DE3614853A1 - Verfahren und einrichtung zum zentrieren eines ionenstrahls in eine in der bildebene eines magnetischen massenseparators befindlichen ionendurchtrittsoeffnung - Google Patents
Verfahren und einrichtung zum zentrieren eines ionenstrahls in eine in der bildebene eines magnetischen massenseparators befindlichen ionendurchtrittsoeffnungInfo
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DE19863619726 DE3619726A1 (de) | 1986-05-02 | 1986-06-12 | Verfahren und einrichtung zum gleichzeitigen zentrieren mehrerer separierter ionenstrahlen in eine entsprechende anzahl von ionendurchtrittsoeffnungen, die sich in der bildebene eines magnetischen massenseparators befinden |
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1987
- 1987-04-03 CH CH127687A patent/CH674280A5/de not_active IP Right Cessation
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"Anal. Chem." 42 (1970) 1505-1516 * |
"Anal. Chem." 47 (1975) 2373-2376 * |
"Anal. Chem." 53 (1981) 2288-2291 * |
"Int. J. of Mass Spectrom and Ion Physics" 15 (1976) 155-164 * |
"Int. J. of Mass Spectrom and Ion Physics" 18 (1975) 193-198 * |
"The Rev. of Scient. Instr." 40 (1969) 288-295 * |
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