DE4241892C2 - Thermosensitiver Flußmesser und Einstellverfahren dafür - Google Patents
Thermosensitiver Flußmesser und Einstellverfahren dafürInfo
- Publication number
- DE4241892C2 DE4241892C2 DE4241892A DE4241892A DE4241892C2 DE 4241892 C2 DE4241892 C2 DE 4241892C2 DE 4241892 A DE4241892 A DE 4241892A DE 4241892 A DE4241892 A DE 4241892A DE 4241892 C2 DE4241892 C2 DE 4241892C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- resistor
- thermosensitive
- flow meter
- node
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/008—Thermistors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen thermosensitiven Flußmesser mit
den Merkmalen a), b) des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1
und ein Verfahren zum Einstellen des variablen zweiten Widerstands eines
derartigen thermosensitiven Flußmessers.
Ein derartiger thermosensitiver Flußmesser ist aus der
US 4,450,719 bekannt. Um den thermosensitiven Widerstand beim
Einschalten einer Energieversorgung schnell zu erwärmen, wird
hier der zu dem thermosensitiven Widerstand in Reihe
geschaltete erste Widerstand für eine vorgegebene Zeitperiode
nach Einschalten der Energieversorgung kurzgeschlossen. Wenn
sich hier bei einer Massenproduktion des Flußmessers
Abweichungen des Widerstandswerts des thermosensitiven
Widerstands ergeben, treten für eine vorgegebene Flußrate in
abgeglichenem Zustand der Brückenschaltung unterschiedliche
Ausgangsspannungen für das Flußratensignal auf.
Die US 4,907,446 zeigt einen thermosensitiven
Flußmesser mit einer Brückenschaltung, die einen variablen
zweiten Widerstand umfaßt, um die Brückenschaltung im
abgeglichenen Zustand so einzustellen, daß die Spannung an
einem Knoten zwischen dem thermosensitiven Widerstand und dem
ersten Widerstand einen vorgegebenen Wert annimmt. Diese
Spannung wird durch eine Auswerteschaltung weiter verarbeitet,
um den Gradienten der Flußratencharakteristik einstellen zu
können. Jedoch wirken sich auch hier geringe Schwankungen des
Widerstandswerts des thermosensitiven Widerstands auf die
Flußratencharakteristik aus.
Flußmesser, welche die Flußrate einer Flüssigkeit erfassen
zur Messung mit einem abgeglichenen Brückenschaltkreis und
einen thermosensitiven Widerstand in der Flüssigkeit
angeordnet haben, sind ferner offenbart in der
ungeprüften japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung
Nr. 108930/1986 und der ungeprüften japanischen
Patentveröffentlichung Nr. 216214/1989.
Fig. 2 zeigt den Aufbau eines thermosensitiven
Flußmessers. Eine Erfassungsröhre 2 ist angeordnet an
einer vorbestimmten Position in einem Gehause 1, was als
Hauptpfad einer Flüssigkeit dient. Ein thermosensitiver
Widerstand 3 und ein Fluidtemperaturfühler 4 sind an
vorbestimmten Positionen in der Erfassungsröhre 2
angeordnet und bilden einen Brückenschaltkreis zusammen
mit Widerständen R1 und R2. Beide Eingangsanschlüsse
eines Differentialverstärkers 101 sind verbunden mit
Knoten b, f des Brückenschaltkreises, wohingegen der
Ausgangsanschluß des Differentialverstärkers 101 mit der
Basis eines Transistors 102 verbunden ist. Der Emitter des
Transistors 102 ist verbunden mit einem Anschluß a des
Brückenschaltkreises, und der Kollektor des Transistors
102 ist verbunden mit einer Stromquelle 103.
