DE3614853C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3614853C2 DE3614853C2 DE19863614853 DE3614853A DE3614853C2 DE 3614853 C2 DE3614853 C2 DE 3614853C2 DE 19863614853 DE19863614853 DE 19863614853 DE 3614853 A DE3614853 A DE 3614853A DE 3614853 C2 DE3614853 C2 DE 3614853C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ion
- digital
- mass
- magnetic
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 62
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 19
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 12
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000007885 magnetic separation Methods 0.000 claims 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 4
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010411 cooking Methods 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/20—Magnetic deflection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863614853 DE3614853A1 (de) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | Verfahren und einrichtung zum zentrieren eines ionenstrahls in eine in der bildebene eines magnetischen massenseparators befindlichen ionendurchtrittsoeffnung |
DE19863619726 DE3619726A1 (de) | 1986-05-02 | 1986-06-12 | Verfahren und einrichtung zum gleichzeitigen zentrieren mehrerer separierter ionenstrahlen in eine entsprechende anzahl von ionendurchtrittsoeffnungen, die sich in der bildebene eines magnetischen massenseparators befinden |
CH127687A CH674280A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 1986-05-02 | 1987-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863614853 DE3614853A1 (de) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | Verfahren und einrichtung zum zentrieren eines ionenstrahls in eine in der bildebene eines magnetischen massenseparators befindlichen ionendurchtrittsoeffnung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3614853A1 DE3614853A1 (de) | 1987-11-05 |
DE3614853C2 true DE3614853C2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-04-12 |
Family
ID=6300002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863614853 Granted DE3614853A1 (de) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | Verfahren und einrichtung zum zentrieren eines ionenstrahls in eine in der bildebene eines magnetischen massenseparators befindlichen ionendurchtrittsoeffnung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH674280A5 (enrdf_load_stackoverflow) |
DE (1) | DE3614853A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
-
1986
- 1986-05-02 DE DE19863614853 patent/DE3614853A1/de active Granted
-
1987
- 1987-04-03 CH CH127687A patent/CH674280A5/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH674280A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-05-15 |
DE3614853A1 (de) | 1987-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0014304B1 (de) | Verfahren und Anordnung zur berührungslosen Potentialmessung an einem elektronischen Bauelement | |
DE3752358T2 (de) | Ionenstrahlabtastverfahren und vorrichtung | |
DE2814049C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
DE2441421A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ausrichtung von elektronenstrahlen | |
EP0013573A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur Positionsregelung eines Ladungsträgerstrahls in einer Ladungsträgerstrahl-Werkzeugmaschine | |
DE3412715C2 (de) | Feldemissions-Abtastelektronenmikroskop | |
DE3130422C2 (de) | Verfahren zum Aufzeichnen eines Bildmusters auf einem mit einem für Elektronen empfindlichen Material beschichteten Substrat | |
DE2542356B1 (de) | Verfahren zur fokussierung der objektivlinse eines korpuskular-durchstrahlungs-rastermikroskops und einrichtung zur selbsttaetigen durchfuehrung des verfahrens sowie anwendung | |
DE2411841C3 (de) | Auger-Elektronenspektrometer | |
EP0172477A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Registrierung von Teilchen oder Quanten mit Hilfe eines Detektors | |
DE3614853C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
DE2149108B2 (de) | Einrichtung zur Vergrößerungseinstellung eines Elektronenmikroskops | |
DE1114597B (de) | Verfahren und Einrichtung zur Regelung eines Kernreaktors | |
EP0472938A2 (de) | Anordnung zum Testen und Reparieren einer integrierten Schaltung | |
DE2440120A1 (de) | Vorrichtung zur wiedergabe der energieverteilung eines aus geladenen teilchen bestehenden strahles | |
DE68901912T2 (de) | In-line-messung und steuerung der energie von elektronenbuendeln. | |
DE3619726A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum gleichzeitigen zentrieren mehrerer separierter ionenstrahlen in eine entsprechende anzahl von ionendurchtrittsoeffnungen, die sich in der bildebene eines magnetischen massenseparators befinden | |
CH674105A5 (en) | Simultaneous centering of separate ion beams in mass separator | |
DE3883442T2 (de) | Gasanalysator. | |
DE1498936B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Steue rung der Expositionszeit in einem Massen spektrographen | |
DE2362560A1 (de) | Doppeltfokussierendes massenspektrometer mit mehreren ionenstrahlen | |
DE2054579A1 (de) | Massenspektrometer | |
DE1498511A1 (de) | Massenspektrometer | |
DE2239284A1 (de) | Verfahren zur steuerung der bestrahlung einer probenoberflaeche | |
DE3823086A1 (de) | Programmierter kameraverschluss |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
AG | Has addition no. |
Ref country code: DE Ref document number: 3619726 Format of ref document f/p: P |
|
Q176 | Request that utility model be ruled invalid withdrawn |
Ref document number: 3619726 Country of ref document: DE |
|
AG | Has addition no. |
Ref country code: DE Ref document number: 3619726 Format of ref document f/p: P |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: DERZEIT KEIN VERTRETER BESTELLT |
|
AG | Has addition no. |
Ref country code: DE Ref document number: 3619726 Format of ref document f/p: P |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: KAISER, THOMAS, DR., ENNETMOOS, CH |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |