DE3424642A1 - Festkoerper-luftstroemungsfuehler - Google Patents

Festkoerper-luftstroemungsfuehler

Info

Publication number
DE3424642A1
DE3424642A1 DE19843424642 DE3424642A DE3424642A1 DE 3424642 A1 DE3424642 A1 DE 3424642A1 DE 19843424642 DE19843424642 DE 19843424642 DE 3424642 A DE3424642 A DE 3424642A DE 3424642 A1 DE3424642 A1 DE 3424642A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
temperature
air flow
resistor
current source
series
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19843424642
Other languages
English (en)
Inventor
Daniel Howard Peru Ind. Hopper
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Motors Liquidation Co
Original Assignee
Motors Liquidation Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Motors Liquidation Co filed Critical Motors Liquidation Co
Publication of DE3424642A1 publication Critical patent/DE3424642A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters

Description

Die Erfindung betrifft eine Luftmassen-Strömungsschaltung unter Verwendung von Festkörpersensoren und insbesondere eine derartige Schaltung, die für funktionelle Temperaturkompensationseichung geeignet ist.
Es ist bereits vorgeschlagen worden, die Massenströmung von Luft durch Heißelement-Anemometrie zu messen, wobei als Heißelement ein Draht, eine Folie oder ein integrierter Festkörperschaltkreis Verwendung findet. In jedem Fall ist eine spezielle Schaltanordnung erforderlich, um die Auswirkungen der Temperatur auf das Meßergebnis auszugleichen. Temperaturänderungen ergeben sich in erster Linie infolge der sich mit der Temperatur ändernden thermischen Leitfähigkeit der Luft, jedoch entstehen zusätzliche Temperaturauswirkungen auch von vielen Quellen innerhalb der Schaltung selbst. Es ist dann wünschenswert, eine Massenluftströmungs-Erfassungsschaltung zu besitzen, die genaue und zuverlässige Resultate unabhängig von der anliegenden Lufttemperatur ergibt. Das ist eine besonders wichtige Eigenschaft bei einer Schaltung zum Messen der Ansaugströmung bei einer Brennkraftmaschine in einem Kraftfahrzeug, bei der extreme Temperaturbereiche auftreten und genaue Luftmassenströmungswerte erforderlich sind, um die Brennstoffzuführsteuerung zuverlässig zu ermöglichen.
Es ist deshalb ein Ziel der Erfindung, eine Luftströmungs-Meßschaltung mit Festkörpersensoren zu schaffen, bei der eine funktionelle Temperaturkompensationseinstellung möglich ist. Als weiteres Ziel der Erfindung wird angesehen, eine derartige Luftströmungs-Meßschaltung zu schaffen, bei der die funktionelle Eichung sehr einfach ausgeführt werden kann und keine kritischen Temperatureteuerungen nötig sind. Dazu kommt, daß durch die Erfindung eine Luftströmungs -Meßschaltung dieser Art geschaffen werden soll, bei der die Temperaturauswirkungen der Schaltung wie auch die Auswirkungen der sich ändernden
thermischen Leitfähigkeit der Luft kompensiert sind.
Durch die Erfindung wird eine Luftströmungs-Meßschaltung unter Verwendung von Festkörperfühlern für die Umgebungslufttemperatur und für den aufgeheizten Luftmassen-Strömungsfühler geschaffen, mit einer Stromquelle in Reihe mit jedem Sensor, einem Widerstand in Reihenschaltung mit dem Luftströmungs-Fühler, mit einem Komparator, der die über den Fühlern und dem Widerstand abfallenden Spannungen erhält, um sowohl ein Ausgangssignal zu schaffen als auch eine Steuerung für die Temperatur des Luftströmungs^Fühlers, und mit einem Eichnetzwerk, das eine widerstandsmäßig mit einem der Sensoren gekoppelte dritte Stromquelle enthält, um eine funktioneile Einstellung des Sensorstromes zu ermöglichen zum Ausgleich für die Auswirkungen der Temperaturänderungen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung beispielsweise näher erläutert; in dieser zeigt:
Figur 1 ein Schaltschema einer erfindungsgemäßen Luftströmung smeß schaltung, und
Figur 2 eine Darstellung der Diodencharakteristiken zur Verdeutlichung der Auswirkungen der funktionellen Eichung erfindungsgemäßer Art.
