DE602004011386T2 - Dünnschichtheizelement - Google Patents

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    • Y10T29/49083Heater type

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schichtheizelement, das ein Aluminiumsubstrat, eine elektrische Isolierschicht und eine elektrische Widerstandsschicht umfasst, sowie ein elektrisches Haushaltsgerät, das ein solches Heizelement umfasst.
  • Ein Schichtheizelement besteht im Allgemeinen aus zwei auf ein Substrat aufgebrachten Funktionsschichten, nämlich einer elektrischen Isolierschicht und einer elektrischen Widerstandsschicht. Wärme wird durch das Fließen eines elektrischen Stroms durch die Widerstandsschicht erzeugt. Die Isolierschicht hat die Funktion, die Wärme erzeugende Widerstandsschicht vom Metallsubstrat, das von außen direkt zugänglich sein kann, zu isolieren.
  • Die Widerstandsschicht kann über gut leitende Leiterbahnen mit einer Versorgungsspannung elektrisch kontaktiert werden. Diese Leiterbahnen sind im Allgemeinen strukturiert.
  • Flachschichtheizelemente können grob in zwei Hauptkategorien eingeteilt werden, nämlich Dickschichtheizelemente und Dünnschichtheizelemente.
  • Der Unterschied zwischen diesen beiden Kategorien betrifft die Dicke der Widerstandsschicht. Bei Dickschichtheizelementen beträgt die Dicke der Widerstandsschicht mehr als 2 μm. Diese Schichten werden überwiegend mittels Siebdruckverfahren erzeugt. Bei Dünnschichtheizelementen beträgt die Dicke der Widerstandsschicht weniger als 2 μm.
  • Diese Schichten werden überwiegend mittels Verdampfungsverfahren oder über die Pyrolyse von Vorlauferlösungen erzeugt.
  • Ein Dünnschichtheizelement ist aus dem US-Patent Nr. 4,889,974 bekannt. Dieses Patent beschreibt ein Dünnschichtheizelement, das mittels eines nasschemischen Verfahrens erzeugt wird. Dieses Dünnschichtheizelement besteht aus einer Widerstandsschicht, die direkt auf ein isolierendes Substrat, wie z. B. ein Hartglassubstrat, ein Quarzglassubstrat oder ein Keramiksubstrat, aufgebracht ist. Als Widerstandsschicht wird eine mit Akzeptoren und Donatoren bildenden Elementen dotierte SnO2-Schicht beschrieben. Die Schichten werden aus einer Lösung durch einen Sprühpyrolyseprozess mit anschließender Härtung bei 600°C hergestellt.
  • Eine Anzahl von Patenten beschreibt Dünnschichtheizelemente auf elektrisch leitenden Substraten, z. B. Stahl. Auf diese elektrisch leitenden Substrate ist eine Isolierschicht (z. B. Polymer, Emaille etc.) aufgebracht, um die Widerstandsschicht vom Substrat zu isolieren. Auf diese Isolierschichten ist eine dünne Widerstandsschicht aufgebracht.
  • Bis vor kurzem wurde jedoch nicht über Dünnschichtheizelemente auf Substraten aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen berichtet. Verglichen mit den für Stahlsubstrate verwendeten Isolierschichten, die in den meisten Fällen Isolatoren auf Emaillebasis sind, haben Aluminium und Aluminiumlegierungen einen relativ hohen Ausdehnungskoeffizienten (22–26 ppm/K). Die üblicherweise für Stahlsubstrate verwendeten Isolierschichten können für Substrate aus Aluminium(legierungen) nicht verwendet werden. Nicht zueinander passende thermische Ausdehnungskoeffizienten haben ein Reißen der Schicht zur Folge, wenn das Heizelement Temperaturzyklen ausgesetzt wird. Um diese Isolatoren aufzubringen, werden ferner die Vorläufer auf ein geeignetes Substrat aufgebracht, und der Vorläufer muss anschließend bei hohen Temperaturen über 650°C gehärtet werden, um eine geeignete Isolierschicht zu erhalten. Diese hohen Härtungstemperaturen liegen nahe der Schmelztemperatur von Aluminium (660°C) und seinen Legierungen oder übersteigen diese. Daher sind diese Materialien als elektrische Isolierschichten für Aluminiumsubstrate nicht geeignet.
  • EP-A-0891118 beschreibt ein Dünnschichtheizelement, bei dem eine Keramikschicht als Isolierschicht für ein Aluminiumsubstrat verwendet wird. Die Differenz zwischen den Ausdehnungskoeffizienten der keramischen Isolierschicht und des Aluminiums wird bei diesem Patent jedoch dadurch überbrückt, dass das Heizelement zunächst auf einer Platte aus nicht rostendem Stahl bereitgestellt wird und die Platte aus nicht rostendem Stahl anschließend auf eine Aluminiumplatte geklebt wird, z. B. mit einem Klebstoff auf Silikonbasis.
  • US-A-2002/0155707 beschreibt ein Schichtheizelement, das ein Aluminiumsubstrat, eine elektrische Isolierschicht auf der Basis eines Sol-Gel-Vorläufers und eine elektrische Widerstandsschicht umfasst.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Heizelement wie eingangs beschrieben zu schaffen, das für ein Aluminiumsubstrat geeignet ist und bei dem sich keine Risse bilden, wenn das Element Temperaturzyklen ausgesetzt wird. Wo der Begriff „Aluminium" verwendet wird, umfasst er Aluminium, anodisiertes Aluminium und Aluminiumlegierungen. Ferner zielt die vorliegende Erfindung darauf ab, ein elektrisches Haushaltsgerät zu schaffen, das ein solches Heizelement enthält, sowie auf ein Verfahren zur Herstellung des Heizelements.
  • Diese und andere Aufgaben der Erfindung werden durch ein Schichtheizelement gelöst, das mindestens ein Aluminiumsubstrat, eine elektrische Isolierschicht auf der Basis eines Sol-Gel-Vorläufers und eine elektrische Widerstandsschicht mit einer Dicke von weniger als 2 μm umfasst.
  • Ein erfindungsgemäßes Heizelement hat mehrere Vorteile. Vor allem ist keine Rissbildung zu beobachten, wenn das Heizelement Temperaturzyklen zwischen 20°C und 300°C ausgesetzt wird.
  • Ferner ist das Heizelement für Hochleistungsanwendungen mit einem Leistungsdichtewert von 20 W/cm2 oder höher bei einer Substrattemperatur von 300°C geeignet.
  • Das erfindungsgemäße Schichtheizelement umfasst eine elektrische Widerstandsschicht mit einer Dicke von weniger als 2 μm. Diese Widerstandsschicht umfasst vorzugsweise ein Metall, ein Metalloxid oder ein dotiertes Metalloxid. Ein geeignetes Metall ist Aluminium. Geeignete Metalloxide sind Zinnoxid und Indiumzinnoxid (ITO). Geeignete dotierte Metalloxide sind mit Fluor oder Aluminium dotiertes Zinkoxid oder mit Fluor oder Antimon dotierte Zinnoxide.
  • Überraschenderweise wurde festgestellt, dass keine Rissbildung zu beobachten war, wenn das erfindungsgemäße Heizelement wiederholten Temperaturzyklen zwischen 20°C und 300°C ausgesetzt wurde, obwohl z. B. der thermische Ausdehnungskoeffizient von ITO ca. 4 ppm/K beträgt, verglichen mit ca. 23 ppm/K für Aluminium.
  • Die Widerstandsschicht kann durch (atmosphärische) chemische Gasphasenabscheidung ((A)CVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Magnetronsputtern, thermisches Sprühen oder nasschemische Verfahren auf die Isolierschicht aufgebracht werden.
  • Die Widerstandsschicht besteht vorzugsweise aus einem anorganischen Material. Geeignete anorganische Materialien sind ein Metall, ein Metalloxid und ein dotiertes Metalloxid. Ein geeignetes Metall ist Aluminium. Geeignete Metalloxide sind Zinnoxid und Indiumzinnoxid (ITO). Geeignete dotierte Metalloxide sind mit Fluor oder Aluminium dotiertes Zinkoxid oder mit Fluor oder Antimon dotierte Zinnoxide. Bei Widerstands schichten aus einem anorganischen Material besteht nicht die Gefahr der Bildung einer verkohlten Leiterbahn.
  • Das erfindungsgemäße Heizelement umfasst ferner eine elektrische Isolierschicht auf der Basis eines Sol-Gel-Vorläufers.
  • Die Aufbringung einer auf einem Sol-Gel-Vorläufer basierenden elektrischen Isolierschicht bietet mehrere Vorteile. Vor allem zeigt die auf einem Sol-Gel-Vorläufer basierende Schicht ausgezeichnete elektrische Isoliereigenschaften. Der Kohlenstoffgehalt eines Materials auf der Basis eines Sol-Gel-Vorläufers ist ausreichend niedrig, um im Fall einer Fehlfunktion der Heizung die Bildung einer verkohlten Leiterbahn zu verhindern, wodurch ein sicheres Heizelement bereitgestellt wird. Sol-Gel-Materialien haben außerdem eine hohe Wärmeleitfähigkeit in der Größenordnung von 0,1–2 W/m/°K. Ferner können Sol-Gel-Vorläufer bei Temperaturen unter 400°C verarbeitet werden, wodurch dieses Material für eine direkte Aufbringung auf Aluminiumsubstrate geeignet ist. Aufgrund der niedrigeren Härtungstemperatur des hybriden Sol-Gel-Vorläufers bleiben die mechanischen Eigenschaften des Aluminiums erhalten. Der Sol-Gel-Vorläufer wird vorzugsweise auf ein Substrat aus anodisiertem Aluminium aufgebracht, um eine gute Haftung der Sol-Gel-Schicht sicherzustellen.
  • Obwohl die Sol-Gel-Isolierschicht besonders für eine Aufbringung auf Aluminiumsubstrate geeignet ist, können auch andere Substrate verwendet werden, die üblicherweise für Heizelemente verwendet werden und mit dem endgültigen Nutzen verträglich sind. Zu diesen Substraten zählen zum Beispiel nicht rostender Stahl, emaillierter Stahl oder Kupfer. Das Substrat kann die Form einer flachen Platte, eines Rohrs oder jeder anderen mit dem endgültigen Nutzen verträglichen Konfiguration haben.
  • Der Sol-Gel-Vorläufer ist vorzugsweise ein hybrider Sol-Gel-Vorläufer, der eine Organosilanverbindung umfasst.
  • Ein bevorzugtes Silan ist ein Silan, das einen hybriden Sol-Gel-Vorläufer bildet. Unter einem hybriden Sol-Gel-Vorläufer, der eine Organosilanverbindung umfasst, wird eine Verbindung verstanden, die Silicium umfasst, das an mindestens eine nicht hydrolysierbare organische Gruppe und 2 oder 3 hydrolysierbare organische Gruppen gebunden ist.
  • Bei einer vorteilhaften Ausführungsform kann das Sol-Gel-Material auch Siliciumdioxidpartikel, insbesondere kolloidale Siliciumdioxidpartikel, umfassen.
  • Der hybride Sol-Gel-Vorläufer umfasst insbesondere eine Organosilanverbindung aus der Gruppe der Alkylalkoxysilane.
  • Vorzugsweise umfasst der hybride Sol-Gel-Vorläufer Methyltrimethoxysilan (MTMS) und/oder Methyltriethoxysilan (MIES). Ein Vorteil des erfindungsgemäßen auf dem hybriden Sol-Gel-System basierenden Heizelements besteht in einem relativ hohen Leistungsdichtewert und optimierten thermischen Ausdehnungskoeffizientenwerten für Aluminium.
  • Hybride Sol-Gel-Vorläufer, wie z. B. MTMS und MIES, haben bekanntermaßen eine ausgezeichnete Temperaturstabilität bis mindestens 450°C. Darüber hinaus verhindert MTMS nachweislich wirksam Silberoxidation und nachfolgende Migration. Der Kohlenstoffgehalt dieser Materialien ist dennoch niedrig, sodass sich nach einer Fehlfunktion keine verkohlten Leiterbahnen auf der Isolierschicht bilden, wodurch das Heizelement sicher ist. Die maximale Schichtdicke von Beschichtungen aus hybriden Vorläufern ist relativ hoch, verglichen mit der maximalen Schichtdicke von Beschichtungen aus nicht hybriden Sol-Gel-Materialien. Daher können die Schichten in einem oder höchstens zwei Schritten ohne Zwischenhärtung abgeschieden werden.
  • Die elektrische Isolierschicht umfasst vorteilhafterweise nicht leitende Partikel.
  • Ein Teil der nicht leitenden Partikel hat vorzugsweise eine flockenartige Form und eine längste Abmessung von 2–500 μm, bevorzugt 2 bis 150 μm und noch bevorzugter 5 bis 60 μm. Diese flockenartigen nicht leitenden Partikel basieren auf Oxiden, wie z. B. Glimmer oder Ton und/oder oberflächenmodifizierten Glimmer- oder Tonpartikeln mit einer Beschichtung aus Titandioxid, Aluminiumoxid und/oder Siliciumdioxid. Der Gehalt an flockenartigem Material in der Isolierschicht sollte weniger als 20 Vol.-%, vorzugsweise weniger als 15 Vol.-% und noch bevorzugter weniger als 4–10 Vol.% betragen. Ein Vorteil solcher anisotropen Partikel ist, dass ihr Vorhandensein die Bildung von Rissen in der elektrischen Isolierschicht nach häufigem Aufheizen und Abkühlen des Elements verhindert.
  • Bei der bevorzugten Ausführungsform liegen die nicht leitenden Partikel in kolloidaler Form vor. Beispiele dafür sind Oxide, wie z. B. Aluminiumoxid und Siliciumdioxid. Der Gehalt an Aluminiumoxid in der Isolierschicht sollte vorzugsweise weniger als 40 Vol.-%, bevorzugt weniger als 20 Vol.-% und noch bevorzugter 10–15 Vol.% betragen. Was den Gehalt an Siliciumdioxid in der Isolierschicht anbelangt, sollte er vorteilhafterwei se weniger als 50 Vol.-%, bevorzugt weniger als 35 Vol.-% und noch bevorzugter weniger als 15–25 Vol.% betragen.
  • Wenn eine Isolierschicht auf mit Partikeln, einschließlich anisotropen Partikeln, gefülltem MTMS oder MIES basiert, kann eine Schichtdicke von nur 50 μm 5.000 V widerstehen. Durch diese relativ geringe Schichtdicke kann die Temperaturdifferenz über die Dicke der Widerstandsschicht recht niedrig sein, was eine wesentlich niedrigere Temperatur der heizenden Widerstandsschicht zum Erhalten einer bestimmten Temperatur des Aluminiumsubstrats ermöglicht. Aus diesem Grund werden vorteilhafterweise die dünnen Schichten verwendet. Die Schichten können mit jedem nasschemischen Aufbringungsverfahren, bevorzugt durch Sprühbeschichtung oder Siebdruck, gefolgt von einem Härtungsschritt, aufgebracht werden.
  • Das erfindungsgemäße Heizelement kann ferner eine elektrisch leitende Schicht umfassen. Die elektrisch leitende Schicht in dem erfindungsgemäßen Heizelement umfasst eine Schicht mit einem relativ niedrigen ohmschen Widerstand bezogen auf die elektrische Widerstandsschicht und wirkt als Kontaktschicht zwischen der Wärme erzeugenden Widerstandsschicht und einer externen Stromquelle.
  • Die leitende Schicht kann aus einem Metall, z. B. Aluminium, oder aus einem Hybridmaterial, wie z. B. PI/Ag oder einer Sol-Gel-/Ag-Paste, bestehen. Die leitende Schicht kann durch (A)CVD, PVD, Magnetronsputtern, thermisches Sprühen und nasschemische oder Siebdruckverfahren aufgebracht werden.
  • Das bevorzugte Verfahren zur Aufbringung der Leiterbahnen ist Siebdruck. Für die Leiterbahn können handelsübliche Metallpulver verwendet werden. Vorzugsweise werden Silberpartikel oder Partikel aus Silberlegierungen verwendet.
  • Andere Metalle und Halbleiter können bei der Herstellung von leitenden Schichten für die Anwendung ebenfalls verwendet werden, vorausgesetzt, sie haben eine ausreichend hohe Temperaturstabilität in der Sol-Gel-Matrix. Durch die Verwendung von MTMS- oder MIES-Vorläufern wird die Oxidationsgeschwindigkeit von Silber- und Graphitpartikeln bei hohen Temperaturen des Heizelements verringert. In dieser Hinsicht wurde festgestellt, dass Graphit in einer von MIES abgeleiteten Matrix eine Stabilität von über 600 Stunden bei 320°C gezeigt hat.
  • Um die Formulierungen siebdruckfähig zu machen, kann der partikelhaltigen, hydrolysierten MTMS- oder MIES-Lösung ein Cellulosederivat zugegeben werden. Als Cellulosematerial wird vorzugsweise Hydroxypropylmethylcellulose verwendet. Ab schließend wird ein Lösungsmittel mit hohem Siedepunkt zugegeben, um ein Eintrocknen der Druckflüssigkeit und nachfolgendes Zusetzen des Siebes zu verhindern. Butoxyethanol hat sich als geeignet erwiesen, aber andere polare Lösungsmittel, vorzugsweise Alkohole, eignen sich ebenfalls.
  • Das Element kann optional mit einer schützenden Deckschicht überzogen sein. Diese Deckschicht dient vor allem als Schutzschicht gegen mechanische Beschädigung während des Hantierens mit dem Element. Bei Verwendung von zum Beispiel einer mit Siliciumdioxid gefüllten hybriden Sol-Gel-Lösung, zum Beispiel auf der Basis von MTMS, kann eine siebdruckfähige Formulierung leicht hergestellt werden. Die aufgebrachte Deckschicht kann zusammen mit der leitenden Schicht und der Widerstandsschicht gehärtet werden.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein elektrisches Haushaltsgerät, das mindestens das erfindungsgemäße Heizelement umfasst. Erfindungsgemäße Heizelemente sind sehr geeignet für Heizelemente in Wäschebügeleisen, insbesondere für die gesteuerte Dampfbildung, für die hohe Leistungsdichtewerte erforderlich sind. Die Heizelemente sind jedoch auch für andere elektrische Haushaltsanwendungen wie etwa Haartrockner, Hairstyler, Dämpfapparate und Dampfreiniger, Reinigungsmaschinen für Bekleidung, beheizte Bügelbretter, Gesichtsbedampfer, Wasserkocher, Druckkessel für Systembügeleisen und -reiniger, Kaffeemaschinen, Fritteusen, Reiskocher, Sterilisationsgeräte, Heizplatten, Fonduetöpfe, Grills, Raumheizungen, Waffeleisen, Toaster, Herde oder Wasserdurchlauferhitzer sehr geeignet.
  • Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Heizelements, das mindestens die folgenden Schritte umfasst: Bereitstellung eines Aluminiumsubstrats; Aufbringung einer elektrischen Isolierschicht auf das Substrat; und Aufbringung einer Widerstandsschicht auf die elektrische Isolierschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Isolierschicht durch einen Sol-Gel-Prozess erhalten wird und die Dicke der Widerstandsschicht weniger als 2 μm beträgt. Insbesondere umfasst der Sol-Gel-Prozess mindestens den Schritt der Mischung einer Organosilanverbindung mit Wasser.
  • Die Erfindung wird im folgenden Herstellungsbeispiel näher erläutert.
  • Beispiel
  • Eine 200 nm dünne Schicht (72 × 64 mm) aus ITO (90 Gew.-% In2O3, 10 Gew.-% SnO2, Reinheit über 99,99%) wurde durch Gleichstrom-Magnetronsputtern in einer Argon/Sauerstoff-Atmosphäre mit einem System vom Typ Leybold 2650 Batch (Anfangsdruck unter 4,0 × 10–6 mbar, Abscheidungsgeschwindigkeit 20 nm/min) auf eine 50 μm dicke Isolierschicht auf der Basis eines Sol-Gel-Vorläufers auf einem Aluminiumsubstrat abgeschieden. Leitende Schichten (Paste auf PI/Ag-Basis, PM437 von Acheson) mit ca. 10 μm Dicke wurden durch Siebdruck aufgebracht. Nach 30-minütiger Trocknung bei 80°C wurde die leitende Schicht 30 Minuten lang bei 375°C in einer Luftatmosphäre getrocknet. Der resultierende Widerstand beträgt ca. 36 Ω mit einem Oberflächenwiderstand von 0,27 Ω/☐ (für eine 25,5 μm dicke Schicht).
  • Nach dem Anlegen einer Spannung arbeitet das resultierende Heizelement bei einer Substrattemperatureinstellung von 240°C mit einem Leistungsdichtewert von 20 W/cm2.

Claims (8)

  1. Schichtheizelement, welches mindestens ein Aluminiumsubstrat, eine elektrische Isolierschicht auf der Basis eines Sol-Gel-Vorläufers und eine elektrische Widerstandsschicht umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der elektrischen Widerstandsschicht weniger als 2 μm beträgt.
  2. Schichtheizelement nach Anspruch 1, bei dem die elektrische Widerstandsschicht ein anorganisches Material umfasst.
  3. Schichtheizelement nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei dem der Sol-Gel-Vorläufer ein hybrider Sol-Gel-Vorläufer ist, der eine Organosilanverbindung umfasst.
  4. Heizelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Organosilanverbindung Methyltrimethoxysilan oder Methyltriethoxysilan umfasst.
  5. Heizelement nach Anspruch 1, wobei das Heizelement ferner eine leitende Schicht umfasst.
  6. Elektrisches Haushaltsgerät, das mindestens ein Heizelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5 umfasst.
  7. Elektrisches Haushaltsgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Haushaltsgerät ein (Dampf-)Bügeleisen, einen Haartrockner, einen Hairstyler, einen Dämpfapparat und einen Dampfreiniger, eine Reinigungsmaschine für Bekleidung, ein beheiztes Bügelbrett, einen Gesichtsbedampfer, einen Wasserkocher, einen Druckkessel für Systembügeleisen und -reiniger, eine Kaffeemaschine, eine Fritteuse, einen Reiskocher, ein Sterilisationsgerät, eine Heizplatte, einen Fonduetopf, einen Grill, eine Raumheizung, ein Waffeleisen, einen Toaster, einen Herd oder einen Wasserdurchlauferhitzer umfasst.
  8. Verfahren zur Herstellung eines Heizelements nach einem der Ansprüche 1 bis 6, das mindestens folgende Schritte umfasst: Bereitstellung eines Aluminiumsubstrats; Aufbringung einer elektrischen Isolierschicht auf das Substrat; und Aufbringung einer Widerstandsschicht auf die elektrische Isolierschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Isolierschicht durch einen Sol-Gel-Prozess erhalten wird und die Dicke der Widerstandsschicht weniger als 2 μm beträgt.
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