DE3421922A1 - Verbundgebilde aus einem keramischen material und einer aluminiumlegierung - Google Patents

Verbundgebilde aus einem keramischen material und einer aluminiumlegierung

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Description

Henkel, Pfenning, Feiler, Hänzel & Meinig Patentanwälte
" 5· European Palen; Attorneys
Zugelassene Vertrete' vor den Europäischen Patentamt
Dr phi! G Henke:, Dip:· -!ng J Pfenning. 5er r-Dr rer nat. L Feile'. Mjnche-r. Dipi -Ing W Hanze;. Murcner
NGK Spark Plug Co., Ltd. Dip;.-Phys K H Mesnig Berim
Dr Ing A Butenschon. beir
Nagoya-shi, Aichi, Japan
_ Möhlstraße 37
D-8000 München 80
TeL-089/982085-87 Telex 0529802 hnk! d Telegramm eiiipsod Telefax (Gr 2-3)-089/981426
N28-35239/M/MS
Verbundgebilde aus einem keramischen Material und
einer Aluminiumlegierung
Die Erfindung betrifft ein Verbundgebilde aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung, das sich durch eine verbesserte Bindefestigkeit zwischen seinen Bestandteilen auszeichnet.
Aluminiumlegierungen sind leichtgewichtig, fest, einfach bearbeitbar und zeichnen sich durch hervorragende elektrische und Wärmeleiteigenschaften aus. Aufgrund dieser vorteilhaften Eigenschaften gelangen A3uminiumlegierungen umfangreich auf Niedrigtemperaturanwendungsgebieten zum Einsatz. Ihr Einsatz bei hohen Temperaturen ist jedoch begrenzt, und zwar vornehmlich infolge ihrer schlechten Wärmebeständigkeit und Wärme-Isolierfähigkeit.
Keramische Materialien auf der anderen Seite besitzen hervorragende Wärmebeständigkeits- und -isoliereigenschaften. Unter Berücksichtigung dessen wurden bereits zahlreiche Versuche unternommen, die Aluminiumlegierungen innnewohnenden Nachteile zu beseitigen, indem man sie mit keramischen Materialien zu Verbundgebilden aus den betreffenden keramischen Materialien und A3uminiumlegierungen kombiniert. Keines der bislang bekannten Verfahren zum Verbinden von keramischen Materialien mit Aluminiumlegierungen hat jedoch vollständig zufriedenstellende Ergebnisse geliefert. Die günstigsten Versuche bestehen in einer Schrumpfmontierung oder in Gießtechniken, selbst diese günstigsten Versuche liefern jedoch lediglich Verbundgebilde geringer thermischer Zuverlässigkeit. Dies ist nicht nur auf unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Aluminium und keramischen Materialien, sondern auch auf Aluminiumbruch zurückzuführen. Aluminium be-
Q5 sitzt einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 24 χ 10 /°C bei Temperaturen zwischen Raumtemperatur und 5000C. Si-N- und ZrO2 , d.h. zwei typische keramische Materialien, besitzen dagegen im selben Tempera-
ir
*«■
turbereich Wärmeausdehnungskoeffizienten von 2 χ 10 /°C bzw. 10 χ 10 /0C. Wegen dieses Mißverhältnisses in den thermischen Ausdehnungskoeffizienten läßt sich ein keramisches Material nicht direkt ohne Restspannungen an Aluminium binden. Die dabei auftretenden Restspannungen führen oftmals zu einer Rißbildung im keramischen Material.
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein Verbundgebilde aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung ohne die einschlägigen bekannten Verbundgebilden innewohnenden Nachteile zu schaffen.
Erfindungsgemäß wird zunächst auf der Oberfläche des keramischen Materials durch Bedampfen, mittels eines bei hoher Temperatur durchgeführten Schmelzverfahrens oder nach einem Aktivmetallverfahren eine dünne Metallimprägnierschicht ausgebildet. Danach wird die Metallimprägnierschicht mit einem Metallüberzug versehen.
Schließlich wird durch Vergießen und Verfestigen einer erschmolzenen Aluminiumlegierung in Berührung mit dem Metallüberzug eine aus einer Aluminiumlegierung bestehende Schicht gebildet. Insgesamt läßt sich hierdurch ein fester Zusammenhalt zwischen den einze]nen Schichten des eine Einheit bildenden Verbundgebildes aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung sicherstellen.
Erfindungsgemäß wählt man als keramische Materialien solche Materialien, die durch die Wärme der erschmolzenen Aluminiumlegierung nicht beeinträchtigt werden. Beispiele hierfür sind Si3N4, SiC, Al 0_, ZrO2, Glimmer, LAS und kristallines Glas. Die dünne Metal 1imprägnier-Schicht läßt sich aus beliebigen Materialien nach beliebigen Verfahren ausbilden. Typische Verfahren zur Ausbildung der dünnen Metallimprägnierschicht werden später näher erläutert werden.
-C-
Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung ist in Seitenansicht eine zum Vergießen einer Aluminiumlegierung auf ein keramisches _ Substrat geeignete Vakuumkammer dargestellt.
Zunächst wird die Ausbildung der das keramische Material mit den Aluminiumteilen verbindenden dünnen Metallimprägnierschicht beschrieben.
Vakuumbedampfen:
1) Die Oberfläche eines keramischen Formlings wird durch physikalische Bedampfung mit einem Überzug eines Metalls der Gruppe IV A des Periodensystems -c (Ti, Zr oder Hf) versehen. Danach wird auf dem Überzug aus dem Metall der Gruppe IV A des Periodensystems durch physikalische Bedampfung ein Überzug eines Metalls der Gruppe VI A des Periodensystems (Cr, Mo oder W) abgelagert. Letzterer Überzug wird schließlich durch 2Q chemische Plattierung mit einer Schicht eines Metalls der Gruppe I B des Periodensystems (Cu, Ag oder Au) versehen. Auf diese Weise erhält man eine dünne Metallimprägnierschicht.
2) Die Oberfläche des keramischen Formlings wird durch physikalische Bedampfung mit einem Überzug eines Metalls der Gruppe IV A des Periodensystems (Ti, Zr oder Hf) versehen. Auf diesem Überzug wird dann durch physikalische Bedampfung oder chemische Plattierung ein Überzug eines Metalls der Gruppe I B des Periodensystems (Cu, Ag oder Au) abgelagert, wobei eine dünne Metal 1imprägnierschicht erhalten wird.
3) Die Oberfläche eines keramischen Formlings wird durch physikalische Bedampfung mit einem Überzug eines Metalls der Gruppe IV A des Periodensystems (Ti, Zr oder Hf) oder der Gruppe VT A des Periodensystems (Cr, Mo oder W) versehen. Auf dem erhaltenen Überzug wird dann durch physikalische Bedampfung oder chemische
Plattierung ein Überzug eines Metalls der Gruppe I B des Periodensystems (Cu, Ag oder Au) abgelagert, wobei eine dünne Metallimprägnierschicht erhalten wird. 5
Zum Arbeiten mit einem hochschmelzenden Metall geeignetes Verfahren:
Ein Gemisch aus Mo und/oder W und TiH_, Mn und/oder SiO„ wird zu Teilchen vermählen. Letztere werden zur Bildung einer Imprägnierpaste gründlich gemischt. Der Hauptbestandteil der Imprägnierpaste besteht aus Mo und/oder W. Die Paste wird mittels einer automatischen Druckvorrichtung oder einer sonstigen geeigneten Vorrichtung auf die Oberfläche des keramischen Materials appliziert, worauf das mit einem Überzug der Imprägnier paste versehene keramische Material bei einer Temperatur zwischen 1400° und 16000C in einem Wasserstoffofen gebrannt wird. Nach Ausbildung einer einige μπ\ starken Ni-Plattierung zur Verbesserung der Benetzbarkeit mit einem Lötfüllstoff wird das keramische Material in einem Wasserstoffofen auf eine Temperatur zwischen 800° und 10000C erhitzt. Hierbei entsteht eine dünne Metallimprägnierschicht.
Aktivmetallverfahren:
1) Eine Titan(Ti)- oder Zirkonium(Zr)-FoI ie und eine Folie aus einer Ag-Cu-Legierung werden auf die Oberfläche eines keramischen Formlings gelegt, worauf
das Ganze in nichtoxidierender Atmosphäre auf eine Temperatur zwischen 800° und 12000C erhitzt wird. Hierbei entsteht eine dünne Metallimprägnierschicht aus einem Ti- (oder Zr)-Ag-Cu-Eutektikum.
2) Eine Ti- oder Zr-Folie und eine Folie aus einem eutektischem Ag-Cu-Lot werden auf die Oberfläche
eines keramischen Formlings gelegt, worauf das Ganze in nichtoxidierender Atmosphäre so lange auf eine Temperatur zwischen 800° und 12000C erhitzt wird, bis
sich eine dünne Metallimprägnierschicht aus einem Ti-(oder Zr)-Ag-Cu-Eutektikum bildet.
Erfindungsgemäß wird dann auf der dünnen Metallimprägnier schicht ein Überzug aus einem der später genannten Metalle abgelagert. Schließlich wird mittels einer Gießtechnik an den Metallüberzug eine Schicht aus einer Aluminiumlegierung gebunden, wobei man ein Verbundgebilde aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung erhält. Vermutlich erhält man das gewünschte Verbundgebilde aus keramischem Material und Aluminiumlegierung auch durch Beaufschlagen der Metallimprägnierschicht mit einem üblichen Metallüberzug anstelle der Ausbildung des Metallüberzugs durch Verbundguß . Beispiele für verwendbare Materialien sind solche, die in der Aluminiurnmatrix in Lösung gehen, z.B. Kupfer (Cu), Magnesium (Mg) und Silizium (Si) sowie Aluminium (Al). Die genannten Metalle stellen eine einfache Verbindung mit einer Aluminiumlegierung sicher.
Im Hinblick auf die Feststoffloslichkeitseigenschaften erreicht man mit Kupfer und Aluminium die besten Ergebnisse. Die Reaktionsfähigkeit von Kupfer mit der erschmolzenen Aluminiumlegierung ist jedoch so hoch, daß bei Verwendung eines Kupferblechs zur Ausbildung des Metallüberzugs auf der Metallimprägnierschicht das Kupferblech während des Gußes einer Aluminiumlegierung korrodiert. Eine Unterdrückung dieses Korrosionsproblems durch Steuern der Temperaturbedingungen beim Guß der Aluminiumlegierung bereitet erhebliche Schwierigkeiten, wobei noch hinzukommt, daß das erhaltene Verbundgebilde aus keramischem Material und Aluminiumlegierung erheblich zu wünschen übrig läßt.
Auf der Metallimprägnierschicht kann auch ein Metall niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, z.B. Kovar und Molybdän, abgelagert werden. Die Wärmeausdehnungs-
•6
ι -S-
koeffizienten von Kovar und Molybdän unterscheiden sich jedoch so stark von den Wärmeausdehnungskoeffizienten typischer keramischer Materialien, daß die Restspannungen in dem keramischen Material nicht ausreichend absorbiert werden können. Die Reaktionsfähigkeit von Molybdän mit einer erschmolzenen Aluminiumlegierung ist nicht so gut. Dies führt zum Auftreten von Rissen und sonstigen Fehlern in der keramischen Schicht, was wiederum zur Folge hat, daß nur Verbundgebilde aus keramischen Materialien und Aluminiumlegierungen schlechter Zuverlässigkeit erhalten werden.
Aufgrund verschiedener Untersuchungen hat es sich gezeigt, daß man nicht mit den geschilderten Nachteilen der bekannten einschlägigen Verbundgebilde behaftete Verbundgebilde aus keramischen Materialien und Aluminiumlegierungen nur dann erhält, wenn man zwischen der Metallimprägnierschicht auf der Oberfläche des keramischen Materials und der Schicht aus der Aluminiumlegierung einen Metallüberzug mit einer obersten Lage aus Cu, Ag oder Al, einer metallischen Zwischenschicht und einer untersten Schicht aus Cu, Ag oder A3 vorsieht.
Die oberste und unterste Schicht kann aus demselben Metall, z.B. Kupfer, bestehen. In diesem Falle besteht der Metallüberzug aus Cu, Metall und Cu. Andererseits können die oberste und unterste Schicht aus zwei verschiedenen Metallen, z.B. Ag und Cu, bestehen. In diesem Falle besteht dann der Metallüberzug aus Ag, Metall und Cu. In jedem Falle sollte sich das die Zwischenschicht bildende Metall von den in der obersten und untersten Schicht verwendeten Metallen unterscheiden.
Die meisten Meta]Ie besitzen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen denen typischer Aluminiumlegierungen und keramischer Materialien. Wenn als keramisches Material Si-H. verwendet wird, wird als Metall zur
Bildung der Zwischenschicht des Metallüberzugs Molybdän, Invar oder Kovar, verwendet. Sämtliche der genannten Metalle besitzen relativ niedrige Wärmeausdehnungskoeffizienten. Wenn die oberste und/oder unterste Schicht(en) aus Kupfer besteht (bestehen), kann (können) deren Stärke verringert und als Metall für die Zwischenschicht Nickel oder Eisen verwendet werden. Diese Anordnung gestattet die Herstellung von in hohem Maße zuverlässigen Verbundgebilden aus keramischem Material und Aluminiumlegierung ohne Rißbildung im keramischen Teil. Die oberste Schicht des Metallüberzugs, die mit der erschmolzenen Aluminiumlegierung in Berührung gelangt, kann aus anderen Metallen als Ag, Cu und Al, z.B. aus Ni, Fe, Si und Kovar, das ohne weiteres mit der erschmolzenen Aluminiumlegierung reagiert, bestehen. Diese Metalle gewährleisten auch eine feste Bindung (des Metallüberzugs) an die Aluminiumlegierung.
Zur Ermittlung ihrer Scherfestigkeitswerte werden erfindungsgemäß Verbundgebilde aus keramischem Material und einer Aluminiumlegierung sowie Vergleichsverbundgebilde hergestellt.
Erfindungsgemäß hergestellte Verbundgebilde:
1) Ausbildung einer Metallimprägnierschicht nach einem
für hochschmelzende Metalle geeigneten Verfahren 1-1) Auf eine "grüne" Aluminiumoxidfolie (90% Al3O3)
wird eine Paste aus 3% Ethylzellulose und einem
9:1:1 Gemisch aus W, TiEL· und SiO3 appliziert. Danach wird die Aluminiumoxidfolie 1 h lang in einem Wasserstoffofen bei 15000C gebrannt. Auf die gebrannte Folie wird dann eine Metalllmpragnierschicht durch Aufplattieren eines 2 μΐη dicken Nickelüberzugs aufgebracht. Schließlich wird an die Metalllmpragnierschicht mit einem eutektischen Ag-Cu-Lötfüllstoff in einem bei 85O0C gehaltenen Wasserstoffofen ein in der Tabelle
Al'
genannter Metallüberzug gebunden. Das Ganze wird dann in eine in der Zeichnung dargestellte Kammer gelegt.
-4 -4 Die Kammer wird auf 133 χ 10 Pa (10 Torr) evakuiert oder von oben her mit gasförmigem Argon (Ar) oder gasförmigem Stickstoff (N_) unter Druck gesetzt. Während die Kammer auf etwa 7500C erhitzt wird, wird auf den auf der Metallimprägnierschicht befindlichen Metallüberzug eine erschmolzene Aluminiumlegierung (AC4A) gegossen, wobei ein Verbundgebilde aus einem keramischen Material und AC4A entsteht.
1-2) Die Maßnahmen des Beispiels 1-1 werden wiederholt, wobei jedoch auf einer Nickelimprägnierschicht auf einer "grünen" Yttriumoxid-Zirkon-
oxid-Folie (90% ZrO ) einer der in der Tabelle angegebenen Metallüberzüge ausgebildet wird. Auf diese Weise werden verschiedene Verbundgebilde aus keramischem Material und einer Aluminiumlegierung hergestellt.
2) Ausbildung der Metallimprägnierschicht durch Bedampfen:
2-1)Gesintertes Aluminiumoxid einer Porosität von 3%, eines Al_O-.-Gehal ts von 90% und einer Dichte von
3,60 g/cm3 wird zur Bildung einer glätten Oberfläche poliert und dann mit Aceton gesäubert. Die gesäuberte Keramikfolie wird in ein Glockengefäß gelegt, Das Glockengefäß wird auf 133 χ 10~6 Pa (10~6 Torr) evakuiert und auf 2000C erhitzt. Durch Bestrahlen mit Elektronenstrahlen wird ein Aluminiumpool erschmolzen und auf das keramische Substrat aufgedampft. Hierbei entsteht eine Aluminiumimprägnierschicht einer Stärke von etwa 5 μΐη.
Auf der Aluminiumimprägnierschicht wird ein Al-Ni-Cu-Überzug der in der Tabelle angegebenen Zusammensetzung ausgebildet, und zwar derart, daß die Aluminiumlage
- /fides Überzugs mit der Metallimprägnierschicht in Berührung steht. Schließlich wird an den Metallüberzug entsprechend dem Verfahren gemäß Beispiel 1-1 eine Aluminiumlegierung gebunden.
2-2) Gesintertes Siliziumnitrid einer Porosität von 1%, eines Si-,N.-Gehalts von 90% und einer Dichte von 3,25 g/cm3 wird zur Ausbildung einer glatten Oberfläche poliert und mit Aceton gesäubert. Das gesäuberte keramische Substrat wird entsprechend dem Verfahren gemäß Beispiel 2-1 mit einer Aluminiumimprägnierschicht versehen. Schließlich wird an das keramische Substrat über einen Al-Ni-Cu-Überzug der in der Tabelle angegebenen Zusammensetzung entsprechend dem Verfahren gemäß Beispiel 2-1 eine Aluminiumlegierung gebunden.
2-3) Gesintertes Aluminiumoxid einer Pososität von 3%, eines Al„O^-Gehalts von 90% und einer Dichte von 3,60 g/cm3 wird zur Ausbildung einer glatten Oberfläche poliert und mit Aceton gesäubert. Das gesäuberte keramische Substrat wird in ein Glockengefäß gelegt. Das Glockengefäß wird auf 133 χ 10~6 Pa (10 Torr) evakuiert und auf 2000C erhitzt. Auf das Substrat werden Lagen von Zr, Cr und Cu in einer Stärke von 0,2, 0,2 bzw. 5 μΐη aufgedampft. Schließlich wird an die Metallimprägnierschicht in einem Wasserstoffofen bei 8500C mit Hilfe eines eutektischen Ag-Cu-Lötfüllstoffs ein Metallüberzug der in der Tabelle angegebenen Zusammensetzung gebunden. Zuletzt wird an den Metallüberzug eine Aluminiumlegierung (AC4A) an der Luft unter Druck angegossen, wobei man ein Verbundgebilde aus keramischem Material und einer Aluminiumlegierung erhält.
2-4) Gesintertes Siliziumnitrid einer Porosität von 1%, eines Si ,N.-Gehalts von 90% und einer Dichte von 3,25 g/cm3 wird zur Ausbildung einer glatten
Oberfläche poliert und mit Aceton gesäubert. Das gesäuberte keramische Substrat wird in ein Glockengefäß gelegt. Das Glockengefäß wird auf 133 χ 10~ Pa (10~ Torr) evakuiert und auf 2000C erhitzt. Durch Bestrahlen mittels Elektronenstrahlen werden Dampflieferanten (Zr, Cr und Cu) erschmolzen und auf dem keramischen Substrat abgelagert, wobei Zr-, Cr- und Cu-Imprägnierschichten in Stärken von 0,2, 0,2 bzw. 5 μπι entstehen. Auf der Metallimprägnierschicht wird dann in einem Wasserstoffofen bei einer Temperatur von 8500C mit Hilfe eines eutektischen Ag-Cu-Lötfüllstoffs ein Metallüberzug der in der Tabelle angegebenen Zusammensetzung vorgesehen. Schließlich wird an den Metallüberzug eine AIuminiumlegierung (AC4A) an Luft unter Druck angegossen, wobei ein Verbundgebilde aus keramischem Material und einer Aluminiumlegierung entsteht.
Vergleichsbeispiele:
20
1. Gemäß dem Verfahren des Beispiels 1-1) wird ein Verbundgebilde aus keramischem Material und Aluminium hergestellt, wobei jedoch die Metallimprägnier-
schicht anstatt mit einem der genannten Metallüberzüge mit einer Cu-Schicht versehen wird.
2. Entsprechend dem Verfahren des Beispiels 1-2) wird ein Verbundgebilde aus einem keramischen Material und Aluminium hergestellt, wobei jedoch die Metal1-imprägnierschicht anstatt mit den genannten Metallüberzügen mit einer Cu-Schicht versehen wird.
Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. der Vergleichsbeispiele wird die Aluminium!egierung (AC4A) in einer Vakuumkammer des in der Zeichnung dargestellten Typs vergossen. Diese Kammer enthält eine U-förmige untere Aluminiumoxidform 1, in der sich ein darin gebildeter keramischer Formling a befindet.
3421
Auf dem keramischen Formling liegen (in der angegebenen Reihenfolge) eine Metallimprägnierschicht b und ein Metallüberzug oder eine Cu-Schicht c. Auf der unteren Form 1 befindet sich eine obere Form 2 mit einer zentralen Öffnung 3 eines Querschnitts von etwa 1 mm im Boden zum Einführen einer erschmolzenen Aluminiumlegierung. Eine erschmolzene Aluminiumlegierung d in der oberen Form 2 wird durch die Öffnung 3 mittels eines Stößels 4 nach unten gedrückt, um den Metallüberzug oder die Cu-Schicht c mit der Aluminiumlegierung zu verbinden. Hierbei erhält man ein Verbundgebilde aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung. Die
-4 -4 Vakuumkammer ist auf etwa 133 χ 10 Pa (10 Torr) evakuiert und mittels einer Spule 5 erhitzt.
Die erfindungsgemäß bzw. gemäß den Vergleichsbeispielen hergestellten Verbundgebilde werden einem Schertest unterworfen, wobei die in der folgenden Tabelle angegebenen Ergebnisse erhalten werden. Das keramische Substrat jedes Prüflings mißt 10 mm χ 10 mm χ 5 mm. Die Scherfestigkeit wird mit Hilfe eines handelsüblichen Autographen bei der Belastungsgeschwindigkeit von 0,5 mm/min ermittelt.
Aus der Tabelle geht hervor, daß die erfindungsgemäß hergestellten Verbundgebilde aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung akzeptable Scherfestigkeitswerte aufweisen. Dagegen zeigen die gemäß den Verg]eichsbeispielen hergestellten Verbundgebilde derart niedrige Scherfestigkeitswerte, daß sie einem praktischen Gebrauch nicht zugeführt werden können.
Tabelle
Bei Kera Metall- Metall- Verfahren Alu ti AtiToshHre Scher
spiel misches imprägnier- Überzug mit hoch- Cu/Ni/Cu minium beim Er festig
Nr. Material verfahren (Stärke schmelzen- 0,4/0,3/0,4) legierung Il hitzen keit
in mm) den Metallen (kg/cm2)
" Cu/Ni/Cu
1-1 Al O ,0,8/0,2/0,8) AC4A Vakuum 280
Cu/Mo/Cu
(1,0/0,3/1,0)
1-1 Il " Cu/Mo/Cu Il 11 338
1-1 Il It 335
1-1 Il Ar 331
1-1
(1,0/0,3/1,0)
Cu/Mo/Cu (1,0/0,3/1,0)
Ar
318
Ver -
gleichsbeisp.l "
Cu (0,3)
Vakuum
1-2 ZrO„-
Y2°3
1-2
Cu/Ni/Cu (0,4/0,3/0,4)
Cu/Mo/Cu (1,0/0,3/1,0)
220
228
Ver-
gleichs-
beisp.2
Cu (0,3)
15
2-1
Aufdampfen Al/Ni/Cu (1,0/0,2/2,0)
348
2-2
Si3N4
Al/Ni/Cu (1,0/0,2/2,0)
510
2-3 A1^0T Aufdanpfen Cu/Ni/Cu AC4A Vakuum 225
(0,8/0,2/0,4)
2-3 " " Cu/Ni/Cu " " 200
(0,8/0,2/0,8)
2-4 Si-N4 " Cu/Mo/Cu " " 250
J 4 (1,0/0,3/1,0)
2-4 " " Cu/Invar/Cu " " 200
(0,5/0,5/0,5)
2-4 " " Cu/W/Cu " " 185
(0,5/0,2/0,5)

Claims (6)

  1. Patentansprüche
    Verbundgebilde aus einem keramischen Material und einer Aluminiumlegierung aus einer eine Einheit bildenden Kombination aus einem keramischen Element, einer Metallimprägnierschicht, einem Metallüberzug und einer Schicht aus einer Aluminiumlegie-
    -"■^ rung, wobei die Metallimprägnierschicht und der Metallüberzug in der angegebenen Reihenfolge auf der Oberfläche des keramischen Elements vorgesehen und die aus einer Aluminiumlegierung bestehende Schicht nächst dem Metallüberzug durch Vergießen und Verfestigen einer erschmolzenen Aluminiumlegierung gebildet sind.
  2. 2. Verbundkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallimprägnierschicht aus einer durch Vakuumaufdampfen eines Metalls gebildeten dünnen Metallschicht besteht.
  3. 3. Verbundkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallimprägnierschicht aus einer nach einem mit hochschmelzenden Metallen durchgeführten Verfahren hergestellten dünnen Metallschicht besteht.
  4. 4. Verbundkörper nach Anspruch 1, dadurch gekenn-
    zeichnet, daß die Metallimprägnierschicht aus einer nach einem Aktivmetallverfahren hergestellten dünnen Metallschicht besteht.
  5. 5. Verbundkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallüberzug dreilagig ausgebildet ist, wobei die oberste und unterste Schicht jeweils aus Cu, Ag oder Al und die Zwischenschicht aus einem vom Metall der obersten und untersten
    Schicht(en) verschiedenen Metall bestehen.
  6. 6. Verbundgebilde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das keramische Element aus Si-N., SiC, A1_O.,, ZrO- , Glimmer, LAS oder kristallinem Glas besteht.
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