DE3425741A1

DE3425741A1 - Fotoleitfaehiges aufzeichnungselement

Info

Publication number: DE3425741A1
Application number: DE19843425741
Authority: DE
Inventors: Shigeru Yamato Kanagawa Shirai
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1983-07-15
Filing date: 1984-07-12
Publication date: 1985-01-24
Also published as: GB2145842B; US4895784A; GB2145842A; GB8417472D0; FR2550355B1; JPH0627948B2; JPS6021053A; FR2550355A1; DE3425741C2

Description

FotoLeitfähiges Aufzeichnungselement

Die Erfindung betrifft ein fotoIeitfähiges Aufzeichnungselement, das gegenüber elektromagnetischen Wellen wie Licht, worunter im weitesten Sinne UV-Strahlen, sichtbares Licht, IR-Strahlen, Röntgenstrahlen und ^-Strahlen zu verstehen sind, empfindlich ist.

Fotoleitfähige Materialien, aus denen Bilderzeugungselemente für die Elektrofotografie in Festkörper-Bildabtastvorrichtungen oder auf dem Gebiet der Bilderzeugung oder fotoleitfähige Schichten in Manuskript-Lesevorrichtungen-gebildet werden, nüssen eine hohe Empfindlichkeit, ein hohes S/N-VerhäItnis C Fotostrom (I )/ Dunkelstrom ^ I -j ^ 3 / Spektraleigenschaften, die an die elektromagnetischen Wellen, mit denen bestrahlt werden soll, angepaßt sind, ein schnelles Ansprechen auf Licht und einen gewünschten Dunkelwiderstands wert zeigen und dürfen während der Anwendung nicht gesundheitsschädlich sein. Ferner ist es bei einer Festkörper-BiIdab-

Dresdner Bank (Muncheni K'o 3939841 Oejlsc"» Ba"·

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tastvorrichtung auch notwendig, daß das Restbild innerhalb .einer vorher festgelegten Zeit leicht behandelt bzw. beseitigt werden kann. Im Fall eines Bilderzeugungselements für die Elektrofotografie, das in eine für die Anwendung in einem Büro als Büromaschine vorgesehene elektrofotografische Vorrichtung eingebaut werden soll, ist es besonders wichtig, daß das Bilderzeugungselement nicht gesundheitsschädlich ist.

Von dem vorstehend erwähnten Gesichtspunkt aus hat in neuerer Zeit amorphes Silicium, bei dem freie Bindungen mit einwertigen Elementen wie z.B. Wasserstoff- oder Halogenatomen modifiziert sind, ["nachstehend als a-Si (H,X) bezeichnet] als fotoleitfähiges Material Beachtung gefunden. Beispielsweise sind aus den DE-OSS 27 46 967 und 28 55 718 Anwendungen von a-Si (H,X) für den Einsatz in Bilderzeugungselementen für die Elektrofotografie bekannt, und aus der DE-OS 29 33 411 ist die Anwendung von a-Si (H,X) für den Einsatz in einer als fotoelektrischer Wandler wirkenden Lesevorrichtung bekannt. Es wird damit gerechnet, daß a-Si (H,X) infolge seiner ausgezeichneten Foto Ieitfähigkeit, Reibungsbeständigkeit und Wärmebeständigkeit und der relativsn Leichtigkeit, mit der daraus eine großflächige Vorrichtung gebildet werden kann, für die Elektrofotografie als BiIderzeugungsetement angewandt wird.

Im allgemeinen wird bei der Herstellung eines walzenförmigen Bilderzeugungselements für die Elektrofotografie mit einem aus a-Si (H,X) bestehenden fotoleitfähigen Material für die Erzielung guter Fotoleitfähigkeitsei genschaften auf einem walzenförmigen Träger oder Substrat in einer Vorrichtung für die Abscheidung eines a-Si (H,X)-Fi Ims unter der Bedingung, daß der walzenförmige Träger auf eine Temperatur von 200 C oder eine

höhere Temperatur erhitzt wird, ein a-Si (H,X)-FiIm gebi Ldet.

Wegen des vorhandenen Unterschiedes zwischen dem Wärme-

,. ausdehnungskoef f i ζ i enten des walzenförmigen Trägers ο

und dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des a-Si (H_xX)-Films und auch wegen der·großen inneren Spannung innerhalb des a-Si (H,X)-FiLmS wird jedoch häufig nicht nur während der Abscheidung des a-Si (H,X)-Fi Ims, sondern _ auch während des Abkühlens nach der Abscheidung ein Abschälen bzw. Ablösen des a-Si (H,X)-Films beobachtet. Ferner kann sich der a-Si (H,X)-FiIm während der Anwendung als .walzenförmiges lichtempfindliches Bilderzeugungselement für die Elektrofotografie manchmal durch

eine Erwärmung des walzenförmigen Bi Iderzeugungse Ie-15

ments ablösen. Insbesondere neigt der a-Si-Film dazu,

sich an den Endteilen des walzenförmigen Bilderzeugungselements abzulösen, und zwar manchmal unter Bildung eines Risses vom Endteil zum Mittelteil des walzenförmigen Bilderzeugungselements.
20

Gemäß einer Anzahl von Versuchen, die durch die Erfinder durchgeführt wurden, besteht die Neigung zum Auftreten einer solchen Ablösung des Films oder einer Rißbildung

in höherem Maße, wenn der a-Si (H,X)-FiIm dicker ist, 25

und aus den vorstehend erwähnten Gründen eines Unterschiedes zwischen den Wärmeausdehnungskoeffizienten und der Größe der inneren Spannung innerhalb des a-Si (H,X)-Films kann eine Ablösung des Films im Fall des

walzenförmigen Bilderzeugungselements vom a-Si-Typ auch 30

durch eine Verformung des walzenförmigen Trägers verursacht werden, während eine Verformung des walzenförmigen Trägers bei dem bekannten walzenförmigen Bilderzeugungselement für die Elektrofotografie, das dem

Se-Typ angehört,, keine Ablösung des Films verursacht. 35

Die innere Spannung innerhalb des a-Si (H,X)-Films kann bis zu einem gewissen Grade durch die Wahl der Herstel-Lungsbedingungen des a-Si(H,X)-Fi Ims (des gasförmigen Ausgangsmateria Ls, der EntLadungsLeistung und der Heiztemperatur des Trägers) gemildert werden, jedoch stellt eine Ablösung bzw. Abschälung des Films oder eine Rißbildung im Fall der Anwendung für die Elektrofotografie eine entscheidende Störung dar, die Bildfehler verursachen kann.

10

Im allgemeinen wird der Endteil eines walzenförmigen Trägers für die Befestigung des walzenförmigen Trägers innerhalb " einer Herstellungsvorrichtung während der Herstellung eines foto Leitfähigen Aufzeichnungselements durch Abscheidung eines a-Si(H,X)-Fi Ims oder für die Befestigung des walzenförmigen fotoleitfähigen Aufzeichnungselements für die Elektrofotografie in einer Kopiervorrichtung einer Bearbeitung unterzogen. Da diese Bearbeitung im allgemeinen in einer spanenden Bearbeitung der Innenfläche des Endteils besteht, ist der Endteil des walzenförmigen Trägers im Vergleich mit seinem Mittelteil dünner. Infolgedessen besteht die Neigung, daß ein Erhitzen des walzenförmigen Trägers während der Bildung des a-Si(H,X)-Fi Ims besonders an seinem Endteil eine thermische Verformung verursacht, und diese thermische Verformung kann als Ursache für die Ablösung des Films oder für die Rißbildung am Endteil des walzenförmigen Trägers angesehen werden. Ferner ksnn angenommen werden, daß eine solche thermische Verfcrniung während der Abscheidung des a-Si-Films Ungleichmäßigkeiten ' bei der Entladung verursacht, wodurch die Gleichmäßigkeit der Dicke des abgeschiedenen a-Si-Films verlorengehen kann, was zu Bildfehlern führt.

35

Als Ergebnis umfassender und ausgedehnter Untersuchungen hi nsichtLich der Anwendbarkeit und Brauchbarkeit von a-Si für ein fotoLeitfähiges Aufzeichnungselement, das als BiLderzeugungseLement für die Elektrofotografie, Festkörper-BiIdabtastvorrichtung oder Lesevorrichtung usw. anzuwenden ist, wurde nun gefunden, daß das vorstehend erwähnte Problem hinsichtlich der Ablösung des Films und der Rißbildung dadurch überwunden werden kann, daß als Träger des abgeschiedenen a-Si-Films ein walzenförmiger Träger bzw. ein walzenförmiges Substrat verwendet wird, bei dem das Verhältnis der Dicke des Endteils zu der Dicke des Mittelteils einen bestimmten U e r t hat.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein fotoleitfähiges Aufzeichnungselement für die Elektrofotografie zur Verfügung zu stellen, das kaum Bildfehler wie z.B. Weiß-Ausfall oder weiße Streifen hervorruft und Bilder von hoher Qualität liefern kann.

Ferner soll durch die Erfindung ein fotoIeitfähiges Aufzeichnungselement zur Verfügung gestellt werden, das eine ausgezeichnete Haltbarkeit hat und elektrische, optische und Fotoleitfähigkeitseigenschaften zeigt, die in konstanter Weise stabil sind, ohne daß selbst bei wiederholter Anwendung Verschlechterungserscheinungen hervorgerufen werden.

Die Aufgabe der Erfindung wird durch ein foto leitfähi ges Aufzeichnungselement mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.

1 Figuren 1 und 2 zeigen SchnittdarsteL Lungen typischer Gestallten des für das erfindungsgemäße fotoleitfahige AufzeichnungseLement zu verwendenden, walzenförmigen Trägers bzw. Substrats.

Figur 3 zeigt eine schematische Zeichnung einer Vorrichtung für die Herstellung des fotoIeitfähigen Aufzeichnungselements durch das G I immentIadungs-Zersetzungsverfahren.

Das erfindungsgemäße fotoleitfahige Aufzeichnungselement besteht bei seiner bevorzugten Ausführungsform aus einem walzenförmigen, d.h. zylindrischen, Träger als Träger eines fotoleitfähigen Aufzeichnungselements und einer auf dem walzenförmigen Träger gebildeten fotoleitfähigen Schicht aus einem amorphen Material, das als Matrix SiIieiumatome enthält und ferner als am Aufbau beteiligte Atome mindestens eine aus Wasserstoffatomen und Halogenatomen ausgewählte Atomart enthält.

Das fotoleitfahige Aufzeichnungselement kann auch eine Sperrschicht enthalten, die in Berührung mit dem walzenförmigen Träger ausgebildet ist, und kann ferner eine auf der Oberfläche der foto Leitfähigen Schicht vorgesehene Oberflächen-Sperrschicht aufweisen.

Figuren 1 und 2 zeigen Schnittdarstellungen typischer Gestalten des walzenförmigen Trägers, der für das erfindungsgemäße fotoleitfahige Aufzeichnungselement zu verwenden ist. Die Außenfläche des walzenförmigen Trä-

gg gers zeigt eine glatte, zylindrische Oberfläche, und sein Endteil· ist an der Innenfläche in einem bestimmten Bereich einer Bearbeitung unterzogen worden, um diesen Bereich so zu gestalten, daß der Träger, wie es vorstehend erwähnt wurde, an der Herstellungsvorrichtung

gc oder der Kopiervorrichtung befestigt werden kann, wobei

₁₀ 3Λ25741

die Dicke des Trägers an dem Endteil kleiner als die Dicke -des Mittelteils gemacht wird. Bei dem walzenförmigen Träger des erfindungsgemäßen fotoleitfähigen Aufzeichnungselements beträgt das Verhältnis der . Dicke am Endteil, wo die Dicke den geringsten Wert hat, zu der Dicke am Mittelteil, wo der Träger im allgemeinen eine konstante Dicke zeigt, 0,2 oder mehr. Auf diese Weise kann das Ausmaß der thermischen Verformung eines walzenförmigen Trägers durch die Verwendung eines wal zenförmigen Trägers, bei dem das Verhältnis der Dicke am Endteil zu der Dicke am Mittelteil 0,2 beträgt oder höher ist, selbst dann unter Erzielung eines ausreichend geringen Ausmaßes vermindert werden, wenn der walzenförmige Träger während der Herstellung eines fotoleit-

IB fähigen Aufzeichnungselements in einer Vorrichtung für die Abscheidung eines a-Si-Films oder während der Anwendung als walzenförmiges lichtempfindliches Aufzeichnungselement für die Elektrofotografie erhitzt wird, wodurch es möglich ist, die Ablösung des Films oder die Rißbildung so zu vermindern, daß sie innerhalb eines eine praktische Anwendung zulassenden Bereichs liegt oder sogar gleich Null ist. Das Verhältnis der minimalen Dicke am Endteil des walzenförmigen Trägers zu der maximalen Dicke am Mittelteil kann vorzugsweise

25 0,3 oder mehr und insbesondere 0,5 oder mehr betragen.

Das Grundmaterial für den walzenförmigen Träger kann entweder stromleitend oder dielektrisch bzw. nichtleitend sein.

Als stromleitender Träger können beispielsweise Metalle wie NiCr, nichtrostender Stahl, Al, Cr, Mo, Au, Nb, Ta, V, Ti, Pt oder Pd oder Legierungen davon erwähnt werden.

I Als dielektrische Träger können im allgemeinen Folien oder Platten aus Kunstharzen, wozu Polyester, Polyethylen, Polycarbonat, Celluloseacetat, Polypropylen, Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid, Polystyrol und 5 Polyamid gehören, Gläser, keramische Stoffe, Papiere und andere Materialien verwendet werden. Diese dielektrischen bzw. i sol i e rencfen Träger, können vorzugsweise mindestens eine Oberfläche haben, die einer Behandlung unterzogen wurde, durch die sie elektrisch leitend ge-IQ macht worden ist, und andere Schichten werden geeigneterweise auf der Seite vorgesehen, die durch eine solche Behandlung elektrisch leitend gemacht worden ist.

Ein Glas kann beispielsweise elektrisch leitend gemacht ^c werden, indem auf dem Glas ein Dünnfilm aus NiCr, Al, Cr/ Ho, Au, Ir, Nb, Ta, V, Ti, Pt, Pd, In-O,, SnO₂ oder ITO (Ιη-,0, + SnOp) gebildet wird. Alternativ kann die Oberfläche einer Kunstharzfolie wie z.B. einer Polyesterfolie durch Vakuumauf dampfung, Elektronenstrahl-2Q Abscheidung oder Zerstäubung eines Metalls wie NiCr, Al, Ag, Pb, Zn, Ni, Au, Cr, Mo, Ir, Nb, Ta, V, Ti oder Pt oder durch Laminieren mit einem solchen Metall elektrisch leitend gemacht werden*

2= Als Grundmaterial für den walzenförmigen Träger wird vorzugsweise Aluminium verwendet, weil in diesem Fall auf relativ leichte Weise ein Träger mit einer hohen Präzision wie z.B. einer genauen Kreisförmigkeit und einer hohen Oberflächenglätte erhalten werden kann und

oQ die Temperatur an dem Oberflächenteil, auf den a-Si abgeschieden wird. Leicht reguliert werden kann, und die Verwendung von Aluminium für den Träger wird auch aus wirtschaftlichen Gründen bevorzugt.

__c Die Halogenatome (X), die in die fotoleitfshige Schicht

des erfindungsgemäßen fotoLeitfähigen Aufzeichnungselements eingebaut werden können, können beispielsweise Fluor-, Chlor-, Brom- oder Jodatome und vorzugsweise Chlor- oder Fluoratome sein, wobei Fluoratome am meisten bevorzugt werden. Andere Bestandteile, die außer SiIiciumatomen, Wasserstoffatomen und Halogenatomen in der fotoleitfähigen Schicht 'enthalten sein können, können beispielsweise Atome der Gruppe III des Periodensystems wie z.B. Bor- oder Galliumatome, Atome der Gruppe V wie z.B. Stickstoff-, Phosphor- oder Arsenatome, Sauerstoffatome, Koh I enstoffatome oder Germaniumatome sein, die einzeln oder in Form einer geeigneten Kombination als Bestandteil für die Regulierung des Fermi-Niveaus oder der Breite des verbotenen Energiebandes verwendet

IQ werden.

Der Gehalt der Wasserstoffatome oder der Halogenatome oder der Gesamtgehalt der Wasserstoff atome und Halogenatome in der fotoIeitfähigen Schicht kann 1 bis 40 Atom-" und vorzugsweise 5 bis 35 Atom-% betragen.

Die Sperrschicht ist vorgesehen, um die Haftung zwischen der fotoleitfähigen Schicht und dem walzenförmigen Träger zu verbessern oder um die Fähigkeit zum Aufnehmen von Ladung zu regulieren. In Abhängigkeit von den Zweck kann eine a-Si-Schicht oder eine mikrokristalline Si-Schicht, die beispielsweise Atome der Gruppe III des Periodensystems, Atome der Gruppe V des Periodensystems, Sauerstoffatome, Kohlenstoffatome oder Germaniumatome

OQ enthält, in einer Schicht oder in mehreren Sc!nicht»η gebildet werden.

Es ist auch möglich, als Schicht für die Verhinderung der Injektion von Oberf I ächen Iadung oder als Schutz-

of- schicht auf der fotoleitfähigen Schicht eine Deckschicht

aus a-Si, worin beispielsweise KohLenstoffa tome, Stickstoffatome oder Sauerstoffatome vorzugsweise in einer großen Menge enthalten sind, oder eine Oberflächen-Sperrschicht, die eine organische Substanz mit hohem Widerstand enthält, vorzusehen.

Im Rahmen der Erfindung können für die Bildung einer aus a-Si gebildeten fotoleitfähigen Schicht verschiedene bekannte Vakuumbedampfungsverfahren unter Anwendung der Entladungserscheinung, beispielsweise das Glimmentladungsverfahren, das Zerstäubungsverfahren oder das Ionenp latti e rve rf ahren, angewandt werden.

Nachstehend wird ein Seispiel eines Verfahrens zur He r-

15 stellung eines durch das G I immentladungs-Zersetzungs-

verfahren gebildeten fotoleitfähigen Aufzeichnungselements beschrieben.

Figur 3 zeigt eine Vorrichtung für die Herstellung eines 20 fotoleitfähigen Aufzeichnungselements durch das Glimment ladungs-Zersetzungsverfahren. Ein Abseheidungsbehä I-ter 1 besteht aus einer Grundplatte 2 , einer Behälterwand 3 und einer Kopfplatte 4, und innerhalb des Abscheidungsbehälters 1 ist eine Kathodenelektrode 5 vor-25 gesehen, während sich ein walzenförmiger Träger 6 für die 3iIdung des darauf, abgeschiedenen a-Si-Films im mittleren Teil der Kathodenelektrode 5 befindet und auch als Anoden elektrode wirkt.

30 Für die Bildung eines a-Si-AbscheidungsfiIms auf dem walzenförmigen Träger unter Anwendung dieser Herstellungsvorrichtung wird zuerst der Abscheidungsbehälter 1 evakuiert, indem ein Einströmventil 7 für das gasförmige Ausgangsmaterial und ein Belüftungsventil 8 ge-

35 schlossen werden und ein Evakuierventil 9 geöffnet wird.

Wenn der an der Vakuumanzeigevorrichtung 10 abgelesene Druck -0,67 tnPa erreicht hat, wird das Einströmventil 7 für das gasförmige Ausgangsmaterial geöffnet, und eine Mischung gasförmiger Ausgangsmaterialien, die beispiels w eise aus SiH.-Gas, Si-H,-Gas. und SiF.-Gas b e -

4 <£ O 4

steht, die in einer Du r'chf luß regu Ii e rvo r r i chtung 11 auf ein vorher festgelegtes Mischungsverhältnis einreguliert worden sind, wird in den Abschei dungsbehä It e r 1 hineinströmen gelassen. Zu dieser Zeit wird das Ausmaß der öffnung des Evakuierventils 9 reguliert, während der an einer Vakuumanzeigevorrichtung 10 abgelesene Druck beobachtet wird, und zwar so, daß der Druck in dem Abscheidungsbehälter 1 einen gewünschten Wert erreicht. Nachdem bestätigt wurde, daß die Oberflächentemperatur auf dem walzenförmigen Träger 6 durch eine Heizvorrichtung 12 auf einen vorher festgelegten U e r t eingestellt wurde, wird in dem Abscheidungsbe'h älter 1 eine Glimmentladung angeregt, indem eine Hochfrequenz-Stromquelle 13 auf eine gewünschte Leistung eingestellt

20 wird.

Während der Schichtbildung wird der walzenförmige Träger durch einen Motor 14 mit einer konstanten Geschwindigkeit gedreht, um die Schichtbildung gleichmäßig zu machen. Auf diese Weise kann auf dem walzenförmigen Träger 6 ein a-Si-Abscheidungsfilm gebildet werden.

Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die folgenden Beispiele näher erläutert.

Beispiele 1 bis 8, Vergleichsbeispiele 1 bis 4

Unter Anwendung der in Figur 3 gezeigten Vorrichtung für die Herstellung von fotoI eitfähigen Aufzeichnungselementen durch das vorstehend näher beschriebene Glimm-35

entLadungs-Zersetzungsverfahren wurden auf zwölf Arten von w-alzenförmigen Trägern aus Aluminium mit einem Außendurchmesser von 80 mm, deren Dicke am Mittelteil 3 mm betrug, die am Endteil die in Figur 1 oder Figur 2 gezeigte Gestalt hatten und bei denen das Verhältnis der Dicke des Endteils zu der Dicke des Mittelteils verschieden war, wie es in Tabelle 1 angegeben ist, unter den folgenden Bedingungen a-Si-Abseheidungsfilme gebiIdet.

Reihenfolge, in der der Gasförmige Aus- Filmdicke Abscheidungsfilm lami- gangsmaterialien niert wurde

Erste Schicht SiH., B.,H-, 0,6

,ρ- Zweite Schicht SiH. 20

4

Dritte Schicht SiH₄, C₃H₄ 0,1

Temperatur des walzenförmigen Trägers: 250 C

Innendruck in dem Abscheidungsbehälter während der Bildung des

AbscheidungsfiIms: 0,4 hPa

™ Entladungsfrequenz: 13,56 MHz

Bildungsgeschwindigkeit des AbscheidungsfiIms: 2,0 nm/s Entladungsleistung: 0,18 W/cm

Bei den auf diese Weise erhaltenen walzenförmigen elektrofotografisehen lichtempfindlichen Aufzeichnungselementen wurden der Ablösungszustand des Films und der Zustand hinsichtlich der Rißbildung beobachtet, und danach wurden, diese walzenförmigen lichtempfindlichen Aufzeichnungselemente zur Bilderzeugung in eine Kopier-

vorrichtung (400 RE; hergestellt von Canon, Inc.) eingesetzt, und die Qualität der erzeugten Bilder wurde bewertet. Die Ergebnisse werden ebenfalls in Tabelle 1 gezeigt.

Als bei den walzenförmigen lichtempfindlichen Aufzeich-

nungseLementen mit einem DickenverhäLtnis von 0,1 bzw. 0,15, 'bei denen der vorstehend erwähnte walzenförmige Träger mit der in Figur 1 gezeigten Gestalt am Endteil verwendet wurde, das Ausmaß der Genauigkeit der Kreisförmigkeit am Endteil gemessen wurde, wurde festgestellt, daß die Differenz zwischen dem am meisten zurückspringenden Teil und dem am meisten vorspringenden Teil etwa 80 JJ m betrug. Im Gegensatz dazu betrug diese Differenz bei einem walzenförmigen lichtempfindlichen ^ Aufzeichnungselement mit einem Dickenverhältnis von 0,2 etwa 40 um und bei walzenförmigen lichtempfindlichen Aufzeichnungselementen mit einem Dickenverhältnis von 0,5 bzw. 0,8 etwa 10 ^m.

¹⁵ Beispiel 9

Auf einem walzenförmig e.n Träger aus Aluminium mit eine in Außendurchmesser von 80 mm, dessen Dicke am Mittelteil 3mm betrug, der am Endteil die in Figur 1 gezeigte Gestalt hatte und bei dem das Verhältnis der Dicke am Endteil zu der Dicke am Mittelteil 0,3 betrug, wurden in der gleichen Weise wie in den vorhergehenden Beispielen Schichten gebildet, wobei jetloch für die Herstellung eines walzenförmigen lichtempfindlichen slektrofotografischen Aufzeichnungselements während der Bildung der zweiten Schicht des a-Si-Abscheidungsfilns anstelle von SiH,-Gas SipH.-Gas eingesetzt wurde. Bei diesem walzenförmigen lichtempfindlichen elektrofotografischen Auf2eichnungseletnent wurden die Bewertung des Ab Iösungsz ustands des Films und des Zustands bezüglich der Rißbildung und die Bewertung der Bildqualität, als das Aufzeichnungselement in eine Kopiervorrichtung eingesetzt und Bilder erzeugt wurden, in ähnlicher Ueise wie in den vorangehenden Beispielen durchgeführt. Die erhaltenen Ergebnisse waren genauso gut wie die Ergebnisse, die bei dem walzenförmigen lichtempfindlichen Aufzeichnungselement von Beispiel 2 mit einem Dickenverhältnis von 0,3 erhalten wurden.

ω
ο

to

CTl

to O

CJi

Tabelle

Gestalt des Querschnitts	A*1	Riflbildung ?	Vergleichs beispiel 1	Verglei chs- be i spi e I 2	Beispiel 1	Beispiel 2	Beispiel 3	Bei spiel 4
Verhältnis der Dicke am Endteil hu der Dicke am Mittelteil	B*1	Bewertung der Bi Idqualität	Fig. 1	Fig. 1	Fig. 1	Fig'. 1	Fig. 1	Fig. 1
Anzahl der ab gelösten Stel	0,10	0,15	0,20	0,30	0,50	0,80
len des Films	31	18	5	2	1	1
11	6	2	1	0	0
ja	ja	nein	nein	nein	nein
X	X	ά	O

to cn

O CJi

Tabelle 1 - Fortsetzung

CJl

Gestalt des Querschnitts	A*1	Rißbildung ?	Vergleichs- beispiel 3	Vergleichs beispiel 4	ja	Beispiel 5	Beispiel 6	Beispiel 7	Beispiel 8
Verhältnis der Dicke am Endteil zu der Dicke am Mittelteil	B*1	Bewertung der Bi ldqualitat	Fig. 2	Fig. 2	X	Fig. 2	Fig. 2	Fig. 2	Fig. 2
Anzahl der ab gelösten Stel len des Films	0,10	0,15	0,20	0,30	0,50	0,80
21	14	4	2	1	1
6	3	1	0	0	0
ja	nein	nein	nein	nein
X	A	O	Θ	Θ

Symbole für die Bewertung der Bildqualität:

(o) : sehr gut ο : gut, Ji : keine Probleme bei der praktischen Anwendung χ : Probleme bei der praktischen Anwendung

A*1 : Abmessung der abgelösten Stellen des Films: 0,3 mm < φ < 0,6 mm B*1 : Abmessung der abgelösten Stellen des Films: 0,6 mm < φ

■II.

- Leerseite -

Claims

Patentansprüche

1. Foto Leitfähiges AufzeichnungseLement mit einem waLzenförmigen Träger und einer darauf vorgesehenen foto Leitfähigen Schicht, die aus einem SiLiciumatome als Matrix enthaLtenden amorphen Material besteht, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem waLzenförmigen Träger das VerhäLtnis der minimalen Dicke am Endteil zu der maximalen Dicke am Mittelteil 0,2 beträgt oder höher ist.

2. Foto Ieitfähiges AufzeichnungseLement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der walzenförmige Träger aus Aluminium besteht.

3. Foto Leitfähiges AufzeichnungseLement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der foto Leitfähigen Schicht Wasserstoff atome enthalten sind.

4. Fotoleitfähiges Aufzeichnungselement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehalt der Wasserstoffatome in der fotoleitfähigen Schicht 1 bis 40 Atom-% beträgt.

Dresdner Bank (München! Kto. 3339844 R/7

5. FotoLei tfähiges AufzeichnungseLement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der fotoleitfähigen Schicht Halogenatome enthalten sind.

6. Fotoleitfähiges AufzeichnungseLement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehalt der HaLogenatome in der fotoleitfähigen Schicht 1 bis 40 Atom-% beträgt.

7. Foto Leitfähiges AufzeichnungseLement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der fotoleitfähigen Schicht Atome enthalten sind, die zu der Gruppe III des Periodensystems gehören.

8. Fotoleitfähiges AufzeichnungseLement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der fotoLeitfähigen Schicht mindestens eine aus Sauerstoffatomen, Kohlenstoffatomen und Stickstoffatomen ausgewählte Atomart ent ha L ten i st.

20

9. Fotoleitfähiges Aufzeichnungselement nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß in der fotoLeitfähigen Schicht Atome enthalten sind, die zu der Gruppe V des Periodensystems gehören.

25

10. Fotoleitfähiges Aufzeichnungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Träger und der fotoleitfähigen Schicht eine Sperrschicht vorgesehen i st.

30

11. Foto Leitfähiges Aufzeichnungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche der fotoleitfähigen Schicht eine Schutzschicht vorgesehen ist.

35

12. Fotoleitfähiges Aufzeichnungselement nach Anspruch. 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht die Funktion hat, eine Injektion von Oberflächenladungen zu verhindern.

IO

20 25 30 35