Fig. 3 zeigt die Struktur der Halterung des
thermosensitiven Widerstands 3. Der thermosensitive
Widerstand 3 mit einem Heizabschnitt (temperaturabhängiger
Widerstandsfilm) 31 auf einer Oberfläche eines
plattenförmigen isolierenden Substrats 30 ist befestigt an
der Erfassungsröhre 2 durch ein Halterungselement 5,
welches das eine Ende des thermosensitiven Widerstands 3
unterstützt. Der thermosensitive Widerstand 3 ist
verbunden mit Anschlüssen 6 durch Stromzuführungsdrähte
34, wobei die Anschlüsse unterstützt werden durch das
Halteelement 5 durch Einsetzen. Fig. 4 zeigt einen
ausführlichen Aufbau des thermosensitiven Widerstandes 3,
bei dem Bezugszeichen 31 den Heizabschnitt
(temperaturabhängiger Widerstandsfilm), 32 einen
Elektrodenabschnitt und 33 einen Halterungsabschnitt
zeigt.
Da der Betrieb des so aufgebauten herkömmlichen
thermosensitiven Flußmessers bekannt ist, wird eine
detaillierte Beschreibung davon unterlassen werden. Der
Schaltkreis ist abgeglichen, wenn die Spannung am Knoten
b der Spannung am Knoten f gleicht. Dabei fließt ein Strom
IH entsprechend der Flußrate durch den thermosensitiven
Widerstand 3. Die Spannung Vb am Knoten b wird
IH×R1, und wird als
Flußratensignal benutzt.
Jedoch hat die Spannung Vb, welche ein Flußratensignal
ist, wenn die Spannungen an den Knoten b, f gleich sind,
Fehler. Diese Fehler beeinhalten: dimensions- und
profilbedingte Fehler verschiedener Teile,
Konstanzfehler der jeweiligen Widerstände, die den
Brückenschaltkreis bilden und
Temperaturverteilungsschwankungen am Heizabschnitt 31 des
thermosensitiven Widerstands 3. Es ist allgemein üblich,
dem thermosensitiven Widerstand
3 einen Trimmbereich N zu geben, um den Widerstand konstant zu halten, wobei
der Trimmbereich N entweder auf so ein Profil getrimmt ist,
welches übereinstimmt mit einem Nicht-Trimmbereich M, oder
überhaupt nicht getrimmt ist aufgrund von Variationen im
Material oder in der Filmdicke des Widerstandes.
Falls der Trimmbereich N so getrimmt ist, daß er im Profil
übereinstimmt mit dem Nicht-Trimmbereich M, kann eine im
wesentlichen gleichförmige Temperaturverteilung erhalten
werden längs des Heizabschnitts 31. Falls
der Trimmbereich N überhaupt nicht getrimmt ist, wird
eine absinkende Temperaturverteilung am
Trimmbereich N des Heizabschnitts 31 beobachtet.
Fig. 5(a) und 5(b) zeigen Temperaturverteilungen des
thermosensitiven Widerstands 3. Fig. 5a zeigt einen Fall,
in dem der ganze Trimmbereich N getrimmt worden ist,
wohingegen Fig. 5(b) einen Fall zeigt, in dem der
Trimmbereich N nicht getrimmt worden ist. Referenzbuchstaben
h0 bis h9 zeigen Positionen entlang der Länge des
thermosensitiven Widerstandes 3 an, welche den Positionen h0 bis h9
in Fig. 4 entsprechen. Zur Flußrateneinstellung wird ein
variabler Widerstand R2 so eingestellt, daß die
Flußratensignalspannung Vb einen vorbestimmten Wert
annimmt, wenn die Flüssigkeit mit einer konstanten
Flußrate strömt. Wenn jedoch diese Einstellung
gemacht wird an Heizabschnitten, deren Trimmbeträge
verschieden sind, wie zum Beispiel in den Fällen nach Fig. 5(a) und
5 (b), werden nicht nur die Temperaturverteilungen, sondern
auch die mittleren Temperaturen T verschieden. Deshalb
kann eine vorbestimmte Ausgabe erhalten werden bei einer
eingestellten Flußrate, aber Fehler resultieren bei
Flußraten, die verschieden sind von der eingestellten
Flußrate, da sich die Flußratencharakteristik der
Flußratensignalspannung Vb ändert. Zusätzlich trägt die
Temperaturcharakteristik ebenfalls zum Anhäufen solcher
Fehler bei.
Aufgabe der Erfindung ist es,
einen thermosensitiven Flußmesser und ein Einstellverfahren für dessen variablen zweiten Widerstand bereitzustellen, so daß
die Genauigkeit im gesamten Flußratenmeßbereich unabhängig von
Schwankungen des Widerstandswerts des thermosensitiven Widerstands gewährleistet ist und bei der
Massenproduktion die gleichen Temperaturcharakteristiken
erhalten werden können.
Diese Aufgabe wird durch einen thermosensitiven Flußmesser
gemäß Patentanspruch 1 und ein Verfahren gemäß Patentanspruch 6 gelöst.
Der erfindungsgemäße thermosensitive Flußmesser besitzt den Vorteil, daß er
Variationen durch Angleichen des
Profils eines Heizwiderstands eliminiert, da
der Heizleistungswert des thermosensitiven Widerstandes
auf einen vorbestimmten Wert eingestellt ist, wenn der
Brückenschaltkreis abgeglichen ist, und die
Verstärkung so eingestellt ist, daß die Ausgangsspannung einen
vorbestimmten Wert in diesem abgeglichenen Zustand annimmt.
Weitere Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den
Unteransprüchen. Nachstehend wird die Erfindung anhand
ihrer Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die
Zeichnungen erläutert.
Die Figuren zeigen im einzelnen
Fig. 1 ein Schaltkreisdiagramm einer Ausführungsform des
erfindungsgemäßen thermosensitiven Flußmessers;
Fig. 2 die Konfiguration eines
herkömmlichen thermosensitiven Flußmessers;
Fig. 3 die Struktur der
Halterung eines thermosensitiven Widerstandes;
Fig. 4 die Konfiguration eines
herkömmlichen thermosensitiven Widerstandes;
Fig. 5(a) und 5(b)
Temperaturverteilungen, wenn der herkömmliche
thermosensitive Widerstand mit und ohne Trimmung jeweils geheizt
wird;
Fig. 6 die Konfiguration
thermosensitiven Widerstandes, der in Fig. 1 verwendet wird; und
Fig. 7 eine
Temperaturverteilung, wenn der thermosensitive
Widerstand aus Fig. 6 erwärmt wird.
Eine Ausführungsform der Erfindung wird beschrieben
mit Bezug auf die Zeichnung. Fig. 1 ist ein
Schaltkreisdiagramm eines thermosensitiven
Flußmessers, welcher eine Ausführungsform der Erfindung
ist. Dieser thermosensitive Flußmesser hat einen
Verstärkungsschaltkreis mit einstellbarer Verstärkung, welcher Widerstände
R5, R6 und einen Operationsverstärker 104, welcher
nicht in dem in Fig. 2 gezeigten Schaltkreis enthalten
ist, beeinhaltet. Fig. 6 zeigt den Aufbau eines
thermosensitiven Widerstands 3, bei dem ein Heizbereich 31
keinen Trimmbereich N beeinhaltet.
Obwohl der Flußratenmeßbereich des so aufgebauten
thermosensitiven Flußmessers der gleiche ist, wie der beim
herkömmlichen Beispiel, ist jedoch die Art und Weise, wie
eine Flußratensignalspannung von V0 eingestellt wird,
verschieden. Das heißt, wenn die Spannung an dem Knoten b
der am Knoten f gleicht, wird ein variabler Widerstand
R2 so eingestellt, daß der Heizleistungswert R3 *IH 2 einen
vorbestimmten Wert einnimmt, wobei angenommen wird, daß
der Widerstandswert des thermosensitiven Widerstandes R3
ist. Wie aus der unten erwähnten Gleichung (1) klar wird,
wird der Heizleistungswert R3 *IH 2 substituiert durch die
Spannung Va am Knoten a, die Spannung Vb am Knoten b
und den Widerstand R1. Deshalb kann, da der
Widerstandswert R1 bekannt ist, der Heizleistungswert des
thermosensitiven Widerstandes 3 auf den vorbestimmten Wert
eingestellt werden durch Messen der Spannung Va, Vb
und Einstellen des Widerstandes R2. Daraus resultierend
kann der Heizleistungswert des thermosensitiven Widerstandes 3
konstant gemacht werden.
R₃ · IH² = (Va-Vb) · IH = (Va-Vb) · Vb/R₁ (1)
Obwohl die obige Einstellung den Heizleistungswert des
thermosensitiven Widerstandes 3 konstant aufrecht erhält,
kann die Spannung Vb am Knoten b einen nicht
vorbestimmten Wert einnehmen. Um dieses Problem zu lösen,
ist es erforderlich, daß die Spannung Vb angelegt wird
an den Verstärkungschaltkreis mit einstellbarer Verstärkung, welcher den
Operationsverstärker 104 und die Widerstände R5, R6
enthält, so daß die Spannung Vb korrigiert wird auf eine
vorbestimmte Flußratensignalspannung V0 durch eine Einstellung der
Verstärkung. Eine solche
Verstärkungseinstellung wird bewirkt durch Einstellen des
variablen Widerstandes R5 in Übereinstimmung mit der
Größe der Spannung Vb. Solch eine Einstellung läßt den
Heizleistungswert des Heizabschnitts 31 des thermosensitiven
Widerstandes 3 konstant, sogar mit dem gleichen Fehler im
Widerstandwert des thermosensitiven Widerstandes 3
aufgrund der Tatsache, daß der Widerstand nicht
getrimmt ist. Die Abwesenheit des Trimmbereichs N trägt
dazu bei, den Heizbereich des Heizabschnitts 31 gleichförmig
zu machen, und eine gleichförmige Verteilung der
Oberflächentemperatur des thermosensitiven Widerstandes 3
wird ebenfalls erhalten, wie gezeigt in Fig. 7, wobei
keine Änderung des Wärmetransfers zum Fluid hin
beobachtet wird. Deshalb können nicht nur die
charakteristischen Flußratenfehler, sondern auch
charakteristische Temperaturfehler reduziert werden.
Wie oben beschrieben, macht die Erfindung den Heizbereich
des thermosensitiven Widerstandes unverändert, so daß der
Brückenschaltkreis einschließlich des thermosensitiven
Widerstandes abgeglichen werden kann, wobei der Heizleistungswert
des thermosensitiven Widerstandes konstant ist.
Dementsprechend können die charakteristischen Fehler der
Flußrate und die charakteristischen Fehler der Temperatur
des thermosensitiven Flußmessers reduziert werden, was den
thermosensitiven Flußmesser extrem genau macht.
Claims (6)
- Thermosensitiver Flußmesser mit:
- a) einer Brückenschaltung (R₁; R₂; 101; 3, 4), umfassend:
- a1) eine erste Reihenschaltung (3, b, R₁) aus einem thermosensitiven Widerstand (3) und einem ersten Widerstand (R₁);
- a2) eine zweite Reihenschaltung (a, 4, f, R₂) aus einem als Fluidtemperaturfühler dienenden dritten Widerstand (4) und einem zweiten Widerstand (R₂);
- a3) wobei die erste und zweite Reihenschaltung (3, b, R₁; a, 4, f, R₂) zur Bildung der Brückenschaltung parallel geschaltet sind, der thermosensitive Widerstand (3) und der dritte Widerstand (4) in dem zu messenden strömenden Fluid (1, 2) angeordnet sind, der thermosensitive Widerstand (3) im abgeglichenen Zustand der Brückenschaltung durch einen Stromfluß (IH) erwärmt wird und die Strömungsrate des strömenden Fluids (1, 2) auf der Grundlage des Wärmetransfers vom thermosensitiven Widerstand (3) zum Fluid (1, 2) bestimmt wird; und
- b) einer Verstärkungschaltung (104, R₅, R₆) zum Verstärker
der Spannung (Vb) an dem Knoten (b) zwischen dem
thermosensitiven Widerstand (3) und dem ersten
Widerstand (R₁);
dadurch gekennzeichnet, daß- c1) der zweite Widerstand (R₂) variabel und so eingestellt ist, daß der Heizleistungswert des thermosensitiven Widerstands (3) bei einer vorgegebenen Strömungsrate des Fluids einen vorgegebenen Wert im abgeglichenen Zustand der Brückenschlatung annimmt; und
- c2) die Verstärkung der Verstärkungsschaltung (104, R₅, R₆) einstellbar und so eingestellt ist, daß die Ausgangsspannung (V₀) der Verstärkerschaltung (104, R₅, R₆) einen vorgegebenen Spannungswert (V₀) annimmt, wenn der Heizleistungswert des thermosensitiven Widerstands (3) im abgeglichenen Zustand der Brückenschaltung den vorgegebenen Heizleistungswert annimmt.
- a) einer Brückenschaltung (R₁; R₂; 101; 3, 4), umfassend:
- 2. Thermosensitiver Flußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der thermosensitive Widerstand (3) keinen Trimmbereich aufweist.
- 3. Thermosensitiver Flußmesser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Knoten (b) zwischen dem thermosensitiven Widerstand (3) und dem ersten Widerstand (R₁) mit einem positiven Anschluß eines Operationsverstärkers (101) verbunden ist und ein Knoten zwischen dem dritten Widerstand (4) und dem variablen zweiten Widerstand (R₂) mit einem negativen Anschluß des Operationsverstärkers (101) verbunden ist.
- 4. Thermosensitiver Flußmesser nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Operationsverstärkers (101) mit der Basis eines Transistors (102) verbunden ist, dessen Emitter mit dem Knoten (a) zwischen dem dritten Widerstand (4) und dem thermosensitiven Widerstand (3) verbunden ist, und dessen Kollektor mit einer Stromquelle (103) verbunden ist.
- 5. Thermosensitiver Flußmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstärkungsschaltung (104, R₅, R₆) einen Operationsverstärker (104) umfaßt.
- 6. Verfahren zum Einstellen des variablen zweiten Widerstands (R₂) bei einem thermosensitiven Flußmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 5 zur Erzielung des vorgegebenen Heizleistungswertes des thermosensitiven Widerstands (3) im abgeglichenen Zustand der Brückenschaltung bei einer vorgegebenen Strömungsrate des Fluids, bei dem die Spannung Va an dem Knoten zwischen dem dritten Widerstand (4) und dem thermosensitiven Widerstand (3) und die Spannung Vb an dem Knoten zwischen dem thermosensitiven Widerstand (3) und dem ersten Widerstand (R₁) während eines Abgleichvorgangs überwacht werden und daraus der Heizleistungswert gemäß (Va-Vb) · Vb/R₁ berechnet wird, worin R₁ den Widerstandswert des ersten Widerstands (R₁) bezeichnet.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3328705A JP2599854B2 (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 感熱式流量センサの設定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4241892A1 DE4241892A1 (en) | 1993-06-17 |
DE4241892C2 true DE4241892C2 (de) | 1996-07-18 |
Family
ID=18213259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4241892A Expired - Lifetime DE4241892C2 (de) | 1991-12-12 | 1992-12-11 | Thermosensitiver Flußmesser und Einstellverfahren dafür |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5460040A (de) |
JP (1) | JP2599854B2 (de) |
KR (1) | KR960006308B1 (de) |
DE (1) | DE4241892C2 (de) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2599854B2 (ja) * | 1991-12-12 | 1997-04-16 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサの設定方法 |
NL9201906A (nl) * | 1992-11-02 | 1994-06-01 | Huiberts Albertus T | Werkwijze en inrichting voor het meten van het debiet van een mediumstroom. |
JP2934380B2 (ja) * | 1994-06-10 | 1999-08-16 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
US6131463A (en) * | 1996-06-04 | 2000-10-17 | Flow Safe, Inc. | Apparatus and method to optimize fume containment by a hood |
DE10003436B4 (de) * | 1999-02-18 | 2009-08-13 | Ifm Electronic Gmbh | Wärmeübergangskontroll- und/oder -meßgerät |
JP2001074530A (ja) * | 1999-09-01 | 2001-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 熱式流量計 |
KR100498645B1 (ko) * | 2000-02-23 | 2005-07-01 | 유도준 | 음주 측정기용 반도체식 알콜센서 |
CA2437912A1 (en) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Sit La Precisa S.P.A. | A device for measuring gas flow-rate, particularly for burners |
KR20050026904A (ko) * | 2001-09-10 | 2005-03-16 | 마이크로브리지 테크놀로지스 인크. | 저항기 트리밍 방법 |
US7049875B2 (en) * | 2004-06-10 | 2006-05-23 | Theta Microelectronics, Inc. | One-pin automatic tuning of MOSFET resistors |
JP5159383B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2013-03-06 | アズビル株式会社 | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 |
JP5178262B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2013-04-10 | アズビル株式会社 | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 |
JP5178263B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2013-04-10 | アズビル株式会社 | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3363462A (en) * | 1964-09-30 | 1968-01-16 | Cullen M. Sabin | Fluid anemometer system |
JPS57184923A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-13 | Hitachi Ltd | Hot-wire type flowmeter |
US4450719A (en) * | 1982-10-13 | 1984-05-29 | Hitachi, Ltd. | Air flow meter |
US4686856A (en) * | 1983-02-28 | 1987-08-18 | Vavra Randall J | Mass flow meter |
DE3309404A1 (de) * | 1983-03-16 | 1984-09-20 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur messung des massendurchsatzes eines stroemenden mediums |
US4523462A (en) * | 1983-05-16 | 1985-06-18 | Tsi Incorporated | Constant temperature anemometer having an enhanced frequency response |
JPS59192167A (ja) * | 1983-09-26 | 1984-10-31 | 積水樹脂株式会社 | 錠の保護装置 |
US4907446A (en) * | 1988-02-24 | 1990-03-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Flow sensor incorporating a thermoresistor |
JP2599854B2 (ja) * | 1991-12-12 | 1997-04-16 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサの設定方法 |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP3328705A patent/JP2599854B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-12-08 KR KR1019920023625A patent/KR960006308B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-12-11 DE DE4241892A patent/DE4241892C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-06-06 US US08/254,418 patent/US5460040A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5460040A (en) | 1995-10-24 |
JP2599854B2 (ja) | 1997-04-16 |
DE4241892A1 (en) | 1993-06-17 |
KR930013690A (ko) | 1993-07-22 |
KR960006308B1 (ko) | 1996-05-13 |
JPH05164582A (ja) | 1993-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4241892C2 (de) | Thermosensitiver Flußmesser und Einstellverfahren dafür | |
DE4219551C2 (de) | Massenströmungssensor | |
DE69423100T2 (de) | Dehnungsmessaufnehmer mit integrierter temperaturerfassung | |
DE3841249C2 (de) | ||
DE3424642A1 (de) | Festkoerper-luftstroemungsfuehler | |
DE4005801A1 (de) | Mikrobruecken-stroemungssensor | |
DE69106961T2 (de) | Thermischer Durchflussmesser. | |
DE69223310T2 (de) | Schaltkreis zur Feuchtigkeitserfassung | |
DE69026454T2 (de) | Kompensationsschaltung für Nullpunktabweichung | |
EP0276380B1 (de) | Einrichtung zur Temperaturkompensation in einem thermischen Massenstrommesser | |
DE4207188C2 (de) | Strömungsmengenfühler thermischer Bauart | |
EP0274573B1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung einer einheitlichen Kennlinie für Sensoren | |
DE3886368T2 (de) | Luftströmungsmessgerät vom Hitzdrahttyp. | |
DE69530715T2 (de) | Messvorrichtung für eine elektrische Grösse | |
DE4143147C2 (de) | Thermischer Durchflußsensor | |
EP0016409B1 (de) | Messgerät für die praktisch simultane Temperatur- und Temperaturdifferenzmessung | |
DE3533291A1 (de) | Anemometerschaltung und konstantueberhitzungsanemometer | |
DE1698249C3 (de) | Schaltung zur Kompensation der Grundlinienneigung des Thermogramms bei zwei gegenpolig in Reihe geschalteten Thermoelementen eines Differential-Thernioanalysators E.I. du Pont de Nemours and Co | |
EP0667509B1 (de) | Temperaturkompensation bei Massenstromsensoren nach dem Prinzip des Hitzdraht-Anemometers | |
DE4036110A1 (de) | Durchflussmesser | |
EP0374352A1 (de) | Luftmassenmesser | |
DE10012309B4 (de) | Thermisches Wärmefluss-Messgerät | |
DE2702815B2 (de) | Temperaturmeßvorrichtung | |
DE3911599C2 (de) | Widerstandsanordnung für einen Heißfilmanemometer | |
DE4025644A1 (de) | Waermeempfindlicher stroemungssensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01F 1/698 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |