DE3705639A1 - Duennschicht-heizelement - Google Patents
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- DE3705639A1 DE3705639A1 DE19873705639 DE3705639A DE3705639A1 DE 3705639 A1 DE3705639 A1 DE 3705639A1 DE 19873705639 DE19873705639 DE 19873705639 DE 3705639 A DE3705639 A DE 3705639A DE 3705639 A1 DE3705639 A1 DE 3705639A1
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 39
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 claims description 7
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000000396 iron Nutrition 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 claims description 2
- 238000010792 warming Methods 0.000 claims description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 claims 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021617 Indium monochloride Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000008429 bread Nutrition 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M indium(1+);chloride Chemical compound [In]Cl APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- WLNBMPZUVDTASE-HXIISURNSA-N (2r,3r,4s,5r)-2-amino-3,4,5,6-tetrahydroxyhexanal;sulfuric acid Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O.O=C[C@H]([NH3+])[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO.O=C[C@H]([NH3+])[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO WLNBMPZUVDTASE-HXIISURNSA-N 0.000 description 1
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 150000003842 bromide salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000004694 iodide salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002101 lytic effect Effects 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 150000003891 oxalate salts Chemical class 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005118 spray pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
- H01C17/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by pyrolytic processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/02—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having positive temperature coefficient
- H01C7/021—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having positive temperature coefficient formed as one or more layers or coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
- H05B3/26—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base
- H05B3/265—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base the insulating base being an inorganic material, e.g. ceramic
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
Die Erfindung betrifft ein Dünnschicht-Heizelement, beste
hend aus einem temperaturstabilen, elektrisch isolierenden
Substrat mit einer dünnen, elektrisch leitfähigen Metall
oxidschicht und Anschlußelektroden.
Es ist bekannt, z.B. aus US-PS 31 08 019, daß elektrisch
leitfähige, dünne Metalloxidschichten auf einem tempera
turstabilen, elektrisch isolierenden Substrat als Wider
standsheizungen in zu beheizenden Vorrichtungen wie z.B.
beheizte Glasscheiben (z.B. Autoscheiben) oder Warmhalte
platten oder ähnliche Vorrichtungen eingesetzt werden, wo
bei diese dünnen Schichten als Beheizungen in einem Tempe
raturbereich bis zu 500°C einsetzbar sind.
Hierzu werden Glas- oder Keramiksubstrate in einem pyro
lytischen Prozeß aus Lösungen beschichtet, die z.B. die
Chloride, Bromide, Jodide, Sulfate, Nitrate, Oxalate oder
Acetate von Zinn, Indium, Cadmium, Zinn und Antimon, Zinn
und Indium oder Zinn und Cadmium mit oder ohne Dotier
stoffzusatz wie Zinn, Eisen, Kupfer oder Chrom enthalten.
Die durch pyrolytische Abscheidung gebildeten Schichten
selbst bestehen dann aus dem(den) entsprechenden Metall
oxid(en).
Für gewisse Anwendungszwecke ist es erwünscht, Dünn
schicht-Heizelemente einzusetzen, die höhere Oberflächen
temperaturen als 500°C erreichen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Dünnschicht-
Heizelement zu schaffen, das bis zu Temperaturen von über
600°C stabil ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die
Metalloxidschicht mit etwa gleichen Mengen einander paar
weise kompensierender Fremdatome aus je mindestens einem
Akzeptoren bildenden Element und je mindestens einem Dona
toren bildenden Element in einer Menge bis zu je 10 Atom%
dotiert ist.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß mit
dünnen, elektrisch leitfähigen Metalloxidschichten auf
entsprechend temperaturstabilen Substraten Oberflächentem
peraturen von 1000°C bei Leistungsdichten von mehr als 10
W/cm2, entsprechend Stromdichten von mehr als 1000 A/cm2
mit einem niedrigen positiven Temperaturkoeffizienten des
elektrischen Widerstandes α3×10-4 K-1 erreicht werden
können, wenn die Metalloxidschichten mit sowohl relativ
hohen als auch etwa gleichen Mengen einander paarweise
kompensierender Fremdatome aus je mindestens einem Akzep
toren bildenden Element und mindestens einem Donatoren
bildenden Element dotiert sind. Die relativ hohe Dotierung
führt zu einer erniedrigten Elektronenbeweglichkeit und
damit zu relativ hohen Widerstandswerten. Der niedrige po
sitive Temperaturkoeffizient des elektrischen Widerstandes
und seine Temperaturstabilität der erfindungsgemäßen
Schichten wird auf die paarweise Kompensation der Akzep
toren und Donatoren bildenden Elemente zurückgeführt.
Nach vorteilhaften Weiterbildungen der Erfindung werden
als Metalloxidschichten SnO2-Schichten oder In2O3-Schich
ten auf Hartglas-, Quarzglas- oder Glaskeramik-Substraten
für den Aufbau des Heizelementes eingesetzt. Die Metall
oxidschichten sind nicht unabhängig vom Substrat zu be
trachten, wobei insbesondere die thermische Stabilität,
der thermische Ausdehnungskoeffizient des Substratmate
rials und auch eine mögliche Diffusion von Fremdstoffen
aus dem Substrat in die Metalloxidschicht eine Rolle
spielen.
Insofern ist es ein überraschendes Ergebnis der der Her
stellung der vorliegenden Heizelemente zugrundeliegenden
Versuche, daß sich Quarzgläser und Glaskeramiken mit ihren
extrem niedrigen Ausdehnungskoeffizienten
(a 0/1000≈0,5 bzw. 0,1 · 10-6 K-1) für eine Beschichtung
mit dotierten SnO2- oder In2O3-Schichten (α≈4 × 10-6 K-1)
als ebenso geeignete Substrate erwiesen haben, wie z.B.
Hartgläser mit einem Ausdehnungskoeffizienten α≈3 bis
4×10-6 K-1.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbe
sondere darin, daß Heizelemente geschaffen sind, die
schlagartig aus- und eingeschaltet werden können, die we
gen ihrer geringen Wärmekapazität nach relativ kurzer Dau
er (≈4 bis 5 min) bereits ihre Endtemperatur erreicht
haben, und die nach Abschalten der Stromversorgung ebenso
schnell abkühlen. Ein weiterer Vorteil ist, daß die erfin
dungsgemäßen Metalloxidschichten optisch klar, streufrei,
schlierenfrei und rißfrei sind und eine hohe Transparenz
aufweisen. Diese Eigenschaften der erfindungsgemäßen Me
talloxidschichten wirken sich besonders vorteilhaft aus,
wenn transparente Substrate eingesetzt werden; so kann
z.B. ein Brotröster mit transparenten Heizscheiben ausge
rüstet werden, bei dem die Bräunung des Röstgutes leicht
visuell kontrolliert werden kann.
Bei Dauerstandsversuchen hat sich erwiesen, daß die erfin
dungsgemäßen Heizelemente unveränderte Eigenschaften über
mehrere 1000 Betriebsstunden und Schaltzyklen an Luft bei
behalten. Dies betrifft auch großflächige Heizelemente von
mehr als 1 dm2.
Ein weiterer Vorteil ist, daß der Flächenwiderstand der
erfindungsgemäßen Schichten so gewählt werden kann,
daß sie nach Anbringen von Elektroden, z.B. Metallschicht
elektroden, direkt an Netzspannung betrieben werden kön
nen.
Es ist somit zur Erzielung eines angepaßten elektrischen
Widerstandes nicht notwendig, die Schicht z.B. in Mäander
struktur herzustellen, was technologisch aufwendig ist und
obendrein das Risiko birgt, daß bei Anwendungen einer Be
triebsspannung von 220 V elektrische Überschläge auftreten
können.
Anhand von Ausführungsbeispielen wird die Erfindung in
ihrer Wirkungsweise erläutert.
Erfindungsgemäße Schichten wurden durch Sprühpyrolyse aus
einer Lösung hergestellt. Hierzu wurden in einer Lösung
aus 100 ml SnCl4 in 500 ml Butylacetat 9,6 g SbCl3 und
9,3 g InCl3 als Dotierstoffe gelöst. Dieser Dotierstoffzu
satz entspricht einer Dotierung von 4,5 Atom% Sb und 4,5
Atom% In.
SnO2-Schichten mit einer Dichte an freien Ladungsträgern
von N≈6×1020/cm3 wurden durch Aufsprühen der oben ge
nannten Lösung als feines Aerosol auf etwa 500°C heiße
Substrate einer Abmessung von 15×15 cm2 aus einem Hart
glas, wie es unter den Warenzeichen Pyrex oder Tempax im
Handel erhältlich ist, aufgesprüht. Die Schichten hatten
eine Schichtdicke von 0,1 µm und nach einem Temperprozeß
(Formierprozeß) an Luft bei einer Temperatur von 600°C
über eine Dauer von 1 h einen Flächenwiderstand von
160 Ω. Der tatsächliche Endwiderstand der erfindungsgemä
ßen Schichten, ausgedrückt als Flächenwiderstand R=ρ/d
(ρ=spezifischer Widerstand der Metalloxidschicht, d=
Schichtdicke), wird durch geeignete Wahl der Dotierstoffe
und der Schichtdicke festgelegt. Die im Rahmen der Erfin
dung hergestellten Metalloxidschichten weisen Flächen
widerstände zwischen etwa 20 und 500 Ω auf bei Schicht
dicken im Bereich von 0,05 bis 0,5 µm.
Mit dem wie oben beschrieben hergestellten beschichteten
Substrat wurde nach Anbringen von Metallschichtelektroden,
z.B. aus Silber, ein transparenter Brotröster gebaut. Die
Bräunung von Brotscheiben war bei einer Oberflächentempe
ratur von 520°C nach etwa 3 min zu beobachten.
Mit der oben angegebenen Lösung zur Herstellung von
dotierten SnO2-Schichten wurden weiterhin Substrate einer
Abmessung von 15×15 cm2 aus Glaskeramik mit SnO2-Schichten
einer Dicke von 0,3 µm beschichtet. Diese Schichten
hatten, ebenfalls nach einem Formierungsprozeß bei einer
Temperatur von ≈600°C über eine Dauer von 1 h einen
stabilen Flächenwiderstand von ≈60 Ω. An den so
beschichteten Substraten wurden ebenfalls Metallschicht
elektroden angebracht und aus diesen Heizelementen wurden
elektrisch beheizte Kochplatten gebaut, die bei einer
Netzspannung von 220 V mit einer Leistung von 800 W mit
einer Oberflächentemperatur von 600°C betrieben wurden.
Nach einem 200-maligen An- und Abschaltzyklus war der
elektrische Widerstand der Schichten unverändert. Dieses
Heizelement war auch bei einer Leistung von 1,1 kW noch
betriebsfähig.
Zur Herstellung dotierter In2O3-Schichten wurde eine
Lösung, bestehend aus 15 g InCl3, 1,4 g SnCl4 und 0,7 g
ZnCl2, gelöst in 100 ml Butylacetat, nach dem oben
beschriebenen Verfahren pyrolytisch auf Hartglas- und
Quarzglassubstrate aufgebracht.
Hier wurden nach einem Temperprozeß bei einer Temperatur
von ≈600°C über eine Dauer von 1 h Flächenwiderstände im
Bereich von 20 bis 500 Ω bei Schichtdicken von 0,1 bis
0,4 µm erreicht.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es z.B. auch mög
lich, Quarzglasrohre, Quarzglasstäbe oder Quarzglasplatten
mit den erfindungsgemäßen Metalloxidschichten zu verse
hen. Quarzglasrohre lassen sich z.B. als Wärmetauscher in
Durchlauferhitzern, in Kaffeemaschinen oder allgemein als
Wärmetauscher in professionellen Anwendungen einsetzen.
Während auf Glaskeramik-Substraten ein Dauerbetrieb der
Heizelemente bis zur Rekristallisationstemperatur von etwa
700°C möglich ist, lassen sich auf Quarzglasrohren,
Quarzglasstäben oder Quarzglasplatten Betriebstemperaturen
von 1000°C realisieren.
Beispielsweise wurde eine 1 dm2 große Quarzglasplatte mit
einem Flächenwiderstand von R=37 Ω über eine Dauer von
1000 h bei dieser Temperatur betrieben.
Heizelemente mit plattenförmigen Substraten lassen sich
als Heizscheiben für Brotröster, Heiz- oder Kochplatten,
Warmhalteplatten, Tischbacköfen, Bügeleisen, als Bodenhei
zung in heizbaren Thermoskannen oder ähnlichen Vorrichtun
gen verwenden.
Heizelemente mit rohrförmigen Substraten lassen sich als
Wärmetauscher für Durchlauferhitzer, Kaffeemaschinen, Ge
schirrspülmaschinen, Waschmaschinen, Wäschetrockner, Raum
luftheizgeräte, Haartrockner oder ähnliche Vorrichtungen
verwenden.
Heizelemente mit stabförmigen oder rohrförmigen Substraten
lassen sich beispielsweise als Infrarotstrahler oder
Strahlungsöfen verwenden.
Claims (16)
1. Dünnschicht-Heizelement bestehend aus einem
temperaturstabilen, elektrisch isolierenden Substrat mit
einer dünnen, elektrisch leitfähigen Metalloxidschicht und
Anschlußelektroden, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht mit etwa gleichen Mengen
einander paarweise kompensierender Fremdatome aus je
mindestens einem Akzeptoren bildenden Element und je
mindestens einem Donatoren bildenden Element in einer
Menge bis zu je 10 Atom% dotiert ist.
2. Heizelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht eine SnO2-Schicht ist.
3. Heizelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht eine In2O3-Schicht ist.
4. Heizelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht mit Indium, Bor und/oder
Aluminium als Akzeptoren bildendem(bildenden) Element(en)
dotiert ist.
5. Heizelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet
daß die Metalloxidschicht mit Antimon und/oder Fluor als
Donatoren bildendem(bildenden) Element(en) dotiert ist.
6. Heizelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht mit Zink als Akzeptoren
bildendem Element dotiert ist.
7. Heizelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht mit Zinn als Donatoren bildendem
Element dotiert ist.
8. Heizelement nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht mit mindestens je einem
Akzeptoren und Donatoren bildenden Element in einer Menge
von jeweils 1 bis 10 Atom% dotiert ist.
9. Heizelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht mit mindestens je einem
Akzeptoren und Donatoren bildenden Element in einer Menge
von jeweils 3 bis 5 Atom% dotiert ist.
10. Heizelement nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalloxidschicht durch Pyrolyse einer die am
Schichtaufbau beteiligten Elemente enthaltenden Lösung
hergestellt ist.
11. Heizelement nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß das Substrat aus Hartglas besteht.
12. Heizelement nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß das Substrat aus Quarzglas besteht.
13. Heizelement nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß das Substrat aus Glaskeramik besteht.
14. Verwendung des Heizelementes nach den Ansprüchen 1 bis
13 als Heizscheibe für Brotröster, Heiz- oder Kochplatten,
Warmhalteplatten, Tischbacköfen, Bügeleisen oder heizbare
Thermoskannen.
15. Verwendung rohrförmiger Heizelemente nach den Ansprü
chen 1 bis 13 als Wärmetauscher für Durchlauferhitzer,
Kaffeemaschinen, Geschirrspülmaschinen, Waschmaschinen,
Wäschetrockner, Raumluftheizgeräte oder Haartrockner.
16. Verwendung stabförmiger oder rohrförmiger Heizelemente
nach den Ansprüchen 1 bis 13 als Infrarotstrahler oder
Strahlungsöfen.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873705639 DE3705639A1 (de) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | Duennschicht-heizelement |
| DE3889359T DE3889359D1 (de) | 1987-02-21 | 1988-02-16 | Dünnschicht-Heizelement. |
| EP88200279A EP0280362B1 (de) | 1987-02-21 | 1988-02-16 | Dünnschicht-Heizelement |
| JP63034117A JP2616947B2 (ja) | 1987-02-21 | 1988-02-18 | 薄膜加熱素子 |
| US07/158,522 US4889974A (en) | 1987-02-21 | 1988-02-22 | Thin-film heating element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873705639 DE3705639A1 (de) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | Duennschicht-heizelement |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3705639A1 true DE3705639A1 (de) | 1988-09-01 |
Family
ID=6321510
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19873705639 Withdrawn DE3705639A1 (de) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | Duennschicht-heizelement |
| DE3889359T Expired - Fee Related DE3889359D1 (de) | 1987-02-21 | 1988-02-16 | Dünnschicht-Heizelement. |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE3889359T Expired - Fee Related DE3889359D1 (de) | 1987-02-21 | 1988-02-16 | Dünnschicht-Heizelement. |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4889974A (de) |
| EP (1) | EP0280362B1 (de) |
| JP (1) | JP2616947B2 (de) |
| DE (2) | DE3705639A1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258727A1 (de) * | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Schott Glas | Ofen |
| DE102004019715A1 (de) * | 2004-04-20 | 2005-11-17 | Daimlerchrysler Ag | Kraftstoffbehälter |
| WO2017005662A1 (de) * | 2015-07-03 | 2017-01-12 | Kautex Textron Gmbh & Co. Kg | Auftauvorrichtung für betriebsflüssigkeitsbehälter |
Families Citing this family (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2640803B1 (fr) * | 1988-12-15 | 1991-01-04 | Neiman Sa | Resistance en ceramique a haute temperature |
| JPH02220386A (ja) * | 1989-02-21 | 1990-09-03 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 遠赤外線ヒーター |
| US5408574A (en) * | 1989-12-01 | 1995-04-18 | Philip Morris Incorporated | Flat ceramic heater having discrete heating zones |
| GB9211331D0 (en) * | 1992-05-28 | 1992-07-15 | Chinacraft Ltd | Hot plate for food |
| JP2961466B2 (ja) * | 1992-08-19 | 1999-10-12 | 株式会社河合楽器製作所 | ヒーター |
| US5468936A (en) * | 1993-03-23 | 1995-11-21 | Philip Morris Incorporated | Heater having a multiple-layer ceramic substrate and method of fabrication |
| US5725912A (en) * | 1993-11-22 | 1998-03-10 | Lin; Pan-Tien | Method of manufacturing an electric heating film of semiconductor |
| EP0654956A1 (de) * | 1993-11-24 | 1995-05-24 | U'LAMP ENTERPRISES Co., Ltd. | Verfahren zum Herstellen einer elektrische beheizte Schicht |
| US5616266A (en) * | 1994-07-29 | 1997-04-01 | Thermal Dynamics U.S.A. Ltd. Co. | Resistance heating element with large area, thin film and method |
| US5577158A (en) * | 1995-07-17 | 1996-11-19 | White Consolidated Industries, Inc. | Capacitive leakage current cancellation for heating panel |
| DE19535068C2 (de) * | 1995-09-21 | 1997-08-21 | Lpkf Cad Cam Systeme Gmbh | Beschichtung zur strukturierten Erzeugung von Leiterbahnen auf der Oberfläche von elektrisch isolierenden Substraten, Verfahren zum Herstellen der Beschichtung und von strukturierten Leiterbahnen |
| US5932128A (en) * | 1997-02-26 | 1999-08-03 | White Consolidated Industries, Inc. | Switching control system for heating panel with leakage current cancellation |
| US6037572A (en) * | 1997-02-26 | 2000-03-14 | White Consolidated Industries, Inc. | Thin film heating assemblies |
| US5940579A (en) * | 1997-02-26 | 1999-08-17 | White Consolidated Industries, Inc. | Capacitive leakage current cancellation for heating panel |
| US6762396B2 (en) | 1997-05-06 | 2004-07-13 | Thermoceramix, Llc | Deposited resistive coatings |
| FR2778304B1 (fr) * | 1998-05-04 | 2000-06-02 | Production De L Aube Soc Ind D | Procede d'apport de chaleur a un objet et conteneur de maintien et de remise en temperature de plats |
| AUPP599598A0 (en) * | 1998-09-18 | 1998-10-08 | Email Limited | Self-regulating nanoscale heating element |
| US6111224A (en) * | 1999-12-02 | 2000-08-29 | Hatco Corporation | Food warming oven with transparent heating shelves |
| US6674053B2 (en) | 2001-06-14 | 2004-01-06 | Trebor International | Electrical, thin film termination |
| US6663914B2 (en) | 2000-02-01 | 2003-12-16 | Trebor International | Method for adhering a resistive coating to a substrate |
| US7081602B1 (en) | 2000-02-01 | 2006-07-25 | Trebor International, Inc. | Fail-safe, resistive-film, immersion heater |
| US6580061B2 (en) * | 2000-02-01 | 2003-06-17 | Trebor International Inc | Durable, non-reactive, resistive-film heater |
| CN101638765A (zh) | 2000-11-29 | 2010-02-03 | 萨莫希雷梅克斯公司 | 电阻加热器及其应用 |
| US6728479B2 (en) * | 2001-06-11 | 2004-04-27 | Aoyagi (H.K.) Ltd. | Panel-type heating element and method for the manufacture thereof |
| AU2003290429A1 (en) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Casio Computer Co., Ltd. | Optical dna sensor, dna reading apparatus, identification method of dna and manufacturing method of optical dna sensor |
| US6991003B2 (en) * | 2003-07-28 | 2006-01-31 | M.Braun, Inc. | System and method for automatically purifying solvents |
| JP2007512665A (ja) * | 2003-11-20 | 2007-05-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 薄膜加熱素子 |
| EP1653778A1 (de) * | 2004-10-26 | 2006-05-03 | Cheng-Ping Lin | Schichtartig aufgebautes Heizelement mit automatischer Temperaturstabilisierung |
| EP1681905A1 (de) * | 2005-01-17 | 2006-07-19 | Cheng-Ping Lin | Verfahren zur Herstellung einer halbleitenden Heizelement -Schicht |
| CN102089589A (zh) * | 2007-02-20 | 2011-06-08 | 西莫塞莱米克斯公司 | 气体加热装置和方法 |
| DE202008008709U1 (de) | 2008-06-28 | 2009-11-19 | Moser, Helmut | Tisch sowie Tischplatte eines Tisches |
| DE102008050895A1 (de) | 2008-09-25 | 2010-04-01 | E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH | Pumpe für Fluide |
| GB0908860D0 (en) | 2009-05-22 | 2009-07-01 | Sagentia Ltd | Iron |
| DE102010063934A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Heizkörper sowie Haushaltsgerät mit einem Heizkörper und Verfahren zum Herstellen |
| US9408497B2 (en) | 2013-08-21 | 2016-08-09 | Whirlpool Corporation | Multi-functional toasting platform utilizing a coated clear-glass heating element |
| US20150297030A1 (en) * | 2014-04-16 | 2015-10-22 | Spectrum Brands, Inc. | Toaster using thin-film heating element |
| EP3132653A4 (de) | 2014-04-16 | 2018-06-06 | Spectrum Brands, Inc. | Tragbares behältersystem zum wärmen eines getränks |
| EP3132654A4 (de) | 2014-04-16 | 2018-01-31 | Spectrum Brands, Inc. | Kochgerät mit dünnschichtheizelement |
| KR101737693B1 (ko) * | 2015-07-02 | 2017-05-18 | 구각회 | 저전력 고열 면상 발열체 |
| WO2018136689A1 (en) | 2017-01-20 | 2018-07-26 | Bunn-O-Matic Corporation | Instant-response on-demand water heater |
| EP3447304A1 (de) * | 2017-08-25 | 2019-02-27 | Sanhua AWECO Appliance Systems GmbH | Dünnschichtiges heizelement für eine flüssigkeitspumpe |
| CN111447695B (zh) * | 2020-05-05 | 2022-12-30 | 中山市烯帝科技有限公司 | 石墨烯远红外发热板的制作方法及其配方 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2564709A (en) * | 1950-11-24 | 1951-08-21 | Corning Glass Works | Electrically conducting coating on glass and other ceramic bodies |
| US3108019A (en) * | 1958-02-14 | 1963-10-22 | Corning Glass Works | Method of stabilizing the electrical resistance of a metal oxide film |
| US3044903A (en) * | 1958-08-25 | 1962-07-17 | Philco Corp | Thin film resistors |
| US3551195A (en) * | 1968-08-29 | 1970-12-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Resistor composition and article |
| SU577700A1 (ru) * | 1975-12-08 | 1977-10-25 | Предприятие П/Я Р-6707 | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей |
| US4340508A (en) * | 1979-01-29 | 1982-07-20 | Trw Inc. | Resistance material, resistor and method of making the same |
-
1987
- 1987-02-21 DE DE19873705639 patent/DE3705639A1/de not_active Withdrawn
-
1988
- 1988-02-16 EP EP88200279A patent/EP0280362B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-16 DE DE3889359T patent/DE3889359D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-02-18 JP JP63034117A patent/JP2616947B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-22 US US07/158,522 patent/US4889974A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258727A1 (de) * | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Schott Glas | Ofen |
| DE102004019715A1 (de) * | 2004-04-20 | 2005-11-17 | Daimlerchrysler Ag | Kraftstoffbehälter |
| WO2017005662A1 (de) * | 2015-07-03 | 2017-01-12 | Kautex Textron Gmbh & Co. Kg | Auftauvorrichtung für betriebsflüssigkeitsbehälter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2616947B2 (ja) | 1997-06-04 |
| DE3889359D1 (de) | 1994-06-09 |
| EP0280362A2 (de) | 1988-08-31 |
| US4889974A (en) | 1989-12-26 |
| EP0280362B1 (de) | 1994-05-04 |
| JPS63252378A (ja) | 1988-10-19 |
| EP0280362A3 (en) | 1990-01-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8141 | Disposal/no request for examination |