DE3428408A1 - Aufzeichnungsgeraet - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Aufzeichnungsgerät und insbesondere auf ein Gerät zur Übertragung eines Musters bzw. Schemas eines Originals oder auf ein Gerät zur Bilderzeugung unter Verwendung eines Elektronenoder Laserstrahls.

Bilderzeugungsgeräte der Projektionsbauart, z.B. ein Belichtungsgerät zur übertragung eines feinen, auf einer Maske oder einer Strichplatte (im folgenden wird nur von "Maske" gesprochen) ausgestalteten Schemas oder Musters auf ein strahlungs- oder lichtempfindliches Wafer (HaIbleiterplättchen) durch einen Näherungsprozeß oder mit einem optischen Projektionssystem, ein Belichtungsgerät zur Ausbildung eines feinen Schemas auf einem Wafer durch

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eine Elektronenstrahlabtastung oder ein Laserstrahldrucker zur Ausgestaltung einer feinen Abbildung auf einem licht- oder strahlungsempfindlichen Teil durch eine Laserstrahlabtastung sind zu solchen Bilderzeugungsgeräten der berührenden Bauart, z.B. einem Halbleiter-Belichtungsgerät der Kontaktbauart, in der Beziehung verschiedenartig, daß bei den erstgenannten Geräten die Abbildung auf das strahlungs- oder lichtempfindliche Teil über einen "Raum" (oder Abstand) hinweg projiziert wird, was zu einem Problem einer Lageabweichung oder Verschiebung zwischen der zu projizierenden Abbildung und dem der Projektion unterworfenen Teil auf Grund der im Gerät selbst hervorgerufenen oder von einer externen Quelle erzeugten Vibration führt.

Bilderzeugungsgeräte der oben erwähnten Projektionsbauart haben bisher keine Einrichtungen verwendet, um eine auf Vibrationen beruhende Bildschwankung festzustellen. Vielmehr wurde eine gegen Vibrationen isolierende Bühne oder Plattform angewendet, um die vom Boden übertragene Schwingung zu absorbieren und deren übertragung auf das Gerät zu unterdrücken. Zusätzlich wurden im Hinblick auf die Vibration, die im Gerät selbst hervorgerufen werden könnte, die Beharrungsmasse oder die Bewegungsgeschwindigkeit eines jeden der verschiedenen bewegbaren Bauteile des Geräts vermindert, um das Auftreten von Schwingungen auf ein Minimum herabzusetzen.

Ferner wurde im Hinblick darauf, daß die durch die Bewegung der beweglichen Teile hervorgerufene Schwingung nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne nach Beendigung der Bewegung gedämpft oder abgeschwächt wird, so daß die relative Amplitude verkleinert wird, eine geeignete Verzögerungszeit auf der Grundlage von Versuchsergebnissen mit der Dämpfungszeit gewählt, und das Gerät wurde so auf-

gebaut, daß nach Ablauf dieser Verzögerungszeit nach Beendigung der Bewegung der bewegbaren Teile der anschließende Arbeits- oder Verfahrensschritt, z.B. ein Belichten, ausgelöst wird. Da jedoch die Bewegungsgeschwindigkeit im allgemeinen hoch sein soll, wenn der Wert für die Bewegung der bewegbaren Teile groß ist, ist in diesem Fall die Dämpfungszeit dementsprechend langer. Aus Sicherheitsgründen wird demzufolge gewöhnlicherweise eine längere Verzögerungszeit gewählt, jedoch ist die Wahl einer solchen längeren Verzögerungszeit, die fest ist, in einem Fall, da die Bewegungsgröße gering ist, nicht von Vorteil, weil die Zeitverschwendung einen verminderten Durchsatz zur Folge hat.

Wenn eine Schwingung, die nicht innerhalb der vorgegebenen Verzögerungszeit ausreichend gedämpft wird, auf Grund »

eines externen Vorgangs, z.B. wegen Erdstößen, auftritt, dann wird darüber hinaus der anschließende Belichtungsschritt od. dgl. ohne Korrektur der Lageabweichung der Verschiebung zwischen der zu projezierenden Abbildung und dem lichtempfindlichen Teil ausgeführt werden.

Es ist demzufolge die Aufgabe der Erfindung, ein Gerät zu schaffen, mit dem"die Ausbildung einer zufriedenstellenden, den Anforderungen entsprechenden Abbildung auf einem Aufzeichnungsmaterial zu bewerkstelligen ist. Das Wort "Abbildung" umfaßt hier nicht nur ein Bild, das nach der Ausführung eines Prozesses an diesem, z.B. eines Entwicklungsprozesses, zu erkennen ist, sondern auch ein Bild, das bereits in seinem Anfangs- oder Ausgangszustand sichtbar ist.

Hierbei hat es sich die Erfindung zum Ziel gesetzt, ein Bilderzeugungsgerät zu schaffen, bei dem jegliche nachteilige Beeinflussungen, wie z.B. eine Verzerrung oder Lage-

abweichung in der hergestellten Abbildung, die durch eine Schwingung hervorgerufen wird, ausgeschaltet wird.

Ferner ist es ein Ziel der Erfindung, ein Bilderzeugungsgerät aufzuzeigen, bei dem das Maß einer Schwingungsdämpfung in Übereinstimmung mit der geforderten Abbildungsqualität wählbar ist, so daß die Wartezeit während der oder für die Auslösung eines folgenden Bearbeitungsschritts optimiert wird.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist in der Schaffung eines Repetier-Belichtungsgeräts zu sehen, bei dem die während der Wiederholung desselben Schritts erforderliche Wartezeit auf ein Minimum gebracht wird, um den Durchsatz zu erhöhen.

Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Halbleiter-Belichtungsgerät der Verkleinerungsprojektionsbauart geschaffen, bei dem eine Einrichtung zur Echtzeit-Messung der Größe einer relativen, aus einer Vibration rührenden Lageabweichung zwischen dem Schema einer Maske, das auf ein Wafer projiziert werden soll, und dem Wafer oder dem bereits auf diesem ausgebildeten Schema vorgesehen ist, so daß zu einer Zeit, zu welcher die Amplitude der relativen Lageabweichung bis zu einem solchen Maß vermindert ist, daß die Bildübertragung nicht negativ beeinflußt wird, ein Befehlssignal für den Beginn des nächsten Arbeitsvorgangs erzeugt wird.

Gemäß einem anderen Gesichtspunkt der Erfindung kann eine von einer externen Ursache, z.B. Erdstößen, ausgehende Schwingung erfaßt werden. Damit wird es möglich, das Arbeiten des Geräts zu unterbrechen, bis die Schwingung in ausreichender Weise abgeklungen ist, um damit den Anteil an mangelhaften Produkten in wirksamer Weise auf ein Minimum zu bringen.

Die Aufgabe der Erfindung und deren Lösung sowie weitere Ziele wie auch die Merkmale und Vorteile des Erfindungsgegenstandes v/erden aus der folgenden, auf die Zeichnungen Bezug nehmenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen deutlich. Es zeigen:

Fig. 1 schematisch den optischen Aufbau eines Projektionsbelichtungsgeräts in einer ersten Ausführungsform gemäß der Erfindung;

Fig. 2 ein Blockbild einer Signalverarbeitungsschaltung für das in Fig. 1 dargestellte Gerät;

Fig. 3 eine zu Fig. 1 gleichartige Darstellung eines Belichtungsgeräts in einer zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform;

Fig. 4 eine zu Fig. 1 gleichartige Darstellung eines Belichtungsgeräts in einer dritten Ausführungsform gemäß der Erfindung.

Das Belichtungsgerät von Fig. 1 weist einen Beleuchtungsapparat 1 mit einer Lichtquelle la, Umlenkspiegeln Ib, einer Verschlußblende lc, einer Kondensorlinse Id und einem Stellantrieb'Ie für die Verschlußblende lc auf. Der Beleuchtungsapparat 1 leuchtet eine Strichplatte oder Maske 2, auf der ein" Schaltschema ausgebildet ist, gleichförmig aus. Die Maske 2 ist auf einem Maskenträger 3, an dem ein erster Beschleunigungsmesser 9 für das Erfassen einer Vibration der Maske 2 befestigt ist, festgehalten. Unterhalb des Maskenträgers 3 ist ein Verkleinerungsprojektiv 4 angeordnet, das an einem Gestellteil 5 des Belichtungsgeräts fest angebracht ist. Das Projektionsobjektiv 4 bildet das Schaltschema der Maske 3 auf der Oberfläche eines Wafers (Halbleiterplättchens) 6 ab. Am oberen sowie unteren Teil des Projektivs 4 sind ein zweiter bzw. ein dritter Beschleunigungsmesser 10 und 11 befestigt, die die Schwingungen des Projektivs 4 erfassen. Das Wafer 6

wird durch einen Unterdruck od. dgl. an einer Wafer-Spannvorrichtung 7, an der ein vierter Beschleunigungsmesser 12 zur Feststellung von Schwingungen des Wafers 6 befestigt ist, gehalten. Das Wafer 6 und die Spannvorrichtung 7 werden von einer Waferbühne 8 in einer Repetierbewegung verschoben. Der vierte Beschleunigungsmesser 12 kann alternativ auch an der Waferbühne 8 angebracht sein, um die Vibrationen des Viafers 6 zu erfassen.

Bei der gezeigten Ausführungsform ist jeder der Beschleunigungsmesser 9, 10, 11 und 12 dazu vorgesehen, die Schwingung eines zugeordneten Teils, nämlich der Maske 2, des oberen sowie unteren Teils des Projektivs 4 und des Wafers 6, in nur einer Richtung festzustellen. Es sollte jedoch klar sein, daß die Zuverlässigkeit des Belichtungsgeräts in bezug auf die Schwingungen dadurch gesteigert werden kann, daß drei Beschleunigungsmesser mit jeweils X-, Y- und Z-Nachweisrichtungen an jeder der Ermittlungsstellen von Fig. 1 angeordnet werden, um die Schwingungen in X-, Y- und Z-Richtungen mit Bezug zum Belichtungsgerät zu erfassen. In diesem Fall ist es von Bedeutung, daß einer dieser drei Beschleunigungsmesser mit der Koordinatenachse des Belichtüngsgeräts in Übereinstimmung ist.

Gemäß dem Blockdiagramm von Fig. 2 enthält das elektrische System für die in Fig. 1 gezeigte Ausführungsform eines Belichtungsgeräts eine erste Datenverarbeitungseinheit (Prozessor) 13, dem von den Beschleunigungsmessern 9, 10 und 11 Beschleunigungssignale zugeführt werden. Der Prozessor 13 wandelt durch Integration jedes Beschleunigungssignal in eine Verschiebung um und berechnet den absoluten Wert in der Schwankung der auf das Wafer 6 zu projizierenden Schemaabbildung der Maske 2. Jeder der Ausgänge der Beschleunigungsmesser 9, 10 und 11 entspricht nicht der absoluten Schwankung der Schemaabbildung, da diese vom

Ort des Maskenträgers 3, des Projektivs 4, der Beschleunigungsmesser 9, IO und 11 im Belichtungsgerät oder von der Vergrößerung des Projektivs abhängig ist. Es ist deshalb vorzuziehen, die Beziehung zwischen jedem der Beschleunigungsmesser 9, 10 sowie 11 und dem absoluten Betrag der Schwankung der Schemaabbildung vorläufig zu erfassen und die Verschiebung auf der Grundlage der ermittelten Beziehung zu berechnen. In diesem Fall vergleicht der Prozessor 13 die auf der Basis der ihm von den Beschleunigungsmessern 9, 10 sov/ie 11 zugeführten Signale berechneten Verschiebungen miteinander und gibt den Maximalwert an eine mit ihm verbundene zweite Datenverarbeitungseinheit (Prozessor) 15 ab.

Ein dritter Prozessor 14 empfängt ein vom Beschleunigungsmesser 12 geliefertes Ausgangssignal und gibt nach dessen Umwandlung durch Integration in eine Verschiebung ein Signal zum zweiten Prozessor 15 aus. Dieser Prozessor 15 vergleicht die ihm von den Prozessoren 13 und 15 zugeführten Ausgangssignale, um den Unterschied zwischen diesen zu ermitteln, und berechnet die Größe der relativen Abweichung zwischen der'Schemaabbildung der Maske 2 und dem Wafer 6. Anschließend gibt der Prozessor 15 ein Signal an eine Vergleichs- und Befehlseinheit 16 ab, in der ein zulässiger Wert P, der entsprechend der geforderten Genauigkeit für das Schema veränderbar ist, voreingestellt ist. Die Vergleichs- und Befehlseinheit 16 vergleicht den vorgegebenen zulässigen Wert P mit der Größe der relativen Abweichung zwsichen der Schemaabbildung und dem Wafer, die ihr vom Prozessor 15 zugeführt wurde, und erzeugt, wenn die Größe der relativen Abweichung den zulässigen Wert P nicht übersteigt, ein Befehlssignal CS. Dieses Signal CS ist ein solches, das die Einleitung des nächsten Schritts, z.B. die Bildübertragung, befiehlt, so daß der Stellantrieb Ie betätigt wird, un die Verschlußblende Ic

auszulösen- Das Befehlssignal CS kann selbstverständlich auch dazu dienen, die Sperrung des nächsten Vorgangs aufzuheben, oder auch dazu, eine Sichtanzeige zur Genehmigung des Einleitens des nächsten Schritts zu bewirken.

Wenngleich bei der besprochenen Ausführungsform Beschleunigungsmesser 9, 10 und 11 dazu verwendet werden, die Größe der relativen Abweichung zwischen der Schemaabbildung,und dem Wafer zu ermitteln, so ist die Erfindung hierauf nicht beschränkt, vielmehr können die Beschleunigungsmesser auch durch sehr geringe Verschiebungen messende Elemente (Meßuhren od. dgl.) ersetzt werden.

Ferner kann ein Laserinterferometer, das in einem Belichtungsgerät verwendet wird, um eine Ausrichtung oder Justierung zwischen einem Projektionsobjektiv und einer Waferbühne zu erreichen, zur Anwendung kommen, und die Fig. 3 zeigt ein Belichtungsgerät mit einem solchen Laserinterferometer 19. Da außer diesem Laserinterferometer, das das Erfassungssystem aus Beschleunigungsmessern von Fig. 1 ersetzt, das Belichtungsgerät in der Ausführungsform von Fig. 3 zu demjenigen von Fig. 1 im wesentlichen gleich .aufgebaut ist, wird von einer näheren Erläuterung abgesehen.

Gemäß einer weiteren Alternative kann die Größe der absoluten Abweichung des Wafers durch eine Kombination einer Abrichtplatte mit einer Maßeinteilung, die zur Positionierung der Waferbühne verwendet wird, ermittelt werden.

Die Fig. 4 zeigt ein Projektionsbelichtungsgerät mit einem durch das Objektiv arbeitenden Justiersystem, v/obei Justiermarken, die an einer Maske und einem Wafer ausgebildet sind, durch Fühler oder Detektoren 18a und 18b über ein Projektionssystem, erfaßt v/erden, um eine Ausrichtung zwischen Maske und Wafer zu erreichen. Erfindungsgemäß

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enthält das Projektionsbelichtungsgerät von Fig. 4 eine Schwingungs-Diskriminierschaltung 17, die die Schwingung der Justiermarken erfaßt, um die Größe der relativen Abweichung zwischen der Projektionsschemaabbildung der Maske und dem Wafer zu ermitteln. Das elektrische System zur Signalverarbeitung enthält in diesem Fall eine Vergleichsund Befehlsschatlung, wie z.B. die Schaltung 16 von Fig.2, während die anderen Elemente, die in Fig. 2 gezeigt sind, weggelassen werden können. Mit Ausnahme des die Schwingungen erfassenden Systems hat das Belichtungsgerät von Fig.4 im wesentlichen denselben Aufbau wie dasjenige von Fig. 1, so daß auch hier eine nähere Erläuterung unterbleiben kann.

Wenn bei der Ausführungsform von Fig. 1 eine nicht zu strenge Schemagenauigkeit gefordert wird, dann können die Beschleunigungsmesser 10 und 11 für das Projektiv 4 v/eggelassen werden oder es kann der Beschleunigungsmesser 9 für die Maske 2 entfallen, so daß lediglich die Vibaration des Viafers 6 erfaßt wird.

Gemäß der Erfindung, wie sie bisher erläutert wurde, wird die Größe der relativen Lageabweichung zwischen der zu projizierenden Abbildung und dem strahlungsempfindlichen Teil, z.B. dem Wafer, durch eine Echtzeit-Uberwachung ermittelt, und ob die Größe der Lageabweichung einen negativen Einfluß auf die bildartige Belichtung hat oder nicht, das wird in der vorher beschriebenen Weise scharf unterschieden (diskriminiert). Das Vorsehen eines Schwingungserfassungssystems zur Ermittlung der Lageabweichung zwischen der zu projizierenden Abbildung und dem strahlungsempfindlichen Teil, z.B. einem Wafer, führt zu einem Belichtungsgerät, das einen höheren Durchsatz gewährleistet. Darüber hinaus ist gemäß der Erfindung die Abbildungsgenauigkeit einregelbar, so daß sie herab-gesetzt werden kann, wenn eine nicht ganz so genaue Bildübertragung ver-

langt wird, und damit kann die Durchsatzleistung des Geräts weiter verbessert werden.

Die Erfindung offenbart somit ein Aufzeichnungsgerät zur Verwendung mit einem strahlungsempfindlichen Teil, das einen Träger für das strahlungsempfindliche Teil, ein Bilderzeugungssystem, das dem strahlungsempfindlichen Teil zur Ausbildung einer Abbildung auf diesem eine Strahlungsenergie mit einem Verteilungsbild vermittelt, ein der Kessung einer Vibration dienendes Schwingungsmeßgerät, um eine Relativbewegung zwischen dem strahlungsempfindlichen Teil sowie der Struktur der diesem Teil vermittelten Strahlungsenergie zu erfassen, und eine Diskriminierschaltung, die auf der Grundlage des Ausgangs des Schwingungsmeßgeräts ermittelt, ob das Bilderzeugungssystem zu betätigen ist oder nicht, enthält, so daß jegliche Lageabweichung oder jegliche Verzerrung auf Seiten der Abbildung unterbunden wird.

Wenngleich die Erfindung unter Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen beschrieben wurde, so ist sie nicht auf die erläuterten Einzelheiten beschränkt, sondern umfaßt alle Abwandlungen und Änderungen, die den angestrebten Zwecken dienen oder in den Rahmen der Patentansprüche fallen.

Claims (14)

Patentansprüche

1. Aufzeichnungsgerät zur Verwendung mit einem strahlungsempfindlichen Teil, gekennzeichnet durch die Kombination

- einer das strahlungsempfindliche Teil (6) tragenden Einrichtung (7, 8),

- einer Strahlungsenergie mit einem Verteilungsbild dem strahlungsempfindlichen Teil (6) zur .Erzeugung einer Abbildung auf diesem vermittelnden Bilderzeugungseinrichtung (1, 3, 4),

- einer eine Relativbewegung zwischen dem strahlungsempfindlichen Teil und dem Verteilungsbild der dem strahlungsempfindlichen Teil zu vermittelnden Strahlungsenergie erfassenden Einrichtung (9, 10, 11, 12, 18a, 18b, 19), die ein Erfassungssignal erzeugt,und

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Klo 1339 B44

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- einer Einrichtung (16, 17, 19), die auf der Grundlage des ihr von der Erfassungseinrichtung zugeführten Signals über die Betätigung oder Nichtbetätigung der Bilderzeugungseinrichtung entscheidet.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die Erfassungseinrichtung eine Einrichtung zur Feststellung von Schwingungen ist.

3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungs-Erfassungseinrichtung Schwingungen in drei Richtungen in einem dreidimensionalen rechtwinkligen Koordinatensystem feststellt.

4. Gerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungs-Erfassungseinrichtung einen Beschleunigungsmesser (9, 10, 11, 12) enthält.

5. Gerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungs-Erfassungseinrichtung ein Laserinterferometer enthält.

6. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung eine Einrichtung (12) zur Feststellung von Schwingungen ist, die mit der das strahlungsempfindliche Teil (6) tragenden Einrichtung (7, 8) verbunden ist.

7. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die das strahlungsempfindliche Teil (6) tragende Einrichtung (7, 8) in rechtwinkligen Richtungen bewegbar ist, wobei die Schwingungs-Erfassungseinrichtung Schwingungen in drei Richtungen in einem dreidimensionalen rechtwinkligen Koordinatensystem fest-

stellt und wobei wenigstens eine der drei Richtungen in dem dreidimensionalen rechtwinkligen Koordinatensystem mit einer der Bewegungsrichtungen der das strahlungsempfindliche Teil tragenden Einrichtung zusammenfällt.

8. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung eine mit der Trageinrichtung (7, 8) für das strahlungsempfindliche Teil (6) verbundene Schwingungs-Erfassungseinrichtung (12) zum Feststellen von Schwingungen mit Bezug zu dieser sowie eine mit der Bilderzeugungseinrichtung (4) verbundene Schwingungs-Erfassungseinrichtung (10, 11) zum Feststellen von Schwingungen mit Bezug zu dieser umfaßt und daß die Entscheidungseinrichtung (16) ein Befehlssignal (CS) zur Betätigung der Bilderzeugungseinrichtung auf der Grundlage von wenigstens einem Ausgang der einen oder anderen Schwingungs-Erfassungseinrichtung (12, 10, 11) sowie eines zulässigen Werts (P) erzeugt.

9. Gerät nach Anspruch 1 zur Verwendung mit einer ein Schema tragenden Maske, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderzeugungseinrichtung einen die Maske (2) haltenden Maskenträger (3), einen die Maske ausleuchtenden Beleuchtungsapparat (1), eine den Beleuchtungsapparat steuernde Einrichtung und ein optisches Projektionssystem (4), das das Maskenschema auf das strahlungsempfindliche Teil (6) projiziert, umfaßt.

10. Gerät nach Anspruch 1 zur Verwendung mit einer ein Schema tragenden Maske, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderzeugungseinrichtung einen die Maske (2) haltenden Maskenträger (3), einen die Maske ausleuchtenden Beleuchtungsapparat (1) sowie ein optisches Projektionssystem (4), das das Maskenschema auf das strahlungsempfindliche

Teil (6) projiziert, umfaßt und daß die. Erfassungseinrichtung eine Mehrzahl von Schwingungen feststellenden Einrichtungen enthält, von denen eine (12) mit der das strahlungsempfindliche Teil (6) tragenden Einrichtung (7, 8) und eine andere¹ (9) mit dem Maskenträger (9) verbunden ist.

11. Gerät zur Verwendung mit einem Informationsträger, · gekennzeichnet durch die Kombination

- einer den Informationsträger (6) tragenden Einrichtung (7, 8) ,

- einer eine Information auf dem Informationsträger (6) aufzeichnenden Einrichtung (1, 3, 4),

- einer Schwingungs-Erfassungseinrichtung (9, 10, 11, 12, 18a, 18b, 19), die eine Relativbewegung zwischen der Aufzeichnungseinrichtung sowie dem Informationsträger feststellt, und

- einer den Betrieb der Aufzeichnungseinrichtung zulassenden Einrichtung (16, 17, 19), die entscheidet, ob die Relativbewegung zwischen Aufzeichnungseinrichtung sowie Informationsträger innerhalb eines Werts liegt, der nicht größer als ein vorgegebener zulässiger Wert (P) ist.

12. Gerät nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der zulässige Wert (P) veränderbar ist.

13. Gerät nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die den Betrieb zulassende Einrichtung (16, 17, 19) die Aufzeichnungseinrichtung (1, 3, 4) betätigt, wenn die Relativbewegung zwischen Aufzeichnungseinrichtung sowie Informationsträger (6) innerhalb eines Werts liegt, der nicht größer als der zulässige Wert (P) ist.

14. Gerät nach Anspruch 11 zur Verwendung mit einem ein Schema tragenden Original, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungseinrichtung einen das Original (2) haltenden Träger (3), einen das Original ausleuchtenden Beleuchtungsapparat (1) sowie eine optische Projektionseinrichtung, die das Schema des Originals auf den Informationsträger (6) projiziert, umfaßt.