Heißelement-Anemometrie erfordert zwei Fühler, von denen einer die Umgebungsluft-Temperatur erfaßt und der andere auf eine bestimmte Temperatur über der Umgebungstemperatur aufgeheizt wird und die Luftmassen-Strömungsgeschwindigkeit entsprechend der Leistungsgröße mißt, die erforderlich ist, um den Fühler bei einer bestimmten Temperaturhöhe über der Umgebungstemperatur zu halten. Es ist dabei vorteilhaft, wenn diese beiden Fühler gleichartige Eigenschaften besitzen, so daß sie sich in
breiten Bereichen unterschiedlicher Temperaturen gleichartig verhalten. Die sehr weit entwickelte Technologie integrierter Schaltungen auf Siliciumbasis ergibt temperaturempfindliche Elemente, die als Umgebungstemperatur-Fühler und auch als Luftströmungs-Fühler benutzt werden können. Insbesondere besitzen Siliciumdioden eine sehr lineare Spannungsänderung mit der Temperatur bei einem bestimmten Strom, und derartige Dioden können leicht mit einander angepaßten Eigenschaften hergestellt werden. Für die beabsichtigte Anwendung werden bevorzugt IC-Chips auf Siliciumbasis mit vier in Reihe geschalteten Dioden verwendet und mit einem Heizwiderstand, der thermisch mit den Dioden gekoppelt, jedoch elektrisch ihnen gegenüber isoliert ist. Bei der Verwendung als Luftströmungsmesser wird der Heizwiderstand über eine Steuerschaltung beaufschlagt, um die Temperatur der Dioden anzuheben. Ein gleichartiger Chip wird als Umgebungstemperatur-Fühler verwendet, jedoch bleibt der auf diesem Chip befindliche Widerstand inaktiv, d.h. er wird nicht an eine Schaltung angeschlossen, so daß die Dioden die Lufttemperatur annehmen.
Wie in Figur 1 dargestellt, enthält die Luftmassen-Strömungsfühlerschaltung einen Umgebungstemperaturzweig 10 und einen Luftströmungs-Meßzweig 12, die jeweils zwischen einer Spannungsversorgung B+ und Masse liegen. Der Zweig 10 enthält eine an einem Chip 15 befindliche Siliciumdiode 14, wobei die in Reihe geschalteten vier Dioden"in der Zeichnung als eine einzige Diode dargestellt sind und nachfolgend einfach als "Diode" oder "Diodenfühler" bezeichnet werden. Der Heizwiderstand an dem Chip 15 ist inaktiv, so daß die Diode 14 als Umgebungsluft-Temperaturfühler dient. Die Diode 14 ist in Reihe an einer Verbindungsstelle 16 an eine Konstantstromquelle 18 angeschlossen. Der Luftströmungsmeßzweig 12 enthält einen im wesentlichen identisch zum Chip 15 ausgeführten Chip 19 mit einer Diode (Reihenschaltung von Dioden) 20, die als Luftströmungsfühler dient und mit in einer Schaltung so angeschlos-
senem Widerstandsheizer 32, da/3 die Temperatur des Chips über die der Umgebungsluft angehoben werden kann. Die Diode 20 ist in Reihe mit einem, einstellbaren Widerstand 22 und einer Kon stantstromguelle 24 geschaltet, welche an einer Verbindungsstelle 26 mit dem Widerstand 22 verbunden ist. Vorzugsweise besitzt die Stromquelle 24 die gleichen Stromwerte wie die Stromquelle 18. Ein Operationsverstärker 28 ist mit seinen beiden Eingängen an die Verbindungsstellen 16 und 26 angeschlossen, so daß er die dort herrschenden Spannungen vergleicht und ein Ausgangssignal auf Leitung 30 abgibt, das ein für die Luftmassen-Strömungsgeschwindigkeit repräsentatives Spannungssignal ist. Der Widerstandsheizer 32 an dem Diodenchip 19 ist mit einem Ende an die Spannungsversorgung B+ gelegt und mit dem anderen Ende über den Reihenwiderstand 33 mit dem Ausgang 30 des Funktionsverstärkers 28 verbunden, so daß der Operationsverstärker die dem Widerstandsheizer 32 zugeführte Leistung steuert. Dabei JLst es erforderlich, daß die dem Widerstandsheizer 32 zugeführte Leistung nur eine Funktion des Ausgangssignals an Leitung 30 unabhängig von Temperaturänderungen ist. Der Reihenwiderstand 33 ist in seinem Widerstandswert gleich dem Nennwiderstand des Widerstandsheizers, um Leistungsabweichungen infolge des Temperatur-Widerstandskoeffizienten