DE3425741C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen trommelförmigen Schichtträger für ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, das gegenüber elekromagnetischen Wellen
wie Licht, worunter im weitesten Sinne UV-Strahlen,
sichtbares Licht, IR-Strahlen, Röntgenstrahlen und
γ-Strahlen zu verstehen sind, empfindlich ist.
Fotoleitfähige Materialien, aus denen
elektrofotografische Aufzeichnungsmaterialien in Festkörper-
Bildabtastvorrichtungen oder auf dem Gebiet der Bilderzeugung
gebildet werden, müssen eine hohe Empfindlichkeit,
ein hohes S/N-Verhältnis (Fotostrom [I p ]/
Dunkelstrom [I d ]), Spektraleigenschaften, die an die
elektromagnetischen Wellen, mit denen bestrahlt werden
soll, angepaßt sind, ein schnelles Ansprechen auf Licht
und einen gewünschten Dunkelwiderstandswert zeigen und
dürfen während der Anwendung nicht gesundheitsschädlich
sein. Ferner ist es bei einer Festkörper-Bildabtastvorrichtung
auch notwendig, daß das Restbild innerhalb
einer vorher festgelegten Zeit leicht
beseitigt werden kann. Im Fall eines elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterials, das in eine
für die Anwendung in einem Büro als Büromaschine vorgesehene
elektrofotografische Vorrichtung eingebaut
werden soll, ist es besonders wichtig, daß das Aufzeichnungsmaterial
nicht gesundheitsschädlich ist.
Von dem vorstehend erwähnten Gesichtspunkt aus hat in
neuerer Zeit amorphes Silicium, bei dem freie Bindungen
mit einwertigen Elementen wie z. B. Wasserstoff- oder
Halogenatomen modifiziert sind (nachstehend als a-Si
[H,X] bezeichnet), als fotoleitfähiges Material Beachtung
gefunden. Beispielsweise sind aus den DE-OS 27 46 967
und 28 55 718 Anwendungen von a-Si (H,X) für den
Einsatz in elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterialien bekannt, und aus der DE-OS 29 33 411 ist die
Anwendung von a-Si (H,X) für den Einsatz in einer als
fotoelektrischer Wandler wirkenden Lesevorrichtung bekannt.
Es wird damit gerechnet, daß a-Si (H,X) infolge
seiner ausgezeichneten Fotoleitfähigkeit, Reibungsbeständigkeit
und Wärmebeständigkeit und der relativen
Leichtigkeit, mit der daraus eine großflächige Vorrichtung
gebildet werden kann, für elektrofotografische
Aufzeichnungsmaterialien angewandt wird.
Im allgemeinen wird bei der Herstellung eines trommel- bzw. walzenförmigen,
elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials
mit einem aus a-Si (H,X) bestehenden fotoleitfähigen
Material für die Erzielung guter Fotoleitfähigkeitseigenschaften
auf dem trommelförmigen Schichtträger
in einer Vorrichtung für die Abscheidung einer
a-Si(H,X)-Schicht unter der Bedingung, daß der trommelförmige
Schichtträger auf eine Temperatur von 200°C oder eine
höhere Temperatur erhitzt wird, eine a-Si(H,X)-Schicht
gebildet.
Wegen des vorhandenen Unterschiedes zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten
des trommelförmigen Schichtträgers
und dem Wärmeausdehnungskoeffizienten der a-Si(H,X)-
Schicht und auch wegen der großen inneren Spannung innerhalb
der a-Si(H,X)-Schicht wird jedoch häufig nicht nur
während der Abscheidung der a-Si(H,X)-Schicht, sondern
auch während des Abkühlens nach der Abscheidung ein
Abschälen bzw. Ablösen der a-Si(H,X)-Schicht beobachtet.
Ferner kann sich die a-Si(H,X)-Schicht während der Anwendung
als trommelförmiges elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial
manchmal durch
eine Erwärmung des trommelförmigen Aufzeichnungsmaterials
ablösen. Insbesondere neigt die a-Si-Schicht dazu,
sich an den Endteilen des trommelförmigen Aufzeichnungsmaterials
abzulösen, und zwar manchmal unter Bildung
eines Risses vom Endteil zum Mittelteil des trommelförmigen
Aufzeichnungsmaterials.
Gemäß einer Anzahl von Versuchen, die durch die Erfinder
durchgeführt wurden, besteht die Neigung zum Auftreten
einer solchen Ablösung der Schicht oder einer Rißbildung
in höherem Maße, wenn die a-Si(H,X)-Schicht dicker ist,
und aus den vorstehend erwähnten Gründen eines Unterschiedes
zwischen den Wärmeausdehnungskoeffizienten
und der Größe der inneren Spannung innerhalb der a-Si(H,X)-
Schicht kann eine Ablösung der Schicht im Fall des
trommelförmigen Aufzeichnungsmaterials vom a-Si-Typ auch
durch eine Verformung des trommelförmigen Schichtträgers verursacht
werden, während eine Verformung des trommelförmigen
Schichtträgers bei dem bekannten trommelförmigen
elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterial, das dem
Se-Typ angehört, keine Ablösung der Schicht verursacht.
Die innere Spannung innerhalb der a-Si(H,X)-Schicht kann
bis zu einem gewissen Grade durch die Wahl der Herstellungsbedingungen
der a-Si(H,X)-Schicht (des gasförmigen
Ausgangsmaterials, der Entladungsleistung und der Heiztemperatur
des Schichtträgers) gemildert werden, jedoch stellt
eine Ablösung bzw. Abschälung der Schicht oder eine Rißbildung
im Fall der Anwendung für die Elektrofotografie
eine entscheidende Störung dar, die Bildfehler verursachen
kann.
Im allgemeinen wird der Endteil eines trommelförmigen
Schichtträgers für die Befestigung des trommelförmigen Schichtträgers
innerhalb einer Herstellungsvorrichtung während der
Herstellung eines Aufzeichnungsmaterials
durch Abscheidung einer a-Si(H,X)-Schicht oder für die
Befestigung des trommelförmigen
elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials in einer Kopiervorrichtung
einer Bearbeitung unterzogen. Da diese Bearbeitung
im allgemeinen in einer spanenden Bearbeitung
der Innenfläche des Endteils besteht, ist der Endteil
des trommelförmigen Schichtträgers im Vergleich mit seinem Mittelteil
dünner. Infolgedessen besteht die Neigung, daß
ein Erhitzen des trommelförmigen Schichtträgers während der
Bildung der a-Si(H,X)-Schicht besonders an seinem Endteil
eine thermische Verformung verursacht, und diese
thermische Verformung kann als Ursache für die Ablösung
der Schicht oder für die Rißbildung am Endteil des
trommelförmigen Schichtträgers angesehen werden. Ferner kann
angenommen werden, daß eine solche thermische Verformung
während der Abscheidung der a-Si-Schicht Ungleichmäßigkeiten
bei der Entladung verursacht, wodurch die
Gleichmäßigkeit der Dicke der abgeschiedenen a-Si-Schicht
verlorengehen kann, was zu Bildfehlern führt.
Aus der DE-OS 31 50 865 ist ein elektrofotografisches
Aufzeichnungsmaterial mit einem Träger und einer darauf
befindlichen fotoleitfähigen Schicht bekannt, die aus
einem amorphen Material besteht, das in einer Matrix
von Siliciumatomen, Wasserstoffatome und/oder Halogenatome
enthält, wobei der Träger mindestens an seiner Oberfläche
aus Aluminiumoxid besteht, das Wasser als Bestandteil
der chemischen Struktur enthält. Zu diesem Zweck wird
der beispielsweise aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung
bestehende Träger anodisch oxidiert. Die Aluminiumoxidschicht
soll hierbei verhindern, daß die fotoleitfähige
Schicht sich ablöst oder reißt.
Als Ergebnis umfassender und ausgedehnter Untersuchungen
hinsichtlich der Anwendbarkeit und Brauchbarkeit von
a-Si für ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial
wurde nun gefunden, daß das vorstehend erwähnte Problem
hinsichtlich der Ablösung der Schicht und der Rißbildung
dadurch überwunden werden kann, daß als Schichtträger
des abgeschiedenen a-Si-Films ein trommelförmiger Schichtträger
verwendet wird, bei dem das Verhältnis der Dicke
des Endteils zu der Dicke des Mittelteils einen bestimmten
Wert hat.
Es ist Aufgabe der Erfindung, einen trommelförmigen
Schichtträger für ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial
mit einer ausgezeichneten Haltbarkeit zur
Verfügung zu stellen, mit dem ein Ablösen oder eine Rißbildung
der auf dem Schichtträger angeordneten fotoleitfähigen
Schicht verhindert werden kann, so daß selbst
bei wiederholter Anwendung kaum Bildfehler wie z. B.
Weiß-Ausfall oder weiße Streifen hervorgerufen und Bilder
von hoher Qualität geliefert werden.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch einen trommelförmigen
Schichtträger mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs
1 angegebenen Merkmalen gelöst.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht der Schichtträger
aus Aluminium.
Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die
Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 und 2 zeigen Schnittdarstellungen typischer
Gestalten des für das elektrofotografische
Aufzeichnungsmaterial zu verwendenden, trommelförmigen
Schichtträgers;
Fig. 3 zeigt eine schematische Zeichnung einer Vorrichtung
für die Herstellung des elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials
durch das Glimmentladungs-Zersetzungsverfahren.
Das elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial
besteht aus
einem trommelförmigen, d. h. zylindrischen Schichtträger und
einer auf dem trommelförmigen Schichtträger gebildeten
fotoleitfähigen Schicht aus einem amorphen Material, das
als Matrix Siliciumatome enthält. Ferner enthält die fotoleitfähige Schicht als am Aufbau
beteiligte Atome mindestens eine aus Wasserstoffatomen
und Halogenatomen ausgewählte Atomart.
Das Aufzeichnungsmaterial kann auch eine
Sperrschicht enthalten, die in Berührung mit dem
trommelförmigen Schichtträger ausgebildet ist, und kann ferner
eine auf der Oberfläche der fotoleitfähigen Schicht
vorgesehene Oberflächen-Sperrschicht aufweisen.
Fig. 1 und 2 zeigen Schnittdarstellungen typischer
Gestalten des trommelförmigen Schichtträgers, der für das
elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial zu
verwenden ist. Die Außenfläche des trommelförmigen Schichtträgers
zeigt eine glatte, zylindrische Oberfläche, und
sein Endteil ist an der Innenfläche in einem bestimmten
Bereich einer Bearbeitung unterzogen worden, um diesen
Bereich so zu gestalten, daß der Träger, wie es vorstehend
erwähnt wurde, an der Herstellungsvorrichtung
oder der Kopiervorrichtung befestigt werden kann, wobei
die Dicke des Schichtträgers an dem Endteil kleiner als die
Dicke des Mittelteils gemacht wird. Bei dem trommelförmigen
Schichtträger für das Aufzeichnungsmaterial
beträgt das Verhältnis der Dicke
am Endteil, wo die Dicke den geringsten Wert hat, zu
der Dicke am Mittelteil, wo der Schichtträger im allgemeinen
eine konstante Dicke zeigt, 0,2 oder mehr. Auf diese
Weise kann das Ausmaß der thermischen Verformung eines
trommelförmigen Schichtträgers durch die Verwendung eines trommelförmigen
Schichtträgers, bei dem das Verhältnis der Dicke
am Endteil zu der Dicke am Mittelteil 0,2 beträgt oder
höher ist, selbst dann unter Erzielung eines ausreichend
geringen Ausmaßes vermindert werden, wenn der trommelförmige
Schichtträger während der Herstellung eines
Aufzeichnungsmaterials in einer Vorrichtung für
die Abscheidung einer a-Si-Schicht oder während der Anwendung
als trommelförmiges
elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial erhitzt wird,
wodurch es möglich ist, die Ablösung der Schicht oder
die Rißbildung so zu vermindern, daß sie innerhalb eines
eine praktische Anwendung zulassenden Bereichs liegt
oder sogar gleich Null ist. Das Verhältnis der minimalen
Dicke am Endteil des trommelförmigen Schichtträgers zu
der maximalen Dicke am Mittelteil kann vorzugsweise
0,3 oder mehr und insbesondere 0,5 oder mehr betragen.
Das Grundmaterial für den trommelförmigen Schichtträger kann
entweder stromleitend oder dielektrisch bzw. nichtleitend
sein.
Als stromleitender Schichtträger können beispielsweise Metalle
wie NiCr, nichtrostender Stahl, Al, Cr, Mo, Au,
Nb, Ta, V, Ti, Pt oder Pd oder Legierungen davon erwähnt
werden.
Als dielektrische Schichtträger können im allgemeinen Folien
oder Platten aus Kunstharzen, wozu Polyester, Polyethylen,
Polycarbonat, Celluloseacetat, Polypropylen,
Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid, Polystyrol und
Polyamid gehören, Gläser, keramische Stoffe, Papiere
und andere Materialien verwendet werden. Diese dielektrischen
bzw. isolierenden Schichtträger können vorzugsweise
mindestens eine Oberfläche haben, die einer Behandlung
unterzogen wurde, durch die sie elektrisch leitend gemacht
worden ist, und andere Schichten werden geeigneterweise
auf der Seite vorgesehen, die durch eine solche
Behandlung elektrisch leitend gemacht worden ist.
Ein Glas kann beispielsweise elektrisch leitend gemacht
werden, indem auf dem Glas eine Dünnschicht aus NiCr, Al,
Cr, Mo, Au, Ir, Nb, Ta, V, Ti, Pt, Pd, In₂O₃, SnO₂ oder
ITO (In₂O₃+SnO₂) gebildet wird. Alternativ kann die
Oberfläche einer Kunstharzfolie, wie z. B. einer Polyesterfolie,
durch Vakuumaufdampfung, Elektronenstrahl-
Abscheidung oder Zerstäubung eines Metalls wie NiCr,
Al, Ag, Pb, Zn, Ni, Au, Cr, Mo, Ir, Nb, Ta, V, Ti oder
Pt oder durch Laminieren mit einem solchen Metall elektrisch
leitend gemacht werden.
Als Grundmaterial für den trommelförmigen Schichtträger wird
vorzugsweise Aluminium verwendet, weil in diesem Fall
auf relativ leichte Weise ein Träger mit einer hohen
Präzision, wie z. B. einer genauen Kreisförmigkeit und
einer hohen Oberflächenglätte, erhalten werden kann und
die Temperatur an dem Oberflächenteil, auf den a-Si
abgeschieden wird, leicht reguliert werden kann, und
die Verwendung von Aluminium für den Schichtträger wird auch
aus wirtschaftlichen Gründen bevorzugt.
Die Halogenatome (X), die in die fotoleitfähige Schicht
des elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials
eingebaut werden können, können beispielsweise
Fluor-, Chlor-, Brom- oder Jodatome und vorzugsweise
Chlor- oder Fluoratome sein, wobei Fluoratome am meisten
bevorzugt werden. Andere Bestandteile, die außer Siliciumatomen,
Wasserstoffatomen und Halogenatomen in der
fotoleitfähigen Schicht enthalten sein können, können
beispielsweise Atome der Gruppe III des Periodensystems,
wie z. B. Bor- oder Galliumatome, Atome der Gruppe V,
wie z. B. Stickstoff-, Phosphor- oder Arsenatome, Sauerstoffatome,
Kohlenstoffatome oder Germaniumatome sein,
die einzeln oder in Form einer geeigneten Kombination
als Bestandteil für die Regulierung des Fermi-Niveaus
oder der Breite des verbotenen Energiebandes verwendet
werden.
Der Gehalt der Wasserstoffatome oder der Halogenatome
oder der Gesamtgehalt der Wasserstoffatome und Halogenatome
in der fotoleitfähigen Schicht kann 1 bis 40 Atom-%
und vorzugsweise 5 bis 35 Atom-% betragen.
Die Sperrschicht ist vorgesehen, um die Haftung zwischen
der fotoleitfähigen Schicht und dem trommelförmigen Schichtträger
zu verbessern oder um die Fähigkeit zum Aufnehmen
von Ladung zu regulieren. In Abhängigkeit von dem Zweck
kann eine a-Si-Schicht oder eine mikrokristalline Si-
Schicht, die beispielsweise Atome der Gruppe III des
Periodensystems, Atome der Gruppe V des Periodensystems,
Sauerstoffatome, Kohlenstoffatome oder Germaniumatome
enthält, in einer Schicht oder in mehrereren Schichten
gebildet werden.
Es ist auch möglich, als Schicht für die Verhinderung
der Injektion von Oberflächenladung oder als Schutzschicht
auf der fotoleitfähigen Schicht eine Deckschicht
aus a-Si, worin beispielsweise Kohlenstoffatome, Stickstoffatome
oder Sauerstoffatome vorzugsweise in einer
großen Menge enthalten sind, oder eine Oberflächen-
Sperrschicht, die eine organische Substanz mit hohem
Widerstand enthält, vorzusehen.
Im Rahmen der Erfindung können für die Bildung einer
aus a-Si gebildeten fotoleitfähigen Schicht verschiedene
bekannte Vakuumbedampfungsverfahren unter Anwendung
der Entladungserscheinung, beispielsweise das
Glimmentladungsverfahren, das Zerstäubungsverfahren
oder das Ionenplattierverfahren, angewandt werden.
Nachstehend wird ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung
eines durch das Glimmentladungs-Zersetzungsverfahren
gebildeten elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials
beschrieben.
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung für die Herstellung eines
elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials durch das Glimmentladungs-
Zersetzungsverfahren. Ein Abscheidungsbehälter
1 besteht aus einer Grundplatte 2, einer Behälterwand
3 und einer Kopfplatte 4, und innerhalb des Abscheidungsbehälters
1 ist eine Kathodenelektrode 5 vorgesehen,
während sich ein trommelförmiger Schichtträger 6 für
die Bildung der darauf abgeschiedenen a-Si-Schicht im
mittleren Teil der Kathodenelektrode 5 befindet und
auch als Anodenelektrode wirkt.
Für die Bildung einer a-Si-Schicht auf dem
trommelförmigen Schichtträger unter Anwendung dieser Herstellungsvorrichtung
wird zuerst der Abscheidungsbehälter
1 evakuiert, indem ein Einströmventil 7 für das gasförmige
Ausgangsmaterial und ein Belüftungsventil 8 geschlossen
werden und ein Evakuierventil 9 geöffnet wird.
Wenn der an der Vakuumanzeigevorrichtung 10 abgelesene
Druck 0,67 mPa erreicht hat, wird das Einströmventil
7 für das gasförmgie Ausgangsmaterial geöffnet, und
eine Mischung gasförmiger Ausgangsmaterialien, die beispielsweise
aus SiH₄-Gas, Si₂H₆-Gas und SiF₄-Gas besteht,
die in einer Durchflußreguliervorrichtung 11 auf
ein vorher festgelegtes Mischungsverhältnis einreguliert
worden sind, wird in den Abscheidungsbehälter 1
hineinströmen gelassen. Zu dieser Zeit wird das Ausmaß
der Öffnung des Evakuierventils 9 reguliert, während
der an einer Vakuumanzeigevorrichtung 10 abgelesene
Druck beobachtet wird, und zwar so, daß der Druck in
dem Abscheidungsbehälter 1 einen gewünschten Wert erreicht.
Nachdem bestätigt wurde, daß die Oberflächentemperatur
auf dem trommelförmigen Schichtträger 6 durch eine
Heizvorrichtung 12 auf einen vorher festgelegten Wert
eingestellt wurde, wird in dem Abscheidungsbehälter
1 eine Glimmentladung angeregt, indem eine Hochfrequenz-
Stromquelle 13 auf eine gewünschte Leistung eingestellt
wird.
Während der Schichtbildung wird der trommelförmige Schichtträger
durch einen Motor 14 mit einer konstanten Geschwindigkeit
gedreht, um die Schichtbildung gleichmäßig zu
machen. Auf diese Weise kann auf dem walzenförmigen
Träger 6 eine a-Si-Schicht gebildet werden.
Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die folgenden
Beispiele näher erläutert.
Unter Anwendung der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung
für die Herstellung von Aufzeichnungsmaterialien
durch das vorstehend näher beschriebene Glimmentladungs-
Zersetzungsverfahren wurden auf zwölf Arten
von trommelförmigen Schichtträgern aus Aluminium mit einem
Außendurchmesser von 80 mm, deren Dicke am Mittelteil
3 mm betrug, die am Endteil die in Fig. 1 oder Fig. 2
gezeigte Gestalt hatten und bei denen das Verhältnis
der Dicke des Endteils zu der Dicke des Mittelteils
verschieden war, wie es in Tabelle 1 angegeben ist,
unter den folgenden Bedingungen a-Si-Schichten
gebildet.
Temperatur des trommelförmigen Schichtträgers: 250°C
Innendruck in dem Abscheidungsbehälter während der Bildung der Schicht: 0,4 hPa
Entladungsfrequenz: 13,56 MHz
Bildungsgeschwindigkeit der Schicht: 2,0 nm/s
Entladungsleistung: 0,18 W/cm²
Innendruck in dem Abscheidungsbehälter während der Bildung der Schicht: 0,4 hPa
Entladungsfrequenz: 13,56 MHz
Bildungsgeschwindigkeit der Schicht: 2,0 nm/s
Entladungsleistung: 0,18 W/cm²
Bei den auf diese Weise erhaltenen trommelförmigen elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterialien
wurden der Ablösungszustand der Schicht und der
Zustand hinsichtlich der Rißbildung beobachtet, und
danach wurden diese trommelförmigen
Aufzeichnungsmaterialien zur Bilderzeugung in eine Kopiervorrichtung
eingesetzt, und die Qualität der erzeugten Bilder wurde
bewertet. Die Ergebnisse werden ebenfalls in Tabelle
1 gezeigt.
Als bei den trommelförmigen elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterialien
mit einem Dickenverhältnis von 0,1 bzw.
0,15, bei denen der vorstehend erwähnte trommelförmige
Träger mit der in Fig. 1 gezeigten Gestalt am Endteil
verwendet wurde, das Ausmaß der Genauigkeit der Kreisförmigkeit
am Endteil gemessen wurde, wurde festgestellt,
daß die Differenz zwischen dem am meisten zurückspringenden
Teil und dem am meisten vorspringenden
Teil etwa 80 µm betrug. Im Gegensatz dazu betrug diese
Differenz bei einem trommelförmigen elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterial mit einem Dickenverhältnis von
0,2 etwa 40 µm und bei trommelförmigem
Aufzeichnungsmaterial mit einem Dickenverhältnis
von 0,5 bzw. 0,8 etwa 10 µm.
Auf einem trommelförmigen Schichtträger aus Aluminium mit einem
Außendurchmesser von 80 mm, dessen Dicke am Mittelteil
3 mm betrug, der am Endteil die in Fig. 1 gezeigte Gestalt
hatte und bei dem das Verhältnis der Dicke am
Endteil zu der Dicke am Mittelteil 0,3 betrug, wurden
in der gleichen Weise wie in den vorhergehenden Beispielen
Schichten gebildet, wobei jedoch für die Herstellung
eines trommelförmigen elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterials während der
Bildung der zweiten Schicht der a-Si-Schicht
anstelle von SiH-Gas Si₂H₆-Gas eingesetzt wurde. Bei
diesem trommelförmigen elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterial wurden die Bewertung
des Ablösungszustands der Schicht und des Zustands bezüglich
der Rißbildung und die Bewertung der Bildqualität,
als das Aufzeichnungsmaterial in eine Kopiervorrichtung
eingesetzt und Bilder erzeugt wurden, in ähnlicher Weise
wie in den vorangehenden Beispielen durchgeführt. Die
erhaltenen Ergebnisse waren genauso gut wie die Ergebnisse,
die bei dem trommelförmigen
Aufzeichnungsmaterial von Beispiel 2 mit einem Dickenverhältnis
von 0,3 erhalten wurden.
Claims (2)
1. Trommelförmiger Schichtträger für ein elektrofotografisches
Aufzeichnungsmaterial, auf dem als fotoleitfähige
Schicht ein amorphes Material, das Si-Atome als
Matrix enthält, angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet,
daß sich die Dicke des Schichtträgers vom Mittelteil
in Richtung seiner Achse nach den beiden Endteilen hin
verkleinert, wobei das Verhältnis der minimalen Dicke
an den Endteilen zu der maximalen Dicke am Mittelteil
0,2 beträgt oder höher ist.
2. Trommelförmiger Schichtträger nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß er aus Aluminium besteht.
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP58129047A JPH0627948B2 (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 光導電部材 |
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---|---|
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DE3425741C2 true DE3425741C2 (de) | 1989-06-08 |
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ID=14999769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843425741 Granted DE3425741A1 (de) | 1983-07-15 | 1984-07-12 | Fotoleitfaehiges aufzeichnungselement |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4895784A (de) |
JP (1) | JPH0627948B2 (de) |
DE (1) | DE3425741A1 (de) |
FR (1) | FR2550355B1 (de) |
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D2 | Grant after examination | ||
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