DE3602369C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verschlußtor zum Abdichten einer Öffnung in einer Wand einer Vakuum-Behandlungskammer mit einer Verschlußplatte, die kurvengesteuert aus einer die Öff­ nung abdichtenden Schließstellung um mehr als 60° in eine die Öffnung freigebende und ihre lichte Weite im wesent­ lichen nicht einschränkende Offenstellung verschwenkbar ist.

Für hohe Bearbeitungsgeschwindigkeiten geeignete Vakuum-Be­ schichtungsvorrichtungen bestehen häufig aus einer Reihe von zu einer Bearbeitungszeile seriell durch Öffnungen verbunde­ nen Bearbeitungskammern, die durch Verschlußtore getrennt und einzeln evakuierbar sind. Durch Öffnen der Verschlußtore können Substrate von einer Kammer zur nächsten weitergelei­ tet werden. Die Größe der Substrate bestimmt die Volumina der Kammern, die zusätzlich die Verschlußtore samt Betätiger sowohl in geschlossener, als auch geöffneter Stellung aufneh­ men müssen. Dabei ist es wichtig, derartige Kammern mög­ lichst klein zu halten, um die Kosten und insbesondere die Evakuierungszeiten möglichst gering zu halten, die häufig einen bedeutenden Faktor der Gesamt-Bearbeitungszeit bilden.

Ein schwenkbares Verschlußtor der eingangs genannten Art zum Abdichten einer rechteckigen Wandöffnung in einer Vakuumkam­ mer ist aus der US-PS 32 58 243 bekannt und besteht aus einer länglich rechteckigen Platte mit horizontalen Schmal­ seiten, von denen die untere an jedem Eckbereich einen Stift aufweist und beide mittig je einen vertikal angeordneten Zap­ fen besitzen. Zwei von einer gemeinsamen, vertikalen Drehach­ se nahe einer Seite der Wandöffnung ausgehende Schwenkhebel greifen an den Zapfen an und sind zu deren Führung in ihren Endbereichen mit längsgerichteten Langlöchern versehen. Die Stifte zur Führung der Platte in ihrer Schwenkbewegung lau­ fen in im Boden der Vakuumkammer vorgesehenen, nahe der Dreh­ achse beginnenden Schlitzen, von denen einer gerade und senk­ recht zur Öffnungsebene ist und der andere im wesentlichen parallel zur Öffnungsebene verläuft. Letzterer weist von der Drehachse aus betrachtet zunächst zwei ca. 15° betragende, gegensinnige Krümmungsabschnitte auf und führt am Ende in einem 90°-Winkel auf die Wandöffnung hin. Eine Schwenkbe­ wegung der Verschlußplatte erfolgt unter Drehung der Schwenk­ hebel, wobei die Stifte die zugehörigen Schlitze durchlau­ fen, so daß die Verschlußplatte dabei um ca. 90° um den An­ griffspunkt der Schwenkhebel gedreht und in eine Offenstel­ lung gebracht wird, in der sie den Querschnitt der Wandöffnung vollständig freigibt. Dieser Schwenkhebelmecha­ nismus ist apparativ recht aufwendig und vom Kraftangriff her nicht optimal. Insbesondere in den Endlagen der Ver­ schlußplatte ist der Hebelarm der Schwenkhebel ungünstig. Zu­ sätzlich erfordert die hohe Reibung, die mit den in Schlit­ zen laufenden Stiften einhergeht, für die Schwenkhebel ein starkes Antriebsaggregat, wie z.B. einen winkelbegrenzt dre­ henden Motor, dessen Einsatz unter Hochvakuumbedingungen er­ heblichen Aufwand bedeutet. Nicht zu vernachlässigen ist auch das Problem einer schmierfreien und verschleißarmen Lagerung der Schwenkhebel.

Die FR-PS 11 99 122 zeigt ein Verschlußtor zum Abdichten einer kreisförmigen Wandöffnung in einer Vakuumkammer, das aus einer kreisförmigen Metallscheibe mit etwas größerem Durchmesser als die Öffnung besteht. Eine diametral, paral­ lel zur Scheibe verlaufende Drehachse ist an dieser ange­ bracht und geht an einem Ende in einen über die Scheibe hinausragenden, drehbaren ersten Zapfen über, neben dem parallel, an einem von der Scheibe rechtwinklig abstehenden Steg seitlich versetzt ein ebensolcher zweiter Zapfen vorge­ sehen ist. Eine erste und eine zweite Gleitschiene, die von der Kammerwand neben der Öffnung ausgehen, führen durch in den entsprechenden Zapfen eingebrachte Querbohrungen, wobei die erste Schiene senkrecht gerade zur Öffnungsebene ver­ läuft und die zweite Schiene zur ersten parallel beginnend in einen von dieser wegweisenden 90° Bogen übergeht. Ein parallel zur ersten Schiene wirkender Linearbetätiger greift am ersten Zapfen an und zieht die Scheibe aus ihrer Schließ­ stellung von der Öffnung weg. Durchläuft dann der zweite Zapfen den 90° Bogen der zweiten Schiene, so wird die Scheibe um fast 90° um die Drehachse geschwenkt und steht in ihrer Offenstellung senkrecht zur Öffnung mittig vor dieser. Somit ist die lichte Weite der Öffnung stark eingeschränkt. Zusätzlich erfordert diese Anordnung lange Betätigungswege oder bleibt auf ein kreisförmiges Verschlußtor beschränkt.

Die DE-AS 16 42 939 beschreibt ein Verschlußtor zum Abdich­ ten einer Öffnung in der Wand einer Polymerisationskammer, das aus einem vorzugsweise gleichseitig-dreieckigen Grundriß aufweisenden Prismenkörper besteht, dessen Seitenflächen als Dichtflächen ausgebildet sind, die zyklisch nacheinander an der abzudichtenden Wandöffnung zu liegen kommen. Dieser Pris­ menkörper ist um eine zentrale Achse drehbar an einem Rahmen gelagert, der seinerseits um eine Achse schwenkt, wobei zum Antrieb des Rahmens ein lineares Betätigungsglied dient und an dem Prismenkörper Stifte vorgesehen sind, die beim Ver­ schwenken des Rahmens auf stationäre Kurvenbahnen auflaufen und dadurch ein Drehen des Prismenkörpers bewirken. Die Zu­ verlässigkeit dieses Mechanismus ist durch die Reibungsabnut­ zung an Stiften, Kurvenbahnen und Drehgelenken unter Vakuum­ bedingung stark eingeschränkt und die aufwendige Anordnung erfordert viel Platz in der Vakuumkammer.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein apparativ un­ aufwendiges, mit geringem Kraftaufwand zu betätigendes Ver­ schlußtor der genannten Art zu schaffen.

Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Verschlußtor durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Die erfindungsgemäße Verwendung eines linearen Betätigungs­ glieds und einer zur Ableitung der Schwenkbewegung auf Rol­ len laufenden Verschlußklappe ermöglichen einen schnellen, sicheren Betrieb, der bei einer bevorzugten Anwendung in einer Kaskade von Vakuumbehältern kurze Arbeitszyklen sicherstellt. Der Reibungswiderstand und der Abrieb der Lauf­ räder ist gering, so daß man auf Schmiermittel verzichten kann, wie dies insbesondere unter Hochvakuumbedingungen wünschenswert ist. Die unter anderem durch die Arbeitshub­ richtung des linearen Betätigungsglieds charakterisierte Geometrie des Schwenkmechanismus erlaubt es, eine die lichte Weite der Wandöffnung voll freigebende Verschlußanordnung zu schaffen, die sich im Innern des Vakuumbehälters auf engstem Raum unterbringen läßt.

Weitere vorteilhafte Ausbildungen sind in den Unteransprü­ chen beschrieben.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung bei­ spielsweise näher erläutert; in dieser zeigt:

Fig. 1 eine Draufsicht auf evakuierbare Kammern mit einem erfindungsgemäßen Torverschluß,

Fig. 2 eine längs der Line 2-2 der Fig. 1 geschnittene, in Pfeilrichtung gesehene Seitenansicht der Kammern und des Tores aus Fig. 1, und

Fig. 3 eine längs der Linie 3-3 der Fig. 1 geschnittene, in Pfeilrichtung gesehene Endansicht der Kammern und des Tores in Fig. 1.

Fig. 1 zeigt die Umgebung des erfindungsgemäßen Verschlußtores. Eine Vakuum-Bearbeitungsvorrichtung enthält eine erste geschlos­ sene Kammer 10 mit einer Seitenwand 12, einem Boden 14 und einem Deckel 16, der in der Ansicht nach Fig. 1 nicht zu sehen ist. Die Bestandteile der Kammern und des Tores können aus Stahl oder einem anderen entsprechenden Material gefertigt sein. Um den durch das Evakuieren erzeugten Druckkräften besser zu widerste­ hen, können die Kammerwände mit Rippen 13 versteift sein. Die erste Kammer 10 besitzt einen Flansch 17, der dicht mit einer Endwand 21 einer zweiten evakuierbaren Kammer 20 verbunden ist. Die Wand 21 besitzt eine Öffnung 22 (Fig. 2), die das Durch­ leiten von Substraten zwischen der Kammer 10 und der Kammer 20 längs der Richtung des Pfeiles 5 erlaubt. Die Form und die Ab­ messungen der Öffnung hängen von der Größe der Substrate ab. Wie in Fig. 3 gezeigt, ist die Öffnung 22 rechtwinklig und be­ sitzt zwei Seitenkanten 24 (von denen nur eine dargestellt ist) und zwei Längskanten 25. Substrate können innerhalb jeder Kammer 10 und 20 und zwischen diesen durch irgendein gebräuchliches Fördermittel, beispielsweise eine Anzahl von Rädern oder Walzen 7, 8 transportiert werden, von denen zwei gestrichelt in Fig. 2 eingezeichnet sind. Die Kammern 10 und 20 und die Öffnung 22 sind symmetrisch zu einer durch die Mittellinie 4 in Fig. 1 ge­ henden, senkrecht auf der Papierebene dieser Figur stehenden Ebene gestaltet.

Das erfindungsgemäße Verschlußtor enthält ein Tor oder eine Verschlußplatte 30, einen Betätiger oder mehrere Betätiger 40, ein erstes Räderpaar 50 und eine Zweischienen-Bahn 60. Vor­ zugweise enthält das Verschlußtor auch ein zweites Räderpaar 70 und ein Paar von seitlichen Führungswalzen 80. Das Verschlußtor ist ebenfalls um die durch die Mittellinie 4 in Fig. 1 gehende Vertikalebene symmetrisch ausgeführt, und es ist jeweils nur eines der Räder 50 und 70, eine Walze 80 und nur eine Schiene der Bahn 60 gezeigt. Um die Übertragung von Werkstücken zwischen den Kammern 10 und 20 zu ermöglichen, ist das Verschlußtor so aufgebaut, daß der Abstand zwischen den Förderern 7 und 8 so gering wie möglich gehalten ist.

In den Fig. 1 und 3 ist das Verschlußtor mit seiner Verschlußplatte 30 in der abdichten­ den Stellung gezeigt, die in Fig. 2 mit 32 bezeichnet ist. Beim Einfahren der Linearbetätiger 40 bewegen sich die Räder 50 längs der Bahn 60 durch einen gekrümmten Abschnitt 62 so, daß das Ver­ schlußtor oder die Verschlußplatte von ihrer vertikalen Dicht­ lage 32 in eine in Fig. 2 gestrichelt eingezeichnete horizontale Lage 34 geschwenkt wird, in der die Öffnung 22 ungehindert frei liegt.

Die Verschlußplatte 30 ist so bemessen, daß sie die Öffnung 22 überdeckt. In der gezeigten Weise ist die Verschlußplatte recht­ winklig mit zwei Seitenkanten, von denen eine Seitenkante 36 gezeigt ist, und zwei Längskanten 37 und 38. Es wurden Verschluß­ tore der erfindungsgemäßen Art aufgebaut, die Verschlußplatten­ abmessungen von 216 cm × 25,4 cm × 3,8 cm (85 inch × 10 inch × 1,5 inch) besaßen. Ein O-Ring 39 ist in eine Nut in der Verschluß­ platte eingepaßt, um den Umfang der Öffnung 22 abzudichten.

Jedes Betätigungsglied 40 ist ein Druckluftzylinder mit einem Gehäuse 41, einer Kolbenstange 42 und Zuluft- bzw. Abluftan­ schlußstücken 43 an den beiden Enden des Gehäuses zur Steuerung der Kolbenstangenstellung. Die Luftleitungen zu diesen Anschlüs­ sen sind nicht dargestellt. Ein Ende jedes Betätigungsgliedes 40 ist über ein Verbindungsstück 44 mit der Verschlußplatte 30 verbunden, das eine Büchse 45 besitzt, welche durch vier Paar Lagerblöcke 47 hindurchreicht, die längs der Längskante 37 der Verschlußplatte 30, der oberen Kante in Fig. 3, angebracht sind. Um die Zeichnung nicht zu überladen, sind Abschnitte der Achse 46 in Fig. 1 und 3 weggelassen. Das andere Ende jedes Betä­ tigungsgliedes 40 ist schwenkbar mit einem Balken 18 verbunden, der über ein Winkelstück 19 an den Wänden der Kammer 10 befestigt ist. Schwenkstifte 48 erlauben eine Schwenkbewegung der Betäti­ gungsglieder bei der Bewegung der Verschlußplatte.

Jedes Rad 50 ist so angebracht, daß es sich an einem Wellenstum­ mel 52 dreht, der über jede Seitenkante der Verschlußplatte 30 hinaus vorsteht. Die Wellenstummel 52 sind koaxial angeordnet und jeder Stummel ist in einem Klotzpaar 54 eingeklemmt, das sich nahe der Längskante 38 der Verschlußplatte 30 befindet.

Vorzugsweise besitzt die Verschlußplatte ein zweites Paar von Stützrädern 70, die an den vorstehenden Enden der Achse 46 an­ gebracht sind, die sich längs der Längskante 37 der Verschluß­ platte 30 erstreckt. Auf diese Weise besitzt die Verschlußplatte vier an zu ihren Längskanten parallelen Achsen angebrachte Räder. Die Räder 70 können so an der Achse 46 befestigt sein, daß sie sich miteinander drehen und so einen Schräglauf der Verschluß­ platte möglichst gering halten, falls die Betätigungsglieder 40 unterschiedlich stark auf die Achse 46 einwirken.

Die Bahn 60 besteht aus einem Paar von identischen parallelen Platten 61 (von denen nur eine gezeigt ist), von denen jede so angebracht ist, daß sie das Durchleiten von Substraten durch die Öffnung nicht behindern. Bei der bevorzugten Ausführung sind sie benachbart jeder Seitenwand 12 mit einer Anzahl von Abstands­ stücken 63 und Schrauben 64 befestigt. Entsprechende Kanten jeder Platte besitzen mindestens einen ersten gekrümmten Abschnitt 62 und vorzugsweise einen zweiten gekrümmten Abschnitt 68. Die Platten sind so geformt und ausgerichtet, daß sie die mit Rä­ dern versehene Verschlußplatte bei ihrer Bewegung zwischen der geöffneten und der abdichtenden Stellung leiten.

Falls die Verschlußplatte sich anfangs in ihrer geöffneten Stellung 34 befindet, ist sie, wie in Fig. 2 dargestellt, an­ nähernd horizontal und wird durch die vier Räder 50 und 70 ab­ gestützt. Eines der beiden ersten und zweiten Räderpaare ruht auf einer ebenen horizontalen Kante 65 jeder Platte 61. Wenn das Betätigungsglied ausfährt, rollen die ersten Räder längs des ebenen Abschnittes 65 und dann der ersten Krümmung 62 ent­ lang um einen Winkel von etwa 90° zu einem vertikalen Abschnitt 66 der Bahn. Gleichzeitig rollt das zweite Räderpaar längs des glei­ chen Horizontalabschnittes 65, hebt dann aber an der Kurve 62 von der Bahn ab, während die Verschlußplatte um einen Winkel von etwa 90° in eine im wesentlichen vertikale Ausrichtung schwenkt.

Die Abdichtung der Verschlußplatte wird durch eine Anlage- oder Andrückvorrichtung 90 unterstützt, die der Längskante 38 der Ver­ schlußplatte entlang ausgerichtet ist. Eine Reihe von Druckplat­ ten 91 sind mit einer entsprechenden Anzahl von Druckteilen aus­ gerichtet, welche Einstellschrauben 94 und an dem Boden 14 der Kammer 10 angebrachte Klötze 92 enthalten. Eine Seite jeder Druckplatte 91 berührt das Ende einer Schraube 94, wenn die Räder 50 das untere Ende des vertikalen Abschnittes 66 der Bahn erreichen. Sperrmuttern 95 dienen zum Feststellen der Schrauben in einer solchen Stellung, daß die Verschlußplatte beim voll­ ständigen Ausfahren des Betätigungsgliedes gegen die Schrauben anlegt. Damit treibt vollständiges Ausfahren des Betätigungs­ gliedes sowohl die obere wie die untere Längskante der Ver­ schlußplatte 30 gegen die Kammerwand 21 und drückt zum Abdich­ ten der Öffnung auf den O-Ring 39. Die Verschlußplatte wird zwi­ schen den Schrauben 94 und der Wand 21 eingeklemmt, um eine gute Abdichtung sicherzustellen. Der Endabschnitt der Schließbewegung der Verschlußplatte geht im wesentlichen senkrecht zur Wand vor sich, um eine Reibung, Quetschung oder sonstige Beschädi­ gung des O-Ringes möglichst gering zu halten. Der O-Ring kann bei geöffneter Verschlußplatte und abgenommenem Deckel 16 leicht ausgewechselt werden.

Bei der bevorzugten Ausführung führt der vertikale Abschnitt 66 der Laufbahnen zu einem zweiten gekrümmten Abschnitt 68, bei dem die Bahn zur Horizontalen in Fig. 2 zurückführt, wodurch eine leichte Neigung für die Räder 50 gebildet wird, so daß die Verschlußplatte 30 sich anfangs leicht nach unten und von ihrer Dichtstellung fortbewegt, wenn das Betätigungsglied zum Öffnen des Tores einfährt.

Vorzugsweise enthält das Verschlußtor auch zwei seitliche Füh­ rungswalzen 80, von denen nur eine gezeigt ist. Jede Walze 80 ist an einem kurzen Wellenstummel 82 angebracht, der senk­ recht zu der Verschlußplatte von einer Stelle in der Nähe der Mitte jeder Seitenkante 36 absteht. Eine in Querrichtung ein­ stellbare Lasche 88 erlaubt die Ausrichtung der Verschlußplatte mit jeder Walze 80 und ist in Berührung mit der Seite 69 einer Platte 61, die der Innenseite der Kammer 10 zu liegt. Diese Walzen führen die Verschlußplatte bei ihrer Bewegung, um eine unerwünschte Seitenbewegung zu verhindern.

Um eine Ablaufsteuerung zu ermöglichen, kann das Verschlußtor mit Fühlern ausgestattet werden, die dann aktiviert werden, wenn die Verschlußplatte sich jeweils in ihrer voll geöffneten bzw. abdichtenden Stellung befindet. Solche Fühler können übliche Mikroschalter 100 und 102 sein, die jeweils an einstellbaren Laschen 103 bzw. 105 angebracht sind. Der Zustand des Mikroschal­ ters 100 ändert sich, wenn das zugehörige Betätigungselement 106 mit der Längskante 38 der Verschlußplatte 30 in Berührung kommt, wenn diese sich der Dichtstellung nähert oder von ihr weggeht. Der Mikroschalter 102 wird aktiviert, wenn die Längskante 37 der Verschlußplatte sich der Linie 6 nähert oder sie verläßt, die in Fig. 1 die vollständig geöffnete Stellung bezeichnet.

Die bevorzugte Ausführung des Verschlußtores kann in verschie­ dener Weise abgewandelt werden, ohne den Schutzbereich der Er­ findung zu verlassen. Es können beispielsweise verschiedene Arten von Betätigungsgliedern benutzt werden.

Bei der bevorzugten Ausführung ist der Winkel der zweiten Kurve größer als 90°, jedoch kann dieser Winkel auch 90° oder weniger betragen, wenn eine gute Abdichtung der Verschlußplatte sicher­ gestellt ist. Wenn dieser Winkel weniger als 90° beträgt, drückt die Bahn das erste Räderpaar 50 und die Verschlußplatte in die Dichtstellung, wenn das Betätigungsglied sich dem Ende seines Ausfahrweges nähert. Der Winkel der zweiten Kurve liegt vorzugs­ weise im Bereich von 60° bis 110°.

Bei der bevorzugten Ausführung wird die Verschlußplatte so aus­ gerichtet, daß sie sich zwischen einer vertikalen abdichtenden Stellung und einer horizontalen offenen Stellung schwenkt. Eine geringfügig modifizierte Verschlußplatte kann auch unterschied­ lich ausgerichtet werden, so, daß beispielsweise die Verschluß­ platte sich zwischen einer horizontalen Dichtstellung und einer vertikalen offenen Stellung schwenkt oder so, daß die schwenkende Verschlußplatte sich stets in einer vertikalen Ebene befindet. Bei beiden letztgenannten Ausführungen kann es erforderlich sein, daß die Laufbahnen profilartige Abschnitte enthalten, um die Räder stets mit der Schiene in Berührung zu halten und einen glatten Ablauf der Torbetätigung zu schaffen.

Claims (10)

1. Verschlußtor zum Abdichten einer Öffnung in einer Wand einer Vakuum-Behandlungskammer mit einer Verschlußplat­ te, die kurvengesteuert aus einer die Öffnung abdichten­ den Schließstellung um mehr als 60° in eine die Öffnung freigebende und ihre lichte Weite im wesentlichen nicht einschränkende Offenstellung verschwenkbar ist, dadurch gekennzeichnet,
daß zum Bewegen der Verschlußplatte (30) wenigstens ein daran angreifendes lineares Betätigungsglied (40) vorge­ sehen ist, das seinen Arbeitshub im wesentlichen senk­ recht zu der Ebene der in der Schließstellung befindli­ chen Verschlußplatte (30) ausführt,
daß an der Verschlußplatte (30) mit zueinander paralle­ len Achsen ein erstes Paar (50) von Rädern angebracht ist, die auf einer um einen Winkel von mehr als 60° gekrümmten Führungsbahn (60) über einen Winkel von mehr als 60° ablaufen, wobei die Verschlußplatte (30) um einen Winkel von mehr als 60° verschwenkt wird,
und daß die Bahn (60) einen zweiten Krümmungsabschnitt (68) besitzt, längs dem die ersten Räder (50) durch einen zweiten Bogenabschnitt mit einem Winkel von mehr als ca. 60° geführt werden, wenn sich die Verschluß­ platte (30) ihrer abdichtenden Stellung (32) nähert.

2. Verschlußtor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an der Verschlußplatte (30) ein zweites Paar (70) von Rädern vorgesehen ist, die mit zueinander parallelen Achsen (46) zum Führen der Verschlußplatte (30) längs der Bahn (60) ablaufen.

3. Verschlußtor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Winkel zwischen etwa 90° und 110° beträgt.

4. Verschlußtor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Paar von Walzen (80) vorgesehen sind, die an zu­ einander parallelen Achsen (82) senkrecht zur Verschluß­ platte (30) angebracht sind, um die Verschlußplatte bei ihrer Bewegung längs der Bahn (60) seitlich zu führen.

5. Verschlußtor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußplatte (30) längliche Form besitzt, daß das erste Paar (50) von Rädern an entgegengesetzten Enden derselben, einer ersten Längskante (38) derselben benachbart angebracht ist, und daß das Betätigungsglied (40) an der Verschlußplatte (30) zur entgegengesetzt liegenden Längskante (37) ange­ schlossen ist.

6. Verschlußtor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß Druckglieder (91) zur Anlage an der Verschlußplatte (30) in der Nähe der ersten Längskante (38) vorgesehen sind, um beim Halten der Verschlußplatte in ihrer dich­ tenden Stellung (32) Unterstützung zu leisten.

7. Verschlußtor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußplatte (30) zwischen den Druckgliedern (91) und der Kammerwand (20) eingekeilt ist, wenn sich die Verschlußplatte (30) in ihrer dichtenden Stellung (32) befindet.

8. Verschlußtor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweites Paar (70) von Rädern mit parallelen Ach­ sen (46) vorgesehen ist, die an entgegengesetzten Enden benachbart der gegenüberliegenden Längskante (37) der Verschlußplatte (30) liegen, um die Verschlußplatte längs der Bahn (60) zu führen.

9. Verschlußtor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß weiter zwei an parallelen Achsen (82) senkrecht zur Verschlußplatte (30) angebrachte Walzen (80) vorgesehen sind, um die Verschlußplatte, wenn sie sich längs der Bahn (60) bewegt, seitlich zu führen.

10. Verschlußtor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußplatte (30) durch einen Winkel zwischen 75° und 105° geschwenkt wird.