des Widerstandsheizers 32 möglichst klein zu halten. Der Spannungsabfall an dem Umgebungsdiodenfühler 14 wird mit dem Spannungsabfall an dem Luftstrom-Diodenfühler und dem Widerstand 22 verglichen, und die Stromstärke durch den Widerstandsheizer 32 wird so lange nachgestellt, bis diese Widerstandsabfälle ausgeglichen sind. Da die Dioden, ohne den Widerstand 22 betrachtet, im wesentlichen die gleichen Eigenschaften aufweisen, sollten die Spannungsabfälle bei der gleichen Temperatur und gleicher Stromstärke den gleichen Wert einnehmen. Deshalb macht die Anwesenheit des Widerstandes 22 einen Unterschied der Diodentemperatur erforderlich, um die Spannungsabfälle auszugleichen, und der Widerstandswert bestimmt die Nenntemperaturdifferenz der beiden Fühler.
Ein dritter Schaltungszweig 34 der Fühlerschaltung ist für den Temperaturausgleich oder die Temperaturkompensation vorgesehen und enthält eine dritte Konstantstromquelle 36 und einen einstellbaren Verschiebewiderstand 38 in Reihe zwischen B+ und Masse angeschlossen. Die Verbindungsstelle 40 zwischen der Stromquelle 36 und dem Widerstand 38 ist über einen einstellbaren Steilheitswiderstand und eine normalerweise geschlossene eingelötete Brücke 44 mit der Verbindungsstelle 16 an dem Umgebungstemperaturzweig 10 verbunden. So können die Widerstände 38 und 42 zum Abgleich der Stromstärke durch den Widerstand 42 eingestellt werden, wodurch die Stromstärke in dem Umgebungsdioden-Fühler 14 geändert wird.
Als bevorzugte Bestandteile werden Kleinflächen-Siliciumdioden für die Diodenfühler, Konstantstromquellen 18 und 24 mit 0,4 mA Nennstromstärke, eine Stromquelle 36 mit 0,8 itiA Nennstromstärke und Dickschicht-Widerstände 22, 38 und 42 mit Nennwerten von 1,0 Ω , 2,8 Ω bzw. 4kΩ verwendet, wobei die Widerstände bei der Schaltungseichung mit La erstrahlen auf höhere Werte getrimmt werden.
Zur Analyse der Schaltung wird die Stromstärke durch die Stromquelle 24 mit i^, die Stromstärke durch die Stromquelle 18 mit ±2 und der durch den Steilheitswiderstand 42 zu der Verbindungsstelle 40 hin mit X3, wie durch die entsprechenden Pfeile in Figur 1 bezeichnet, angegeben. Wenn der Luftströmungs-Diodenfühler 20 so aufgeheizt wird, daß die Spannung an der Verbindungsstelle 26 gleich der an der Verbindungsstelle 16 ist, dann ist V gleich V +I1R, wobei V der Spannungsab-
el SI α
fall an dem Umgebungsfühler 14, V der Spannungsabfall an dem Luftströmungsfühler 20 und R der Widerstandswert des Widerstandes 22 ist.
Die Diodeneigenschaften sind in Figur 2 dargestellt, welche eine graphische Darstellung des Diodenstromes über der
jeweiligen Durchlaßspannung der Diode ist, wobei jede Kurve die Diodeneigenschaften bei einer bestimmten Temperatur darstellt und sich auf jeden Fühler bezieht, da die Diodencharakteristiken gleich sind. Die Dioden werden in einem Bereich betrieben, in welchem die Diodenströme viel größer als irgendwelche Leckströme sind, jedoch klein genug, um eine vernachlässigbare Aufheizung der Dioden zu erzeugen. Bei einem bestimmten Diodenstrom nimmt die charakteristische Spannung im wesentlichen linear mit dem Temperaturanstieg ab. So zeigen die vier Kurven 50, 52, 54 und 56 die Diodencharakteristiken für die angeschriebenen Temperaturwerte 20° C, 80° C, 100° C und 158° C. Figur 2 .zeigt den Betrieb des Systemes in dem bevorzugten Fall mit i^ = ±2 und i, = 0, wenn die Umgebungstemperatur 20° beträgt und die Nenntemperaturdifferenz zwischen dem Umgebungsfühler und dem Luftstromfühler 60° ist. Die Kurve 50 gilt dann für den Umgebungstemperatur-Fühler 14, wenn die Umgebungstemperatur 20° C beträgt, und die Kurve 52 gilt in diesem Fall für den Luftstromsensor 20, der sich dann bei 80 C befindet. Die ausgewählten Ströme i.. und i^ definieren den Spannungsabfall Va an Kurve 50 und den Spannungsabfall
V_ an Kurve 52. Da V, = V" + iiR, stellt der Horizontalabstand ο as1
zwischen den Punkten ν= und V den Wert I1R dar. Dadurch wird
=> a ι
dargestellt, daß bei einem bestimmten Strom der Widerstand R die Temperaturdifferenz zwischen den beiden Sensoren bestimmt.
Wegen des Anstieges der thermischen Leitfähigkeit der Luft bei höherer Temperatur läßt man gewöhnlich die Temperaturdifferenz der Fühler bei höheren Temperaturen zum Ausgleich der Änderung der thermischen Leitfähigkeit abnehmen. Damit wird, wie in den Kurven 54 und 56 dargestellt, dann, wenn die Temperatur des Umgebungsfühlers 100° C beträgt, die Temperatur des Luftstromfühlers in der Größenordnung von 158° C liegen, oder 2° weniger betragen als beim strikten Einhalten einer Temperaturdifferenz von 60 C. Durch Hinzufügen des Stromes i~ bei von 20° Umge-
bungstemperatur abweichenden Temperaturen bewegt sich der Spannungsabfall Va an der Charakteristik der Diode 14 entlang, und, wie in Kurve 54 dargestellt, befindet sich der Punkt Va an einer höher und weiter rechts gelegenen Stelle, als es bei L^=O der Fall wäre. Da i-j ein konstanter Wert ist, bleibt der Horizontalabstand I1R zwischen V und V kon-
■ a s
stant und das Luftstrom-Fühlerchip wird so aufgeheizt, daß die Kurve 56 mit ihrer Stelle Vs im festen Abstand i-|R von der Stelle Va liegt, und das tritt dann ein, wenn die Temperatur etwa 58 C höher als Umgebungstemperatur liegt. Diese Temperaturabgleichung kompensiert nicht nur die Auswirkung der sich ändernden thermischen Leitfähigkeit der Luft, sondern auch weitere andere Temperaturauswirkungen, die aus einer Anzahl von Quellen innerhalb der Schaltung selbst herrühren. Es ist zu bemerken, daß bei ansteigender Umgebungstemperatur, wenn der Spannungsabfall V bei be-
GL
stimmtem Strom abnimmt, die Spannung an der Stelle 16 dazu neigt ..anzusteigen, so daß der Strom I^ auch um einen zur Temperaturänderung proportionalen Betrag anzusteigen neigt. So bewegt sich, wie in Figur 2 gezeigt, die Spannung V"a längs einer Lastlinie 58.
Die Eichung der Schaltung ist notwendig, um die Nennspannungsdifferenz der beiden Fühler einzustellen und die Verschiebung oder den Versatz und die Neigung der Lastlinie festzusetzen. Die erfindungsgemäße Luftmassen-Strömungsfühlerschaltung erfordert keine genaue Kenntnis der Fühlereigenschaften, sondern beruht auf einem funktioneilen Eichtest zur Bestimmung der Temperaturcharakteristiken. Der Eichtest erfordert eine bekannte Luftmassen-Strömungsrate bei zwei unterschiedlichen Temperaturen. Die Temperaturen brauchen dabei nicht genau gesteuert zu werden. Es ist jedoch wichtig, daß die Luftströmungsgeschwindigkeit genau eingestellt wird. Der Eichvorgang besteht zunächst darin, den Fühler einem Strömungstest bei 20° C oder Raumtemperatur mit nicht eingelöteter Brücke 44 zu unterwerfen. Der Wider-
stand 22 wird bei dieser Gelegenheit so getrimmt, daß eine Differenz 0 V zwischen den Verbindungsstellen 16 und 40 erreicht wird. Dadurch wird die Verschiebung oder die Schwenkpunktstelle der ümgebungslastlinie 58 bei dem Punkt V an Kurve 50 in Figur 2 eingestellt. Zweitens wird der Fühler einem Strömungstest bei einer höheren Temperatur von z.B. 100° C mit der gleichen Luftströmung wie im ersten Test unterworfen und zwar mit eingelöteter Brücke 44. Der Steilheitswiderstand 42 wird dann so getrimmt, daß sich die gleiche Ausgangssignalspannung an der Leitung 30 wie beim ersten Test ergibt. Dadurch wird die Steigung der Umgebungslastlinie festgesetzt und es werden alle Temperaturauswirkungen der Sensoren und der Schaltung an diesen Testpunkten berücksichtigt. Soweit irgendwelche Temperaturauswirkungen in der Schaltung linear sind, ist die Schaltung dann für alle diese Auswirkungen kompensiert.
Es ist so zu sehen, daß die erfindungsgemäße Schaltung sehr einfach aufgebaut ist und nach Eichung gemäß einem einfachen Strömungstest und dem Trimmvorgang für die Widerstände ist die Schaltung in einem breiten Temperaturänderungsbereich kompensiert.
- Leerseite -

Claims (3)

  1. - Patentansprüche -
    \ 1 .yLuftströmungs-Mengenfühlerschaltung mit Festkörper-Strömungserfassungs- und Temperaturkompensations-Elementen, die den Auswirkungen einer zu messenden Luftströmung unterworfen sind und jeweils einen Spannungsabfall zeigen, der von der jeweiligen Temperatur und der durchfließenden Stromstärke abhängt, dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltung umfaßt:
    ein erstes, thermisch mit einer Heizeinrichtung (32) zum Aufheizen auf eine gesteuerte Temperatur gekoppeltes Festkörperelement (20) ,
    MANlTZ · FINSTERWALD · HEYN · MORGAN · 8000 MÜNCHEN 22 · ROBERT-KOCH-STRASSE I · TEL. (089) 224211 ■ TELEX 529672 PATMF ■ FAX (089) 29 75 75 n»· -*ίλ «λτγπμιιμπ _ 7ηηηοτιιττπΛθτ er - ■— -ammqtattv . ccci dcopctq oiirtc τ~ » cc70«;i
    einen ersten Widerstand (22) und eine erste Konstantstromguelle (24) in Reihe mit dem ersten Element, ein zweites Festkörperelement (14) in Reihe mit einer zweiten Konstantstromquelle (18), wobei das zweite Element auf der Umgebungstemperatur der Luftströmung gehalten ist,
    Mittel (28) zum Vergleichen des Spannungsabfalls über der Serienkombination aus dem ersten Element (20) und dem ersten Widerstand (22) mit dem Spannungsabfall an dem zweiten Element (14) zur Erzeugung eines Ausgangs- - signals und zum Angleichen der Spannungsabfälle durch Beaufschlagen der Heizeinrichtung (32), um dadurch den Spannungsabfall über dem ersten Element (20) zu steuern, wodurch das Ausgangssignal bei einer bestimmten Luftströmung und die nominelle Temperaturdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Element durch den Wert des ersten Widerstandes (22) bestimmt sind, und Mittel zum Einstellen der Temperaturdifferenz zum Ausgleich für Temperatureffekte der Luft und der Erfassungsschaltung, mit Stromänderungsmitteln (34), die mit einem der Elemente (20, 14) oder dem ersten Widerstand (22) gekoppelt sind zum Ändern der Temperaturdifferenz bei sich ändernder Umgebungstemperatur.
  2. 2. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das erste und das zweite Festkörperelement Diodenmittel (20, 14) sind, und daß die Mittel zum Einstellen der Temperaturdifferenz zum Ausgleich für Temperaturauswirkungen der Luft und der Erfassungsschaltung eine dritte, mit den zweiten Diodenmitteln (14) über veränderbare Widerstandsmittel (38, 42) gekoppelte Konstantstromquelle (36) ist zum Ändern der Temperaturdifferenz bei sich ändernder Umgebungslufttemperatur.
  3. 3. Schaltung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die ersten Diodenmittel (20) in Serie geschaltet mit dem ersten Widerstand (32) und der ersten Konstantstromquelle (24) an einer Spannungsversorgung liegen, daß die zweiten Diodenmittel· (14) in Reihe an einer Verbindungsstelle (16) mit der zweiten Konstantstromquelle (18) verbunden sind und daß beide über der Spannungsversorgung liegen, und daß die veränderbaren Widerstände einen an einer Verbindungsstelle (40) in Reihe mit der dritten Konstantstromquelle (36) über der Spannungsversorgung verbundenen Verschiebe-Widerstand (38) und einen zwischen den Verbindungsstellen (16, 40) angeschlossenen Steilheitswiderstand (42) umfassen, wobei der Verschiebe-Widerstand (38) bei einer niedrigen Testtemperatur so nachgestellt ist, daß an den zwei Verbindungsstellen (16, 40) gleiches Potential erreicht ist und der Steilheitswiderstand (42) bei einer hohen Testtemperatur eingestellt ist, um das gleiche Ausgangssignal bei einer bestimmten Luftströmung zu erzielen wie bei der niedrigen Testtemperatur.
DE19843424642 1983-07-11 1984-07-04 Festkoerper-luftstroemungsfuehler Ceased DE3424642A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/512,551 US4487063A (en) 1983-07-11 1983-07-11 Solid state mass air flow sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3424642A1 true DE3424642A1 (de) 1985-01-31

Family

ID=24039589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19843424642 Ceased DE3424642A1 (de) 1983-07-11 1984-07-04 Festkoerper-luftstroemungsfuehler

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4487063A (de)
JP (1) JPS6038619A (de)
CA (1) CA1213448A (de)
DE (1) DE3424642A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0219984A2 (de) * 1985-09-25 1987-04-29 Imi Pactrol Limited Strömungsmesser
EP0240637A1 (de) * 1986-04-11 1987-10-14 Purdue Research Foundation Elektrische Methode zum Korrigieren von Fehlern, die bei Luftmassendurchflusssensoren vom Brückentyp auftreten und von Schwankungen der Umgebungstemperatur herrühren
DE19517236A1 (de) * 1995-05-15 1996-11-21 Ifm Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Strömung strömender Medien
DE19618442A1 (de) * 1996-05-08 1997-11-13 Mueller Friedrich Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen des Fließens eines Fluides
DE4324040B4 (de) * 1992-07-21 2009-09-17 Robert Bosch Gmbh Massenstromsensor

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61176414U (de) * 1985-04-18 1986-11-04
JPH0670394B2 (ja) * 1985-08-20 1994-09-07 三菱電機株式会社 エンジンの燃料制御装置
JPS62143485U (de) * 1986-03-07 1987-09-10
JP2631481B2 (ja) * 1987-12-08 1997-07-16 株式会社 リンテック 質量流量計とその計測方法
US4961348A (en) * 1988-12-16 1990-10-09 Ulrich Bonne Flowmeter fluid composition correction
JPH03176668A (ja) * 1989-12-05 1991-07-31 Murata Mfg Co Ltd 風速センサ
US5311762A (en) * 1991-12-16 1994-05-17 Dxl Usa Flow sensor calibration
US5504681A (en) * 1994-06-29 1996-04-02 Ford Motor Company Mass air flow sensor calibration
US6182509B1 (en) 1996-06-26 2001-02-06 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
WO1997049998A1 (en) 1996-06-26 1997-12-31 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
US6589433B2 (en) 1996-06-26 2003-07-08 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
DE10127261B4 (de) * 2001-06-05 2005-02-10 Erbe Elektromedizin Gmbh Meßvorrichtung für die Strömungsrate eines Gases, insbesondere zum Einsatz in der Plasmachirurgie
US6708561B2 (en) 2002-04-19 2004-03-23 Visteon Global Technologies, Inc. Fluid flow meter having an improved sampling channel
US6826955B2 (en) * 2002-09-20 2004-12-07 Visteon Global Technologies, Inc. Mass fluid flow sensor having an improved housing design
US6973825B2 (en) * 2003-02-24 2005-12-13 Visteon Global Technologies, Inc. Hot-wire mass flow sensor with low-loss bypass passage
US7117735B2 (en) * 2003-06-30 2006-10-10 Kevin Owen Shoemaker Fluid flow direction and velocity sensor
WO2005071367A1 (en) * 2004-01-08 2005-08-04 Analog Devices, Inc. Anemometer circuit
US7120542B2 (en) * 2004-03-30 2006-10-10 Mks Instruments, Inc. Flow monitoring system
JP2008039704A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 風速センサ、風量センサ、及び燃料電池システム
US20080034861A1 (en) * 2006-08-11 2008-02-14 Anasphere, Inc. Multiple-mode heated semiconductor anemometer
US7675721B2 (en) * 2006-10-13 2010-03-09 Eaton Corporation Circuit interrupter including a shunt wire current sensor and a processor having a thermal overload predictive function
GB2446414A (en) * 2007-02-06 2008-08-13 Thorn Security A Detector
US8521449B2 (en) * 2009-06-06 2013-08-27 International Business Machines Corporation Three dimensional air flow sensors for data center cooling
GB2475257A (en) * 2009-11-11 2011-05-18 Ably As A method and apparatus for the measurement of flow in gas or oil pipes
EP2330391A1 (de) * 2009-12-02 2011-06-08 ABB Research Ltd. Durchflussmesser und Verfahren zur Diagnose von Sensoreinheiten
JP6372097B2 (ja) * 2014-03-07 2018-08-15 株式会社リコー 検出装置、検出回路、センサモジュール及び画像形成装置
US11918050B2 (en) 2020-01-22 2024-03-05 Altria Client Services Llc Hot wire anemometer air flow measurement, puff detection and ambient temperature tracking
US11910838B2 (en) 2020-01-22 2024-02-27 Altria Client Services Llc Hot wire anemometer air flow measurement, puff detection and ambient temperature tracking

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1954167B2 (de) * 1969-10-28 1972-11-23 Messchaltung fuer die bestimmung der differens zweier elektrischer widerstaende
US3992940A (en) * 1973-11-02 1976-11-23 Chrysler Corporation Solid state fluid flow sensor
DE2852904A1 (de) * 1978-12-07 1980-06-19 Vdo Schindling Durchflussmesseinrichtung
DE2906847A1 (de) * 1979-02-22 1980-09-04 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zum messen des luftdurchsatzes im luftansaugrohr einer brennkraftmaschine

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1098077A (en) * 1963-10-12 1968-01-03 Nat Inst For Res In Nuclear Sc Improvements in or relating to apparatus for the measurement of rate of flow of a fluid
SE391036B (sv) * 1973-12-03 1977-01-31 Elektronik Konstruktions Ab Anordning for metning och/eller overvakning av ett strommande mediums stromningshastighet
JPS5948340B2 (ja) * 1979-07-13 1984-11-26 リオン株式会社 熱式風速計

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1954167B2 (de) * 1969-10-28 1972-11-23 Messchaltung fuer die bestimmung der differens zweier elektrischer widerstaende
US3992940A (en) * 1973-11-02 1976-11-23 Chrysler Corporation Solid state fluid flow sensor
DE2852904A1 (de) * 1978-12-07 1980-06-19 Vdo Schindling Durchflussmesseinrichtung
DE2906847A1 (de) * 1979-02-22 1980-09-04 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zum messen des luftdurchsatzes im luftansaugrohr einer brennkraftmaschine

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Buch H. Strickert Hitzdraht- und Hitzfilm- Anemometrie, S. 85-89 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0219984A2 (de) * 1985-09-25 1987-04-29 Imi Pactrol Limited Strömungsmesser
EP0219984A3 (en) * 1985-09-25 1987-07-01 Imi Pactrol Limited Flow sensing device
EP0240637A1 (de) * 1986-04-11 1987-10-14 Purdue Research Foundation Elektrische Methode zum Korrigieren von Fehlern, die bei Luftmassendurchflusssensoren vom Brückentyp auftreten und von Schwankungen der Umgebungstemperatur herrühren
DE4324040B4 (de) * 1992-07-21 2009-09-17 Robert Bosch Gmbh Massenstromsensor
DE19517236A1 (de) * 1995-05-15 1996-11-21 Ifm Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Strömung strömender Medien
DE19517236C2 (de) * 1995-05-15 1998-12-24 Ifm Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Strömung strömender Medien
DE19618442A1 (de) * 1996-05-08 1997-11-13 Mueller Friedrich Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen des Fließens eines Fluides

Also Published As

Publication number Publication date
US4487063A (en) 1984-12-11
JPS6038619A (ja) 1985-02-28
CA1213448A (en) 1986-11-04
JPH0349374B2 (de) 1991-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3424642A1 (de) Festkoerper-luftstroemungsfuehler
DE2938322C2 (de) Hitzdraht-Meßgerät zum Erfassen der Ansaugluft einer Brennkraftmaschine
DE4015625C2 (de) Transistor mit Stromerfassungsfunktion, wobei der Stromerfassungswiderstand temperaturkompensiert ist
DE3128006C2 (de) Einrichtung zum Messen des Luftdurchsatzes im Ansaugrohr einer Brennkraftmaschine
DE2904154C2 (de)
DE602005002191T2 (de) Stromsensorschaltung mit Kelvinanschluss
DE602005003518T2 (de) Messung von bidirektionalem Strom in einem Feldeffekttransistor durch Drain-Source Spannungsmessung
DE2917237C2 (de)
DE10306805B4 (de) Durchflussmengen-Messgerät
DE3239194A1 (de) Temperaturmesseinrichtung
DE19636097C2 (de) Luftmengendurchflußmesser und -meßverfahren
DE102005051848B4 (de) Schaltungsanordnung zur temperaturdriftkompensierten Strommessung
DE102012204981A1 (de) Gaserfassungs-Vorrichtung und Gaserfassungs-Verfahren
DE4331722C2 (de) Luftstrommengenmesser, Verfahren zur Erfassung einer Luftstrommenge und Geräte zum Erfassen des Ausgangsstromes des Luftstrommengenmessers unter Verwendung des Luftstrommengenmessers
EP0276380B1 (de) Einrichtung zur Temperaturkompensation in einem thermischen Massenstrommesser
DE3134912C2 (de) Schaltungsanordnung zur kontinuierlichen Messung desFüllstandes in einem mit Flüssigkeit zumindest teilweise gefüllten Behälter
DE4241892C2 (de) Thermosensitiver Flußmesser und Einstellverfahren dafür
EP0955524A2 (de) Luftmassensensor
DE3514836A1 (de) Vorrichtung zum messen des durchsatzes von luft
DE10324292B4 (de) Messelement für einen Durchflusssensor, insbesondere einen Luftmassensensor für Brennkraftmaschinen
DE19509535C2 (de) Verfahren zum Abstimmen eines Luftmassenstromsensors sowie Vorrichtung zur Einstellung zur Einstellung eines Luftmassenstrommeters
DE19929921B4 (de) Luftdurchflußmengenmesser mit wärmeerzeugendem Widerstand
DE19619247C2 (de) Luftdurchflußmesser vom Heizwiderstandstyp
DE4410855C2 (de) Verfahren zum Kalibrieren der Ansprechzeit eines Luft-Massenströmungs-Sensors ohne Luftstrom
DE4143147C2 (de) Thermischer Durchflußsensor

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection