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP6167583A priority Critical patent/JPS59186170A/ja
Publication of JPS59186170A publication Critical patent/JPS59186170A/ja
Publication of JPH0441432B2 publication Critical patent/JPH0441432B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider

Landscapes

  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は磁気ヘッドを保持し、この磁気ヘッドを所定の
間隙を隔てて記録媒体に安定に対向させて良好な磁気記
録再生を行わしめ得る実用性ノ高い浮動へラドスライダ
に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
情報処理システムの大容量記憶装置として所謂ハードデ
ィスクを記録媒体とした磁気ディスクク記憶装置が多く
用いられている。この装置はハードディスクを高速回転
させ乍ら、その情報記録面に微小間隙を隔てて磁気ヘッ
ドを対向させ、高螺に情報の磁気記録再生を行うもので
ある。しかして、上記微小間隙を隔てて磁気ヘッドをデ
ィスクの情報記録面に対向させるべく、従来専ら浮動へ
ラドスライダが用いられている。
この浮動へラドスライダは、例えば第1図に示すように
情報記録面に対向する面に2条の平行な滑面1a、Ib
を形成してなるスライダ本体2の端部に磁気ヘッド3を
取付けたものである。
上記滑面1h、Ibは磁気ヘッド3とディスクとの相対
的移動方向に設けられたものであって、その前方側、つ
まり磁気ヘッド3の取付は部と反対側の端部は切欠加工
され、昇圧機構としてのチーtJ?面4a、4bとされ
ている。
しかして、とのような構造の磁気ヘッド3を保持してな
る浮動へラドスライダによれば、第2図(、)に示すよ
うにディスク5の情報記録面に対向配置されたとき、デ
ィスク5の高速回転に伴って、その情報記録面と前記滑
面1a、Ibとの間に空気が流入し、前記テーパ面4a
、4bを経て圧縮された空気によって第2図(b)に示
す如き圧力がスライダの浮上刃として生起される。
この浮上刃と、スライダに加えられる荷重とが相俟って
上記滑面1a、lbと情報記録面との間に所定の゛微小
間隙が設定される。
ところで、このような浮動へラドスライダに保持された
磁気ヘッド3を用いて磁気記録再生を行う場合、前記へ
ラドスライダによって設定される情報記録面との間の微
小間隙が非常に重要な意味を持つ。例えば前記荷重を増
やして間隙を狭くすればディスク5に対するヘッド3の
追従性が良くなり、良好な磁気記録再生が可能となるが
、その反面、ディスク5の回転開始時や回転停止時には
前記浮上刃が十分生起しないことからディスク5との摩
擦が大きくなる。この結果、滑面1a、1bおよび磁気
ヘッド3の摩耗を招き、その寿命および動作安定性が著
しく劣化する。また前記荷重を軽くして微小間隙を広く
すると良好な磁気記録再生が望めなくなる。従って、良
好外磁無記録再生を可能とするべく上記荷重を最適設定
するには大きな困難が伴った。
また上述した浮上刃を得るテーパ面4a、4bのチーi
4角は非常に小さく、通常(0°20′)程度である。
従って、このようなテーノ4面4a。
4bを精度良く形成することが非常に難しく、製造歩留
りが悪いと云う問題もあった。
つまシ従来構造の浮動へラドスライダは、その製造自体
が難かしいことのみならず、装置への組込みに際しても
高精度な調整を必要とする等の不具合を有していた。そ
して、その摩耗を防ぎ、常に安定で良好な磁気記録再生
を行わせることが難かしかった。
〔発明の目的〕
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは、記録媒体との間の微小間隙を安
定に設定し、その摩耗を防いで良好な磁気記録再生を可
能とする安価で実用性の高い浮動へラドスライダを提供
するととにある。
〔発明の概要〕
本発明は、スライダ本体の記録媒体と対向する滑面に設
けられて、この滑面と上記記録媒体との間を逆流する空
気の圧力を以ってその浮上隙間を制御する圧力調整溝の
溝端部に障壁を設け、この障壁によって上記圧力調整溝
の溝内部とその周囲領域とを分離し、或いは上記溝内部
への通流空気に対する絞シ流路を形成するようにしたも
のである。
〔発明の効果〕
かくして本発明によれば、滑面に設けた圧力調整溝によ
って、記録媒体との間を通流する空気を有効に利用して
ヘッドの浮上隙間を設定するに良好な圧力を安定に得る
ことができる。これに加えて上記圧力調整溝の溝端部に
設けた障壁によって上記空気流に混入している微小塵埃
の上記溝部への侵入を防ぎ、その溝部への滞留および堆
積を防止するので前記圧力調整溝の機能を常に安定に働
かせることができる。しかも、障壁を備えた圧力調整溝
は、例えばエツチング技術を利用することによって簡易
に且つ高精度に形成することができるので、浮動へラド
スライダを歩留り良く安価に製作することができる。
故に、スライダの動的安定性を確保し、磁気ヘッドによ
る良好な記録再生を可能とする等の実用上多大なる効果
が奏せられる。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照して本発明の一実施例につき説明する
第3図は実施例に係る浮動へラドスライダの概略構成を
示す斜視図で、第1図に示す従来のへラドスライダと同
一部分には同一符号を付して示しである。この浮動へラ
ドスライダが特徴とするところは、スライダ本体2の磁
気記録媒体5に対向する滑面1a、lbに、従来のテ一
6一 74面4a、4bを形成することに代えて、昇圧用溝1
1a、Ilb、12a、12bと減圧用溝13a、13
bとを設けた点にある。上記昇圧用溝11h、llbは
滑面1a、1bの前方側に設けられたものであって、磁
気記録媒体5との相対的移動方向後方側に先絞り形状を
為す所謂「<」の字形状を為す溝として実現されている
。また他方の昇圧用溝12a、12bも同様な形状を有
し、これらは前記滑面1h、lbの後方側に設けられて
いる。そして前記減圧用溝1.9 a 、 13 bは
前記滑面1a、lbの略中央部位置に、つまり昇圧用溝
11a、llb。
12a、12bの中間位置に、前記相対的移動方向後方
側に末広がり形状を為す「<」の字状の溝として設けら
れている。これらの溝11a。
11b、12a、12b、13a、13bは、例えば滑
面1a、lbをその長手方向に4等分する位置に設けら
れる。
しかして、これらの各溝11a、llb。
12a、12b、13h、13bはイオンエツチング法
やスノやツタエツチング法を用いて滑面la、Ibにそ
れぞれ形成されるもので、その溝/fターンの位置精度
および形状精度は、その原画ノやターンを作成するに際
して用いられるディジタル測微計の誤差程度と、極めて
高いものと力る。またその溝深さは、エツチング加工速
度が1時間当シ1〜2μmと小さい条件下でエツチング
時間制御して規定され、±0.1μm以下の誤差範囲内
で所望寸法に定められる。
かくしてこのようにスライダ本体2の滑面lh、lbに
昇圧用溝11 a + 11 b H12a +12b
と減圧用溝13a、13bとを設けてなる浮動へラドス
ライダを磁気ディスク装置に組込み、磁気ディスク記録
媒体5に対向させて上記記録媒体5を高速回転させると
、第4図(a) (b)に示すように、上記滑面1a、
Ibと記録媒体5との間に通流する空気の圧力によって
、ヘッドスライダは所定の微小間隙を形成して記録媒体
5から浮上する。即ち、昇圧用溝1 l a r 1 
l b +12a、12bによって前記通流空気が局部
的に圧縮され1.これにより正の浮上刃が生起されてス
ライダ本体2が持ち上げられる。そして同時に減圧用溝
13a、13bは前記通流空気を局部的に膨張させ、負
圧を発生させる。この負圧は、スライダ本体2の滑面1
a、Ibと記録媒体5との間の間隙を狭くしようとする
作用を呈するものである。
しかしてこれらの溝11a、llb、12a。
12b、13h、13bが生起する流通空気による滑面
1a、lbと記録媒体5との間の圧力分布は、概略的に
は第4図(b)に示すようになり、これらが相互にバラ
ンスしてスライダ本体2は、その滑面1a、Ibと記録
媒体5との間に所定の微小間隙を安定に形成して浮上が
ることになるO ところで、前記昇圧用溝I J a H1l b H1
2a +12bおよび減圧用溝131L、13bはそれ
ぞれ次のようにして、その作用を呈する。即ち、昇圧用
溝111L、Ilb、12h、12bは、前述したよう
に相対移動方向後方側に先絞りの一9= 形状を有する。従って、滑面1a、lbと記録媒体5と
の間に上記相対移動方向前方側よシ流入する空気は、前
記昇圧用溝11a、llb。
12a、12bに入シ込んだとき、その先絞り形状によ
って徐々に圧縮されることになる。この圧縮された空気
が溝上面に逃げ道を求め、元の状態に戻ろうとするので
、この力がスライダの浮上刃(正の圧力)を生起するこ
とになる。
これに対して、減圧用溝13a、13bに入り込んだ通
流空気は、上記減圧用溝13 a、13bが相対的移動
方向後方側に末広がり形状である為、前記昇圧用溝11
 a 、 1 l b、12a、12bの場合とは逆に
徐々に膨張過程を辿る。この結果、空気は元の状態に戻
るべく、溝の有効断面積を小さくするべく負圧を発生す
ることになる。
従って、このようにして圧力を生起する昇圧用溝11a
、11b、12a、12bおよび減圧用溝13h、13
bにとっては、その溝形状が非常に重要な役割シを担う
と云える。
尚、とれらの溝11 a r 1 l b 、12a、
12b10− 13 a 、 1.9 bを滑面1th、lbのどこに
設けるかと云うことも、上記滑面IIL、Ibと記録媒
体5との間に所望とする圧力分布を得る上で重要となる
ことは云うまでもない。乙の際、昇圧用溝11a、ll
b、12a、12bによって得られる浮上刃により、滑
面1a、lbと記録媒体5とが平行になれば、スライダ
本体2の記録媒体5に対する追従特性が良く々る。そし
て、このことは、磁気ヘッド3による記録再生特性の向
上を促がし、またそのクラッシュ防止にも大きく寄与す
る。しかもスライダのピッチング方向に対する安定性も
増す。従って、これらのことを考慮すれば、各滑面1a
、lbにおいて前述したように2ケ所ずつ設けられる昇
圧用溝11a、llb、12a、12b間の距離をでき
る限り長く設定することが望ましいと云える。然し乍ら
、これらの溝11a、Ilb。
12h、12bを滑面1a、1bの空気流入端部側およ
び空気流出端部側に近接させて設けると、記録媒体5の
回転開始時や停止時において上記滑面1a、lbが記録
媒体5に接触して、上記端部の摩耗や欠けを生じるとと
がちり、とれによって溝形状が変化する虞れがある。故
に溝形状変化による圧力発生状態の変化を防ぐことを考
慮した上で、前記昇圧用溝11a、Ilb。
12a、12bの形成位置を設定することが望ましい。
従って、これを考慮した上で各港11a。
11b、12a、12b、13a、13bを滑面1a、
lbにそれぞれ設ければ、スライダ本体2のピッチング
方向に対する安定性を確保し、ディスク記録媒体5に対
する追従特性の向上を図って良好な記録再生を行わしめ
ることが可能となる。
ところで、基本的には上述した作用を呈する昇圧用溝お
よび減圧用溝、つまシ圧力調整溝15には、第5図にそ
の要部構成を示すようにその溝端部に障壁15が設けら
れている。この障壁15は、上記圧力調整溝14の溝内
部と、この溝内部とは空気圧力を異にする周囲領域とを
分離するものである。そして、これにより、配録媒体5
との間を通流する空気に混入している微小塵埃の上記溝
内部への侵入、そしてこの溝内部での滞留および堆積が
防がれるようになっている。
尚、この障壁15は、例えば第6図(a)〜(d)に示
す形状として形成することが可能である。即ち、第6図
(a) (b)にそれぞれ示すように、溝内部と周囲領
域とを完全に分離することなしに、空気流の溝内部に対
する絞り流路としての作用を呈するようにして、前記微
小塵埃の進入を防ぐようにしてもよい。また障壁15の
高さを第6図(C)に示すように溝深さに比して低くす
るようにしてもよく、更には第6図(d)に示すように
障壁15を多段に形成するようにしてもよい。
更に、溝内部に侵入してしまった微小塵埃を排出するべ
く、第7図に示すように圧力調整溝14の内部に、スラ
イダ本体20反対側面に連通ずる孔16を設けることも
有効である。
かくして上述したように滑面に圧力調整溝を備え、且つ
その圧力調整溝の溝端部に障壁を設13− けた構造の本浮動へラドスライダによれば、前記圧力調
整溝による空気流の有効利用によってスライダ本体2の
安定で良好な浮上刃を得ることができる。そして、この
圧力調整溝の作用によってスライダの動的安定性を高め
、その摩耗を防止して記録媒体に対する追従性を高める
ことができ、磁気ヘッドによる良好な記録再生を可能な
らしめる。その上、圧力調整溝の溝端部に設けた障壁が
、上記溝内部への塵埃の侵入を効果的に防止するので、
溝内部における塵埃の滞留や堆積による機能劣化を招来
する虞れがない。従って、スライダの動的安定性を長期
に亘って信頼性良く確保することが可能となる。
また上記構成の圧力調整溝は、スパッタエツチング法や
、イオンエツチング法を用いることによってスライダ本
体の滑面に簡易に、且つ高精度に形成することが可能で
ある。従って従来のテーパ面を形成するものとは異って
、安優に歩留シ良く製作することができ、その実用的利
点が極めて高い。
−14= 尚、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば溝形状やその溝深さ、更には滑面上の溝形成位置、
また障壁の形状等は仕様に応じて定めればよい。要する
にその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施可能で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の浮動ヘッrスライダの一例を示す図、第
2図(a) (b)は第1図に示す従来スライダの動作
姿勢とその浮上刃の圧力分布を示す図、第3図は本発明
の一実施例に係る浮動へラドスライダの概略構成を示す
図、第4図(a) (b)は実施例スライダの動作姿勢
とその浮上刃の圧力分布を示す図、第5図は実施例に係
る圧力8周整溝の要部構成図、第6図(、)〜(d)は
溝端部に設けられる障壁の′変形例を示す図、第7図は
溝内部に孔を設けた圧力調整溝の例を示す図である。 Ih、lb・・・滑面、2・・・スライダ本体、3・・
・磁気ヘッド、5・・・記録媒体、11arllb+1
2*。 12b・・・昇圧用溝、13h 、 13b・・・減圧
用溝、14・・・圧力調整溝(昇圧、減圧)、15・・
・障壁、16・・・孔。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦第1図 (a) (b) ↑ 第3図 b 第4図 (b)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 磁気ヘッドを記録媒体に対向させて保持し上記記録媒体
    との対向面を滑面としたスライダ本体と、このスライダ
    本体の上記滑面に設けられて前記滑面と記録媒体との間
    を通流する空気の圧力を調整して前記滑面と記録媒体と
    の間の浮上隙間を制御する圧力調整溝とを具備し、上記
    圧力調整溝は、その溝端部に溝内部と周囲領域とを分離
    する、或いは上記溝内部への前記通流空気に対する絞り
    流路を形成する障壁を形成したことを特徴とする浮動へ
    ラドスライダ。
JP6167583A 1983-04-08 1983-04-08 浮動ヘッドスライダ Granted JPS59186170A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6167583A JPS59186170A (ja) 1983-04-08 1983-04-08 浮動ヘッドスライダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6167583A JPS59186170A (ja) 1983-04-08 1983-04-08 浮動ヘッドスライダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59186170A true JPS59186170A (ja) 1984-10-22
JPH0441432B2 JPH0441432B2 (ja) 1992-07-08

Family

ID=13178057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6167583A Granted JPS59186170A (ja) 1983-04-08 1983-04-08 浮動ヘッドスライダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59186170A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3700906A1 (de) * 1986-01-14 1987-07-16 Canon Kk Verschluessler
JPS6313180A (ja) * 1986-03-07 1988-01-20 Hitachi Ltd 磁気ヘッドスライダ
JPS63161514A (ja) * 1986-12-24 1988-07-05 Hitachi Ltd 磁気ヘツドスライダ
JPS63187478A (ja) * 1987-01-30 1988-08-03 Hitachi Ltd ヘツドスライダ
US5086360A (en) * 1990-09-06 1992-02-04 Applied Magnetics Corporation Constant flying height slider
US5940249A (en) * 1997-11-10 1999-08-17 International Business Machines Corporation Shielded air bearing slider

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3700906A1 (de) * 1986-01-14 1987-07-16 Canon Kk Verschluessler
JPS6313180A (ja) * 1986-03-07 1988-01-20 Hitachi Ltd 磁気ヘッドスライダ
JPS63161514A (ja) * 1986-12-24 1988-07-05 Hitachi Ltd 磁気ヘツドスライダ
JPS63187478A (ja) * 1987-01-30 1988-08-03 Hitachi Ltd ヘツドスライダ
US5086360A (en) * 1990-09-06 1992-02-04 Applied Magnetics Corporation Constant flying height slider
US5940249A (en) * 1997-11-10 1999-08-17 International Business Machines Corporation Shielded air bearing slider

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0441432B2 (ja) 1992-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0107411B1 (en) Floating head slider
US4734803A (en) Magnetic head air bearing slider
EP0155756B1 (en) Recording head slider assembly
US6212032B1 (en) Pseudo contact negative pressure air bearing slider with divided negative pressure pockets
US5359480A (en) Magnetic head air bearing slider
US5406432A (en) Air bearing magnetic head sliders with separate center rail segments
WO2001041141A2 (en) Disc head slider having recessed, trenched rails for reduced stiction
US5568981A (en) Negative pressure air bearing slider
JPH071619B2 (ja) 磁気デイスク記録装置及び空気ベアリング・スライダ
US5748408A (en) Flight slider for magnetic recording
US7230797B1 (en) Slider having transversely separated bearing surfaces and openings to rear bearing surfaces
US20080170332A1 (en) Head slider
JPS59186170A (ja) 浮動ヘッドスライダ
US5156704A (en) Method for fabricating magnetic head air bearing sliders
US5739981A (en) Magnetic head sub-ambient air pressure slider for a disk drive device or the like
JPH06333354A (ja) 負圧利用浮動ヘッドスライダ及び回転円板記憶装置
WO1996019801A9 (en) Magnetic head sub-ambient air pressure slider for a disk drive device or the like
JP3438006B2 (ja) 浮動型磁気ヘッドとその製法
JP2001508579A (ja) 後縁カットで終了するサイド・レールを有するスライダー
JPS63255883A (ja) 浮上式スライダ
JPS59186171A (ja) 浮動ヘツドスライダ
JPH06150601A (ja) 磁気ヘッドスライダ
JPH0435833B2 (ja)
JPH1196715A (ja) 磁気ヘッドスライダー
US5721649A (en) Floating type magnetic head slider having air inflow side triangular protrusions